JPS6090630U - 気体用流量計試験装置 - Google Patents

気体用流量計試験装置

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JPS6090630U
JPS6090630U JP18212883U JP18212883U JPS6090630U JP S6090630 U JPS6090630 U JP S6090630U JP 18212883 U JP18212883 U JP 18212883U JP 18212883 U JP18212883 U JP 18212883U JP S6090630 U JPS6090630 U JP S6090630U
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JP
Japan
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gas flowmeter
flowmeter
test equipment
gas
flow rate
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Pending
Application number
JP18212883U
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English (en)
Inventor
戸田　晴己
宏 山本
Original Assignee
オーバル機器工業株式会社
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Publication date
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Publication of JPS6090630U publication Critical patent/JPS6090630U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の気体用流量計試験装置を示すブロック
図、第２図はこの考案に係る気体用流量計試験装置の一
実施例を示すブロック図、第３図は他側を示すブロック
図である。 １・・・・・・ベルブルーバー、１ａ−ｏ・・・標準ガ
スメータ、２・・・・・・管路、３・・・・・・流量発
生器、５・・・・・・流量調節弁、６・・・・・・被試
験流量計、７・・・・・・三方口片、１２・・・・・・
臨界ノズル１２ａｐ　　１２ｂｐ　　１２ｃ・・・を有
する臨界ノズル装置、１３・・・・・・動力切替装置。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）気体の流量発生器と被試験流量計と、流量標準器
    とを直列に接続してなる気体用流量計試験装置において
    、流量標準器と被試験流量計との間に臨界ノズルを挿入
    して構成したことを特徴とする気体用流量計試験装置。
  2. （２）臨界ノズルは、複数個具え、被試験流量計の測定
    流量に合わせて臨界ノズルを選択使用するようにしたこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の気
    体用流量計試験装置。
  3. （３）流量標準器は、ベルブルーバーとしたことを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第１項または第２項記載
    の気体用流量計試験装置。
JP18212883U 1983-11-28 1983-11-28 気体用流量計試験装置 Pending JPS6090630U (ja)

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JP18212883U JPS6090630U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 気体用流量計試験装置

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JPS6090630U true JPS6090630U (ja) 1985-06-21

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11265216A (ja) * 1998-03-17 1999-09-28 Omi Tadahiro 圧力式流量制御装置
JP2011515660A (ja) * 2008-03-18 2011-05-19 エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド 複数の流入口を備えた高精度質量流量検証器
JP2020165931A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 日本碍子株式会社 モデルガス応答特性検査装置及びモデルガス応答特性検査方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5063965A (ja) * 1973-10-06 1975-05-30

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