JPS6065116A - Continuous inorganic yarn containing silicon, zirconium and carbon - Google Patents

Continuous inorganic yarn containing silicon, zirconium and carbon

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JPS6065116A
JPS6065116A JP13895784A JP13895784A JPS6065116A JP S6065116 A JPS6065116 A JP S6065116A JP 13895784 A JP13895784 A JP 13895784A JP 13895784 A JP13895784 A JP 13895784A JP S6065116 A JPS6065116 A JP S6065116A
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fibers
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TOKUSHU MUKI ZAIRYO KENKYUSHO
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  • Inorganic Fibers (AREA)

Abstract

PURPOSE:The titled yarn useful for metals reinforced with fibers and fiber materials for plastic, etc., having improved mechanical strength, heat resistance, and oxidation resistance, having a new structure, comprising an amorphous substance consisting of Si, Zr, C, etc., or an agglomerate of fine crystalline particles of them. CONSTITUTION:The desired yarn comprising (A) an amorphous substance consisting of Si, Zr, C, and, optionally O, obtained by reacting a polycarbosilane having a main chain skeleton shown by the formula (R is H, lower alkyl, or phenyl), having 200-10,000 number-average molecular weight, with an organozirconium compound shown by the formula ZrX4(X is 1-20C alkoxy, phenoxy, or acetylacetoxy) under heating to give a polyzirconocarbosilane, spinning it, followed by making it infusible, or (B) an agglomerate comprising fine crystalline particles consisting of beta-SiC, ZrC, solid solution of beta-SiC and Zr, and ZrC1-x (0<X<1), having <=500Angstrom particle diameter (with the proviso that amorphous SiO2 and ZrO2 may exist around them), or (C) a mixed system of the amorphous substance A and the agglomerate of the fine crystalline particles B.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、主としてSt 、Zr s C又はSl、Z
r 、c、oからなる性能の極めて優れた新規な連続無
機繊維に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention mainly relates to St , Zr s C or Sl, Z
The present invention relates to a novel continuous inorganic fiber consisting of r, c, and o having extremely excellent performance.

本発明者等は、さきに特許出願した特開昭51−126
300号、特開昭51−139929号等において、ケ
イ素と炭素とを主な骨格成分とするポリカルボシランを
紡糸して繊維とし、該紡糸繊維を不融化して、次いで焼
成することにより、機械的性質及び熱的性質の良好なシ
リコンカーバイド達続繊緒(SIC連続繊維)を得る技
術を開示した。
The present inventors previously applied for a patent in JP-A-51-126.
No. 300, JP-A No. 51-139929, etc., polycarbosilane whose main skeleton components are silicon and carbon are spun into fibers, the spun fibers are made infusible, and then fired, so that mechanical A technique for obtaining silicon carbide continuous fiber (SIC continuous fiber) with good physical and thermal properties has been disclosed.

本発明者は、その後、架橋結合したポリカルボシラン部
分とポリチタノシロキサン部分とからなる新規な共重合
体、または主鎖骨格が主として→31−CH2−)−の
構造単位よりなるポリカルボシランと→Ti −0−)
−結合単位のチタンアルコキシドから誘導される新規な
ポリチタノカルボシランを紡糸して繊維とし、得られた
繊維を不融化し、ついで焼成することにより得たSI 
C−IC連続繊維が、従来のSiC連続繊維に比べてさ
らに機械的性質のすぐれた繊維であることを特願昭54
−80793号または特願昭55−29781号明細書
において開示した。
The present inventor then developed a novel copolymer consisting of a crosslinked polycarbosilane moiety and a polytitanosiloxane moiety, or a polycarbosilane whose main chain skeleton mainly consists of →31-CH2-)- structural units. and→Ti −0−)
- SI obtained by spinning a novel polytitanocarbosilane derived from titanium alkoxide as a bonding unit into fibers, making the resulting fibers infusible, and then firing them.
A patent application filed in 1983 claims that C-IC continuous fibers have even better mechanical properties than conventional SiC continuous fibers.
-80793 or Japanese Patent Application No. 55-29781.

