JPS6098289A - 耐蝕性の簡易着脱配管継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体のウェットエツチング装置などに使用
される酸、アルカリなどの腐蝕性流体の輸送時に使用さ
れる配管継手に係り、特に、耐薬品性であり、腐蝕性流
体の供給動作を簡単かつ安全にできるようにした耐蝕性
の簡易着脱配管継手に関するものである。

例えば、半導体のウェットエツチングに使用される液は
、フッ化水素酸などのように人体に有害で、かつ、金属
やガラスなどを溶かす水溶液が多く使用されているが、
エツチング装置内への液供給は、従来、小形のポリエチ
レン容器に詰められた液を人手により該槽内に移しかえ
ており、この廃液の飛散などでこの作業は非常に危険で
あり、液供給に多くの手間を必要とし、その他酸、アル
カリなど腐蝕性流体を容器から所要槽内に供給するのに
、前記同様な手作業を行う場合は、非常に危険で、しか
も液供給に手間どり、また、腐蝕性流体をポンプで圧送
する場合は、高価な樹脂製のダイヤフラムポンプや配管
を必要とし、しかも該ポンプ取付けに手間どるなどの現
況から、容器内の流体をガス圧をかけるなどしてポンプ
を使用せずに所要槽内に圧送する場合に、容器に配管、
継手の一側を予め取付けて出荷し、槽に予め取付けた配
管、継手の他側に簡易着脱して送液すれば便利であるが
、従来の管継手では腐蝕性流体にはこの方法は到底応用
できるものではなかった。

それは、一般の斯かる管継手としては、雌継手と雄継手
とを結合、分離して流体を流通、停止するｍｌ易着脱配
管継手が使用されるが、従来の簡易着脱配管継手は金属
製であり、仮えこれを合成樹脂製としても雌継手、雄継
手の各弁体に使用されているスプリングは液の流通路中
に設けられているので、酸、アルカリなど腐蝕性流体の
送液管中に使用するには、腐蝕性から使用不可能であっ
たからである。

すなわち、従来の簡易着脱配管継手の例としては、例え
ば実開昭５６−１０１２９２号公報にて知られており、
これを第８図に基づいて説明すると、雌継手４０は、雌
主体４１とその中に押入された固定バルブ４４とスプリ
ング４３を介し摺動自在の雌主体４１の開口端を閉鎖す
るバルブスリーブ４２で構成され、一方、雄継手５０は
、雄主体５１とその中に挿入されたスプリング５３を介
し摺動自在の雄主体５１の開口端を閉鎖するポペットバ
ルブ５２で構成され、雌継手４０の外筒に緩装されたユ
ニオンナット４５を雄主体５１の外局面に螺合して雌、
雄継手４０．５０を結合時、前記バルブスリーブ４２お
よびポペットバルブ５２がそれぞれ後退して雌雄主体４
１．５１の開口端を連通させるものである。

しかしながら、斯かる管継手は全て金属性であり、スプ
リングも液流通路中に設けられたもので、腐蝕性流体の
送液には腐蝕性から使用できないという欠陥がある。

本発明は、上記従来欠陥に鑑み斯かる欠陥を解消すべ〈
発明したもので、本発明の目的とするところは、酸、ア
ルカリ等腐蝕性流体の送液配管中に使用できる簡易着脱
配管継手とするべく、継手内の自己閉鎖弁を摺動させる
金属製スプリングを直接流通する流体に接触させないよ
うに継手内に配設するとともに該継手の結合、分離動作
中にスプリングへの液洩れを防止し、継手を構成する弁
部材を耐薬品性の材質とするなどして耐蝕性の構造とし
、かつ、継手の結合、分離動作が簡単でしかもこの際液
洩れがなくて安全に操作できる簡易着脱配管継手を提供
せんとするもので、本発明の構成は前記目的達成のため
に、雌継手と雄継手とを結合、分離して流体を流通、停
止する簡易着脱配管継手において、雌継手の雌主体内に
、内部が流体通路となる連通した横孔通孔と縦孔通孔と
を有し、雌主体に螺合結着された固定バルブと、該固定
バルブの中筒部の外周側にスプリングを介し摺動自在に
設けたバルブスリーブとを配設し、一方、雄継手の雄主
体内に、内部が流体通路となる連通した横孔通孔と縦孔
通孔とを有し、外局側のスプリングを介し摺動自在に設
けたポペットバルブを配設し、前記固定バルブとバルブ
スリーブとの摺動部の前記スプリングの前後位置および
前記雄主体とポペットバルブとの摺動部の前記スプリン
グの前後位置にそれぞれＯリングを組込み、かつ、雄主
体の先端開放部の小径横孔部の内周面に組込んだ０リン
グを、雌主体内の前記バルブスリーブの小径先筒部に挿
入嵌合可能にしたことを特徴とする樹脂製の耐蝕性の簡
易着脱配管継手としたことを特徴とし、材質としては一
般合成樹脂のほか耐薬品性の最も優れたフッ素系樹脂を
弁部材に使用し、０リングは耐薬品性、弾力性の優れた
フッ素ゴム製とし、スプリングは直接には流通流体に接
触しないがｏリングを介し洩れた液に対しフッ素糸樹脂
などで被覆して耐触性として、強酸、強アルカリの送液
配管中に使用できるようにしたことを特徴とする。

