JPS6070795A - Method of producing printed circit board - Google Patents

Method of producing printed circit board

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Publication number
JPS6070795A
JPS6070795A JP17746183A JP17746183A JPS6070795A JP S6070795 A JPS6070795 A JP S6070795A JP 17746183 A JP17746183 A JP 17746183A JP 17746183 A JP17746183 A JP 17746183A JP S6070795 A JPS6070795 A JP S6070795A
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JP
Japan
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printed wiring
wiring board
adhesive
photoresist
adhesive layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP17746183A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
火神 正雄
金子 與道
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Electric Industrial Co Ltd filed Critical Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS6070795A publication Critical patent/JPS6070795A/en
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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、プリント配線用基板に回路パターンが印刷
されたプリント配線板の製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a printed wiring board in which a circuit pattern is printed on a printed wiring board.

プリント配線板の製造において、化学整面または機械整
面されたプリント配線用基板にフォトレジストを積層す
る際には、この基板表面を除塵しながら行う。従来のこ
の除塵方法としては、着用している手袋やレコードクリ
ーナーなどで基板表面の異物をはらいのけることか行わ
れているが、銅メッキしたエツジの部分に手袋などがひ
っかかって繊維くすなどが生じる欠点があり、これは特
に両面スルーホール基板の場合に顕著である。
In the manufacture of printed wiring boards, when a photoresist is laminated onto a printed wiring board that has been chemically or mechanically leveled, dust is removed from the surface of the substrate. The conventional dust removal method is to use gloves or a record cleaner to remove foreign matter from the board surface, but the gloves may get caught on the copper-plated edges and fibers and debris may be left behind. There are drawbacks that arise, particularly in the case of double-sided through-hole substrates.

そこで、近年、このような除塵方法に代わりイオン化し
た空気を基板に吹きつけながら真空吸引する方法が提案
されているが、こめ方法では小さな異物は充分に取り除
けるが大きな異物を取り除くことは困難である。
Therefore, in recent years, a method of vacuum suction while blowing ionized air onto the substrate has been proposed as an alternative to this dust removal method.However, although the dust removal method can sufficiently remove small foreign objects, it is difficult to remove large foreign objects. .

そこで、このような問題を解決する方法として、天然ゴ
ム系の感圧性粘着テープを基板表面に貼着したのちこの
テープを剥離することにより除塵する方法も考えられる
か、通常の感圧性粘着テープを使用すると、このテープ
の粘着力か大きいため基板からのテープの剥離作業性が
低く、また基板上にのり残りして鮮明な画像形成を妨げ
ることかある。さらにテープによっては一基板表面を汚
染してフォトレジストの基板表面への密着性を低下させ
、現像時にフォトレジストが剥がれたり−エッチング時
にエツチング液が浸み込んで回路パターンの断線が生じ
たりすることがある。
Therefore, as a way to solve this problem, it is possible to remove dust by attaching a pressure-sensitive adhesive tape made of natural rubber to the surface of the board and then peeling it off. When used, the adhesive strength of this tape is high, making it difficult to peel the tape from the substrate, and it may remain on the substrate, interfering with the formation of clear images. Furthermore, depending on the tape, it may contaminate the surface of a substrate, reducing the adhesion of the photoresist to the substrate surface, causing the photoresist to peel off during development, or the etching solution to seep in during etching, causing disconnections in the circuit pattern. There is.

これに対して、天然ゴム系の表面保護用粘着テープを使
用すると、このテープの粘着力は小さいので前記の剥離
作業性やのり残りの問題はないが一基板表面の汚染の問
題が残るとともに除塵効果が減少するため実用的ではな
い。
On the other hand, when natural rubber-based adhesive tape for surface protection is used, the adhesive force of this tape is low, so there is no problem with peeling workability or residual adhesive, but there is still the problem of contamination of the substrate surface and dust removal. Not practical due to reduced effectiveness.

そこで、この発明者らは、フォトレジストを積層する際
の基板表面の除塵のために適した感圧性粘着テープにつ
いて検討した結果、この発明をなすに至った。
Therefore, the inventors studied a pressure-sensitive adhesive tape suitable for removing dust from the surface of a substrate when photoresist is laminated, and as a result, they came up with the present invention.

すなわち、この発明の方法は−プリント配線板の製造に
おいて−フオトレジストを積層する前のプリント配線用
基板表面の除塵を、粘着層がa)塩素化ポリオレフィン
および/または塩化コム、 b)アクリル酸アルキルエステルまたはメククリル酸ア
ルキルエステル系ポリマーおよびC)テレフタル酸とエ
チレンクリコールとこれら以外の二塩基酸ないし二価ア
ルコールとからなる平均分子量が約3万以下でかつ分子
末端にカルボキシル基ないし水酸基を有する線状飽和ポ
リエステル の中から選ばれた少なくとも一種の皮膜形成性高分子物
質とエチレン性不飽和重合性化合物とを必須成分として
含み、この粘着剤層の厚みが5〜100μmで粘着力が
50〜1,5009725mm幅(30℃)である粘着
テープを前記基板表面に密着させたのち剥離することに
より行うことを特徴とするプリント配線板の製造方法に
係るものである。
That is, the method of the present invention - in the production of printed wiring boards - removes dust from the surface of a printed wiring board before laminating a photoresist, when the adhesive layer is made of a) chlorinated polyolefin and/or chloride comb, b) alkyl acrylate. A line consisting of an ester or meccrylic acid alkyl ester polymer and C) terephthalic acid, ethylene glycol, and a dibasic acid or dihydric alcohol other than these, with an average molecular weight of about 30,000 or less and having a carboxyl group or a hydroxyl group at the molecular end. The adhesive layer contains at least one film-forming polymeric substance selected from saturated polyesters and an ethylenically unsaturated polymerizable compound as essential components, and the adhesive layer has a thickness of 5 to 100 μm and an adhesive strength of 50 to 1 , 5009725 mm width (30° C.) is applied to the substrate surface and then peeled off.