また、本発明者は主鎖骨格が主として→5ICH!−一
の構造単位よりなるポリカルボシランと7rX<(ただ
し式中のXは、アルコキシ基、フェノキシ基又はアセチ
ルアセトキシ基を表わす)で表わされる有機ジルコニウ
ム化合物から誘導される新規なポリジルコノカルボシラ
ンを見出し、この新規ポリジルコノカルボシランおよび
その製造法に関する発明を特願昭54−169443号
明細書において開示した。本発明者は更に、上記の新規
ポリジルコノカルボシランを紡糸して繊維とし、得られ
た繊維を不融化し、ついで焼成することによって得られ
る、主として81 C−Zr Cからなる連続織繍が、
従来のポリカルボシランから得られるSiC繊維よりも
一層すぐれた機械的性質と高温での耐酸化性を呈し、且
つ特異な構造を有する複合炭化物であることを見出し、
本発明に到達したものである。
In addition, the present inventor found that the main chain skeleton is mainly →5ICH! - A novel polyzirconocarbosilane derived from a polycarbosilane consisting of one structural unit and an organic zirconium compound represented by 7rX< (where X in the formula represents an alkoxy group, phenoxy group or acetylacetoxy group) and disclosed the invention relating to this new polyzirconocarbosilane and its manufacturing method in Japanese Patent Application No. 169443/1983. The present inventor further discovered that a continuous woven fabric mainly composed of 81C-ZrC is obtained by spinning the above novel polyzirconocarbosilane into fibers, making the resulting fibers infusible, and then firing them. ,
We discovered that it is a composite carbide with a unique structure that exhibits better mechanical properties and oxidation resistance at high temperatures than SiC fibers obtained from conventional polycarbosilane,
This has led to the present invention.

本発明によれば、実質的に31.7rおよびC1場合に
より更にOからなる連続無機繊維であって、5− 該繊維は実質的に、 (1)St 、ZrおよびC1場合により更に0から実
質的になる非晶質、または (2)実質的にβ−8t C,Zr C1β−8iCと
ZrCの固溶体およびZrG (ただ−2 し0<x<1)の粒径が500A以下の各結晶質超微粒
子からなる(但し、これらの結晶質超微粒子の近傍に非
晶質のsr oxおよびZr0tが存在する場合もある
)集合体、または (3)上記(1)の非晶質と上記(2)の結晶質超微粒
子集合体の混合系、 からなることを特徴とする新規な構造の連続無機繊維が
提供される。
According to the invention, a continuous inorganic fiber consisting essentially of 31.7r and C1 optionally further O, wherein the fiber consists essentially of (1) St, Zr and C1 optionally further comprising 0 to 5- (2) substantially a solid solution of β-8tC, ZrC1β-8iC and ZrC, and each crystalline state with a grain size of 500A or less of ZrG (only -2 and 0<x<1) An aggregate consisting of ultrafine particles (however, amorphous sr ox and Zr0t may be present in the vicinity of these crystalline ultrafine particles), or (3) an aggregate consisting of the amorphous of (1) above and (2) above. ) A continuous inorganic fiber with a novel structure is provided, which is characterized by comprising a mixed system of crystalline ultrafine particle aggregates.

上記の本発明の連続無機繊維を製造するための方法は、 主として一般式 −tS I −CH!→− − (但し、式中のRは水素原子、低級アルキル基、又はフ
ェニル基を示す) で表わされる主鎖骨格を有する数平均分子量が200〜
10000のポリカルボシラン、及び一般式 %式% (但し、式中のXは炭素数1〜20個を有するアルコキ
シ基、フェノキシ基又はアセチルアセトキシ基を示す) で表わされる有機ジルコニウム化合物を、前記ポリカル
ボシランの→31 =CHt→−の構造単位の全数対前
記有機ジルコニウム化合物の→Zr−0今一の構造単位
の全数の比率が2:1乃至200 : 1の範囲内とな
る量比に加え、反応に対して不活性な雰囲気中において
加熱反応して、前記ポリカルボシランのケイ素原子の少
なくとも1部を、前記有機ジルコニウム化合物のジルコ
ニウム原子と酸素原子を介して結合させて、数平均分子
量が約700〜100000のポリジルコノカルボシラ
ンを生成させる第1工程と、上記ポリジルコノカルボシ
ランの紡糸原液を作り紡糸する第2工程と、該紡糸繊維
を張力あるいは無張力下で不敵化する第3工程と、不融
化した前記紡糸繊維を真空中あるいは不活性ガス雰囲気
中で800〜1800℃の温度範囲で焼成する第4工程
からなることを特徴とする実質的に81.Zr、Cまた
は81 SZr 、C,0,からなる連続無機繊維の製
造方法(以下これ本発明の方法と呼ぶことがある)であ
る。
The method for producing the continuous inorganic fiber of the present invention described above mainly has the general formula -tS I -CH! →− − (However, R in the formula represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a phenyl group) having a number average molecular weight of 200 to
10,000 polycarbosilane and an organic zirconium compound represented by the general formula % (where X in the formula represents an alkoxy group, phenoxy group, or acetylacetoxy group having 1 to 20 carbon atoms), In addition to a quantitative ratio such that the ratio of the total number of →31=CHt→- structural units of the carbosilane to the total number of →Zr-0 structural units of the organic zirconium compound is within the range of 2:1 to 200:1. , by heating reaction in an atmosphere inert to the reaction, at least a part of the silicon atoms of the polycarbosilane are bonded to the zirconium atoms of the organic zirconium compound via oxygen atoms, and the number average molecular weight is reduced. A first step of producing polyzirconocarbosilane of about 700 to 100,000, a second step of preparing and spinning a spinning dope of the polyzirconocarbosilane, and making the spun fiber invulnerable under tension or no tension. Substantially 81. characterized in that it consists of a third step and a fourth step of firing the infusible spun fibers in a vacuum or in an inert gas atmosphere at a temperature range of 800 to 1800°C. This is a method for producing continuous inorganic fibers made of Zr, C or 81 SZr , C,0 (hereinafter sometimes referred to as the method of the present invention).