以下第１．２，８，４，５，６．７図にて本発明の詳細
な説明する。

第１図は本発明の実施例に於ける雌継手ＩＡ。

第２図は第１図の雌継手１Ａと結合する雄継手２人、第
８図は＃ｉ１継手ＩＡと雄継手２Ａとの結合状態である
。

雌継手１人は雌主体１の中筒部１ａには小筒部１ｂｌＣ
止め１１ｉ＋２により固定保持されているカラー３を介
し、スプリング４により摺動するスリーブ５が組込まれ
ている。スリーブ５はスリーブ５の内部に設けである円
錐面５ａが雌主体１の先筒部１ｃに設けである円錐面１
ｄにより係止されスリーブ５が雌主体１の先筒部１ｃ側
へ離脱しないようにしである。雌主体１の内部横孔は先
筒部１ｃ側より大径横孔ｌｅ、中径横孔ｌｆ、小径横孔
１ｇ及び流体の流路となる通孔１ｈとで形成され、中筒
部１ａには大径横孔１ｅへ貫通する円錐状の縦孔１１が
同一円周状に複数設けてあり、この円錐状の縦孔１ｉに
は樹脂製′ｆｔ、６が組込んであると共に、樹脂欠球６
が雌主体１の中筒部１ａより飛び出さないように、スリ
ーブ５の内径部５ｂにより樹脂欠球６を保持してデテン
トの作用をするようにしている。雌主体１の中径横孔１
ｆにはスプリング７により摺動するバルブスリーブ８が
小径横孔１ｇに絡合結着されている固定バルブ９の外周
側に組込まれている。

バルブスリーブ８の外筒は雌主体１の中径横孔１ｆに朕
合し摺動する摺動筒部８ａと小径の先筒部８ｂとが形成
してあり、又内部横孔はスプリング７の受け座となる大
径横孔８ｃと固定バルブ９の中筒部９ａと嵌合し摺動す
る小径横孔８ｄ、及び固定バルブ９の先端に設けである
環状突胴部９ｂを嵌合させる中径横孔８ｅからなるとと
もに小径横孔８ｄには固定バルブ９の中筒部９ａを摺動
中、内部流体が雌主体１の中径横孔１ｆ側に漏洩しない
様にＯ−リング溝８ｆを設け０−リング１０が組込んで
ある。

固定バルブ９には流体の流路となる連通孔縦孔９ｃと横
孔９ｄを有するとともに中筒部９ａの一端には内部流体
の気密保持をさせるために０−　ＩＪソング溝ｅを設け
０−リング１１が組込んである。

又固定バルブ９の中筒部９ａの他端には、雌主体１の小
径横孔１ｇに設けであるｌ＠螺子１麦と螺合する雄螺子
９ｆが設けてあり、固定バルブ９はこの螺合結着により
、雌主体１に固定され、かつ、雌主体１の小径横孔１ｇ
と固定バルブ９の中筒部９ａとの嵌合部より内部流体が
雌主体１の中径横孔１ｆ側に漏洩しないように雌主体１
の小径横孔１ｇにはＯ−リング溝１ｋを設け０−リング
１２が組込んである。

スプリングＴにより摺動するバルブスリーブ８は固定バ
ルブ９を介して雌主体１の中径横孔１ｆに組込まれるが
、組込後固定バルブ９の環状突胴部９ｂの一端に設けで
ある円錐面９ｇがバルブスリーブ８の中径横孔８ｅ部に
設けである円錐面８ｇを係止するためバルブスリーブ８
が、固定バルブ９より離脱することはない。又、雌主体
１の通孔１ｈには装置の導管が直接接続出来るよう雌螺
子１ｊが形成しである。

