JPS6094824U - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の炉心管を示す断面図である。 第２図は、本考案による第一の実施例の炉心管の断面図
であり、第３図はその側面図である。第４図は、本考案
による第二の実施例の炉心管断面図である。 １．１１．２２・・・・・・炉心管、２，１２，２２・
・・・・・ウェハ、３，１３，２３・・・・・・ボート
、１４・・・・・・仕切板、１５，２５・・・・・・排
気通路、１６・・・・・・排気口、１７，２７・・・・
・・排気穴、２４・・・・・・外部炉心管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 酸化拡散を行う炉心管において、排気穴を持つ仕切板を
   前記炉心管内１こ設けることによって前記仕切板によっ
   て仕切られた排気通路を作ると共に、前記仕切板下の前
   記炉心管の側面に外部への排気口を設けたことを特徴と
   する半導体製造装置。