JPS6067903A - Manufacture of colored resin film of microcolor filter - Google Patents

Manufacture of colored resin film of microcolor filter

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JPS6067903A
JPS6067903A JP58175769A JP17576983A JPS6067903A JP S6067903 A JPS6067903 A JP S6067903A JP 58175769 A JP58175769 A JP 58175769A JP 17576983 A JP17576983 A JP 17576983A JP S6067903 A JPS6067903 A JP S6067903A
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JP
Japan
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resin film
colored resin
dyeing
color filter
cured resin
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Application number
JP58175769A
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Japanese (ja)
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Yasuo Aozuka
康生 青塚
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G02B5/22Absorbing filters
    • G02B5/223Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments

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Abstract

PURPOSE:To obtain an excellent resin film which is securely dyed and maintains the spectral transmission characteristic without deterioration in the succeeding stage by treating the cured resin film in an aq. soln. contg. Al or Cr ion prior to or simultaneously with dyeing of the cured resin film formed on a base plate. CONSTITUTION:A photosetting resin film which is bichromated gelatin or the like formed on a base plate is exposed and developed to form a cured resin into a mosaic shape or the like in order to manufacture a colored resin film of a color filter for the photodetecting part of a color image pickup device. The resin film is treated in an aq. soln. contg. Al ion or Cr ion at 0.001-1.0M concn. and is then immersed in a dyeing bath consisting of a cyan acidic dye or is dyed in the same dyeing bath contg. the above-mentioned ion. The colored resin film obtd. in the above-mentioned way does not elute the fixed dye in the succeeding rinsing stage and maintains the spectral transmission characteristic without deterioration in a treating stage for preventing color staining. The excellent filter is thus obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、カラー撮像装置用のマイクロカラーフィルタ
ー71色樹脂膜の製法に関するものである。さらに訂し
くは本発明は、カラー撮像装置の受光部に付設される分
光透過特性(あるいは分光吸収特性)の優れたマイクロ
カラーフィルター6色樹脂膜の製法に関する−ものであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a micro color filter 71 color resin film for a color imaging device. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a six-color microcolor filter resin film with excellent spectral transmission characteristics (or spectral absorption characteristics), which is attached to a light receiving section of a color imaging device.

たとえば、VTR用カメラなどにおいて、カラー画像に
対応するカラー信号を取り出すために、受光部にマイク
ロカラーフィルターを設けたカラー撮像管が従来より一
般的に用いられている。
For example, in VTR cameras and the like, color image pickup tubes in which a light receiving section is provided with a micro color filter have been commonly used in order to extract color signals corresponding to color images.

すなわちカラー撮像管は、赤、緑および青からなる染料
系、あるいはシアン、マゼンタおよびイエローから−な
る染料系などの染料系から選ばれた染料により着色され
た微小のモザイク状あるいはストライプ状の着色樹脂膜
(色分解フィルター貧素)が複数層組み合わされてなる
ブイクロカラーフィルターが撮像管の受光部表面に旧設
された構成からなるものである。
In other words, a color image pickup tube is made of colored resin in the form of minute mosaics or stripes colored with a dye selected from a dye system consisting of red, green and blue, or a dye system consisting of cyan, magenta and yellow. It has a configuration in which a buiklo color filter, which is made up of a combination of multiple layers of films (color separation filters), was previously installed on the surface of the light receiving section of the image pickup tube.

一力、最近では撮像管に代るデバイスとして。Recently, it has been used as a device to replace the image pickup tube.

たどえば、CCD、BBD、MOSなどの各種の固体撮
像素子が開発されたため、1.記のV T RII+カ
メラなどの小型化を主な目的として、固体撮像素子とマ
イクロカラーフィルターとをN1み合わせたカラー固体
撮像素子の実用化の検討が行なわれており、一部では既
に実用化されている。
As various solid-state imaging devices such as CCD, BBD, and MOS have been developed, 1. With the main purpose of miniaturizing the V T RII+ camera mentioned above, the practical application of a color solid-state image sensor that combines a solid-state image sensor and a micro color filter is being considered, and some have already put it into practical use. has been done.

カラー固体撮像素子は一般に、画素と呼ばれる九′屯変
換素子と、走査回路を集積化した平板状の撮像集積回路
(IC)とからなる受光部の表面に、カラー撮像管の場
合と同様にそれぞれの画素に対応する染料により着色さ
れた微小のモザイク状あるいはストライプ状の着色樹脂
11り(色分解フィルター要素)が複数層組み合わされ
てなるマイクロカラーフィルターが付設された構成を有
する。
Color solid-state image sensors generally consist of nine-dimensional conversion elements called pixels and a flat image sensor integrated circuit (IC) that integrates a scanning circuit. It has a structure in which a micro color filter is attached, which is made up of a plurality of layers of colored resin 11 (color separation filter elements) in the form of minute mosaics or stripes colored with dyes corresponding to the pixels.

撮像管もしくは固体撮像素子のような、撮像装置にマイ
クロカラーフィルターを付設して上記のようなカラー撮
像装置とするには、一般に次のような方法が利用される
In order to provide a color imaging device as described above by attaching a micro color filter to an imaging device such as an image pickup tube or a solid-state imaging device, the following method is generally used.

撮像′!A置の受光部(たとえば、撮像管もしくは固体
撮像素子の受光部など)あるいは受光部に付設されるガ
ラスなどの透明支持体上に、重クロム酸ゼラチンなどの
光硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂膜を形成し、
その表面に露光用パターンを通過した光を照射して、樹
脂膜にモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を生
成させる。
Imaging′! A photocurable resin solution such as dichromate gelatin is coated on the light receiving part (for example, the light receiving part of an image pickup tube or solid-state image sensor) in position A or on a transparent support such as glass attached to the light receiving part. Form a photocurable resin film,
Light that has passed through the exposure pattern is irradiated onto the surface of the resin film to generate a mosaic or stripe-like hardened portion on the resin film.

次いで、この部分硬化樹脂膜を適当な溶媒で洗節するこ
とにより、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状ある
いはストライプ状の硬化樹脂膜を?!)て、次に、この
硬化樹脂膜を赤、緑、古、シアン、マゼンタ、あるいは
イエローなどの内の一種の染料で染色して、着色樹脂膜
工を形成する。
Next, this partially cured resin film is washed with an appropriate solvent to dissolve and remove the uncured portion, resulting in a mosaic or striped cured resin film. ! ) Then, this cured resin film is dyed with one of red, green, old, cyan, magenta, or yellow dyes to form a colored resin film.

次いで、このように形成した着色樹脂膜の1−に色汚染
防止膜(中間層)を形成するか、あるいは着色樹脂膜に
色汚染防止処理(混色防止処理)を施すかしたのち、更
にその上に同様にして光硬化性樹脂膜を形成し、その表
面に別の露光用パターンを通過した光を照射して、樹脂
膜に別のモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を
生成させる。そして、同様にして未硬化樹脂部分を除去
し、硬化樹脂膜を別の染料で染色して着色樹脂IIり■
を形成する。
Next, a color contamination prevention film (intermediate layer) is formed on the colored resin film 1- formed in this way, or a color contamination prevention treatment (color mixing prevention treatment) is applied to the colored resin film. A photocurable resin film is formed in the same manner as above, and the surface thereof is irradiated with light that has passed through another exposure pattern to generate another mosaic-like or stripe-like cured portion on the resin film. Then, remove the uncured resin part in the same way, dye the cured resin film with another dye, and make colored resin II.
form.