雄継手２Ａは第２図に示したように雄主体２１、アダプ
ター２２．ポペットバルブ２３、スプリング２４及び０
−リング２５，２６．２７で構成され、雄主体２１は雌
主体１の大径横孔１ｅと嵌合する嵌合筒部２１ａと中筒
部２１Ｃと小径の先筒部２１ｂとからなり、先筒部２１
ｂには、アダプター２２に設けである雌螺子２２ａと螺
合する雌螺子２１ｄを有しているとともに、嵌合筒部２
１ａの先端方向には■形状をした環状溝２１ｅを形成し
である。

又、雄主体２１の内部横孔は先筒部２１ｂから嵌合筒部
２１ａの環状溝２１ｅにかけて大径横孔２１ｆを有し、
それより先細の円錐面２１ｇが形成され小径横孔２１ｈ
と連通している。

アダプター２２の内部横孔は一端に雌螺子２２ａを備え
ている大径横孔２２ｂ、中央に小径横孔２２ｃと他端に
は流体の流路となる通孔２２ｄを形成し、通孔２２ｄに
は装置の導管が直接接続出来る様雌螺子２２ｅが設けで
ある。

雄主体２１の雄螺子２１ｄとアダプター２２の雌螺子２
２ａとが螺合結着された雄主体１の大径横孔２１ｆ内に
はポペットバルブ２３がスプリング２４を介し摺動可能
に組込まれている。

ポペットバルブ２３の外筒は雄主体２１内の小径横孔２
１ｈに梱動俵合し、且つ雌主体１内に組込んであるバル
ブスリーブ８の先ＷＪ部８ｂと外径が同一となっている
底台胴部２３ａと、雄主体２１の大径横孔２１ｆ内を摺
動する大径筒部２３ｂと、アダプター２２の小径横孔２
２ｃ内を摺動する小径筒部２３Ｃとスプリング２４が外
周部に組込まれる中径筒部２３ｄとからなり、大径筒部
２３ｂの嵌合Ｂｎ部２３ａ側には先細の円錐面２３ｅが
形成されている。この円錐面２３ｅには、流体の流路で
ある横孔２３ｆに連通する縦孔２３ｇが設けであると共
に雄主体２１の小径横孔２１ｈとポペットバルブ２３の
底台胴部２３ａとノｆｌｔｔ　合部より内部流体が外部
に洩れない様雄主体２１の小径横孔２１ｈには０−リン
グ溝２１ｉを設け〇−リング２５が組込んであり、雄主
体２１内の大径横孔２１ｆとポペットバルブ２３の大径
筒部２３ｂ並びアダプター２２内の小径横孔２２ｃとポ
ペットバルブ２３の小径筒部２３ｃとの嵌合部も内部流
体が雄主体２１の大径横孔２１ｆ内に組込まれているス
プリング２４部に流入しない様ポペットバルブ２３０大
径筒部２３ｂとアダプター２２内の小径横孔２２Ｃには
各々ｏ−リング溝２３ｈ、２２ｆを設けＯ−リング２１
．０−リング２６が組込んである。

又ポペットバルブ２３はＭｕ主体２１内に組込まれるが
、組込後、ポペットバルブ２３の大径ｆ冷部２３ｂに設
けである円錐面２３ｅがａｔ主体２１の大径横孔２１ｆ
内ｔこ設けである円錐面２１ｇにより保圧される為ポペ
ットバルブ２３は雄主体２１より抜は出ることはない。

第４図は本発明の他の実施例に於ける雌継手１Ａ′、第
５図は第４図の雌継手１八′と結合する雄継手２Ｋ、第
６図はその結合状態を示すものである。

第４図に示した雌継手ＩＡ’は、雌主体１′に中筒部１
３′と小径の先筒部１ｂ′を有し、中筒部１ａ′の先筒
部１ｂ′側には雄螺子１ｃ′が設けてあり、且つ、雌主
体１′の内径横孔は先筒部１ｂ′側より大径横孔１ｄ′
、中径横孔１ｅ′、小径横孔１　ｆ’と流体の流路とな
る通孔１ｇとを形成したもので、その他の構成部品並び
構造は前記第１図に示した雌継手１Ａの実施例で詳述し
た通りである。