以下に本発明をより詳細に説明するが、先づ本発明の方
法について述べる。
The present invention will be explained in more detail below, but first the method of the present invention will be described.

本発明の方法の第1工程は、連続無機繊維を製造するた
めの出発原料として使用する、数平均分子量が約700
〜100000のポリジルコノカルボシランを製造する
工程である。上記のポリジルコノカルボシラン並びにそ
の製造法は、先に述べた如(、本出願人によって出願さ
れた特開11B54−169443号の主題であって、
この特許出願の明細書に詳細に開示されているが、これ
について概説すると次の如くである。
The first step of the method of the present invention consists in using fibers with a number average molecular weight of about 700 as starting material for producing continuous inorganic fibers.
This is a process for producing polyzirconocarbosilane of ~100,000. The above-mentioned polyzirconocarbosilane and its manufacturing method are as mentioned above (the subject of Japanese Patent Application Laid-Open No. 11B54-169443 filed by the present applicant,
This is disclosed in detail in the specification of this patent application, but it can be summarized as follows.

本発明の方法に使用する出発原料であるポリジルコノカ
ルボシランは、 主として一般式 %式% (但し9式中のRは水素原子、低級アルキル基。
Polyzirconocarbosilane, which is a starting material used in the method of the present invention, mainly has the general formula % (where R in formula 9 is a hydrogen atom or a lower alkyl group).

又はフェニル基を示す)で表わされる主鎖骨格を有する
数平均分子量が200〜10.000のポリカルボシラ
ンと、一般式 (但し1式中のxH炭素数1〜20個を有するアルコキ
シ基、フェノキシ基又はアセチルアセトキシ基を示す)
で表わされる有機ジルコニウム化合物とから誘導された
数平均分子量フ00〜100.000のポリジルコノカ
ルボシランであって。
A polycarbosilane having a main chain skeleton represented by the following formula (or a phenyl group) and having a number average molecular weight of 200 to 10.000; group or acetylacetoxy group)
A polyzirconocarbosilane having a number average molecular weight of 00 to 100,000 and derived from an organic zirconium compound represented by:

該ポリジルコノカルボシランのケイ素原子の少なくとも
1部が酸素原子を介してジルコニウム原子と結合してお
り、そして該ポリジルコノカルボシランにおける÷8l
−OR,十の構造単位の全数対+Zr−0÷の構造単位
の全数の比率が2:1乃至200 : 1の範囲内にあ
る重合体である。またこのような重合体には1次に図示
するような1官能性重合体、2官能性重合体、3官能性
重合体及び4官能性重合体がある。
At least a part of the silicon atoms of the polyzirconocarbosilane are bonded to zirconium atoms via oxygen atoms, and ÷8l in the polyzirconocarbosilane
-OR, a polymer in which the ratio of the total number of structural units of 10 to the total number of structural units of +Zr-0÷ is within the range of 2:1 to 200:1. Further, such polymers include monofunctional polymers, difunctional polymers, trifunctional polymers, and tetrafunctional polymers as shown in the figure.