さらに、必要によりこのような着色v!4脂+1’2形
成の操作を繰り返して所望の複数層の着色樹脂膜を形成
させたのち、最後に表面被覆膜を旧設することによりマ
イクロカラーフィルターの形成を完了する・ なお1 」二足の各々の操作の間あるいはその前後には
、回路形成のために必要なポンディングパッド部の露出
化操作なども含まれることもあるが、これらの操作は本
発明とは直接関係がないため説明を省略する。
Furthermore, if necessary, such coloring v! After repeating the operations of forming 4 resins + 1'2 to form the desired multi-layer colored resin film, the formation of the micro color filter is completed by finally installing the surface coating film. During or before and after each operation of the foot, operations such as exposing the bonding pad part necessary for forming a circuit may be included, but these operations are not directly related to the present invention. The explanation will be omitted.

近年、カラー撮像装置の普及に伴いその使用目的も多岐
にわたるようになったことから、カラー撮像管あるいは
カラー固体撮像素子の改良、すなわち感度や解像度、そ
して色再現性などカラー撮像装置の性能の一層の向上が
要求されている。
In recent years, with the spread of color imaging devices, the purposes for which they are used have become more diverse.Therefore, improvements in color image pickup tubes or color solid-state imaging devices, in other words, improvements in the performance of color imaging devices such as sensitivity, resolution, and color reproducibility, are needed. improvement is required.

これらのカラー撮像装置の性能を左右する要因の一つと
しては、カラー撮像装置を構成するマイクロカラーフィ
ルター着色樹脂膜の分光透過特性を挙げることができる
。この分光透過特性とは、着色樹脂膜の所定の波長領域
における入射光の透過性能を意味している。すなわち、
優れたカラー画像を再現するためには、それぞれの着色
樹脂膜が所定の波長領域において高い光透過性能を示す
ことが必要となる。
One of the factors that influences the performance of these color imaging devices is the spectral transmission characteristics of the micro color filter colored resin film that constitutes the color imaging device. This spectral transmission characteristic means the transmission performance of incident light in a predetermined wavelength range of the colored resin film. That is,
In order to reproduce excellent color images, each colored resin film needs to exhibit high light transmission performance in a predetermined wavelength range.

着色樹脂膜を形成するための染料へつl、)てlま従来
より各種のものが検討されており、染ネ1自体としては
、所定の波長領域−におl、%て優れた分光透過特性を
示すものが得られている。しかしな力くら、染料の種類
によっては、樹脂膜に充分なり染着させるためには特別
の条件が必要であったり、あるいは樹脂膜に染着する工
程を経て着色樹脂Sを1杉成した場合において、所定の
分光透過4寺性を充う)に示さないものもあり、その問
題の解?央力ζ必要となる。
Various types of dyes have been studied for forming colored resin films, and the dye itself has excellent spectral transmission in a predetermined wavelength range. We have obtained products showing the characteristics. However, depending on the type of dye, special conditions may be required to dye the resin film sufficiently, or when colored resin S is formed through a process of dyeing the resin film. In some cases, there are some that do not meet the prescribed spectral transmission characteristics (4 characteristics), so is there a solution to that problem? Central power ζ is required.

また、着色樹脂膜を複数層重ね合わせる際1こ1g色防
止用の中間層を設けなl、%場合にif、それぞれの着
色樹脂膜の間の色汚染を防止するためにタンニン酸など
を用いる化学的な色汚染防止処I甲力t1iなわれるが
、この処理によって着色樹脂ll桑の/i)光透過特性
が変化することもあり、この点につり)ても解決が望ま
れる。
In addition, when multiple layers of colored resin films are stacked, an intermediate layer for color prevention is not provided, and tannic acid or the like is used to prevent color contamination between each colored resin film. A chemical color stain prevention treatment is used, but this treatment may change the light transmission properties of the colored resin, and a solution to this problem is desired.

たとえば、シアン着色樹脂膜の形成にlよシアン系酸性
染料が通常用いられるが、そのイ(表側として、波長6
00〜700 nmに強い吸収を有し、また向保存性も
優れているフタロシアニン系酸性染料を挙げることかで
きる。
For example, a cyan acidic dye is usually used to form a cyan-colored resin film;
Examples include phthalocyanine acid dyes that have strong absorption in the wavelength range of 00 to 700 nm and have excellent storage stability.

1−記のフタロシアニン系酸性染料による樹脂膜の染色
は、通常はpH3,0〜5.5程度の酸性浴において行
なわれる。しかしながら、そのような範囲のpHを有す
る酸性浴を利用して染色したンアン系酸性染料着1色樹
脂膜は、酸性浴から着色樹脂膜中に移行した耐性物質に
よりその着色樹脂1jQ中の環境pHが明らかに酸性と
なるために、そのシアン系酪性染おI自体が木来持って
いる所定波長領域における優れた分光透過特性が低下す
る傾向がある。これに対して、着色樹脂膜中におけるシ
アン系酸性染料の分光透過特性を向上させることを1A
的として、染色浴のpHを中性側(たとえば、pH5,
5〜8,0)に移行させた場合には、今度は染料が樹脂
膜に染着しに〈〈なり、高濃度の染色が実現しないとの
問題が発生する。
Dyeing of a resin film with the phthalocyanine acid dye described in item 1- is usually carried out in an acidic bath having a pH of about 3.0 to 5.5. However, a one-color resin film dyed using an acidic bath having a pH in such a range may be affected by the environmental pH of the colored resin 1jQ due to the resistant substances transferred from the acidic bath into the colored resin film. Since it becomes clearly acidic, the excellent spectral transmission characteristics in a predetermined wavelength range that the cyan-based butyric dye I itself has tended to deteriorate. In contrast, 1A is aimed at improving the spectral transmission characteristics of cyan acidic dyes in colored resin films.
As a target, the pH of the dyeing bath should be set to a neutral side (for example, pH 5,
5 to 8.0), the problem arises that the dye tends to adhere to the resin film, making it impossible to achieve high-density dyeing.

またその代りの方法として、染色をpH3,0〜5.5
程度の酸性浴で行ない、ついで染色された樹脂膜を、中
性付近のpHを有するリンス1夜を用いてリンスするこ
とにより、着色樹脂膜のLW境pHを中性側に寄せると
の手段が考えられる力く、この方法によっても、着色樹
脂膜に−1,含イ1されたシアン系酸性染料が、上記の
リンス液11に容易に溶出する傾向があるため、その結
果書られる7′1色樹脂膜中の染料濃度が低下するとし
)う問題力くある。
Alternatively, staining can be carried out at pH 3.0 to 5.5.
By rinsing the dyed resin film in a moderately acidic bath and then rinsing it overnight with a rinse having a pH around neutral, there is a means to bring the LW boundary pH of the colored resin film to the neutral side. It is conceivable that even with this method, the cyan acidic dye contained in the colored resin film tends to be easily eluted into the above-mentioned rinse solution 11. The problem is that the dye concentration in the colored resin film decreases.

