JPS6089273U - 液処理装置 - Google Patents

液処理装置

Info

Publication number
JPS6089273U
JPS6089273U JP18449183U JP18449183U JPS6089273U JP S6089273 U JPS6089273 U JP S6089273U JP 18449183 U JP18449183 U JP 18449183U JP 18449183 U JP18449183 U JP 18449183U JP S6089273 U JPS6089273 U JP S6089273U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
tank
liquid processing
processing equipment
rotating shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18449183U
Other languages
English (en)
Inventor
長町　雅仁
Original Assignee
関西日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 関西日本電気株式会社 filed Critical 関西日本電気株式会社
Priority to JP18449183U priority Critical patent/JPS6089273U/ja
Publication of JPS6089273U publication Critical patent/JPS6089273U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１区は従来の液処理装置の一例としての洗浄装置の概
略断面図である。第２図はこの考案の液処理装置の一例
としての洗浄装置の概略断面図である。 ２０・・・・・・外槽、２１・・・・・・内槽、２２・
・曲排液管（排水管）、２３・・・・・・回転軸、２４
，２５・・曲羽根ミ２７・・・・・・給液管（給水管）
、２８・・曲給水ポンプ、２９・・・・・・処理液（純
水）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 外槽内に所定間隙をもって内槽を収納し、内槽の一部を
    貫通して回転軸を設備し、この回転軸の外槽内および内
    槽内部分にそれぞれ羽根を取り付け、一方の羽根に隣接
    して処理液を噴射させる給液管を設け、他方の羽根の設
    けられている槽に排液管を設けてなる液処理装置。
JP18449183U 1983-11-28 1983-11-28 液処理装置 Pending JPS6089273U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18449183U JPS6089273U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 液処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18449183U JPS6089273U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 液処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6089273U true JPS6089273U (ja) 1985-06-19

Family

ID=30399016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18449183U Pending JPS6089273U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 液処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6089273U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283488A (ja) * 1996-04-12 1997-10-31 Lg Semicon Co Ltd 半導体ウェハ洗浄装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283488A (ja) * 1996-04-12 1997-10-31 Lg Semicon Co Ltd 半導体ウェハ洗浄装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6089273U (ja) 液処理装置
JPS6075008U (ja) 半導体ウエハダイシング装置
JPS609501U (ja) ロ−タリ−エバポレ−タ
JPS5934287U (ja) 温水を作り出せる冷蔵庫
JPS5828554U (ja) 防水形回転機
JPS6083099U (ja) 汚水処理用回転板の支持装置
JPS58137493U (ja) 連続式パイプクリ−ニングシステム
JPS59182189U (ja) 代用あさくさのり
JPS6095489U (ja) 除去装置
JPS60134473U (ja) 食器洗浄機
JPS60104252U (ja) 遠心濃縮機
JPS6114794U (ja) ポンプ装置
JPS6144099U (ja) グリ−ス排出装置
JPS5817881U (ja) 泡立電気洗濯機
JPS5884393U (ja) 立軸ポンプ
JPS6334389U (ja)
JPS58148520U (ja) 気化式加湿機
JPS59130532U (ja) 回転式洗車ブラシ
JPS6045878U (ja) 水モ−タ−
JPS6039364U (ja) 電動噴霧器
JPS59110392U (ja) スクリユ−ポンプ
JPS58193093U (ja) マグネツトポンプ
JPS59108574U (ja) 電気かみそり
JPS62154292U (ja)
JPS6091234U (ja) 液槽撹拌装置