JPS6068432U - ガス流量計用圧力補正装置 - Google Patents

ガス流量計用圧力補正装置

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JPS6068432U
JPS6068432U JP15866883U JP15866883U JPS6068432U JP S6068432 U JPS6068432 U JP S6068432U JP 15866883 U JP15866883 U JP 15866883U JP 15866883 U JP15866883 U JP 15866883U JP S6068432 U JPS6068432 U JP S6068432U
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JP
Japan
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rotating shaft
gas flow
pressure
flow meter
wheel
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JP15866883U
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JPH0213928Y2 (ja
Inventor
横田 文夫
Original Assignee
オーバル機器工業株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の圧力補正装置の要部構成図、第2図は、
第1図に示すものの圧力−減速比特性、及び圧力−比容
積特性線図、第3図はこの考案に係る一実施例の計数部
の側断面図、第4図は同じくホイール位置決め手段の正
面図、第5図は第4図の■−■断面図、第6図は同じく
カム動作説明図、第7図は同じくホイール動作説明図で
ある。 A・・・・・・圧力補正装置、7・・・・・・ディスク
、8・・・・・・入力回転軸、9・・・・・・ホイール
、10・・・・・・出力回転軸、11・・・・・・ホイ
ール位置決め手段、14.24・・・・・・カム、15
・・・・・・ピボット、16・・・・・・揺動レバー、
17・・・・・・圧力応答装置、18・・・・・・付勢
装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 流体の流速にほぼ比例した角速度で回転するディスクを
    固着した入力回転軸、そのディスクに接して回転するホ
    イールを固着した出力回転軸、この出力回転軸の一端に
    当接するカムを支持上でピボットで支承される揺動レバ
    ーとこのレバーを押圧する圧力応答装置とその押圧に抗
    して揺動レバーを常時牽引する付勢装置とよりなりホイ
    ールをディスクのラジアル方向に位置決めするホイール
    位置決め手段より構成されるガス流量計用圧力補正装置
    において、前記カムは出力回転軸との当接面を真球面に
    形成したことを特徴とするガス流量計用圧力補正装置。
JP15866883U 1983-10-15 1983-10-15 ガス流量計用圧力補正装置 Granted JPS6068432U (ja)

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JP15866883U JPS6068432U (ja) 1983-10-15 1983-10-15 ガス流量計用圧力補正装置

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JP15866883U JPS6068432U (ja) 1983-10-15 1983-10-15 ガス流量計用圧力補正装置

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Publication Number Publication Date
JPS6068432U true JPS6068432U (ja) 1985-05-15
JPH0213928Y2 JPH0213928Y2 (ja) 1990-04-17

Family

ID=30349481

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8114720B2 (en) 2008-12-25 2012-02-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4873658U (ja) * 1971-12-09 1973-09-13
JPS5125157A (ja) * 1974-06-28 1976-03-01 Siemens Ag

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4873658U (ja) * 1971-12-09 1973-09-13
JPS5125157A (ja) * 1974-06-28 1976-03-01 Siemens Ag

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JPH0213928Y2 (ja) 1990-04-17

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