着色樹脂膜の染料含有率を充分高くてきな6)j場合に
は、その膜厚を大きくすることにより着色樹脂膜の単位
面積当りの染料含有量を高め、これによって分光透過特
性の向上を達成することは+1能であるが、その場合に
は、今度は着色樹脂膜の112厚の増大に起因する着色
樹脂11りの解像度の低−ドという問題が発生するため
、実用」二におし)て不利となる。
If the dye content of the colored resin film is not sufficiently high6), increase the film thickness to increase the dye content per unit area of the colored resin film, thereby achieving improved spectral transmission characteristics. However, in that case, a problem arises in that the resolution of the colored resin 11 is lower due to the increased thickness of the colored resin film, so it is not practical. ) will be disadvantageous.

才だ、シアン系酸性染料を用いて着色した7I色樹脂膜
をタンニン酸などを用いて色汚染防11ニ処jIPを施
した場合においては、この処理によりシアン着色樹脂膜
の吸収スペクトルが黄色側番と移動する現象、すなわち
、シアン着色樹脂膜の分光透過特性か所定の特性から変
化する現象が発生する傾向かあり、この点も実用上不利
となる。
In the case where a 7I color resin film colored with a cyan acid dye is subjected to color stain prevention 11JIP using tannic acid etc., this treatment changes the absorption spectrum of the cyan colored resin film to the yellow side. There is a tendency for the spectral transmission characteristics of the cyan colored resin film to change from a predetermined characteristic, which is also a practical disadvantage.

本発明者は、硬化樹脂膜の染色より前もしくは染色と同
時に、アルミニウムイオンおよび/またはクロムイオン
を含有する処理液にて該硬化樹脂膜を処理することによ
り、染料の硬化樹脂膜への来着性の向上および、その後
に実施される色汚染防止処理による着色樹脂膜の分光透
過特性の変化の防止の双方が効果的に達成できることを
見い出し、本発明に到達した。
The present inventor has developed a method for treating the cured resin film with a treatment liquid containing aluminum ions and/or chromium ions before or at the same time as dyeing the cured resin film, thereby reducing the adhesion of the dye to the cured resin film. The present inventors have discovered that it is possible to effectively achieve both the improvement of the properties and the prevention of changes in the spectral transmission characteristics of the colored resin film due to the subsequent color stain prevention treatment, and have thus arrived at the present invention.

本発明は、支持体もしくはカラー撮像装置の受光部に付
設された硬化樹脂膜を染色浴に浸漬して着色樹脂膜とす
ることからなるマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の
製法において、該硬化樹脂11りの染色より前もしくは
染色と同時に、アルミニウムイオンおよび/またはクロ
ムイオンを含有する処理液にて該硬化樹脂膜を処理する
ことを特徴とするカラー撮像装置用のマイクロカラーフ
ィルター着色樹脂膜の製法からなるものである。
The present invention provides a method for producing a colored resin film for a micro color filter, which comprises immersing a cured resin film attached to a support or a light receiving part of a color imaging device in a dyeing bath to obtain a colored resin film. A method for producing a micro color filter colored resin film for a color imaging device, characterized in that the cured resin film is treated with a treatment liquid containing aluminum ions and/or chromium ions before or at the same time as the dyeing. It is something.

効であるが、特にフタロシアニン系酸性染料のように、
硬化樹脂膜への染着に適したpHgA域と。
However, especially acidic phthalocyanine dyes,
pHgA range suitable for dyeing on cured resin films.

優れた分光透過特性の発現に適したpH領域とが一致し
ない染料を用いてマイクロカラーフィルター着色樹脂膜
を製造する場合において有用性が高い。そして、本発明
を利用することにより優れた分光透過特性を有するマイ
クロカラーフィルター着色樹脂膜を得ることができる。
It is highly useful when producing a micro color filter colored resin film using a dye that does not match the pH range suitable for expressing excellent spectral transmission characteristics. By utilizing the present invention, a micro color filter colored resin film having excellent spectral transmission characteristics can be obtained.

次に本発明の詳細な説明する。Next, the present invention will be explained in detail.

本発明により製造されるマイクロカラーフィルター着色
樹脂膜が付設される撮像装置には、撮像管および固体撮
像素子などが含まれる。
Imaging devices to which the micro color filter colored resin film manufactured according to the present invention is attached include image pickup tubes, solid-state imaging devices, and the like.

撮像管は、その種類、構造などについて特に制限を受け
るものではなく、公知の各種の撮像管を使用することが
できる。
The image pickup tube is not particularly limited in its type, structure, etc., and various known image pickup tubes can be used.

固体撮像素子も、その種類、構造などについて特に制限
を受けるものではなく、たとえば、公知のCCD、BB
D、MOSなどの各種の固体撮像素子を使用することが
できる。
There are no particular restrictions on the type or structure of the solid-state image sensor; for example, the known CCD, BB
Various solid-state image sensors such as D, MOS, etc. can be used.

本発明のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜は、基本
的に、 I)光硬化性4#l脂膜を形成する工程:■)硬化樹脂
膜を形成する工程; ■)着色樹脂膜を形成する工程; からなる工程により製造される。
The micro color filter colored resin film of the present invention basically consists of: I) Step of forming a photocurable 4#l oil film: ■) Step of forming a cured resin film; ■) Step of forming a colored resin film; Manufactured by a process consisting of:

に記のカラーフィルター着色樹脂膜の製造方法は、たと
えば次のような方法により実施される。
The method for producing a colored resin film for a color filter described above is carried out, for example, by the following method.

まず、撮像管の受光部上、固体撮像素子の受光部の保護
膜−ト(保護膜上に平滑膜などの他の膜が存在している
場合には、その最上部の膜の上)1、または撮像管もし
くは固体撮像素子の受光部に付設する透明支持体(例、
ガラス)に、光硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂
膜を形成する。光硬化性樹脂としては、一般には、重ク
ロム酸ゼラチン、クロム酎ゼラチン、重クロム酸カゼイ
ン、小、クロム酪グルーなどのように重クロム酸もしく
はクロム酸を含む蛋白質性材料などが用いられるが、他
の種類の光硬化性の合成物質、たとえば、光硬化性が付
与されたポリビニルアルコールなどを用いることもでき
る。
First, the protective film on the light-receiving part of the image pickup tube and the light-receiving part of the solid-state image sensor (if there is another film such as a smooth film on the protective film, on the topmost film) 1 , or a transparent support (e.g.,
A photocurable resin film is formed by applying a photocurable resin solution onto the glass. As photocurable resins, dichromate or protein materials containing chromic acid are generally used, such as dichromate gelatin, chromium gelatin, dichromate casein, chromium butylene glue, etc. Other types of photocurable synthetic materials may also be used, such as photocurable polyvinyl alcohol.

次に光硬化性樹脂膜の表面に、モザイク状あるいはスト
ライプ状の露光用パターンを介して光を照射して、樹脂
膜にその露光用パターンに対応するモザイク状あるいは
ストライプ状の硬化部分を生成させる。そして、この部
分硬化樹脂膜を適当な溶媒、たとえば光硬化性樹脂とし
て重クロム酸ゼラチンを用いた場合には温湯などで洗節
する・ことにより、未硬化部分を溶解除去して、モザイ
ク状あるいはストライプ状の硬化樹脂膜を得る。
Next, the surface of the photocurable resin film is irradiated with light through a mosaic or stripe-like exposure pattern to generate a mosaic or stripe-like cured portion on the resin film that corresponds to the exposure pattern. . Then, this partially cured resin film is washed with a suitable solvent, for example, warm water when dichromate gelatin is used as the photocurable resin, to dissolve and remove the uncured parts, resulting in a mosaic or A striped cured resin film is obtained.

