JPS6075458U - スパツタガンの水抜き装置 - Google Patents

スパツタガンの水抜き装置

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JPS6075458U
JPS6075458U JP16709383U JP16709383U JPS6075458U JP S6075458 U JPS6075458 U JP S6075458U JP 16709383 U JP16709383 U JP 16709383U JP 16709383 U JP16709383 U JP 16709383U JP S6075458 U JPS6075458 U JP S6075458U
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JP
Japan
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draining device
pipe
sputter gun
water draining
spatsuta
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JP16709383U
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Inventor
吉門　大和
Original Assignee
株式会社徳田製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の水抜き装置を示す概略系統図、第２図は
本考案の一実施例を示す概略系統図である。 １・・・スパッタガン、２・・・給水口、３・・・排水
口、４・・・給水管、５，１２・・・電磁弁、６，８・
・・三方弁、７・・・排水管、９・・・フロースイッチ
、１０・・・排気管、１１・・・給気管、１３・・・逆
止弁、１４・・・コントローラ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スパッタガンに冷却水の給水管および排水管をそれぞれ
    接続し、上記排水管に接続される給気管と、上記給水管
    から分岐しそ上記排水管に接続される排気管とを設け、
    スパッタガンの水抜き時に上記給気管からスパッタガン
    に空気を送り上記排気管および排水管を介して冷却水を
    排出するようにしたスパッタガンの水抜き装置において
    、上記各配管の中途部に遠隔操作可能な電磁弁を配設す
    るとともに、これら各電磁弁の下流側に逆止弁をつれぞ
    れ設けたことを特徴とするスパッタガンの水抜き装置。
JP16709383U 1983-10-28 1983-10-28 スパツタガンの水抜き装置 Granted JPS6075458U (ja)

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JP16709383U JPS6075458U (ja) 1983-10-28 1983-10-28 スパツタガンの水抜き装置

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JP16709383U JPS6075458U (ja) 1983-10-28 1983-10-28 スパツタガンの水抜き装置

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Publication Number Publication Date
JPS6075458U true JPS6075458U (ja) 1985-05-27
JPH0238929Y2 JPH0238929Y2 (ja) 1990-10-19

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ID=30365653

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JP16709383U Granted JPS6075458U (ja) 1983-10-28 1983-10-28 スパツタガンの水抜き装置

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JPH0238929Y2 (ja) 1990-10-19

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