この発明の方法によると、除塵用の粘着テープの粘着力
および粘着剤層の厚みを前記のように特定することによ
り−このテープを基板に粘着したのちの剥離を作業性よ
く行うことができるとともに異物のとり残しがないため
−きわめて簡便で効果的に除塵が行える。
According to the method of the present invention, by specifying the adhesive strength of the adhesive tape for dust removal and the thickness of the adhesive layer as described above, it is possible to peel off the tape after adhering it to a substrate with good workability, and Dust removal is extremely simple and effective because no foreign matter is left behind.

またーこの粘着テープの粘着剤層に必須成分として含ま
れる前記の皮膜形成性高分子物質およびエチレン性不飽
和重合性化合物はいずれもフォトレジストを構成する成
分として知られているものであり、このような成分を含
ませることにより粘着剤層の組成をフォトレジストの組
成と同一または類似したものとしているため基板表面を
汚染することもなく、たとえこの粘着テープの剥離時に
のり残りを生じても、次の工程で積層されるフォトレジ
ストとなじみがよいため一体化してフォトレジストの基
板に対する密着性を低下させることかない。
Furthermore, the film-forming polymeric substance and ethylenically unsaturated polymeric compound contained as essential components in the adhesive layer of this adhesive tape are both known as components constituting photoresists. By including these ingredients, the composition of the adhesive layer is the same or similar to that of the photoresist, so it does not contaminate the substrate surface, and even if adhesive remains when the adhesive tape is peeled off, Since it is compatible with the photoresist that will be laminated in the next step, it will not become integrated with the photoresist and reduce the adhesion of the photoresist to the substrate.

これらにより、この発明の方法によると除塵工程に起因
する回路パターンの断線不良などかなくなるためプリン
ト配線板の製造時の信頼性を大[1〕に向上させること
ができる。
As a result, according to the method of the present invention, disconnection defects in circuit patterns caused by the dust removal process are eliminated, so that the reliability during manufacturing of printed wiring boards can be greatly improved [1].

プリント配線板の製造において用いられるフォトレジス
トには一基板への積層方法によっテトライフイルムレジ
ストと液状レジストがあり、また現像方法によって溶液
現像型と剥離現像型のものがあるが−これらは一般に皮
膜形成性高分子物質−エチレン性不飽和重合性化合物お
よび光重合開始剤を含む光重合性組成物からなる。
Photoresists used in the manufacture of printed wiring boards include tetrafilm resists and liquid resists, depending on the method of laminating them onto a single substrate, and there are solution development types and peel-off development types, depending on the development method. Film-forming polymeric substance - consisting of a photopolymerizable composition containing an ethylenically unsaturated polymerizable compound and a photopolymerization initiator.

この発明の方法においては、除塵用の粘着テープの粘着
剤層の成分として、一般にフォトレジストを構成する皮
膜形成性高分子物質のうち前記のようなa、b、C成分
のうちの少なくとも1種とエチレン性不飽和重合性化合
物とを必須成分として含まぜて、フォトレジストの組成
と同一あるいは類似なものとする。さらに30°Cでの
粘着力を50〜1,500g/25rRm幅、好ましく
は100〜500り/25厘幅とするために必要に応じ
て、通常フォトレジスト用の添加剤として用いられる各
種の添加剤を含ませる。
In the method of the present invention, at least one of the above-mentioned components a, b, and c among film-forming polymeric substances that generally constitute a photoresist is used as a component of the adhesive layer of the adhesive tape for dust removal. and an ethylenically unsaturated polymerizable compound as essential components, making the composition the same as or similar to that of a photoresist. Furthermore, in order to adjust the adhesive strength at 30°C to 50 to 1,500 g/25 rRm, preferably 100 to 500 r/25 rRm, various additives commonly used as additives for photoresists may be added as necessary. impregnate with the agent.

なお、この明細書中でいう粘着力とは、清浄化した銅ガ
ラスエポキシ積層板の銅箔表面に一25mm幅に切断し
た粘着テープを25°Cてロール加圧して貼り合わせ、
東洋ホールドウィン■製のテンシロン万能試験機UTM
−15000Bを用いて、弓1張速度500mm/分で
30°Cでの180°剥離接着力を測定した値であり、
除塵用の粘着テープのこの粘着力が50P/25+++
+++幅未満ては除塵効果か低く、また1、500 y
/ 25sTn幅を超えるとこの粘着テープの剥離作業
性が低くなるため好ましくない。
In addition, the adhesive strength in this specification refers to adhesive tape cut into 25 mm widths that is attached to the copper foil surface of a cleaned copper glass epoxy laminate by rolling and pressing at 25°C.
Tensilon universal testing machine UTM manufactured by Toyo Holdwin ■
-15000B, the 180° peel adhesive strength was measured at 30°C at a bow tensioning speed of 500 mm/min,
The adhesive strength of the adhesive tape for dust removal is 50P/25+++
If the width is less than +++, the dust removal effect will be low, and if the width is less than 1,500 y
/25sTn width is not preferable because the peelability of this adhesive tape becomes low.

前記のa成分として用いられる塩素化ポリオレフィンは
ポリオレフィンを塩素化することにより得られるもので
、塩素化ポリエチレン−塩素化ポリプロピレンなどが好
ましい。このa成分としては塩素化ポリオレフィンと塩
化ゴムとを混合して使用してもよいし、いずれかを単独
で使用してもよい。
The chlorinated polyolefin used as the above component a is obtained by chlorinating polyolefin, and chlorinated polyethylene-chlorinated polypropylene and the like are preferable. As component a, a mixture of chlorinated polyolefin and chlorinated rubber may be used, or either one may be used alone.

前記のb成分として用いられるアクリル酸アルキルエス
テルまたはメタクリル酸アルキルエステル系ポリマーと
じては、アルキル基かメチル基−エチル基−プロビル基
などのアクリル酸アルキルエステル ステルのホモポリマーや共重合体のはかーこれらエステ
ルとこれと共重合可能なビニル糸上ツマ−との共重合体
か含まれる。
The acrylic acid alkyl ester or methacrylic acid alkyl ester-based polymer used as the above-mentioned component b is a homopolymer or copolymer of an acrylic acid alkyl ester such as an alkyl group or a methyl group, an ethyl group, and a probyl group. Copolymers of these esters and vinyl yarn yarns copolymerizable with these esters are included.