第５図に示した雄継手２　Ａ／の雄主体２１′は雌主体
１′内の大径横孔１ｄ′と嵌合する嵌合筒部２１ａ′と
大径筒部２１ｂ′と中径筒部２１ｃ′と小径の先筒部２
１ｄ′とからなり、先筒部２１ｄ′にはアダプター２２
′設けである雌螺子２２ａ′と螺合する雄螺子２１ｅ′
を有していると共に、雄主体２１′の中径的部２１ｃ′
には雌主体１′の中筒部１８′に設けである雌螺子１０
′と螺合する雌螺子２８ａを内部に有するユニオンナッ
ト２８を回転自在に組込んだもので、その他の構成部品
及び構造は前記第２図に示した雄継手２Ａの実施例で詳
述した通りである。

また、第７図は本発明のもう一〇の他の実施例における
唯継手払“と雄継手２１の結合状態を示すもので、これ
は第１〜第３図における雌、雄継手ＩＡ、２Ａ内の各弁
部材を雌雄入れ替えた例で、この場合は新たにセミボデ
ィ３ｏを雌主体イ′内に挿設するのみで他の構成は同様
で入れ替えが可能であることを示している。

すなわち、第７図図示の如く、雌継手１Ａ″は、雌主体
１“、アダプター２２“、止め伯２“、カラー３″、ス
リーブ５″、樹脂製法６″、セミボディ３０，０リング
２５“、スプリング２４“、ポペットバルブ２３”。

０リング２６”および２７／′、流体通路となる横孔通
孔２３ｆ″、縦孔通孔２３ｇ″で構成され、一方、雄継
手２八″は、雄主体２１″、バルブスリーブ８″、スプ
リングｌ′、固定バルブ９″、ｏリング１６′および１
２“、固定バルブ９“、０リング１１″で構成され、前
記第１〜第８図実施例と異なるところは、第１〜第８図
例における雄主体２１とポペットバルブ２３との摺動部
のスプリング２４の前後位置の０リング２７．２６が、
第７図例では、藩主体１“内のセミボディ３０とポペッ
トバルブ２３“との摺動部のスプリング２４“の前後位
置のｏリング２７”。

２６“に、および、藩主体２１の先端開放部の小径横孔
部２１ａの円周面に組込んだｏリング２５が、セミボデ
ィ３０の先端内周面に組込んだ。リング２５″にそれぞ
れ変った以外、その他の構成部品及び詳細な構造は、前
記第１〜第８図の実施例で詳述した通りで均等構成であ
るので、ここでは説明を省略する。

なお、前記藩主体１の第１図および第７図例では、中筒
部１ａに設けた縦孔１１に樹脂外球６を組込んで、藩主
体２１の嵌合筒部２１ａに設けた環状溝２１ｅに前記法
６を嵌合してデテントの作用をするようにしているが、
球６の代りに縦断面が円状の弓形ピンなどデテントの作
用をするものであれば如何なる形状でもよい。

以上の構成からなる雌継手及び雄継手の結合。

分離の動作をさせるには、第１図雌継手ＩＡ％第２図雄
継手２Ａの結合分離は、第８図の如く藩主体１の中筒部
１ａに組込んであるスリーブ５を小筒部１ｂ側に押し下
げて、中筒部１ａに複数組込んである樹脂外球６を中筒
部１ａの外周側へ自由状態とし、藩主体２１の嵌合筒部
２１ａを藩主体１内の大径横孔１ｅ部へ押込んで行くと
、藩主体１内に螺合固定されている固定バルブ９の環状
突胴部９ｂの端面とスプリング２４を介し藩主体２１内
で摺動可能に保持されているポペットバルブ２３の嵌合
胴部２３ａの端面とが接触する。

更に藩主体２１の嵌合筒部２１ａを押込んで行くと藩主
体２１内のポペットバルブ２３が、アダプター２２側へ
後退し始めるがこの後退に追従して藩主体１内に組込ま
れているバルブスリーブ８の先筒部８ｂが藩主体２１の
小径横孔２１ｈに底台前進する。この時雄主体２１内の
ポペットバルブ２３の縦孔２３ｇより流出する流体は藩
主体２１内の小径横孔２１ｈに組込んであるＯ−リング
２５によりバルブスリーブ８の先筒部８ｂがシールされ
ている為内部流体が外部に洩れることはないと共にポペ
ットバルブ２３及びアダプター２２内に組込んである０
−リング２７と２６とで藩主体２１の大径横孔２１ｆと
ポペットバルブ２３の小径筒部２３ｃをシールしている
ため内部流体が藩主体２１の大径横孔２１ｆに組込んで
あるスプリング２４部への流入はない。