従来より一般的に行なわれているマイクロカラーフィル
ター着色樹脂膜の製造法では、に記のようにして、形成
された硬化樹脂膜を次に、赤、緑。
In the conventional method for producing colored resin films for micro color filters, the formed cured resin film is then colored red and green as described below.

青、シアン、マゼンタ、あるいはイエローなどの内の一
種の染料で染色して、色分解フィルター要素として機能
する着色樹脂膜を得ている6本発明においては、染色工
程の前あるいは染色工程と同時に、アルミニウムイオン
および/またはクロムイオンを含有する処理液(以下、
An/Cr含有処理液ともいう)にて硬化樹脂膜を処理
することを特徴としている。上記のA l / Cr含
有処理液による処理は、たとえば、硬化樹脂膜をA l
 / Cr含有処理液に浸漬するなどの方法により処理
したのち通常の染色工程を実施する方法、あるいは、ア
ルミニウムイオンおよび/またはクロムイオンを共存さ
せた染色液にて硬化樹脂膜の染色を行なう方法などを利
用することができる。
A colored resin film that functions as a color separation filter element is obtained by dyeing with one of blue, cyan, magenta, or yellow dyes.6 In the present invention, before or at the same time as the dyeing process, Processing liquid containing aluminum ions and/or chromium ions (hereinafter referred to as
The method is characterized in that the cured resin film is treated with an An/Cr-containing treatment liquid. For example, the treatment with the above-mentioned Al/Cr-containing treatment liquid may cause the cured resin film to be treated with Al/Cr containing treatment liquid.
/ Methods such as immersion in a Cr-containing treatment solution and then carrying out a normal dyeing process, or methods in which the cured resin film is dyed with a dyeing solution containing aluminum ions and/or chromium ions. can be used.

嗜、1Fに好ましい方法は、A l / Cr含有処理
液による処理と染色とをこの順に別々に行なう前者の方
〃、である。
The preferred method for 1F is the former method, in which treatment with an Al/Cr-containing treatment liquid and staining are performed separately in this order.

」二足のA fL / Cr含有処理液は、アルミニウ
ムイオンおよび/またはクロムイオンをo、ooiM−
1,0Mの濃度で含有するものであることが好ましく、
また、0.01M〜0.2Mの濃度で含有するものであ
ることが特に好ましいt」−記のA l / Cr含有
処理液は、それぞれの金属の水溶性塩から選ばれたもの
を、水もしくは水性有機溶媒に溶解する方法により容易
に調製することができる。ただし、本発明で用いるアル
ミニウムイオンおよび/またはクロムイオンとしてはM
夏2 (SOa)g ・M!、2 SOa I+24H
20(ただし、M”はAMまたはcr、そしてM貫はに
、Na、またはNH4を表わす) で表わされるミョウバンに由来するものであることが好
ましい。
”The bipedal A fL/Cr-containing treatment solution is capable of converting aluminum ions and/or chromium ions into o, ooiM-
It is preferably contained at a concentration of 1.0M,
In addition, the Al/Cr-containing treatment liquid described in "t", which is particularly preferably contained at a concentration of 0.01M to 0.2M, is a mixture of water-soluble salts of the respective metals. Alternatively, it can be easily prepared by dissolving it in an aqueous organic solvent. However, as the aluminum ion and/or chromium ion used in the present invention, M
Summer 2 (SOa)g ・M! , 2 SOa I+24H
20 (wherein M'' represents AM or cr, and M represents Na or NH4).

なお、アルミニウムイオンおよび/またはクロムイオン
が由来する化合物は、その構成原子として、あるいは不
純物としてアルカリ金属を含まないものであることが好
ましい。アルカリ金属は。
Note that the compound from which aluminum ions and/or chromium ions are derived preferably does not contain alkali metals as constituent atoms or as impurities. Alkali metals.

固体撮像素子に混入した場合に固体撮像素子の機能を低
下させるため、固体撮像素子に付設されるマイクロカラ
ーフィルター着色樹脂膜は、その間に遮蔽層が存在する
としても、アルカリ金属を含有することは可能な限り避
けることが望ましい。
The micro color filter colored resin film attached to the solid-state image sensor must not contain alkali metals, even if there is a shielding layer between them, because if it is mixed into the solid-state image sensor, the function of the solid-state image sensor will be degraded. It is desirable to avoid this as much as possible.

本発明で用いるA l / Cr含有処理液にアルカリ
金属が含まれていた場合には、そのアルカリ金属の一部
は当然その処理液中のAUおよび/またはCrと共に着
色樹脂膜に浸入する。従って、アルミニウムイオンおよ
び/またはクロムイオンの供給源として上記のようなミ
ョウバンを用いる場合には、アンモニウムミョウバンを
用いる。ことが特に好ましい。
When the Al/Cr-containing treatment liquid used in the present invention contains an alkali metal, a portion of the alkali metal naturally permeates into the colored resin film together with AU and/or Cr in the treatment liquid. Therefore, when using alum as described above as a source of aluminum ions and/or chromium ions, ammonium alum is used. It is particularly preferable.

本発明におけるA交/ Cr含有処理液による硬化樹脂
膜の処理は、 Fiij述のように、硬化樹脂膜を該処
理液(アルミニウムイオンを含有する処理液、クロトイ
オンを含有する処理液、あるいはアルミニウムイオンと
クロムイオンの双方を含有する処理液)に浸漬する方法
により行なうことが望ましいが、その場合の浸漬時間は
、通常約1秒〜30分間の範囲から選ばれる。
The treatment of the cured resin film with the A/Cr-containing treatment liquid in the present invention is performed by treating the cured resin film with the treatment liquid (a treatment liquid containing aluminum ions, a treatment liquid containing croto ions, or an aluminum ion-containing treatment liquid, as described by Fiij). It is desirable to carry out the method of immersion in a treatment solution containing both ions and chromium ions, and the immersion time in that case is usually selected from a range of about 1 second to 30 minutes.

A l / Cr含有処理液による処理を施された硬化
樹脂+19は次いで染色される。硬化樹脂膜の染色は通
常、硬化樹脂nりを染色浴に一定時間浸漬する方法によ
り実施されており、本発明における硬化樹脂膜の染色も
公知の方法により実施することができる。
The cured resin +19 treated with the A l /Cr-containing treatment liquid is then dyed. Dyeing of the cured resin film is usually carried out by a method of immersing the cured resin in a dyeing bath for a certain period of time, and the dyeing of the cured resin film in the present invention can also be carried out by a known method.