これらa成分およびb成分はフォトレジストを構成する
皮膜形成性高分子物質として汎用されるものである。
These components a and b are commonly used as film-forming polymeric substances constituting photoresists.

前記のC成分の市販品の具体例を挙けれは、東洋紡績■
製の商品名パイロン−200 、−300〜グツドイヤ
ー■製の商品名ヒテ/L/PE−200。
A specific example of a commercially available product containing component C is Toyobo ■
Product name: Pylon-200, -300 manufactured by Gutsdoyer ■ Product name: Hite/L/PE-200.

PE−207’,PE−222、デュポン■製の商品名
アドヘシブー46950,−46960,−46981
PE-207', PE-222, Adhesive 46950, -46960, -46981 manufactured by DuPont ■
.

−49000,−49001,−49002、日立化成
工業■製の商品名ニスペルー1510 、−1311な
どが挙けられる。
-49000, -49001, -49002, Nisperu 1510, -1311 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., and the like.

このC成分を粘着剤層に含ませると、粘着テープの支持
体としてとくにポリエチレンテレフタレートからなるフ
ィルムを使用した場合に、このフィルムがとの粘着剤層
と非常に良好に接着するため、除塵の際に粘着テープが
基板表面にのり残りを生じることがなく好ましい。
When this component C is included in the adhesive layer, especially when a film made of polyethylene terephthalate is used as a support for the adhesive tape, this film will adhere very well to the adhesive layer, so during dust removal. It is preferable that the adhesive tape does not leave adhesive residue on the substrate surface.

前記のエチレン性不飽和重合性化合物はエチレン性不飽
和結合を1個ないし2個以上有する公知の化合物を広く
適用できる。エチレン性不飽和結合を1個有するものと
しては、たとえはアクリル酸ないしアクリル酸エステル
類、メタクリル酸ないしメタクリル酸エステル類、アク
リルアミド類、メタクリルアミド類、アリル化合物類、
ビニルエーテル類、ビニルエステル類、N−ビニル化合
物、スチレン類−クロトン酸エステル類などかある。
As the ethylenically unsaturated polymerizable compound, a wide variety of known compounds having one or more ethylenically unsaturated bonds can be used. Examples of those having one ethylenically unsaturated bond include acrylic acid or acrylic esters, methacrylic acid or methacrylic esters, acrylamides, methacrylamides, allyl compounds,
Examples include vinyl ethers, vinyl esters, N-vinyl compounds, and styrene-crotonic acid esters.

ここでヘアクリル酸エステル類の具体例としては、アク
リル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル
、アクリル酸エチルへキシル−アクリル酸オクチルなど
のアクリル酸アルキルエステル 例としてはーメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル
、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸イソプロピルな
どのメタクリル酸アルキルエステルが挙けられる。アク
リルアミド類としてはーアクリルアミドのはかーNーメ
チルアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−
ブチルアクリルアミド、N−イソプロピルアクリルアミ
ド、N−t−ブチルアクリルアミド、N−エチルヘキシ
ルアジ゛リルアミドなどのN−アルキル ドなどがある。メタクリルアミド類としてCヨ、メタク
リルアミドのほか、N−メチルメタクリルアミド ロピルメタクリルアミド、N−し−フ゛チルメタクリル
アミド、N−エチルヘキシルメククリルアミドなどのN
−アルキルメタクリルアミドげられる。アリル化合物類
としては、酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸
アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリルなどの
アリルエステルがあり、またビニルエーテル類としては
、ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、
デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル
などのアルキルビニルエーテルが挙げられる。
Specific examples of hair acrylates include propyl acrylate, butyl acrylate, amyl acrylate, ethylhexyl acrylate-octyl acrylate, and examples of acrylic acid alkyl esters include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, Examples include alkyl methacrylates such as propyl methacrylate and isopropyl methacrylate. Examples of acrylamides include - the scale of acrylamide - N-methylacrylamide, N-ethylacrylamide, N-
Examples include N-alkylds such as butylacrylamide, N-isopropylacrylamide, N-t-butylacrylamide, and N-ethylhexylazilylamide. Methacrylamides include C, methacrylamide, N-methylmethacrylamidropylmethacrylamide, N-methylmethacrylamide, N-ethylhexylmeccrylamide, etc.
-Alkyl methacrylamide is removed. Allyl compounds include allyl esters such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, and allyl palmitate, and the vinyl ethers include hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether,
Examples include alkyl vinyl ethers such as decyl vinyl ether and ethylhexyl vinyl ether.

また、ビニルエステル類としては、ビニルブチレート、
ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテート、
ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート−ビニル
カプロエートなどが挙げられ、スチレン類としては、ス
チレンのはか−メチルスチレン、クロルメチル化スチレ
ン、アルコキシスチレン、ハロゲン化スチレン、安息香
酸スチレンなどかある。さらにクロトン酸エステル類と
しては、クロトン酸メチル−クロトン酸エチル、クロト
ン酸ブチル、クロトン酸ヘキシル、クロトン酸イソプロ
ピルなどが挙げられる。
In addition, vinyl esters include vinyl butyrate,
vinyl isobutyrate, vinyl trimethyl acetate,
Vinyl diethyl acetate, vinyl valerate-vinyl caproate, etc., and examples of styrenes include styrene-based methylstyrene, chloromethylated styrene, alkoxystyrene, halogenated styrene, and benzoic styrene. Furthermore, examples of crotonate esters include methyl crotonate-ethyl crotonate, butyl crotonate, hexyl crotonate, isopropyl crotonate, and the like.

