JPS6080726A - 分光感度が選択可能な光子検出装置 - Google Patents
分光感度が選択可能な光子検出装置Info
- Publication number
- JPS6080726A JPS6080726A JP18877083A JP18877083A JPS6080726A JP S6080726 A JPS6080726 A JP S6080726A JP 18877083 A JP18877083 A JP 18877083A JP 18877083 A JP18877083 A JP 18877083A JP S6080726 A JPS6080726 A JP S6080726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microchannel plate
- plate
- detection device
- channel
- spectral sensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
- H01J43/246—Microchannel plates [MCP]
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は分光装置、さらに詳しく言えば真空空間内にマ
イクロチャンネルプレートを収容することにより、真空
紫外またはＸ線等の検出を可能にした光子検出装置に関
する。
イクロチャンネルプレートを収容することにより、真空
紫外またはＸ線等の検出を可能にした光子検出装置に関
する。
（従来技術の説明）
マイクロチャンネルプレートは光電子を増倍する像増強
管等に広く用いられている。
管等に広く用いられている。
マイクロチャンネルプレートのチャンネルの内壁は光電
子放出機能とともに２次電子放出機能を持たせることが
できるから、マイクロチャンネルブレートに直接入射し
た光子の検出にも利用することができる。
子放出機能とともに２次電子放出機能を持たせることが
できるから、マイクロチャンネルブレートに直接入射し
た光子の検出にも利用することができる。
前記光子検出に用いられるマイクロチャンネルプレート
の一般的な構成を第１図を参照して説明する。
の一般的な構成を第１図を参照して説明する。
第１図（Ａ）は、マイクロチャンネルプレートの一部を
破断して示した斜視図、同図（Ｂ）は一つのチャンネル
を取り出して拡大して示した動作説明図である。
破断して示した斜視図、同図（Ｂ）は一つのチャンネル
を取り出して拡大して示した動作説明図である。
マイクロチャンネルプレート１０は微細な管を束ね各管
（チャンネル）１２の内壁に高抵抗で２次電子放出層１
２ａを形成しである。マイクロチャンネルプレートの入
力面には入力電極１２ｂ１マイクロチヤンネルプレート
の出力面には出力電極１２ｃが設りられている。チャン
ネル１２の直径は１２μｍ程度、チャンネル１２の長さ
は０．６ ｍｍ程度である。
（チャンネル）１２の内壁に高抵抗で２次電子放出層１
２ａを形成しである。マイクロチャンネルプレートの入
力面には入力電極１２ｂ１マイクロチヤンネルプレート
の出力面には出力電極１２ｃが設りられている。チャン
ネル１２の直径は１２μｍ程度、チャンネル１２の長さ
は０．６ ｍｍ程度である。
このようなマイクロチャンネルプレートのチャンネルの
入力面にＣｓ１等の光電物質により光電変換面を形成し
、光電面で光電変換された電子をさらに２次電子増倍し
、得られた電子を測定することにより、真空紫外検出装
置を構成することができる。
入力面にＣｓ１等の光電物質により光電変換面を形成し
、光電面で光電変換された電子をさらに２次電子増倍し
、得られた電子を測定することにより、真空紫外検出装
置を構成することができる。
近時広い範囲に分布する真空紫外線等を測定したいと言
う強い要請があるが、前記マイクロチャンネルプレート
を使用した検出装置ではカバーできないことが多く分光
感度の異なる光電面を持つ複数の検出装置を併用しなけ
ればならないと言う問題があった。
う強い要請があるが、前記マイクロチャンネルプレート
を使用した検出装置ではカバーできないことが多く分光
感度の異なる光電面を持つ複数の検出装置を併用しなけ
ればならないと言う問題があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、前述の問題を解決した光子検出装置を
提供することにある。
提供することにある。
（構成の説明）
前記目的を達成するために本発明による光子検出装置は
、チャンネルの入力面側に光電子放出層が形成されたマ
イクロチャンネルプレートと、前記マイクロチャンネル
プレートで増倍された電子を検出する検出器からなる光
子検出装置において、／ 前記マイクロチャンネルプレート中の各チャンネル内部
の入力部の管壁を円周方向に分割して、各分割された対
応する領域に分光感度の異なる光電子放出層を形成し、
放射源に対してマイクロチャンネルプレートを傾斜させ
、励起される光電子放出層を選択できるように構成され
ている。
、チャンネルの入力面側に光電子放出層が形成されたマ
イクロチャンネルプレートと、前記マイクロチャンネル
プレートで増倍された電子を検出する検出器からなる光
子検出装置において、／ 前記マイクロチャンネルプレート中の各チャンネル内部
の入力部の管壁を円周方向に分割して、各分割された対