更に藩主体２１の嵌合筒部２１ａを押込むと、嵌合筒部
２１ａの端面と雑本体１内に組込味れているバルブスリ
ーブ８の摺動筒部８ａと先筒部８ｂとの境界面とが接触
した状態で、バルブスリーブ８が通孔１ｈ側へ後退し始
め藩主体１内に組込んである固定バルブ９の流路が開放
され始めると共に先に開放されている藩主体２１内の流
路とが連通し、流体が流通し合う。

この時雌主体１内に組込んである０−リング１２とバル
ブスリーブ８内に組込んである０−リング１０とで固定
バルブ９の中筒部９ａをシールしている為、内部流体が
藩主体１の中径横孔１ｆ内に組込まれているスプリング
１側へ流入することはない。

更に藩主体２１の嵌合筒部２１ａを押込むと、嵌合筒部
２１．の先端方向に設けであるＶ形状をした環状溝２１
ｅに、藩主体１の中筒部１ａに組込まれ自由状態となっ
ている樹脂外球６が落込むと押し下がっていたスリーブ
５はスプリング４の力に依って元の位置に戻ると共にス
リーブ５の内径部５ｂにより樹脂外球６が固定され、＃
ｉ１絋手鉱Ａと雄継手２Ａとの結合動作を完了する。

この時雌継手１人と雄継手２Ａ内の流路はＦＢ図に示し
たように全開状態となるが藩主体１内に組込んであるバ
ルブスリーブ８の先筒部８ｂが藩主体２１内の小径横孔
２１ｈに組込んであるＯ−リング２５に依りシールされ
ているため内部流体が外部に洩れることはなく、藩主体
２１内の大径横孔２１ｆに組込まれているスプリング２
４部への流体の流入はポペットバルブ２３及びアダプタ
ー２２内に組込んである０−リング２γ、２６とで藩主
体２１の太径横孔２１ｆとポペットバルブ２３の小径筒
部２３ｃを各々シールしているため無い。

又藩主体１内に組込まれているスプリングγ部への流体
の流入は施主体１内に組込んである〇−リング１２とバ
ルブスリーブ８内に組込んである０−リング１０とで固
定バルブ９の中筒部９ａをシールしている為無い。

次に結合している雌継手１Ａと雄継手２人とを分離させ
るには、施主体１の中筒部１ａに組込んであるスリーブ
５を小筒部１ｂ側へ押し下げると樹脂製Ｒ６は固定され
ていたスリーブ５の内径部５ｂから固定を解除され、中
筒部１ａの外局側への移動が自由となると施主体１の中
径横孔１ｆ内に組込んであるスプリング７と施主体２１
にポペットバルブ２３を介し組込んであるスプリング２
４との反力に依り樹脂製′ｆ＄６を施主体１の中筒部１
ａの外局側へ押し上げられ雌継手１人と雄継手２人とは
分離する。

分離の際雌継手１Ａ側は施主体１の中径横孔１ｆ内に組
込んであるスプリング７０反力でバルブスリーブ８が大
径横孔１ｅ側へ前進するが、小径横孔１ｇに螺合固定さ
れている固定バルブ９に設けである環状究胴部９ｂの円
錐面９ｇにバルブスリーブ８の中径横孔８ｅ部に設けで
ある円錐面８ｇが押し当てられバルブスリーブ８の摺動
は阻止され第１図に示した状態となる。

この時固定バルブ９内の流路である縦孔９ｃより流出す
る内部流体の外部への洩、れは固定バルブ９に組込まれ
ている０−リング１１によりバルブスリーブ８の小径横
孔８ｄをシールしているため洩れは無い。又施主体１内
に組込んであるｏ−リング１２とバルブスリーブ８内に
糾込んである０−リング１０とで固定バルブ９の中筒部
９ａをシールしているためバルブスリーブ８の摺動中又
は停止時に於ても、内部流体が施主体１の中径横孔１ｆ
内に組込まれているスプリングγ側へ流入することはな
い。