エチレン性不飽和結合を2個以上有する化合物は、前記
エチレン性不飽和結合を1個有する化合物よりもより好
ましく使用される。これに属するものとしては一多価ア
ルコールとアクリル酸ないしメタクリル酸とのエステル
類があり、ジ(メタ)アクリレートないしそれり、上の
ポリ(メタ)アクリレートが用いられる。上記多価アル
コールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロピ
レングリコール、ポリブチレンオキシド、((j−ヒド
ロキシエトキシ)ベンゼン、グリセリン、ジグリセリン
、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、
トリメチロールプロパン、ペンタタン、ソルビトール、
1・4−ブタンジオール、124−ブタントリオーノペ
2−ブテンート4−ジオール、2−−メチル−2−エチ
ル−プロパンジオール、2−ブテン−14−ジオ−ルー
ト3−プロパンジオール−トリエタノールアミン、デカ
リンジオール、3−クロル−12−プロパンジオールな
どがある。その他−多価アルコールと多塩基性酸とから
合成される分子中に1個以上の水酸基を有する比較的分
子量の低いポリエステルの上記水酸基にアクリル酸ない
しメタクリル酸を反応させてなるオリゴエステルアクリ
レートまたはオリゴエステルメタクリレートなども使用
できる。この市販品としては、たとえば東亜合成■製の
商品名アロエックスM−5500,−5700゜=61
00.−6300.−8030.−8060 などが挙
げられる。また上記のほかアクリル化エポキシ樹脂など
も用いられる。
A compound having two or more ethylenically unsaturated bonds is more preferably used than a compound having one ethylenically unsaturated bond. Those belonging to this category include esters of monopolyhydric alcohols and acrylic acid or methacrylic acid, and di(meth)acrylates or poly(meth)acrylates are used. The polyhydric alcohols include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polybutylene oxide, ((j-hydroxyethoxy)benzene, glycerin, diglycerin, neopentyl glycol, trimethylolpropane,
trimethylolpropane, pentatane, sorbitol,
1,4-butanediol, 124-butanetrionopene 2-butenoto-4-diol, 2-methyl-2-ethyl-propanediol, 2-butene-14-dio-root 3-propanediol-triethanolamine, Examples include decalin diol and 3-chloro-12-propanediol. Others - Oligoester acrylate or oligoester obtained by reacting acrylic acid or methacrylic acid with the hydroxyl group of a relatively low molecular weight polyester having one or more hydroxyl groups in the molecule synthesized from polyhydric alcohol and polybasic acid. Ester methacrylates and the like can also be used. As this commercially available product, for example, AROEX M-5500 manufactured by Toagosei ■, -5700°=61
00. -6300. -8030. -8060 etc. In addition to the above, acrylic epoxy resins may also be used.

上記の如きエチレン性不飽和重合性化合物は、一種であ
っても二種以上を併用したものであってもよいが、使用
量としては、前述した皮膜形成性高分子物質100重量
部に対して通常10〜300重量部、好ましくは50〜
200重量部の範囲で使用するのがよい。
The above-mentioned ethylenically unsaturated polymerizable compounds may be used alone or in combination of two or more, but the amount used is based on 100 parts by weight of the above-mentioned film-forming polymeric substance. Usually 10 to 300 parts by weight, preferably 50 to 300 parts by weight
It is preferable to use it in a range of 200 parts by weight.

この発明の方法において用いる除塵用の粘着テープの粘
着剤層は上記のような皮膜形成性高分子物質とエチレン
性不飽和重合性化合物を必須成分として含むが、これに
さらに粘着力の調整など必要に応じて光重合開始剤、熱
重合禁止剤、充填剤などの添加剤を配合する。
The adhesive layer of the adhesive tape for dust removal used in the method of this invention contains the above-mentioned film-forming polymeric substance and ethylenically unsaturated polymeric compound as essential components, but it is necessary to further adjust the adhesive strength. Additives such as photopolymerization initiators, thermal polymerization inhibitors, and fillers are added according to the requirements.

光重合開始剤としては、カルボニル化合物、有機硫黄化
合物、過酸化物、レドックス系化合物、アゾおよびジア
ゾ化合物、ハロゲン化合物−光還元性色素などがある。
Examples of photopolymerization initiators include carbonyl compounds, organic sulfur compounds, peroxides, redox compounds, azo and diazo compounds, and halogen compounds-photoreducible dyes.

代表的な具体例を挙げれば、カルボニル化合物として、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイ
ソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、
ベンジルジメチルケタール−ヘンシフエノン−アントラ
キノン−2−メチルアントラキノン、2−(−ブチルア
ントラキノン、910−フェナントレンキノン、ジアセ
チル−ベンジルなどがある。また有機硫黄化合物として
は、ジブチルジスルフィド、ジオクチルジスルフィド、
ジベンジルジスルフィド、ジフェニルジスルフィド、ジ
ベンゾイルジスルフィド、ジアセチルジスルフィドなど
がある。過酸化物としては、過酸化水素、ジー【−ブチ
ルペルオキシド、過酸化ベンゾイル、メチルエチルケト
ンペルオキシFなどが挙げられる。さらにレドックス系
化合物は、過酸化物と還元剤との組合せからなるもので
あり、第一鉄イオンと過酸化水素−第一鉄イオンと過硫
酸イオン、第二鉄イオンと過酸化物などがある。
To give a typical example, as a carbonyl compound,
Benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether,
Examples include benzyl dimethyl ketal-hensiphenone-anthraquinone-2-methylanthraquinone, 2-(-butylanthraquinone, 910-phenanthrenequinone, diacetyl-benzyl, etc.).Organic sulfur compounds include dibutyl disulfide, dioctyl disulfide,
Examples include dibenzyl disulfide, diphenyl disulfide, dibenzoyl disulfide, and diacetyl disulfide. Examples of peroxides include hydrogen peroxide, di[-butyl peroxide, benzoyl peroxide, and methyl ethyl ketone peroxy F. Furthermore, redox compounds consist of a combination of a peroxide and a reducing agent, and include ferrous ions and hydrogen peroxide - ferrous ions and persulfate ions, ferric ions and peroxides, etc. .