10− (1官能性重合体) (2官能性重合体)RHRH l 1 1 I へ〜〜81−0〜〜〜 〜〜〜81−0へ〜〜1 1 
1 1 0HOH 1 X−Zr−X X−Zr−X 1 X OH 1 ・−〜〜81−0ヘーーV 1 RH (3′ぼ能性ム合体) (4官能性重合体)RHRH l 1 1 1 〜〜〜8l−ON%A−〜〜〜81−0へ〜〜〜〜〜8
1−0− −81−0− 1 1 1 1 1()i RH (但し、R及びXは前記と同じ意味を有する)また本発
明に使用されるポリジルコノカルボシランは、前記ポリ
カルボシランと前記有機ジルコニウム化合物とを、ポリ
カルボビランの+8l−0)!、÷の構造単位の全数対
有機ジルコニウム化合物の+Zr−0÷の構造単位の全
数の比率が2:1乃至200 : 1の範囲内となる量
比に加え1反応に対して不活性な雰囲気中において加熱
反応して得られる。
10- (Monofunctional polymer) (Difunctional polymer) RHRH l 1 1 I To ~81-0 ~ ~ ~ To 81-0 ~1 1
1 1 0HOH 1 X-Zr-X X-Zr-X 1 〜〜〜8l-ON%A〜〜〜〜81-0〜〜〜〜〜8
1-0- -81-0- 1 1 1 1 1()i RH (However, R and X have the same meanings as above) Furthermore, the polyzirconocarbosilane used in the present invention is and the organic zirconium compound, +8l-0) of polycarbobilane! , ÷ to the total number of structural units of +Zr-0÷ of the organic zirconium compound is in the range of 2:1 to 200:1, and in an atmosphere inert to one reaction. It is obtained by a heating reaction.

第1工楊で使用するポリカルボシランは、数平均分子量
が200〜10,000の、生として一般式%式% (但し2式中のRは水素原子、低級アルキル基。
The polycarbosilane used in the first technology has a number average molecular weight of 200 to 10,000 and has the general formula % (wherein R in formula 2 is a hydrogen atom or a lower alkyl group).

父はフェニル基を示す)で表わされる玉鎖骨格を弔して
いる。なお、ポリカルボシランの末端基のケイ素原子に
は前記の側鎖の他に、水酸基が結合していてもよい。
My father is mourning the bead chain skeleton represented by (representing a phenyl group). In addition to the side chain described above, a hydroxyl group may be bonded to the silicon atom of the terminal group of the polycarbosilane.

ポリカルボシランの製造方法自体は公知であり。The method for producing polycarbosilane itself is well known.

本発明において出発原料として使用するポリカルボシラ
ンaそのような公知方法によって製造することができる
Polycarbosilane a used as a starting material in the present invention can be produced by such known methods.

例えば、モノシランtそのまま熱重合する方法が、e、
Fr1tz ; Angew、Ohem、、フ9 、 
65γ (196))及びa、 Fr1tZ at a
l ; Aav、 InOrg、 Ohem。
For example, a method of thermally polymerizing monosilane t directly, e,
Fr1tz; Angew, Ohem,, F9,
65γ (196)) and a, Fr1tZ at a
l; Aav, InOrg, Ohem.

Radlochem、 、 7 、 349 (196
5) によって開示されている。またモノシランを一旦
、ポリシランとした徒、これを重合することによりポリ
カルボシランを製造する方法があり1本発明者らが先に
出願した特開昭51−126300号公報、特開昭52
−74000号公報、特開昭52−112700号公報
及び特開昭54−61299号公報において開示されて
いる。本発明で使用するポリカルボシランは、玉鎖骨格
が実質的に+8l −OH,÷の構造単位を有する直鎖
状、網目状及び塊状の重合体である。
Radlochem, 7, 349 (196
5) Disclosed by. There is also a method of manufacturing polycarbosilane by once converting monosilane into polysilane and then polymerizing it.
It is disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 74000, Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-112700, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-61299. The polycarbosilane used in the present invention is a linear, network-like, or block-like polymer whose ball chain skeleton has substantially +8l -OH,÷ structural units.