雄継手２人側は施主体１内に組込まれているバルブスリ
ーブ８の摺動筒部８ａと先筒部８ｂとの境界面と施主体
２１の嵌合筒部２１ａの面とが接触した状態で施主体１
の中径横孔１ｆ内に組込んであるスプリング７と施主体
２１にポペットバルブ２３を介し、組込んであるスプリ
ング２４との反力に依り、施主体２１はアダプター２２
側へ押し下げられると共にポペットバルブ２３の嵌合胴
部２３ａが、施主体２１の小径横孔２１ｈに嵌合前進し
、ポペットバルブ２３の円錐面２３ｅが施主体２１の大
径横孔２１ｆ内に設けである円錐面２１ｇに押し当り、
ポペットバルブ２３の作動は阻止され第２図に示した状
態となる。

この時内部流体の外部への流出は分離動作中は鉄主体２
１内の小径横孔２１ｈに組込んであるＯ−リング２５に
依り施主体１内に組込んであるバルブスリーブ８の先筒
部８ｂを、分離後は鉄主体２１内に組込んであるポペッ
トバルブ２３の嵌合胴部２３ａを各々シールする為ない
。又、ポペットバルブ２３及びアダプター２２内に組込
んであるＯ−リング２７と２６とで鉄主体２１内の大径
横孔２１ｆとポペットバルブ２３の小径筒部２３Ｃとを
シールしているためポペットバルブ２３の摺動中又は停
止時に於ても内部流体が、鉄主体２１内の大径横孔２１
ｆに組込んであるスプリング２４側へ流入することはな
い。

つぎに、本発明の他の実施例第４〜第６図に於ける結合
、分離の動作は施主体１′の中筒部１ａに設けである雄
螺子１Ｃ′と施主体２１に回転自在に組込んであるユニ
オンナット２８内の雌螺子２８ａを螺合結着又は解除す
ることにより、前記実施例で詳述したのと同一の動作を
する。

また、本発明の他の実施例第７図に於ける結合、分離の
動作は、前記施主体１”内のセミボディ３０が施主体２
１”ｆｆｉのバルブスリーブ８″を押圧して流体流路を
開く以外は前記第８図の実施例で詳述したのと同一の動
作をする。

本発明の簡易着脱配管継手の構造および作動は以上の如
きものであるが、斯かる配管継手を耐酸、耐アルカリな
ど耐蝕性とするには、下記の如くするのが望ましい。

（１）配管継手を構成する前記各弁部材などは、耐酸、
耐アルカリに優れた合成樹脂製とする必要があり、フッ
素樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの合成樹脂
が使用できるが、半導体のウェットエツチングに使用さ
れるフッ化水素酸の如き強酸やあるいは強アルカリなど
に使用するときには、金属溶出物や弁部材などの剥離に
より生ずるダストの発生が最少限のものが望ましく、斯
かる観点からは、弁部材はフッ素樹脂製とするのが良い
。使用されるフッ素樹脂としては、ポリ四弗化エチレン
、四弗化エチレンとパーフルオロビニールエーテルの共
重合体、四弗化エチレンとヘキサフルオロプロペンの共
重合体、四弗化エチレンとエチレンの共重合体、ポリ三
弗化塩化エチレンなどが用いられる。

（２）　配管継手に使用される０　１Ｊングは、耐酸、
耐アルカリに優れたフッ素ゴム、ブチルゴム、シリコン
ゴムなど合成ゴム製とする必要があり、特に、強酸、強
アルカリに対しては前記と同じ観点からフッ素ゴム製と
するのが最も望ましい。

（３）配管継手に使用されるスプリングは、弾力性の点
からステンレス製等金属製とせざるを得ず、このため前
記本発明配管継手では、スプリングは僕 直接には涙液中の流体に接触しない構造としているが、
雌、雄継手の繰返し結合、分離動作で０リングを介し僅
かではあるが液洩れする可能性があるので、これに対処
するために耐蝕性被膜を施こす必要があり、フッ素樹脂
、ポリエチレン、ポリプロピレンなどで厚み３ｏｏ〜１
ｏｏｏミクロン程度の合成樹脂被覆するのが良く、前記
同様耐強酸、耐強アルカリ上フッ素樹脂が最も望ましい
。

