JPS61111964U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61111964U JPS61111964U JP19956884U JP19956884U JPS61111964U JP S61111964 U JPS61111964 U JP S61111964U JP 19956884 U JP19956884 U JP 19956884U JP 19956884 U JP19956884 U JP 19956884U JP S61111964 U JPS61111964 U JP S61111964U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- internal
- deposition
- outer enclosure
- cylindrical
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａは本考案の堆積基板を用いた気相合成
装置の一部を示す概略的な縦断面図であり、ｂは
該基板の横断面図であり、第２図ａ〜ｄは本考案
の別の態様に係る堆積基板の横断面図であり、第
３図ａ，ｂは従来の基板を用いた気相合成装置の
第１図と同様な図である。 （主な参照番号）、１……原料ガス供給ノズル
、２，２１，２２……堆積基板、３……堆積結晶
。
装置の一部を示す概略的な縦断面図であり、ｂは
該基板の横断面図であり、第２図ａ〜ｄは本考案
の別の態様に係る堆積基板の横断面図であり、第
３図ａ，ｂは従来の基板を用いた気相合成装置の
第１図と同様な図である。 （主な参照番号）、１……原料ガス供給ノズル
、２，２１，２２……堆積基板、３……堆積結晶
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 四角形断面を有する筒状の基板外囲部と、
その内部空間に設けられた少なくとも１つの内部
基板とを具備することを特徴とする気相合成装置
用堆積基板。 (2) 前記内部基板が、前記外囲部内部の寸法に
等い幅を有する平板状の基板であることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の堆積基
板。 (3) 前記内部基板が、前記外囲部よりも寸法の
小さな四角断面を有する筒状の基板であることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
堆積基板。 (4) 前記平板状基板または筒状基板の少なくと
も１部が複合体形状とされていることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第２項または第３項記
載の堆積基板。 (5) 前記内部基板の長さが、前記気相合成装置
の原料ガス供給側において前記外囲部の長さより
も短いことを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第４項記載の堆積基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19956884U JPS61111964U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19956884U JPS61111964U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61111964U true JPS61111964U (ja) | 1986-07-15 |
Family
ID=30759611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19956884U Pending JPS61111964U (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61111964U (ja) |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP19956884U patent/JPS61111964U/ja active Pending