アゾおよびジアゾ化合物としては、α・α′−アゾビス
イソブチロニトリル、2−アゾビス−2−メチルブチロ
ニトリル、1−アゾビス−シクロヘキサンカルボニトリ
ル、P−アミノジフェニルアミンのジアゾニウム塩など
がある。ハロゲン化合物としては、クロルメチルナフチ
ルクロリド、フェナシルクロリド、クロルアセトン、β
−ナフタレンスルホニルクロリド、キシレンスルホニル
クロリドなどを挙げることができる。また光還元性色素
トシては一ローズベンガル、エリスロシン、エオシン、
アクリフラビン、リボフラビン、チオニンなどがある。
Examples of azo and diazo compounds include .alpha..alpha.'-azobisisobutyronitrile, 2-azobis-2-methylbutyronitrile, 1-azobis-cyclohexanecarbonitrile, and diazonium salts of P-aminodiphenylamine. Halogen compounds include chloromethylnaphthyl chloride, phenacyl chloride, chloroacetone, β
-Naphthalenesulfonyl chloride, xylenesulfonyl chloride, etc. can be mentioned. In addition, photoreducible pigments include rose bengal, erythrosin, eosin,
These include acriflavin, riboflavin, and thionin.

上述した光重合開始剤は一種であっても二種以上を組み
合せて使用してもよい。その使用量は、エチレン性不飽
和重合性化合物100重量部に対して通常0.1〜20
重量部の範囲とするのが望ましい。
The photopolymerization initiators mentioned above may be used alone or in combination of two or more. The amount used is usually 0.1 to 20 parts by weight per 100 parts by weight of the ethylenically unsaturated polymerizable compound.
It is desirable that the amount be within the range of parts by weight.

熱重合禁止剤としては、パラメトキシフェノール、ヒド
ロキノン、アルキル基またはアリール基置換ヒドロキノ
ン、t−ブチルカテコール、ピロガロール−塩化第−銅
一フエッチアジン、フロラニール、ナフチルアミン、β
−ナフトール、26−ジーL−ブチル−P−クレゾール
、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、P−
トルイジン−メチレンブルー、酢酸銅の如き有機酸銅な
どがある。これらの熱重合禁止剤はエチレン性不飽和重
合性化合物100重量部に対して通常0.001〜5重
量部の範囲で用いられる。
Thermal polymerization inhibitors include paramethoxyphenol, hydroquinone, alkyl group- or aryl group-substituted hydroquinone, t-butylcatechol, pyrogallol-cupric chloride-monofetthiazine, floranil, naphthylamine, β
-Naphthol, 26-di-L-butyl-P-cresol, pyridine, nitrobenzene, dinitrobenzene, P-
Examples include toluidine-methylene blue and organic acid copper such as copper acetate. These thermal polymerization inhibitors are generally used in an amount of 0.001 to 5 parts by weight per 100 parts by weight of the ethylenically unsaturated polymerizable compound.

また−充填剤としては、炭酸カルシウム、クレー、粉末
シリカ、タルクなどが挙けられる。この添加量としては
組成物全体の50重量%す、下とするのがよい。
Also, fillers include calcium carbonate, clay, powdered silica, talc, and the like. The amount added is preferably less than 50% by weight of the entire composition.

このように構成された粘着剤組成物を通常溶媒に溶解し
、これを支持体上にキャスティングしたのち、乾燥する
ことにより、5〜1oottmw−み、とくに好適には
10〜5oI1m厚み程度の粘着剤層を形成する。この
厚みが51tm未満ては除塵効果が低くなるため好まし
ぐない、また100μmを超えるとのり残りしやすくな
り好ましくない。
The pressure-sensitive adhesive composition thus constituted is usually dissolved in a solvent, cast on a support, and then dried to form a pressure-sensitive adhesive with a thickness of about 5 to 1 m, preferably 10 to 5 oI, about 1 m thick. form a layer. If the thickness is less than 51 tm, the dust removal effect will be low, which is not preferable, and if it exceeds 100 μm, it will tend to leave residue, which is not preferable.

上記支持体としてはポリエチレンテレフタレート、ポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニルなどのプラ
スチックフィルムまたは紙などを使用する。なお、この
粘着テープの支持体と粘着剤層との接着力を高めるため
に通常行われている支持体の表面処理を行ってもよい。
As the support, a plastic film or paper such as polyethylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, etc. is used. Note that the support may be subjected to a commonly used surface treatment in order to increase the adhesive strength between the support of the adhesive tape and the adhesive layer.

この表面処理としては、たとえば下塗り層の塗設−コロ
ナ放電処理、火えん処理、紫外線照射処理−高周波照射
処理、グロー放電照射処理、活性プラズマ照射処理、レ
ーザー光線照射処理などかある。
Examples of this surface treatment include coating of an undercoat layer - corona discharge treatment, flaming treatment, ultraviolet irradiation treatment - high frequency irradiation treatment, glow discharge irradiation treatment, active plasma irradiation treatment, laser beam irradiation treatment, etc.

この発明の方法においては、上記のようにして得られた
粘着テープを化学整面または機械整面されたプリント配
線用基板の表面に密着させたのち剥離することにより基
板表面を除塵し、ついでフォトレジストをこの基板上に
積層して密着させたのち、従来公知の方法に準じてプリ
ント配線板を作製する。
In the method of the present invention, the adhesive tape obtained as described above is brought into close contact with the surface of a printed wiring board that has been chemically or mechanically surfaced, and then peeled off to remove dust from the surface of the board, and then photo After a resist is laminated and adhered to the substrate, a printed wiring board is manufactured according to a conventionally known method.

前記の粘着テープを基板表面に密着させるには、通常の
貼り合わせのほか、粘着為−プを粘着剤層が外面となる
ように巻き付けたロール状物を基板上で移動させたり、
あるいはこのロール状物とシリコーンロールとを対向さ
せてその間に基板を移動させてもよい。このようにして
密着させたのち−このテープを剥離して除塵された基板
表面にフォトレジストを積層するが、作業性の面からド
ライフィルムレジストを使用するのか好ましい。このド
ライフィルムレジストを使用する場合は一基板表面に貼
り付けたのちさらにラミネートロールなどにより加熱加
圧して完全に密着させて積層体となす。
In order to adhere the above-mentioned adhesive tape to the substrate surface, in addition to normal bonding, it is necessary to move a roll of adhesive tape wrapped around the substrate so that the adhesive layer is on the outside,
Alternatively, this roll-like material and a silicone roll may be opposed to each other, and the substrate may be moved between them. After this close contact, the tape is peeled off and a photoresist is laminated on the surface of the substrate from which dust has been removed. From the viewpoint of workability, it is preferable to use a dry film resist. When using this dry film resist, it is pasted on the surface of one substrate and then heated and pressed using a laminating roll or the like to completely adhere to it to form a laminate.