以下実験例について説明する。

〔実験例Ｉ〕

（１）供試品の配管継手の各部材の材質は下記の通りで
ある。

（２）　前記供試品の浸漬試験を行なったが、その条件
は下記の通りである。

■　容器：ポリ四弗化エチレン（ダイキン工業製ポリフ
ロンＭ１２） ■　薬液＝５０％フッ酸 ■　浸漬サンプル：前記弁部材、スプリング、０リング
各８コ ■　浸漬条件：室温（２８〜２７℃）×６カ月（３）溶
出物の検出定量測定方法 ■　測定法：原子吸光分析（島津製作所製ＡＡ６５０型
） ■　サンプリング：浸漬液を白金皿に取り硫酸（濃硫酸
１、水９９）１ｍｅを加 え加熱して水分を蒸発させ乾固濃 縮してサンプリングし、これの定 量測定を行なった。

（４）浸漬試験結果 以上の浸漬試験の結果、弁部材、スプリング、０リング
とも金属溶出は殆どなく、ダストＣ弁部材、被覆膜の剥
離）も僅かであり、耐蝕性上影響がないことが分かった
。

〔実験例■〕

本発明配管継手の結合、分離試験の結果は下記の通りで
ある。

（試験条件） ■　供試品：前記〔実験例Ｉ〕の■と同様■　試験流体
：フッ酸５ｏ９６液 ■　試験圧力ニ２階／ｃｍ２ ■　試験流量：　１０１！／ｒｎ２ ■　結合、分陰試験：２回／１１ｒ　＋　７００回（試
験結果） ■　外観・・・・・・異常なし ■　結合９分離時の液洩れ・・曲なし ■　スプリング・・・・・・異常なし ■　０リング部漏れ・・・・・・なし 本発明簡易着脱配管継手の発明例は前記の通☆であるが
、本発明は雌継手１Ａと雄継手２Ａとを結合、分離して
流体を流通、停止する簡易着脱配管継手において、雌継
手１Ａの雌主体１内に、内部が流体通路となる連通した
横孔通孔９ｄと縦孔通孔９ｃとを有し、雌主体１に螺合
結着された固定バルブ９と、該固定バルブ９の中筒部９
ａの外周側にスプリングＴを介し活動自在に設けたバル
ブスリーブ８とを配設し、一方、雄継手２Ａの雄主体２
１内に、内部が流体通路となる連通した横孔通孔２３ｆ
と縦孔通孔２３ｇとを有し、外周側のスプリング２４を
介し摺動自在に設けたポペットバルブ２３を配設し、前
記固定バルブ９とバルブスリーブ８との摺動部の前記ス
プリング７０前後位置および前記雄主体２１とポペット
バルブ２３との摺動部の前記スプリング２４の前後位置
にそれぞれ０リング１０．１２および２７．２６を組込
んだことにより、雌継手１ＡｉＫＦａ手２Ａとを分離、
結合動作において、バルブスリーブ８とポペットバルブ
９が摺動中に流体は内部を流通し直接スプリングに接触
しないので、スプリングの腐蝕が起ることはなく、耐久
性が保持できる。

また、本発明は、雄主体２の先端開放部の小径横孔部２
１ａの内局面に組込んだＯＩＪソング５を、雌主体１内
の前記バルブスリーブ８の小径先筒部８ｂに挿入嵌合可
能にしたことにより、雌継手１人と雄継手２Ａとの分離
、結合時、前記雄主体２１の小径横孔部２１ａの内周面
がＯリング２５を介し、雌主体１のバルブスリーブ８の
小径先筒部８ｂに嵌入しつつバルブスリーブ８を後退さ
せて嵌合し、このときバルブスリーブ８の横孔通孔９ｄ
、縦孔通孔９ｃとポペットバルブ２３のＩ孔道孔２３ｆ
、縦孔通孔２３ｇとを連通させるので、前記０リング２
５０作用で内部流体の気密を保持し、外部に液洩れする
ことがないので、人体に危険な酸、アルカリに対して安
全であり、かつ、雌継手１Ａと雄継手２１Ａの結合、分
離動作のみで流体流路を流通、停止するので操作もきわ
めて簡単である。

