JPS6077948U - 移動式エンバイロメンタルチヤンバ− - Google Patents

移動式エンバイロメンタルチヤンバ−

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Publication number
JPS6077948U
JPS6077948U JP17022283U JP17022283U JPS6077948U JP S6077948 U JPS6077948 U JP S6077948U JP 17022283 U JP17022283 U JP 17022283U JP 17022283 U JP17022283 U JP 17022283U JP S6077948 U JPS6077948 U JP S6077948U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
small space
air
unit
environmental chamber
vertical wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17022283U
Other languages
English (en)
Inventor
克明 矢部
興津　賢一
仁志 井上
神杉　恵助
隆 佐々木
澗随　康弘
Original Assignee
高砂熱学工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 高砂熱学工業株式会社 filed Critical 高砂熱学工業株式会社
Priority to JP17022283U priority Critical patent/JPS6077948U/ja
Publication of JPS6077948U publication Critical patent/JPS6077948U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Air-Conditioning Room Units, And Self-Contained Units In General (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は工場内大空間内に恒温恒湿の小空間を必要とす
る場合を説明するための略縦断面図、第２図は第１図と
同様の略平面図、第３図は本考案によって形成されるエ
ンバイロメンタルチャンバーの一例を示す略縦断面図、
第４図は同様の例を示す略平面図、第５図は第４図同様
の他め例を示す略平面図、第６図は本考案に従う可搬式
垂直壁面体ユニットの例を示す略縦断面図、第７図は本
　′考案に従う可搬式垂直壁面体ユニットの他の例を示
す略縦断面図、第８図は本考案に従う可搬式垂直壁面体
ユニットのさらに他の例を示す略縦断面図である。 １・・・恒温恒湿を必要とする小空間、２・・・機器類
、３・・・可搬式垂直壁面体ユニット、４・・・エンバ
イロメンタルチャンバー、５・・・カーテン、６・・・
空気冷却器、７・・・電気ヒータ、８・・・ファン、１
ｏ・・・空気吹出口、１１・・・空気吸込口、１２・・
・キャスター、１３・・・凝縮器、１５・・・仕切板、
１６・・・圧縮機、１７・・・フィルター、１８・・・
バイパスダンパ、２１・・・フィルター。−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 建物内大空間の床上部に周囲温湿度とは隔離された特定
    温湿度の小空間を形成するための装置であって、この小
    空間を取り巻く側面め一方ないし多数力の壁を可搬式垂
    直壁面体ユニットで形成するエンバイロメンタルチャン
    バーにおいソ、該可搬式垂直壁面体ユニットの内部に空
    気冷却器、空気加熱器およびファンを設置し、この可搬
    式垂直壁面体ユニットの前記小空間に面する前面上部に
    該小空間の空気をこのユニット内に取り入れる空気吸込
    口を、またこのユニットの小空間に面する前面下部にユ
    ニット内から小空間に空気を吹き出す空気吹出口を取付
    けたことを特徴とする移動式エンバイロメンタルチャン
    バー。
JP17022283U 1983-11-02 1983-11-02 移動式エンバイロメンタルチヤンバ− Pending JPS6077948U (ja)

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JP17022283U JPS6077948U (ja) 1983-11-02 1983-11-02 移動式エンバイロメンタルチヤンバ−

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JP17022283U JPS6077948U (ja) 1983-11-02 1983-11-02 移動式エンバイロメンタルチヤンバ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6077948U true JPS6077948U (ja) 1985-05-31

Family

ID=30371659

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17022283U Pending JPS6077948U (ja) 1983-11-02 1983-11-02 移動式エンバイロメンタルチヤンバ−

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JP (1) JPS6077948U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0271034A (ja) * 1988-09-05 1990-03-09 Nec Corp 半導体ウェハー処理装置
JP2011247492A (ja) * 2010-05-27 2011-12-08 Takenaka Komuten Co Ltd クリーンルーム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4935318A (ja) * 1972-08-01 1974-04-01
JPS5427770A (en) * 1977-08-04 1979-03-02 Takasago Thermal Engineering Constant temperature clean bench

Patent Citations (2)

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