第1工程で、他の出発原料として使用する有機ジルコニ
ウム化合物は、一般式 (但し1式中のXは炭素数1−20個e7Nするアルコ
キシ基、フェノキシ基又はアセチルアセトキシ基を示す
)で表わされ、該化合物を得るために通常行なわれてい
る合成法によって製造することができる。
In the first step, the organic zirconium compound used as another starting material is represented by the general formula (X in formula 1 represents an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a phenoxy group, or an acetylacetoxy group). The compound can be produced by a commonly used synthetic method.

−11−’ 本発明の方法の第1工程においては、前述のポリカルボ
シランと有機ジルコニウム化合物とを。
-11-' In the first step of the method of the present invention, the above-mentioned polycarbosilane and an organic zirconium compound are used.

ポリカルボシランの÷8l−OH,十の構造単位の全数
対有機ジルコニウム化合物の÷Zr−0+の構造単位の
全数の比重が2:1乃至200 : lの範囲内となる
量比に加え、加熱反応して電合体を製造する。この反応
により、ポリカルボシランの主鎖骨路中の構造単位÷8
1− OH,十の一部において、ケイ素原子に結合して
いた*1+頗泰Rの一個が脱離し。
In addition to the quantitative ratio such that the specific gravity of the total number of structural units of ÷8l-OH, 10 of the polycarbosilane to the total number of structural units of ÷Zr-0+ of the organic zirconium compound is within the range of 2:1 to 200:l, and heating. React to produce an electrolyte. This reaction results in structural units divided by 8 in the main clavicular tract of polycarbosilane.
In a part of 1-OH, 10, one of *1+KiyoshiR bonded to the silicon atom is detached.

そのケイ素原子が、有機ジルコニウム化合物のジルコニ
ウム原子と酸素原子全弁して結合する。
The silicon atom is bonded to the zirconium atom of the organic zirconium compound through all the oxygen atoms.

本発明の方法の第1工程で製造される新規ポリジルコノ
カルボシランは、数平均分子量が約’700〜100,
000 の重合体であり、そして2通常50〜400℃
に加熱することにより浴融する熱可塑性物質であり、ま
たn−ヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、テト
ラヒドロフラン等の溶媒に一丁溶である。
The novel polyzirconocarbosilane produced in the first step of the process of the invention has a number average molecular weight of about '700 to 100,
000, and 2 usually 50-400℃
It is a thermoplastic substance that melts in a bath when heated to a temperature of 100 mL, and is soluble in solvents such as n-hexane, benzene, toluene, xylene, and tetrahydrofuran.

本発明の製造方法の第2工程においては、前記14− 第1工程で得られるポリジルコノカルボシランを加熱溶
融させて紡糸−原液を造り、場合によってはこれを1過
してミクロゲル、不純物等の紡糸に際して有害となる物
質を除去し、これを通常用いられる合成繊維紡糸装置に
より紡糸する。紡糸する際の紡糸原液の温度は原料のポ
リジルコノカルボシランの軟化温度によって異なるが5
0〜400℃のm度範囲が有利でるる。前記紡糸装置に
おいて。
In the second step of the production method of the present invention, the polyzirconocarbosilane obtained in the first step is heated and melted to prepare a spinning stock solution, and in some cases, this is passed through once to remove microgels, impurities, etc. Substances that are harmful during spinning are removed, and the resulting material is spun using commonly used synthetic fiber spinning equipment. The temperature of the spinning dope during spinning varies depending on the softening temperature of the polyzirconocarbosilane raw material.
A range of m degrees from 0 to 400° C. is advantageous. In the spinning device.

必要に応じて紡糸筒を収シつけ、該紡糸筒内の雰囲気を
吏気、不活性ガス、熱空気、熱不活性ガス。
If necessary, the spinning tube is evacuated, and the atmosphere inside the spinning tube is changed to air, inert gas, hot air, or heated inert gas.

スチーム、アンモニアガスのうちから選ばれるいずれか
−a1以上の雰囲気とした後1巻取シ速度を大さくする
ことによシ和い直径の繊維會碍ることができる。前記溶
融紡糸における紡糸速度は原料たるポリジルコノカルボ
シランの平均分子量1分子量分布9分子構造によって異
なるが、50〜5ooom/分の範囲で良い結果が得ら
れる。
By increasing the winding speed after creating an atmosphere of at least -a1 selected from steam and ammonia gas, it is possible to form fibers with a suitable diameter. The spinning speed in the melt spinning varies depending on the average molecular weight, molecular weight distribution, and molecular structure of the raw material polyzirconocarbosilane, but good results can be obtained in the range of 50 to 5 ooom/min.