さらに、前記配管継手を構成する各弁部材を合成樹脂製
、０リングを合成ゴム製、スプリングを合成樹脂被膜の
コーティングすることにより、耐薬品性となり、特に強
酸、強アルカリに対しては各弁部材をフッ素樹脂製、０
リングをフッ素ゴム製、スプリングをフッ素樹脂コーテ
ィングとすることにより、あらゆる薬品類に使用可能と
なる特徴がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の雌継手の半断面図、第２図は同
雄継手の半断面図、第８図は同雌、雄継手の完全結合状
態の半断面図、第４図は本発明の他の実施例の雌継手の
半断面図、第５図は同雄継手の断面図、第６図は同雌、
雄継手の完全結合状態の半断面図、第７図は本発明の他
の実施例の雌。 雄継手の完全結合状態の半断面図、第８図は従来の継手
の雌、雄継手の完全結合状態の半断面図である。 １Ａ・・・雌継手、　２Ａ・−・雄継手、１・・・雌主
体、　７・・・スプリング、８・・・バルブスリーブ、
　８ｂ・・・先筒部、９・・・固定バルブ、　９ａ・・
・中筒部、９ｃ・・・縦孔通孔、　９ｄ・・・横孔通孔
、２１・・・雄主体、　２１ａ・・・小径横孔部、２３
・・・ポペットバルブ、２３ｆ・・・横孔通孔、２３ｇ
・・・縦孔通孔、　２４・・・スプリング、１０．１２
．２５，２６．２７・・・０リング。 以上 特許出願人　ダイキン工業株式会社 横浜エイ口クイツプ株式会社 代理人　弁理士香川隆三 手続補正書（自発〉 昭和５９年８月２ｚ日 昭和５８年特許願第２０６６５０号 ２、発明の名称 耐蝕性の簡易着脱配管継手 ８、補正をする者 事件との関係　出願人 住所　大阪市北区梅田１丁目１２番３９号　新阪急ビル
氏名（名称）（２８５）ダイキン工業株式会社（ほか１
名）代表者　山　１）　稔 ４、代理人 ５、補正命令の日付　自発 ６、補正により増加する発明の数　７なし７、補正の対
象 「明細書」の「発明の詳細な説明」の欄ａ）金属溶出量 ｂ）ダストの個数 フッ酸１−中に含まれる直径２μｍ以上のダストの個数
は試験前は５個、試験後も弁部材、ヌクブリング及びＯ
ＩＩソングずれの場合も５個であった。 以上の浸漬試験の結果、弁部材、スプリング、０リング
とも金属溶出は殆どなく、ダスト（弁部材、被覆膜の剥
離）も僅かであり、耐蝕性上影響がないことが分かった
。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　雌継手（ＩＡ）と雄継手（２Ａ）とを結合、分
   離して流体を流通、停止する簡易着脱配管継手において
   、雌継手（ＩＡ）の雌主体（１）内に、内部が流体通路
   となる連通した横孔通孔（９ｄ）と縦孔通孔（９ｃ）と
   を有し、雌主体（１）に螺合結着された固定バルブ（９
   ）と、該固定バルブ（９）の中筒部（９ａ）の外局側に
   スプリング（７）を介し摺動自在に設けたバルブスリー
   ブ（８）とを配設し、一方、雄継手（２Ａ）の雄主体Ｑ
   Ｄ内に、内部が流体通路となる連通した横孔通孔（２８
   ｆ）、と縦孔通孔（２８ｇ）とを有し、外周側のスプリ
   ング（ハ）を介し摺動自在に設けたポペットバルブ（２
   ）を配設し、前記固定バルブ（９）とバルブスリーブ（
   ８）との摺動部の前記スプリング（７）の前後位置およ
   び前記雄主体Ｑηとポペットバルブ（至）との摺動部の
   前記スプリーング（ハ）の前後位置にそれぞれ０リング
   αα、（２）および（ホ）、＠を組込み、かつ、雄主体
   ｆ２Ｄの先端開放部の小径横孔部（２１ａ）の内筒面に
   組込んだＯリングに）を、雌主体（１）内の前記／イル
   シブスリーブ（８）の小径先筒部（８ｂ）に押入嵌合可
   能にしたことを特徴とする合成樹脂製の耐蝕性の簡易着
   脱配管継手。
2. （２）　前記雌主体（１）、固定バルブ（９）、／（／
   レブスリーフ（８）、雄主体ａｎ、ポペットバルブ（ハ
   ）など弁部材をフッ素樹脂製とし、前記Ｏリング０１　
   、０３．　＠　。 （ホ）、（ハ）をフッ素ゴム製とした特許請求の範囲第
   １項記載の耐蝕性の簡易着脱配管継手。
3. （３）前記スプリング（７）、（ハ）にフッ素樹脂をコ
   ーティングしてなる特許請求の範囲第２項記載の耐蝕性
   の簡易着脱配管継手。