硬化樹脂膜の染色に用いられる染料としては、既に各種
の酸性染料、塩基性染料、直接染料、お上lメ万威性塾
Uかyが竹トlで鉛番1 十砧岨に木いてもそれらの公
知のもの、あるいはそれと同等の性質を有する染料から
任意に選んだ染料を用いることができる。ただし前述の
ように、本発明のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜
の製法は、フタロシアニン系酸性染料のように、硬化樹
脂膜への染色に適したPH領領域、優れた分光透過特性
の発現に適したPH領領域が一致しない染料を用いる場
合に特に有効である。
Dyes used for dyeing cured resin films include various acid dyes, basic dyes, and direct dyes. It is also possible to use dyes arbitrarily selected from known dyes or dyes having properties equivalent to those known dyes. However, as mentioned above, the method for producing the colored resin film of the micro color filter of the present invention is suitable for the PH region suitable for dyeing cured resin films and the expression of excellent spectral transmission characteristics, such as phthalocyanine-based acid dyes. This is particularly effective when using dyes whose PH regions do not match.

本発明に従ってA l / Cr含有処理液による処理
を施された硬化樹脂膜は、未処理の硬化樹脂膜に比較し
て染料、特にフタロシアニン系酸性染*1などのシアン
系染料により容易に染色される。
A cured resin film treated with an Al/Cr-containing treatment solution according to the present invention is more easily dyed with dyes, especially cyan dyes such as phthalocyanine acid dyes*1, than an untreated cured resin film. Ru.

すなわち、一般に7タロシアニン系酸性染料などのシア
ン系染料をPHが5.5以j−の染色浴を用いて硬化樹
脂膜の染色を実施すると、染ネ゛1の染着量が不充分に
なりやすいが、本発明に従うAn/Cr含宥処理含有よ
る処理を施された硬化樹脂膜には、そのような条件下で
も、染料が充分な早染着する。
In other words, when a cured resin film is generally dyed using a cyan dye such as a 7-talocyanine acid dye in a dye bath with a pH of 5.5 or higher, the amount of dye dye 1 becomes insufficient. However, even under such conditions, the dye adheres sufficiently quickly to the cured resin film that has been subjected to the An/Cr containing treatment according to the present invention.

また、硬化樹脂膜の染色により得られた染色済樹脂膜は
そのまま乾燥して着色樹脂膜としてもよいが、一般には
リンス液にて−Hリンス処理される。このリンス処理は
、染色された硬化樹脂膜をリンス浴などに短時間浸漬し
てリンス処理することにより、染色済樹脂膜に混入して
いた染色浴の染料以外の成分などを除去する工程である
Further, the dyed resin film obtained by dyeing the cured resin film may be dried as it is to form a colored resin film, but is generally subjected to a -H rinse treatment with a rinsing liquid. This rinsing process is a process in which the dyed cured resin film is rinsed by immersing it in a rinsing bath for a short period of time to remove components other than dyes from the dyeing bath that have been mixed into the dyed resin film. .

ただし、」二足のフタロシアニン系酸性染料などのシア
ン系染料を含むPHが5.5より下(たとえば、pH4
、Q〜5.o)の染色浴を用いて硬化樹脂膜の染色を実
施した場合には、前記の理由により染色済樹脂膜中の環
境pHを5.5以上とすることが好ましいので、PH5
,5以上、特にpH5,5〜7,0のリンス液を用いて
染色済樹脂膜のリンスを行なうことが望ましい。この目
的のリンス処理においても、本発明に従ってAn/Cr
含有処理液による処理を施され次いで染色された樹脂膜
からの染料の溶出は高度に抑制されるため、得られる着
色樹脂膜の染料濃度は余り低下させることがなく、かつ
その着色樹脂膜の分光透過特性は所望のものとなるため
、得られるマイクロカラーフィルター着色樹脂膜は実用
」二非當にイj利となる。
However, if the pH is lower than 5.5 (for example, pH 4) containing cyan dyes such as acidic phthalocyanine dyes,
, Q~5. When dyeing a cured resin film using the dyeing bath o), it is preferable to set the environmental pH in the dyed resin film to 5.5 or higher for the above-mentioned reasons.
It is desirable to rinse the dyed resin film using a rinsing liquid having a pH of 5.5 to 7.0. Also in the rinsing treatment for this purpose, An/Cr
Since the elution of the dye from the resin film that has been treated with the containing treatment solution and then dyed is highly suppressed, the dye concentration of the resulting colored resin film is not significantly reduced, and the spectroscopic properties of the colored resin film are Since the transmission characteristics are as desired, the colored resin film of the microcolor filter obtained is extremely advantageous for practical use.

なお上記においては、−硬化樹脂膜に先ずA文/Cr含
有処理液による処理を施したのち、次いで染色を行なう
方法を中心に記述したが、前述のように、本発明に従う
A U / Cr含有処理液による処理は染色と同時に
行なうことも可能であり、その場合の具体的操作は上記
の操作に準じてた方〃、により実施することができる。
In addition, in the above description, the method was mainly described in which the cured resin film is first treated with an A/Cr-containing treatment liquid and then dyed. The treatment with the treatment liquid can be carried out at the same time as the staining, and in that case, the specific operation can be carried out by someone who is similar to the above-mentioned operation.

また1本発明に従うA l / Cr含有処理液による
処理は、染色工程の前のみではなく、更に染色工程の後
にも実施することができる。すなわち。
Furthermore, the treatment with the Al/Cr-containing treatment liquid according to the present invention can be carried out not only before the dyeing process but also after the dyeing process. Namely.

A l / Cr含有処理液による処理が施された硬化
樹脂膜を染色したのち、再度、A l / Cr含イ5
処理液による処理を施し、これをリンス処理する方法な
どを利用した場合には、リンス液中への染ネlの溶出は
更に効果的に抑制することができる。
After dyeing the cured resin film that has been treated with the Al/Cr-containing treatment liquid, it is dyed again with Al/Cr-containing treatment solution 5.
When a method of treating with a treatment liquid and then rinsing the treated liquid is used, the elution of the dyed gel into the rinsing liquid can be more effectively suppressed.

染色された樹脂膜、あるいは染色後さらにリンス処理さ
れた樹脂膜は次いで、公知の方法により乾燥されて目的
の着色樹脂膜が得られる。
The dyed resin film or the resin film further rinsed after dyeing is then dried by a known method to obtain the desired colored resin film.

」−記のようにして形成した着色樹脂膜の上に更に他の
着色樹脂膜を形成する場合には前述のように77を色防
止のための混色防止処理を行なってもよい。
When another colored resin film is formed on top of the colored resin film formed as described above, 77 may be subjected to color mixing prevention treatment to prevent color mixing as described above.

混色防止処理の代表例としては、タンニン酸含有耐性水
溶液と酒石耐アンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次
用いる処理が知られており、本発明に従って製造したマ
イクロカラーフィルター着色樹脂膜についても、このよ
うな公知の混色防止処理を施すことができる。ただし、
この混色防止処理においても、着色樹脂膜にアルカリ金
属を混入させることは々Iましくないため、上記の酒石
酸アンチモこルアルカリ金属塩の代りに、酒石酸アンチ
モニルと有機塩基との塩を用いることが好ましい。
A typical example of color mixing prevention treatment is known to be a treatment in which a tannic acid-containing resistant aqueous solution and a tartaric resistant alkali metal salt aqueous solution are sequentially used, and the micro color filter colored resin film produced according to the present invention is also treated in this way. A known color mixing prevention treatment can be applied. however,
Even in this color mixture prevention treatment, it is rare to mix alkali metals into the colored resin film, so it is preferable to use a salt of antimonyl tartrate and an organic base instead of the above-mentioned antimonyl tartrate alkali metal salt. .

