JPS6090852U - 反射型ホトセンサ− - Google Patents

反射型ホトセンサ−

Info

Publication number
JPS6090852U
JPS6090852U JP18223883U JP18223883U JPS6090852U JP S6090852 U JPS6090852 U JP S6090852U JP 18223883 U JP18223883 U JP 18223883U JP 18223883 U JP18223883 U JP 18223883U JP S6090852 U JPS6090852 U JP S6090852U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photo sensor
reflective photo
degrees
elements
reflective
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18223883U
Other languages
English (en)
Inventor
高野　径郎
Original Assignee
シグマ技術工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シグマ技術工業株式会社 filed Critical シグマ技術工業株式会社
Priority to JP18223883U priority Critical patent/JPS6090852U/ja
Publication of JPS6090852U publication Critical patent/JPS6090852U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェハーとウェハーを保持するキャリヤの見取
図、第２図は光軸方向に移動するウェハーを検出する装
置の断面図、第３図は本発明になるホトセンサーの断面
図である。 １はキャリヤ、２．１５はウェハー、３はホトセンサー
、４はステージ、５はブツシャ、６はベルト、７はモー
ター、８は送りネジ、９はピッチミ　１０は本体、１１
は発光ダイオード、１２はホトトランジスター、１３は
頂角、１４は検出距離、２０は■溝である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 発光素子と受光素子と前記二素子を収容する本体とから
    なり、前記二素子がなす頂角を５５度〜７０度としたこ
    とを特徴とする反射型ホトセンサー。
JP18223883U 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ− Pending JPS6090852U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18223883U JPS6090852U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18223883U JPS6090852U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6090852U true JPS6090852U (ja) 1985-06-21

Family

ID=30394708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18223883U Pending JPS6090852U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ−

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6090852U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57175271A (en) * 1981-04-21 1982-10-28 Toshiba Corp Reflection type photosensor
JPS5812880B2 (ja) * 1975-06-28 1983-03-10 三菱製紙株式会社 感熱記録シ−トの２色発色記録方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5812880B2 (ja) * 1975-06-28 1983-03-10 三菱製紙株式会社 感熱記録シ−トの２色発色記録方法
JPS57175271A (en) * 1981-04-21 1982-10-28 Toshiba Corp Reflection type photosensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6090852U (ja) 反射型ホトセンサ−
JPS5937648U (ja) 反射型の光学センサ−装置
JPS58160198U (ja) 作画装置
JPS59144585U (ja) 赤外線式移動物体検出装置
JPS6056651U (ja) テ−プ端検出装置
JPS6041936U (ja) カメラ
JPS5825249U (ja) 車輛用ランプの汚れ検知装置
JPH01158912U (ja)
JPS58119781U (ja) ホトリフレクタ
JPS5918452U (ja) 光電センサ
JPS581402U (ja) 光電式脈拍センサ
JPS5933268U (ja) 半導体レ−ザ
JPS5885364U (ja) 光素子モジュ−ル
JPS5929728U (ja) 光検出装置
JPS60188358U (ja) エアフイルタの機能低下警報装置
JPS6080340U (ja) フオトセンサ
JPS58122251U (ja) テ−プ端検知装置
JPS5987615U (ja) 光学式変位計
JPS58135737U (ja) 複写機の光学系汚れ検知装置
JPS58148611U (ja) 光電検出器
JPS5963682U (ja) 直流サ−ボモ−タ−
JPS60155145U (ja) 反射形光電スイツチ
JPS5821812U (ja) 角度検出装置
JPS63107063U (ja)
JPS5947834U (ja) 無指向性光センサ−