応する領域に分光感度の異なる光電子放出層を形成し、
放射源に対してマイクロチャンネルプレートを傾斜させ
、励起される光電子放出層を選択できるように構成され
ている。
前記構成によれば、同一の放射源に対して異なる分光感
度をもつ光電子放出層を対応させることができ、一つの
検出装置で広い範囲の測定が可能となる。
度をもつ光電子放出層を対応させることができ、一つの
検出装置で広い範囲の測定が可能となる。
（実施例の説明）
以下図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する。
第２図は、本発明による光子検出装置で使用するマイク
ロチャンネルプレートの実施例を示す図である。
ロチャンネルプレートの実施例を示す図である。
同図（Ａ）は入力電極を取り外して示した正面図、同図
（Ｂ）（Ｃ）は使用状態に関連する断面図である。
（Ｂ）（Ｃ）は使用状態に関連する断面図である。
第３図は使用例を説明するための略図である。マイクロ
チャンネルプレート２ｏの各チャンネル２１の全内壁面
には高い抵抗の２次電子放出層が形成されている。この
マイクロチャンネルプレートの各チャンネルの入力側を
２つに分割し、−刃側 ゛にＣｓＩの光電子放出層２２
、他方側にＲｂＢｒの光電子放出層２３を形成しである
。
チャンネルプレート２ｏの各チャンネル２１の全内壁面
には高い抵抗の２次電子放出層が形成されている。この
マイクロチャンネルプレートの各チャンネルの入力側を
２つに分割し、−刃側 ゛にＣｓＩの光電子放出層２２
、他方側にＲｂＢｒの光電子放出層２３を形成しである
。
これ等の光電子放出層の形成はマイクロチャンネルプレ
ートを傾けた状態で蒸着によりそれぞれ形成される。
ートを傾けた状態で蒸着によりそれぞれ形成される。
光子検出装置は前記マイクロチャンネルプレート２０の
出力面にファイバープレート２６の表面に形成された螢
光面２５を対応させ、螢光面の輝きを光電変換素子２７
により光電変換されて出力される。
出力面にファイバープレート２６の表面に形成された螢
光面２５を対応させ、螢光面の輝きを光電変換素子２７
により光電変換されて出力される。
マイクロチャンネルプレート２０の入出力面間および出
力面と螢光面間には電源２８により電圧が供給されてい
る。このマイクロチャンネルプレート２０と螢光面２５
は排気装置３４が接続されている真空容器３０内に収容
されており、マイクロチャンネルプレート２０はこの真
空容器３０内の放射源３１に対して２つの角度位置を保
つことができるように支持されている。
力面と螢光面間には電源２８により電圧が供給されてい
る。このマイクロチャンネルプレート２０と螢光面２５
は排気装置３４が接続されている真空容器３０内に収容
されており、マイクロチャンネルプレート２０はこの真
空容器３０内の放射源３１に対して２つの角度位置を保
つことができるように支持されている。
この角度は前記各光電子放出層を形成するときにマイク
ロチャンネルブレ〜１−を蒸着源に対して傾けた角度に
一致することが好ましい。この使用例は薄膜３２の透過
特性を測定する例であって、放射源３１からの光を分光
器３２で分光し薄膜３２を照射している。薄膜３２を透
過した光はマイクロチャンネルプレート２０で増幅され
検出される。
ロチャンネルブレ〜１−を蒸着源に対して傾けた角度に
一致することが好ましい。この使用例は薄膜３２の透過
特性を測定する例であって、放射源３１からの光を分光
器３２で分光し薄膜３２を照射している。薄膜３２を透
過した光はマイクロチャンネルプレート２０で増幅され
検出される。
第４図に実施例装置の分光感度特性を示す。
このグラフから、入射光エネルギ−１６０ｅｖ以上の領
域（波長７８Å以下）ではＲｂＢｒから形成される光電
変換面を使用するほうが良好な測定結果が得られること
が分る。
域（波長７８Å以下）ではＲｂＢｒから形成される光電
変換面を使用するほうが良好な測定結果が得られること
が分る。
入射光エネルギー１６０ｅｖ以下の領域（波長７８Å以
上）ではＣｓｌから掲載される光電変換面を使用するよ
うにマイクロチャンネルプレートの入射光に対する傾き
を設定する。
上）ではＣｓｌから掲載される光電変換面を使用するよ
うにマイクロチャンネルプレートの入射光に対する傾き
を設定する。
以上２Ｎ類の光電子放出層を形成する例について説明し
たがチャンネルの周を１２０°に３分割して３種類の光
電子放出層を形成するようにすることも可能である。
たがチャンネルの周を１２０°に３分割して３種類の光
電子放出層を形成するようにすることも可能である。
第３図に示す例ではマイクロチャンネルプレートと螢光
面等を放射源が存在する真空容器に収容したが、螢光面
とマイクロチャンネルプレートを小形の真空容器に収容
するようにすることもできる。
面等を放射源が存在する真空容器に収容したが、螢光面
とマイクロチャンネルプレートを小形の真空容器に収容
するようにすることもできる。
宇宙空間における紫外線やＸ線の測定にはそのような容
器は一切不要である・ またマイクロチャンネルプレートの出力を検出する素子
は電子を捕捉できれば良い場合には単なるアノードで良
い。入射位置に関する情報を得たいときはアノードを分
割していわゆるマルチアノードを用いると良い。
器は一切不要である・ またマイクロチャンネルプレートの出力を検出する素子
は電子を捕捉できれば良い場合には単なるアノードで良