従来の方法で製造された着色樹脂膜に上記のような混色
防止処理を施した場合には、着色樹脂膜が所定の吸収ス
ペクトルを示さなくなるような変化が発生することがあ
り、またさらに、着色樹脂膜の表面にレチキュレーショ
ンと呼ばれる好ましくない現象が発生する傾向がある。
When a colored resin film manufactured by a conventional method is subjected to color mixing prevention treatment as described above, changes may occur such that the colored resin film no longer exhibits a predetermined absorption spectrum. There is a tendency for an undesirable phenomenon called reticulation to occur on the surface of the resin film.

これに対して本発明に従ってアルミニウムイオンおよび
/またはクロムイオンを含有する処理液により処理され
た着色樹脂膜は、上記の吸収スペクトルの変化あるいは
レシキュレーションの発生などの好ましくない現象の発
生が抑制されるとの利点もある。
On the other hand, colored resin films treated with a treatment solution containing aluminum ions and/or chromium ions according to the present invention are inhibited from causing undesirable phenomena such as changes in the absorption spectrum or occurrence of reciprocation. There is also the advantage of

以上に述べたような処理工程を経て製造された着色樹脂
膜は、必要により色汚染防止用の中間膜をイ+1設した
のち、光硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂膜を形
成する工程から始まる同様な着色樹脂膜形成および、色
汚染防止処理あるいは中間膜の付設を、必要に応じて繰
り返し実施し、次いで、表面保護膜を設けることにより
マイクロカラーフィルターが形成される。
The colored resin film produced through the processing steps described above is coated with an intermediate film to prevent color contamination if necessary, and then a photocurable resin solution is applied to form a photocurable resin film. A micro color filter is formed by repeating the same steps of forming a colored resin film, color stain prevention treatment, or attaching an intermediate film as necessary, and then providing a surface protective film.

次に、本発明の実施例および比較例を示す。Next, Examples and Comparative Examples of the present invention will be shown.

[実施例1] 透明なガラス基板」−に重クロム酎ゼラチンを4布して
、膜厚が0.5p、kn、0.751Lm、l 。
[Example 1] A transparent glass substrate was coated with dichromium distilled gelatin, and the film thickness was 0.5p, kn, 0.751Lm, l.

Opm、1.25μm、1.5μmおよび2.5pmの
6種類の光硬化性樹脂膜を別々に設け、それらの上にモ
ザイク模様からなるマスク(露光)(ターン)を置いて
密着露光を行なった。次いで、露光した樹脂膜を温湯で
洗浄して、樹脂膜の未硬化部分を溶出除去し、モザイク
状の凸部からなる硬化樹脂nり(レリーフパターン)を
形成した。
Six types of photocurable resin films of Opm, 1.25 μm, 1.5 μm, and 2.5 pm were separately provided, and a mask (exposure) (turn) consisting of a mosaic pattern was placed on top of them for contact exposure. . Next, the exposed resin film was washed with hot water to elute and remove the uncured portions of the resin film, thereby forming a cured resin relief pattern consisting of mosaic-like convex portions.

次に、これらの硬化樹WJll’j!を、pH4,0に
調整した42mM1酸クロムl)アンモニウム水溶液に
10分間浸漬してクロム処理したのち、純水で5分間洗
浄した。
Next, these hardened trees WJll'j! was treated with chromium by immersing it in a 42mM ammonium chromate solution adjusted to pH 4.0 for 10 minutes, and then washing it with pure water for 5 minutes.

これらのクロム処理された硬化樹脂膜を、シアン系酸性
染料(カヤノール・ミーリング争タークオイズ3G二日
本化薬輛製)を含有する染色浴(pH6,0)で染色し
、乾燥して着色樹脂膜を調製した。
These chromium-treated cured resin films are dyed with a dye bath (pH 6.0) containing cyan acid dye (Kayanoor Milling Turquoise 3G, manufactured by Nippon Kayakuyaku) and dried to form a colored resin film. Prepared.

上記の6種類の着色樹脂膜について、シアン染色濃度を
630nmにおける光学濃度として測定した結果を、第
1図にAとして示す。
The results of measuring the cyan dyeing density as the optical density at 630 nm for the above six types of colored resin films are shown as A in FIG.

し比較例1] 硬化樹脂膜について、クロム処理を行なわなかったこと
以外は、実施例1と同様にして6種類のこの6種類の着
色樹脂膜のシアン染色濃度を実施例1と同様に測定した
ー結果を、第1図にBとして示す。
Comparative Example 1] The cyan staining density of the six types of colored resin films was measured in the same manner as in Example 1, except that the cured resin films were not subjected to chromium treatment. - The results are shown as B in Figure 1.

第1図に示された実施例1と比較例1のそれぞれのシア
ン染色濃度を比較すれば、染色前にクロム処理を行なう
ことにより着色樹脂膜へのシアン系染料の染着量が著し
く高められていることが明らかである。
Comparing the respective cyan dyeing densities of Example 1 and Comparative Example 1 shown in Figure 1, it is found that by performing chromium treatment before dyeing, the amount of cyan dye dyed onto the colored resin film was significantly increased. It is clear that

[実施例2] 実施例1と同様にして、膜厚が0.75gm、t、oJ
Lmおよび1.25gmの3種類の硬化樹脂膜を得た。
[Example 2] In the same manner as in Example 1, the film thickness was 0.75 gm, t, oJ.
Three types of cured resin films of Lm and 1.25 gm were obtained.

アンモニアと酢酸でPHを5.0〜6.0に調整した4
0mM硫酸アルミニウム(IN)アンモニウム水溶液を
調製し、この水溶液に上記硬化樹脂膜を室温にて2分間
浸漬することによりアルミニウム処理を行ない、次いで
純水で1分間洗n−することにより、アルミニウム処理
された硬化樹脂+1’i’を得た。
Adjusted the pH to 5.0-6.0 with ammonia and acetic acid 4
A 0mM ammonium aluminum sulfate (IN) aqueous solution was prepared, and the cured resin film was immersed in this aqueous solution at room temperature for 2 minutes to carry out aluminum treatment, and then washed with pure water for 1 minute. A cured resin +1'i' was obtained.

I―記のアルミニウム処理された硬化樹脂膜をフタロシ
アニン系酸性染料: Cu−[Pc−(SO3−P3”) 4](ただし、P
cはフタロシアニン骨格を表わし、Py“はピリジニウ
ムイオンを表わす)を含有する染色浴(pH6,0)を
用いて染色を行ない、膜厚の異なる3種類の着色樹脂膜
を調製した。
The aluminum-treated cured resin film of I- is treated with phthalocyanine acid dye: Cu-[Pc-(SO3-P3'') 4] (However, P
Dyeing was carried out using a dyeing bath (pH 6.0) containing (c represents a phthalocyanine skeleton and Py" represents a pyridinium ion), and three types of colored resin films having different film thicknesses were prepared.

」−2の3種類の着色樹脂膜についてシアン染色濃度を
実施例1と同様に測定した結果を、第2図にCとして示
す。
The cyan dyeing density of three types of colored resin films of "-2" was measured in the same manner as in Example 1, and the results are shown as C in FIG.