この積層体のフォトレジスト側から原画を通して活性光
線を照射しパターン形成する。ここに、用いられる活性
光線としては、200〜7QQnm、好適には350〜
45Qnmの紫外線ないし可視光線があり、これらに好
適な光源としては低圧、高圧−超高圧水銀ランプ、キセ
ノンランプ、カーボンアーク灯、ハロゲンランプ、殺菌
灯などかある。
Actinic light is irradiated through the original image from the photoresist side of this laminate to form a pattern. The active light used here is 200 to 7QQnm, preferably 350 to 7QQnm.
There are ultraviolet rays and visible rays of 45 Qnm, and suitable light sources include low-pressure, high-pressure-ultra-high pressure mercury lamps, xenon lamps, carbon arc lamps, halogen lamps, germicidal lamps, and the like.

その他、電子線、X線、レーザー光線なども有効である
In addition, electron beams, X-rays, laser beams, etc. are also effective.

この光照射後、剥離現像法あるいは溶液現像法などの公
知の現像方法により画像を形成するが、作業能率や作業
環境の面から剥離現像法を採用するのが好ましい。この
ようにして画像を形成したのち、露出した銅箔をエツチ
ングにより除去し、ついでレジスト画像をメチレンクロ
ライドなどの溶剤により除去し水洗、乾燥することによ
り所定の回路パターンを有L、除塵工程に起因する回路
断線などの不良のないプリント配線板が得られる。
After this light irradiation, an image is formed by a known development method such as a peel development method or a solution development method, but it is preferable to employ the peel development method in terms of working efficiency and working environment. After forming an image in this way, the exposed copper foil is removed by etching, and then the resist image is removed with a solvent such as methylene chloride, washed with water, and dried to form a predetermined circuit pattern. A printed wiring board without defects such as circuit breakage can be obtained.

以下(乙この発明の実施例を記載する。以下において部
とあるは重量部を示すものとする。
Hereinafter, examples of this invention will be described. In the following, parts indicate parts by weight.

実施例1 塩素化ポリエチレン(山場国策パルプ■製のスーパーク
o 7 CPE−9Q7HA )7 Q部ポリメチルメ
タクリレート(三菱レーヨン(掬製のダイヤナールBR
−75)20部線状飽和ポリエステル(東洋紡績(掬製
バイロン#200) 10部 アクリル系不飽和重合性化合物″′(東亜合成化学工業
■製アロエックスM−6]、00) 70部ペンクエリ
スリトールトリアクリレート 50部パラメトキシフェ
ノール 0,15部 メチルエチルケトン/トルエン (]/1:重量比) 400部 上記各成分を均一に溶解ないし分散させた粘着剤組成物
を25/1m厚のポリエチレンテレツクレート(東し■
製のルミラー#25)上に乾燥厚みか30μmとなるよ
うに塗布し100’で5分間加熱して粘着テープを得た
。この粘着テープの粘着力は160y/25調幅(30
′C)であった。
Example 1 Chlorinated polyethylene (Super Q 7 CPE-9Q7HA manufactured by Yamaba Kokusaku Pulp ■) 7 Q part polymethyl methacrylate (Mitsubishi Rayon (Dianal BR manufactured by Kiki)
-75) 20 parts linear saturated polyester (Toyobo Co., Ltd. (Kiki-made Byron #200) 10 parts acrylic unsaturated polymerizable compound "'" (Toagosei Kagaku Kogyo ■ Aroex M-6], 00) 70 parts Pen Erythritol Triacrylate 50 parts Para-methoxyphenol 0.15 parts Methyl ethyl ketone/toluene (]/1: weight ratio) 400 parts A pressure-sensitive adhesive composition in which each of the above components was uniformly dissolved or dispersed was prepared using a 25/1 m thick polyethylene telescope plate (Tokyo). ■
The adhesive tape was applied to a dry thickness of 30 μm on Lumirror #25) manufactured by Co., Ltd., and heated at 100°C for 5 minutes to obtain an adhesive tape. The adhesive strength of this adhesive tape is 160y/25 scale (30
'C).

次(乙この粘着テープを整面−乾燥した銅箔−がラスエ
ポキシ積層基板の銅箔面に密着させ一25°Cでロール
加圧した。この基板上の前記粘着テープを剥がしながら
アクリル酸アルキルエステル−メタクリル酸アルキルエ
ステル等の付加重合性不飽和結合を少なくとも1偏倚す
る化合物〜塩素化ポリオレフィン、塩化ビニル−酢酸ビ
ニル共重合体等の皮膜形成性高分子物質、カルボニル化
合物−過酸化物等の光重合開始剤、熱重合禁止剤、およ
び染料などからなる剥離現像型ドライフィルムレジスト
(日東゛嘔気工業■製商品名ネオドロック−■)をこの
基板の銅箔面に密着させ、25・Cでロール加圧して積
層した。この状態で回路パターン部が透明な原画を通し
て前記レジストの透明薄膜側から、3KWの超高圧水銀
ランプを用いて、60(1)の距離から20秒間パター
ン露光した。
Next, the adhesive tape was flattened (dried copper foil) and brought into close contact with the copper foil surface of the lath epoxy laminate board, and then rolled and pressed at -25°C. While peeling off the adhesive tape on this board, Compounds with at least one addition-polymerizable unsaturated bond such as ester-alkyl methacrylate esters, film-forming polymeric substances such as chlorinated polyolefins, vinyl chloride-vinyl acetate copolymers, carbonyl compounds-peroxides, etc. A peelable and developable dry film resist (product name: NEODROCK-■ manufactured by Nitto Kokei Kogyo ■) consisting of a photopolymerization initiator, thermal polymerization inhibitor, dye, etc. was adhered to the copper foil surface of this substrate, and rolled at 25°C. In this state, pattern exposure was carried out for 20 seconds from a distance of 60 (1) using a 3 KW ultra-high pressure mercury lamp from the transparent thin film side of the resist through the original image in which the circuit pattern part was transparent.