い。入射位置に関する情報を得たいときはアノードを分
割していわゆるマルチアノードを用いると良い。
（発明の詳細な説明）
以上説明した本発明によれば、マイクロチャンネルプレ
ートから成る検出器の光電子放出層を２種以上の光電物
質を用いて形成しであるから、マイクロチャンネルプレ
ートの角度を変えることにより異なる分光感度の光電子
放出層を選択することができる。
ートから成る検出器の光電子放出層を２種以上の光電物
質を用いて形成しであるから、マイクロチャンネルプレ
ートの角度を変えることにより異なる分光感度の光電子
放出層を選択することができる。
その結果１つの検出装置で広い範囲にわたって高感度検
出が可能になり、信号対雑音比特性を広範囲入射光エネ
ルギー範囲で得ることができるという効果が得られた。
出が可能になり、信号対雑音比特性を広範囲入射光エネ
ルギー範囲で得ることができるという効果が得られた。
本発明装置による光子検出装置は、プラズマとかシンク
ロトロン放射光の測定に利用できる。
ロトロン放射光の測定に利用できる。
第１図（Ａ）は、従来のマイクロチャンネルプレートの
一部を破断して示した斜−視図、同図（Ｂ）は一つのチ
ャンネルを取り出して拡大して示した動作説明図である
。 第２図は、本発明による光子検出装置で使用するマイク
ロチャンネルプレートの実施例を示す図であって、同図
（Ａ）は入力電極を取り外して示した正面図、同図（Ｂ
）（Ｃ）は使用状態に関連する断面図である。 第３図は本発明による分光感度が選択可能な光子検出装
置の使用例を説明するための略図である。 第４図は本発明による分光感度が選択可能な光子検出装
置において角度を変えて測定したときの分光感度を示す
グラフである。 １０・・・マイクロチャンネルプレート１２・・・チャ
ンネル １２ａ・・・２次電子放出層 １２ｂ・・・入力型棒 １２Ｃ・・・出力電極 ２０・・・マイクロチャンネルプレーｈ２１・・・チャ
ンネル ２２．２３・・・光電子放出層 ２５・・・螢光面 ２６・・・ファイバープレート ２７・・・光電変換素子 ２Ｂ・・・電源 ３０・・・真空容器 ３１・・・放射源 ３２・・・分光器 ３３・・・薄膜（試料） ３４・・・排気装置 特許出願人 浜松ホトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
一部を破断して示した斜−視図、同図（Ｂ）は一つのチ
ャンネルを取り出して拡大して示した動作説明図である
。 第２図は、本発明による光子検出装置で使用するマイク
ロチャンネルプレートの実施例を示す図であって、同図
（Ａ）は入力電極を取り外して示した正面図、同図（Ｂ
）（Ｃ）は使用状態に関連する断面図である。 第３図は本発明による分光感度が選択可能な光子検出装
置の使用例を説明するための略図である。 第４図は本発明による分光感度が選択可能な光子検出装
置において角度を変えて測定したときの分光感度を示す
グラフである。 １０・・・マイクロチャンネルプレート１２・・・チャ
ンネル １２ａ・・・２次電子放出層 １２ｂ・・・入力型棒 １２Ｃ・・・出力電極 ２０・・・マイクロチャンネルプレーｈ２１・・・チャ
ンネル ２２．２３・・・光電子放出層 ２５・・・螢光面 ２６・・・ファイバープレート ２７・・・光電変換素子 ２Ｂ・・・電源 ３０・・・真空容器 ３１・・・放射源 ３２・・・分光器 ３３・・・薄膜（試料） ３４・・・排気装置 特許出願人 浜松ホトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１チャンネルの入力面側に光電子放出層が形成され
たマイクロチャンネルプレートと、前記マイクロチャン
ネルプレートで増倍された電子を検出する検出器を備え
る光子検出装置において、前記マイクロチャンネルプレ
ート中の各チャンネル内部の入力部の管壁を円周方向に
分割して、各分割された対応する領域に分光感度の異な
る光電子放出層を形成し、放射源に対してマイクロチャ
ンネルプレートを傾斜させ、励起される光電子放出層を
選択できるように構成したことを特徴とする分光感度が
選択可能な光子検出装置。 （２）前記マイクロチャンネルプレートで増倍された電
子を検出する検出器はマイクロチャンネルプレートの出
力面に対向させられた螢光面と、前記螢光面の輝きを光
電変換する変換装置である特許請求の範囲第１項記載の
分光感度が選択可能な光子検出装置。 （３）前記各光電子放出層は、蒸着により形成される特
許請求の範囲第１項記載の分光感度が選択可能な光子検
出装置。 （４）前記各光電子放出層はＣｓｌおよびＲｂＢｒであ
って真空紫外およびＸ線の検出に利用される特許請求の
範囲第１項記載の分光感度が選択可能な光子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18877083A JPS6080726A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 分光感度が選択可能な光子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18877083A JPS6080726A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 分光感度が選択可能な光子検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6080726A true JPS6080726A (ja) | 1985-05-08 |
