JPS6087642U - 研摩装置 - Google Patents

研摩装置

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JPS6087642U
JPS6087642U JP17926383U JP17926383U JPS6087642U JP S6087642 U JPS6087642 U JP S6087642U JP 17926383 U JP17926383 U JP 17926383U JP 17926383 U JP17926383 U JP 17926383U JP S6087642 U JPS6087642 U JP S6087642U
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JP
Japan
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magnet
polished
polishing equipment
driving magnet
magnetic surface
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Application number
JP17926383U
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English (en)
Inventor
林　良茂
万士 片岡
Original Assignee
松下電工株式会社
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Publication date
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  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の分解断面図、第２図はチップの取付状
態を示す側面図、第３図はこの考案の一実施例の分解断
面図、第４図はチップを保持する治具等の分解斜視図、
第５図は駆動磁石と内歯歯車の噛合状態の部分平面図、
第６図は治具の動作状態の部分平面図である。　　　　 １７・・・駆動磁石、１８ａ・・・研摩面、１９・・・
シリコンチップ（被研摩物）、２０・・・従動磁石。 １９ノ「ゝ２２ 第４図 ゝ２２ 第６図 １）α ｌ゛

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 磁摩面と、この研摩面の裏側に設けられて前記研摩面と
    平行な平面内で公転かつ自転する駆動磁石と、前記磁摩
    面に載置される被研摩物の保持部を有するとともに前記
    駆動磁石に吸引されて駆動磁石の連動に追従する従動磁
    石とを備えた研摩装置。
JP17926383U 1983-11-18 1983-11-18 研摩装置 Pending JPS6087642U (ja)

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JP17926383U JPS6087642U (ja) 1983-11-18 1983-11-18 研摩装置

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JP17926383U JPS6087642U (ja) 1983-11-18 1983-11-18 研摩装置

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JPS6087642U true JPS6087642U (ja) 1985-06-15

Family

ID=30388990

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