その後、35°Cで90°の剥離角−1,0m/分の速
度で前記レジストの透明薄膜および光重合性組成物層の
未硬化部分を剥離することによって、銅箔上に上記原画
に対応した硬化画像を形成した。
Then, by peeling off the transparent thin film of the resist and the uncured portion of the photopolymerizable composition layer at a peeling angle of 90° at 35°C and a speed of −1.0 m/min, the original image is applied onto the copper foil. A hardened image was formed.

この画像形成後、約40°ボーメの塩化第二鉄水溶液に
よりエツチング処理して露出銅箔をエツチング除去した
。その後−硬化したレジスト画像をメチレンクロライド
により除去して水洗と乾燥を行い所定のパターンを有す
るプリント配線板を得た。
After this image formation, the exposed copper foil was etched away by etching using a ferric chloride aqueous solution at about 40° Baume. Thereafter, the cured resist image was removed with methylene chloride, washed with water, and dried to obtain a printed wiring board having a predetermined pattern.

このプリント配線板を三豊製作所製の万能投影機PJ−
311で100倍に拡大して検査したところ、基板上に
残っていた異物または粘着テープの粘着側層の取れ残り
や汚染が原因となる回路の断線不良は10枚中全くなか
った。
This printed wiring board was used as a multipurpose projector made by Mitoyo Seisakusho, PJ-
When inspected with 311 magnification of 100 times, out of the 10 sheets, there were no circuit breakage defects caused by foreign matter remaining on the board, unremoved adhesive layer of the adhesive tape, or contamination.

実施例2 実施例1と同じ粘着テープを整面、乾燥した銅箔−ガラ
スエポキシ積層基板の銅箔面に密着させ、25°Cでロ
ール加圧した。ついて、この基板上の粘着テープを剥が
しながら、アクリル酸エステル系ポリマー、アクリル酸
エステル系の重合性不飽和化合物、キレート剤〜熱重合
終禁止剤、染料および光重合開始剤などを含む溶液現像
型のドライフィルムレジスト(テユポン社製商品名リス
トン−1220)をこの基板の銅箔面に密着させ、11
0°Cてロール加圧して積層した。この状態で回路パタ
ーン部が透明な原画を通して、」二記レジストの透明薄
膜側から3Kwの超高圧水銀ランプを用いて、60cm
の距離から17秒間パターン露光した。
Example 2 The same adhesive tape as in Example 1 was brought into close contact with the copper foil surface of a prepared and dried copper foil-glass epoxy laminate board, and roll pressure was applied at 25°C. Then, while peeling off the adhesive tape on the substrate, a solution-developable type containing an acrylic ester polymer, an acrylic ester polymerizable unsaturated compound, a chelating agent to a thermal polymerization termination inhibitor, a dye, a photopolymerization initiator, etc. A dry film resist (product name Riston-1220 manufactured by Teyupon) was adhered to the copper foil surface of this board, and 11
Lamination was carried out at 0°C by applying roll pressure. In this state, pass through the original image in which the circuit pattern part is transparent, and use a 3Kw ultra-high pressure mercury lamp to remove 60cm from the transparent thin film side of the resist.
The pattern was exposed for 17 seconds from a distance of .

その後、上記レジストの透明簿膜を剥がし、この基板を
1°1゛1−ト’Jクロルエタンに20°Cで2分間浸
漬することによりレジストの未硬化部分を除去して現像
し、硬化画像を形成した。
Thereafter, the transparent film of the resist was peeled off, and the uncured portion of the resist was removed by immersing the substrate in 1°1'1'J chloroethane for 2 minutes at 20°C, and the cured image was developed. Formed.

以下実施例1と同様にしてプリント配線板を作製し検査
したところ、実施例1と同様回路の断線不良は10枚中
全くなかった。
Thereafter, printed wiring boards were prepared and inspected in the same manner as in Example 1, and as in Example 1, there were no circuit breakage defects among the 10 boards.

実施例3 塩素化ポリエチレン(山陽国策パルプ■製のスーパーク
ロンCPE−907LTA)100部オリゴエステルア
クリレート(東亜合成化学工業0(1)製のアロエック
スM−8060)70ffiジエチレングリコールジア
クリレート 70部アエロジル 10部 パラメトキシフェノール 0.1部 トルエン 400部 上記各成分を均一に溶解ないし分散させた粘着剤組成物
を、0.1 am厚のポリ塩化ビニルフィルム(日本ゼ
オン(掬製七オン151を100部とジオクチルフタレ
ートを35部配合のキャストフィルム)上に乾燥厚みが
25μmとなるように塗布し、80°Cて10分間加熱
して粘着テープを得た。この粘着テープの粘着力は10
0 fJ / 25 am幅((30℃)であった。
Example 3 Chlorinated polyethylene (Superclone CPE-907LTA manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp■) 100 parts Oligoester acrylate (Aloex M-8060 manufactured by Toagosei Kagaku Kogyo 0(1)) 70ffi diethylene glycol diacrylate 70 parts Aerosil 10 parts Paramethoxyphenol 0.1 parts Toluene 400 parts The adhesive composition in which each of the above components was uniformly dissolved or dispersed was mixed with a 0.1 am thick polyvinyl chloride film (100 parts of Nippon Zeon (Kiki Seisaku Shichion 151) and It was applied onto a cast film (containing 35 parts of dioctyl phthalate) to a dry thickness of 25 μm and heated at 80°C for 10 minutes to obtain an adhesive tape.The adhesive strength of this adhesive tape was 10
It was 0 fJ/25 am width ((30°C)).

以下実施例1と同様にしてプリント配線板を作製し検査
したところ、実施例1と同様に回路の断線不良は10枚
中全く見られなかった。
Thereafter, printed wiring boards were produced and inspected in the same manner as in Example 1, and as in Example 1, no circuit breakage defects were found among the 10 boards.