| JPH0521191B2 JPH0521191B2 (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16229469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18877083A Granted JPS6080726A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 分光感度が選択可能な光子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6080726A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270234A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-09 | Toshiba Corp | 無効電力補償装置 |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP18877083A patent/JPS6080726A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270234A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-09 | Toshiba Corp | 無効電力補償装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521191B2 (ja) | 1993-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4608572B2 (ja) | 蛍光体 | |
| US4454422A (en) | Radiation detector assembly for generating a two-dimensional image | |
| US4937455A (en) | Position-sensitive director | |
| JP4562844B2 (ja) | 光電陰極及び電子管 | |
| WO2015182641A1 (ja) | 逆光電子分光装置 | |
| US5623141A (en) | X-ray image intensifier with high x-ray conversion efficiency and resolution ratios | |
| US6477226B1 (en) | X-ray analysis device with X-ray optical semi-conductor construction element | |
| US4100445A (en) | Image output screen comprising juxtaposed doped alkali-halide crystalline rods | |
| US4691099A (en) | Secondary cathode microchannel plate tube | |
| JPS6080726A (ja) | 分光感度が選択可能な光子検出装置 | |
| JP3955836B2 (ja) | ガス比例計数管及び撮像システム | |
| Francke et al. | Novel position-sensitive gaseous detectors with solid photocathodes | |
| JPH0510946A (ja) | 細胞解析装置 | |
| Xie et al. | Large area planar photocathode for MCP-based photodetectors | |
| GB2042255A (en) | Image intensifier | |
| JPH0817388A (ja) | 電子管 | |
| JP2000019255A (ja) | 放射線検出器 | |
| CN108369888B (zh) | 光电倍增器及其制作方法 | |
| US20020113551A1 (en) | Light conversion and detection of visible light | |
| RU2095883C1 (ru) | Газовый электролюминесцентный детектор | |
| JPH11102658A (ja) | 光検出管 | |
| Peskov et al. | Glass capillary tubes as a high granularity gaseous detector of photons and charged particles | |
| JP3315212B2 (ja) | 微弱発光測定装置 | |
| Halvorson et al. | High energy photocathodes for laser fusion diagnostics | |
| Sekiya | Development of a large area gas photomultiplier with GEM/$\mu $ PIC |