JPS6074736U - 半導体洗浄用純水配管構造 - Google Patents

半導体洗浄用純水配管構造

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JPS6074736U
JPS6074736U JP16898683U JP16898683U JPS6074736U JP S6074736 U JPS6074736 U JP S6074736U JP 16898683 U JP16898683 U JP 16898683U JP 16898683 U JP16898683 U JP 16898683U JP S6074736 U JPS6074736 U JP S6074736U
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JP
Japan
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pure water
piping structure
semiconductor cleaning
piping
water piping
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Application number
JP16898683U
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English (en)
Inventor
尚博 清水
Original Assignee
東洋電機製造株式会社
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Publication date
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  • Cleaning In General (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案の一実施例の要部構成を示
す系統図およびその動作説明図である。 １・・・・・・純水給水配管、２・・・・・・給水管、
３・・・・・・給水バルブ、４・・・・・・蛇口、７・
・・・・・給気バルブ、５・・・・・・窒素ガス源、８
，８′・・・・・・水滴、Ａ、Ａ’　。 Ａ″・・・・・・純水の流れ、Ｂ、　Ｂ’・・・・・・
窒素ガスの流れ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体洗浄のための純水を得る配管構造におい□　　て
    、前記純水を取り出す蛇口から給水バルブに到る配管に
    、この配管内壁に残留する残留する水滴を吹き飛ばすた
    めの気体を導入する導入管およびその導入バルブを設け
    て成ることを特徴とする半導体洗浄用純水配管構造。
JP16898683U 1983-10-31 1983-10-31 半導体洗浄用純水配管構造 Pending JPS6074736U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022509482A (ja) * 2018-10-24 2022-01-20 ナノサイズド、スウェーデン、アクチボラグ 半導体製造のための方法および構成

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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