実施例4 塩化ゴム(南陽国策パルプ■製スーパークロンCR−5
) 65部 メチルメタクリレート(70部)とフチルアクリレート
(30部)との共重合体 20部線状飽和ポl) エス
テル(日立化成■製ニスペル1510) 15部 アクリル系不飽和重合性化合物(東亜合成化学工業■製
アロエックスM6100) 70部ペンタエリスリトー
ルトリアクリレート 60部バラメトキシフェノール 
O,15部 メチルエチルケトン/トルエン 400部(1/1 :
重量比) 上記各成分を均一に溶解ないし分散させた粘着剤組成物
を、25ttm厚のポリエチレンテレフタレート(東し
■製のルミラー#25)上に乾燥厚みが407zmとな
るように塗布し、100°Cで5分間加熱して粘着テー
プを得た。この粘着テープの粘着力は250 F? /
 25 wn幅(30°C)であった。
Example 4 Chlorinated rubber (Super Chron CR-5 manufactured by Nanyo Kokusaku Pulp ■)
) 65 parts Copolymer of methyl methacrylate (70 parts) and phthyl acrylate (30 parts) 20 parts linear saturated polyester (Nispel 1510 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) 15 parts Acrylic unsaturated polymerizable compound (Toa Co., Ltd.) Aroex M6100 (manufactured by Synthetic Kagaku Kogyo ■) 70 parts Pentaerythritol triacrylate 60 parts Rose methoxyphenol
O, 15 parts Methyl ethyl ketone/toluene 400 parts (1/1:
Weight ratio) An adhesive composition in which each of the above components was uniformly dissolved or dispersed was applied onto a 25 ttm thick polyethylene terephthalate (Lumirror #25 manufactured by Toshi ■) so that the dry thickness was 407 zm, and the adhesive composition was heated at 100°. The adhesive tape was obtained by heating at C for 5 minutes. Is the adhesive strength of this adhesive tape 250F? /
25 wn width (30°C).

次に、この粘着テープを用いて実施例1と同様にしてプ
リント配線板を作製し検査したところ、実施例1と同様
に回路の断線不良は10枚中全く見られなかった。
Next, printed wiring boards were prepared and inspected using this adhesive tape in the same manner as in Example 1, and as in Example 1, no circuit breakage defects were observed among the 10 boards.

比較例 粘着剤層か天然ゴム系の市販の感圧性粘着テープ(日東
電気工業@製No、 712クラフトテープ)を使用し
、実施例1と同様にしてプリント配線板を作製したとこ
ろ、この粘着テープの剥離工程でこのテープの剥離力か
大きく作業性が悪かった。
Comparative Example A printed wiring board was prepared in the same manner as in Example 1 using a commercially available pressure-sensitive adhesive tape (manufactured by Nitto Electric Industries @, No. 712 Kraft Tape) with an adhesive layer or natural rubber. During the peeling process, the peeling force of this tape was large and the workability was poor.

また実施例1と同様に検査したところ−この配線板10
枚中4枚に除塵用に使用したテープからの汚染または粘
着剤の取れ残りに起因する回路の断線不良があった。
In addition, when inspected in the same manner as in Example 1 - this wiring board 10
Four of the sheets had circuit disconnections due to contamination from the tape used for dust removal or adhesive residue.

特許出願人 日東電気工業株式会社Patent applicant: Nitto Electric Industry Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1) プリント配線板の製造において、フォトレジス
トを積層する前のプリント配線用基板表面の除塵を、粘
着剤層が a)塩素化ポリオレフィンおよび/または塩化ゴム、 b)アクリル酸アルキルエステルまたはメタクリル酸ア
ルキルエステル系ポリマーおよびC)テレフタル酸とエ
チレングリコールとこれゝら以外の二塩基酸ないし二価
アルコールとからなる平均分子量が約3万以下でかつ分
子末端にカルボキシル基ないし水酸基を有する線状飽和
ポリエステル の中から選ばれた少なくとも一種の皮膜形成性高分子物
質とエチレン性不飽和重合性化合物とを必須成分として
含み、この粘着剤層の厚みが5〜100μmで粘着力が
50〜1,500 y/ 25tnm幅(30℃)であ
る粘着テープを前記基板表面に密着させたのち剥離する
ことにより行うことを特徴とするプリント配線板の製造
方法。
(1) In the production of printed wiring boards, dust removal from the surface of the printed wiring board before photoresist is laminated is performed so that the adhesive layer contains a) chlorinated polyolefin and/or chlorinated rubber, b) acrylic acid alkyl ester or methacrylic acid. A linear saturated polyester consisting of an alkyl ester polymer and C) terephthalic acid, ethylene glycol, and a dibasic acid or dihydric alcohol other than these and having an average molecular weight of about 30,000 or less and having a carboxyl group or a hydroxyl group at the molecular end. The adhesive layer contains at least one film-forming polymeric substance selected from among these and an ethylenically unsaturated polymerizable compound as essential components, and the adhesive layer has a thickness of 5 to 100 μm and an adhesive strength of 50 to 1,500 y. / 25 tnm width (30° C.) A method of manufacturing a printed wiring board, characterized in that the adhesive tape is adhered to the surface of the substrate and then peeled off.
(2) フォトレジストとしてドライフィルムレジスト
を使用する特許請求の範囲第(1)項記載のプリント配
線板の製造方法。
(2) The method for manufacturing a printed wiring board according to claim (1), wherein a dry film resist is used as the photoresist.
(3)剥離現像用のフォトレジストを使用する特許請求
の範囲第(2)項記載のプリント配線板の製造方法。
(3) The method for manufacturing a printed wiring board according to claim (2), which uses a photoresist for peeling and development.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56149482A (en) * 1980-04-22 1981-11-19 Hitachi Chem Co Ltd Adhesive composition for self-adhesive film
JPS5740578A (en) * 1980-08-26 1982-03-06 Toray Ind Inc Polyester adhesive tape
JPS57159864A (en) * 1981-03-30 1982-10-02 Bridgestone Corp Self-adhesive composition

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56149482A (en) * 1980-04-22 1981-11-19 Hitachi Chem Co Ltd Adhesive composition for self-adhesive film
JPS5740578A (en) * 1980-08-26 1982-03-06 Toray Ind Inc Polyester adhesive tape
JPS57159864A (en) * 1981-03-30 1982-10-02 Bridgestone Corp Self-adhesive composition

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