[比較例2] 硬化樹脂膜について、アルミニウム処理を行なわなかっ
たこと以外は、実施例2と同様にしてフタロシアニン系
酸性染料で染色して3種類の着色樹脂膜を調製した。
[Comparative Example 2] Three types of colored resin films were prepared by dyeing the cured resin films with a phthalocyanine-based acid dye in the same manner as in Example 2, except that the aluminum treatment was not performed.

3種類の着色樹脂膜のシアン染色濃度を実施例1と同様
に測定した結果を、第2図にDとして示す。
The cyan dyeing density of three types of colored resin films was measured in the same manner as in Example 1, and the results are shown as D in FIG.

第2図に示された1施4H2)−隆虻伽9小工柄1れの
シアン染色濃度を比較すれば、染色前にフルミニラム処
理を行なうことにより着色樹脂膜へのフタロシアニン系
染料の染着量が著しく高められていることが明らかであ
る。
Comparing the cyan dyeing density of 1 4 H 2)-Ryuuga 9 small work pattern 1 shown in Figure 2, it is found that the phthalocyanine dye is dyed into the colored resin film by performing the Fluminilum treatment before dyeing. It is clear that the amount is significantly increased.

[実施例3] 実施例1と同様にして、膜厚が1.0pmの硬化樹脂膜
を得た。
[Example 3] A cured resin film having a film thickness of 1.0 pm was obtained in the same manner as in Example 1.

次に、この硬化樹脂膜を、pH4,0に調整した42m
M硫酸クロム(llF)アンモニウム水溶液に10分間
浸漬してクロム処理したのち、純水で1分間洗浄した。
Next, this cured resin film was coated with 42m
After chromium treatment by immersing it in M chromium sulfate (llF) ammonium aqueous solution for 10 minutes, it was washed with pure water for 1 minute.

このクロム処理を施した硬化樹脂膜を、実施例2に示し
たフタロシアニン系酸性染料を含有する染色浴(pH6
,0)に浸漬して染色し、乾燥1゜て着色樹脂膜を調製
した。
This chromium-treated cured resin film was dyed in a dye bath containing the phthalocyanine acid dye shown in Example 2 (pH 6).
, 0) for dyeing and drying for 1° to prepare a colored resin film.

この着色樹脂膜の波長領域400〜700nmにおける
透過スペクトルを測定した。titられた透過スペクト
ルを第3図にEとして示す。
The transmission spectrum of this colored resin film in the wavelength range of 400 to 700 nm was measured. The titted transmission spectrum is shown as E in FIG.

次に、この着色樹!l14mについて、下記のタンニン
酸処理と酒石酸アンチモニルカリウム処理の二1程から
なる混色防止処理を行なった。
Next, this colored tree! 114m was subjected to color mixing prevention treatment consisting of the following tannic acid treatment and antimonyl potassium tartrate treatment.

第1工程:氷1Mにタンニン酸2gと酢酸10m文とを
溶解した水溶液に着色樹脂膜を40℃にて3分間浸漬し
た後、着色樹脂膜を1分間水で洗ン争する。
First step: The colored resin film is immersed in an aqueous solution of 2 g of tannic acid and 10 m of acetic acid dissolved in 1M ice at 40° C. for 3 minutes, and then washed with water for 1 minute.

第2工程;水IQに酒石酸7ンチモニルカリウム5gと
酢酸2,5m見とを溶解した水溶液に。
2nd step: 5g of potassium 7thmonyl tartrate and 2.5ml of acetic acid are dissolved in water IQ to create an aqueous solution.

タンニン酸処理された着色樹脂膜を40℃にて3分11
X1浸漬した後、着色樹脂膜を1分間水で洗浄する。
Colored resin film treated with tannic acid at 40℃ for 3 minutes11
After immersion in X1, the colored resin film is washed with water for 1 minute.

この混色防止処理が施された着色樹脂膜の波長領域40
0〜700nmにおける透過スペクトルを実施例3と同
様に測定した。得られた透過スペクトルを第3図にFと
して示す。
Wavelength range 40 of the colored resin film subjected to this color mixture prevention treatment
The transmission spectrum in the range from 0 to 700 nm was measured in the same manner as in Example 3. The obtained transmission spectrum is shown as F in FIG.

第3図のEとFの各スペクトルを比較すると、クロム処
理を施した着色樹脂膜の透過スペクトルは、混色防止処
理の後では、青色領域において透過−(シが全体として
若干低下するが、測定波長領域全体にわたってスペクト
ルの形に大きな変化はみられないことがわかる。
Comparing the spectra of E and F in Figure 3, the transmission spectrum of the colored resin film treated with chromium shows that after the color mixture prevention treatment, the transmission in the blue region decreases slightly as a whole, but the measured It can be seen that there is no significant change in the shape of the spectrum over the entire wavelength range.

[比較例3] 硬化樹脂膜の膜厚を1.511.mに変え、硬化樹脂膜
について、クロム処理を行なわなかった以外は、実施例
3と同様にして着色樹脂膜を調製し。
[Comparative Example 3] The thickness of the cured resin film was 1.511. A colored resin film was prepared in the same manner as in Example 3, except that the cured resin film was not subjected to chromium treatment.

この着色樹脂膜の波長領域400〜700nmにおける
透過スペクトルを測定した。得られた透過スペクトルを
第4図にGとして示す。
The transmission spectrum of this colored resin film in the wavelength range of 400 to 700 nm was measured. The obtained transmission spectrum is shown as G in FIG.

上記の着色樹脂膜について実施例3と同様な混色防止処
理を行なった後、この混色防止処理を施した着色樹脂膜
の波長領域400〜700nmにおける透過スペクトル
を測定した。得られた透過スペクトルを第4図にHとし
て示す。
After the colored resin film was subjected to the same color mixture prevention treatment as in Example 3, the transmission spectrum of the colored resin film subjected to the color mixture prevention treatment in the wavelength range of 400 to 700 nm was measured. The obtained transmission spectrum is shown as H in FIG.

第3図のEと第4図のGの各透過スペクトルを比較する
と、前者(クロム処理を施したもの)と後者(クロム処
理を施していないもの)では、7I色樹脂膜の膜厚が1
.O用m(前者)とt、5井m(後者)と大きく相違す
るにもかかわらず、透過スペクトルがほぼ一致している
。すなわち、この比較によってもクロム処理を施した樹
脂膜への染料の染着量が大きいことがわかる。
Comparing the transmission spectra of E in Figure 3 and G in Figure 4, the film thickness of the 7I color resin film is 1 in the former (chromium treated) and latter (not chromium treated).
.. Despite the large differences between O-m (former) and T, 5-m (latter), their transmission spectra are almost the same. That is, this comparison also shows that the amount of dye adhering to the chromium-treated resin film is large.

また、第4図のGとHの各透過スペクトルを比較すると
、クロム処理を施していない着色樹脂膜は、混色防止処
理の後に、青色領域(400〜500nm)において透
過率は若干低下し、透過率50%を示す波長が長波長側
に移行し、波長領域600〜630nmにおける透過率
が上昇し、測定波長領域全体にわたって、スペクトルの
形に大きな変化が見られることから、クロム処理が施さ
れていない着色樹脂膜は、上記のような混色防止処理に
より分光透過特性が明らか変動することがわかる。
In addition, when comparing the transmission spectra of G and H in Figure 4, the colored resin film without chromium treatment has a slightly lower transmittance in the blue region (400 to 500 nm) after the color mixture prevention treatment; The wavelength showing a 50% transmission rate shifts to the longer wavelength side, the transmittance increases in the wavelength range of 600 to 630 nm, and there is a large change in the shape of the spectrum over the entire measurement wavelength range, indicating that chromium treatment has been applied. It can be seen that the spectral transmittance characteristics of the colored resin film, which does not contain any color, clearly fluctuates due to the color mixture prevention treatment as described above.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、着色樹脂膜のシアン染色濃度を630nmに
おける光学濃度として測定した結果を示す図であり、A
はクロム処理を施した着色樹脂膜の光学濃度、モしてB
はクロム処理を施していない着色樹脂膜の光学濃度を示
す。 第2図は、着色樹脂膜のシアン染色濃度を630nmに
おける光学濃度として測定した結果を示すl’W−r3
r−−41ml−トチ1Iパーr%)、bn:JI?l
−ヒ−4kl&」−一町JJ。 樹脂膜の光学法度、モしてDはアルミニウム処理を施し
ていない着色樹脂膜の光学濃度を示す。 第3図は、クロム処理を施した着色樹脂膜の透過スペク
トル(E)およびクロム処理を施した着色樹脂膜を混色
防止処理したのち測定した透過スペクトル(F)を示す
。 第4図は、クロム処理を施していない着色樹脂膜の透過
スペクトル(G)およびクロム処理を施していない着色
樹脂膜を混色防止処理したのち測定した透過スペクトル
(f()を示す。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社代理人 弁理士
 柳川泰男
FIG. 1 is a diagram showing the results of measuring the cyan dyeing density of a colored resin film as an optical density at 630 nm;
is the optical density of the colored resin film treated with chromium, and B
indicates the optical density of the colored resin film without chromium treatment. Figure 2 shows the results of measuring the cyan dyeing density of the colored resin film as the optical density at 630 nm.
r--41ml-horse chestnut 1I par r%), bn:JI? l
-Hee-4kl&”-Ichimachi JJ. The optical density of the resin film, specifically D, indicates the optical density of the colored resin film that has not been subjected to aluminum treatment. FIG. 3 shows a transmission spectrum (E) of a chromium-treated colored resin film and a transmission spectrum (F) measured after the chromium-treated colored resin film was subjected to color mixing prevention treatment. Figure 4 shows the transmission spectrum (G) of a colored resin film that has not been subjected to chromium treatment and the transmission spectrum (f()) that was measured after the colored resin film that had not been chromium treated was subjected to color mixing prevention treatment. Yasuo Yanagawa, Patent Attorney, Fuji Photo Film Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 l。支持体もしくはカラー撮像装置の受光部に旧設され
た硬化樹脂膜を染色浴に浸漬して着色樹脂膜とすること
からなるマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の製法に
おいて、該硬化樹脂膜の染色より前もしくは染色と同時
に、アルミニウムイオンおよび/またはクロムイオンを
含有する処理液にて該硬化樹脂11ジを処理することを
特徴とするカラー撮像装置用のマイクロカラーフィルタ
ー着色樹脂膜の製法。 2゜」二記のアルミニウムイオンおよび/またはクロム
イオンを含有する処理液が、アルミニウムイオンおよび
/またはクロムイオンを0.001M〜1.0Mの濃度
で含有することを特徴とする4、ν詐請求の範囲第1項
記載のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の製法。 3、上記のアルミニウムイオンおよび/またはクロムイ
オンが、一般式: %式% (ただし MlllはAMまたはCr、そしてM!はに
、Na、またはN)(4を表わす) で表わされるミョウバンに由来するものであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項もしくは第2項記載のマ
イクロカラーフィルター清色樹脂Iりの製法。 4゜染色に用いられる染料が酸性染料であることを特徴
とする特許請求の範囲第1項もしくは第2項記載のマイ
クロカラーフィルター着色樹III I+!、!の製法
。 5゜上記酸性染料がシアン系酸性染料であることを特徴
とする特許請求の範囲第4項記載のマイクロカラーフィ
ルター着色樹脂膜の製法。 6゜上記シアン系酸性染料がフタロシアニン誘導体系酸
性染料であることを特徴とする特許請求の範囲第5項記
載のマイクロカラーフィルター着色樹脂膜の製法。 7、アルミ子つムイオンおよび/またはクロムイオンを
含イ1する処理液による該硬化樹脂膜の処理を染色の前
に行なうことを特徴とする特許請求の範囲第6項記載の
マイクロカラーフィルター着色樹脂II!A!の製法。 8゜硬化樹脂Ilり染色用の染色浴のpHが3.0〜5
.5であり、かつ染色した硬化樹脂膜をPH5,5〜8
.0のリンス液で処理する工程が含まれていることを特
徴とする特許請求の範囲第7項記載のマイクロカラーフ
ィルター着色樹脂膜の製V、。 9゜硬化樹脂膜染色用の染色浴のpHが4.0〜5.0
であり、かつ染色した硬化樹脂膜をpH5,5〜7.0
のリンス液で処理する工程が含まれていることを4.シ
徴とする特許請求の範囲第8項記載のマイクロカラーフ
ィルター着色樹脂膜の製〃、。
[Claims] l. In a method for manufacturing a micro color filter colored resin film, which consists of immersing a cured resin film previously installed on the support or the light receiving part of a color imaging device in a dyeing bath to obtain a colored resin film, before dyeing the cured resin film, Alternatively, a method for producing a micro color filter colored resin film for a color imaging device, characterized in that the cured resin 11 is treated with a treatment liquid containing aluminum ions and/or chromium ions at the same time as dyeing. 2゜The treatment liquid containing aluminum ions and/or chromium ions described in 2.4 contains aluminum ions and/or chromium ions at a concentration of 0.001M to 1.0M, 4. ν fraudulent claim. A method for producing a micro color filter colored resin film according to item 1. 3. The above aluminum ions and/or chromium ions are derived from alum expressed by the general formula: A method for producing a micro color filter clear color resin I according to claim 1 or 2, characterized in that it is Micro color filter coloring tree III I+! according to claim 1 or 2, characterized in that the dye used for the 4° dyeing is an acid dye. ,! manufacturing method. 5. The method for producing a micro color filter colored resin film according to claim 4, wherein the acid dye is a cyan acid dye. 6. The method for producing a micro color filter colored resin film according to claim 5, wherein the cyan acid dye is a phthalocyanine derivative acid dye. 7. The micro color filter colored resin according to claim 6, characterized in that the cured resin film is treated with a treatment liquid containing aluminum ions and/or chromium ions before dyeing. II! A! manufacturing method. 8゜The pH of the dyeing bath for hardening resin dyeing is 3.0 to 5.
.. 5, and the dyed cured resin film has a pH of 5.5 to 8.
.. 8. The micro color filter colored resin film according to claim 7, further comprising a step of treating with a rinsing liquid of 0.0 or less. 9゜The pH of the dyeing bath for dyeing the cured resin film is 4.0 to 5.0.
and the dyed cured resin film at pH 5.5 to 7.0.
4. It includes a process of treatment with a rinsing solution. Preparation of a micro color filter colored resin film according to claim 8.
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