本発明の製造方法の@2工程は、前記#融紡糸のほかに
、前記第1工程で得られるポリジルコノカルボシランを
1例えばベンゼン、トルエン、キシレンあるいはその他
の、該ポリジルコノカルボシランを溶解することのでき
る溶媒に溶屏させ。
In step @2 of the manufacturing method of the present invention, in addition to the above-mentioned #melt spinning, the polyzirconocarbosilane obtained in the above-mentioned 1st step is mixed with one another, such as benzene, toluene, xylene or other polyzirconocarbosilane. Dissolve it in a solvent that can dissolve it.

紡糸原液を造り、場合によってはこれkF’過してマク
ロゲル、不純物等紡糸に際して有害な物質を除去した彼
、前記紡糸原液を通常用いられる合成繊維紡糸装置によ
り乾式紡糸法により紡糸し1巻取り速度を大きくして目
的とする細い繊維金得ることができる。
He prepares a spinning stock solution and, in some cases, passes it through kF' to remove macrogels, impurities, and other harmful substances during spinning.The spinning stock solution is then spun using a dry spinning method using a commonly used synthetic fiber spinning device to increase the winding speed. By increasing the size, you can obtain the desired thin fiber gold.

これらの紡糸工程において、必要ならば、紡糸装置に紡
糸筒t−収りつけ、その筒内の雰囲気を前記溶媒のうち
の少なくともl柚以上の溶媒の飽和蒸気雰囲気と、空気
、不活性ガスのうちから選ばれる少なくとも1つの気体
との混@雰囲気とするか、あるいは空気、不活性ガス、
熱望気、熱不活性ガス、スチーム、アンモニアガス、炭
化水素ガス、有機ケイ素化合物ガスの雰囲気とすること
により、紡糸筒中の紡糸繊維の同化を制御することがで
きる。
In these spinning steps, if necessary, a spinning tube is installed in the spinning device, and the atmosphere inside the tube is changed to a saturated vapor atmosphere of at least one of the above solvents, air, and an inert gas. Atmosphere mixed with at least one gas selected from the following, or air, inert gas,
Assimilation of the spun fibers in the spinning tube can be controlled by providing an atmosphere of hot air, hot inert gas, steam, ammonia gas, hydrocarbon gas, or organosilicon compound gas.

次に本発明のw、31程においては、前記紡糸繊維を酸
化性雰囲気中で、張力または無張力の作用のもとて50
〜400cの温度範囲で低温加熱を数分から30時間お
こなって、前記紡糸繊維を不融化する。この低温加熱す
る目的は、紡糸繊維表面に薄い酸化被膜を形成させて、
後述の焼成工程で紡糸繊維が融出しないように前記酸化
被膜で保護するためである。前記酸化被膜によpi7i
糸繊維は後工程の焼成の際に融出せず、かつ隣接した繊
維と接触することがあったとしても接着しない。
Next, in step 31 of the present invention, the spun fibers are subjected to tension or no tension in an oxidizing atmosphere for 50 minutes.
The spun fibers are rendered infusible by low-temperature heating in the temperature range of ~400C for several minutes to 30 hours. The purpose of this low-temperature heating is to form a thin oxide film on the surface of the spun fibers.
This is to protect the spun fibers with the oxide film so that they do not melt in the firing process described later. pi7i due to the oxide film
The yarn fibers do not melt during the post-process firing, and even if they come into contact with adjacent fibers, they do not adhere.

前記低温加熱の雰囲気は、空気、オゾン、i!I!素。The atmosphere for the low temperature heating is air, ozone, i! I! Basic.

塩素ガス、臭素ガス、アンモニアガスのうちから選ばれ
るいづれか−′Sまたは2櫨以上の酸化性ガス雰囲気が
好ましく、前記ガス雰囲気での低温加熱を50℃以下で
υ己なっても紡糸繊維に酸化被膜を造ることができず、
400CB上の温度では酸化が進行しすぎるため50〜
400℃の温度範囲で良い結果70i優られる。前記低
温加熱する時間は前記温腿と関連し、数分から30時間
の範囲が適尚である。
An oxidizing gas atmosphere selected from chlorine gas, bromine gas, and ammonia gas or 2 or more gases is preferable, and even if low-temperature heating in the gas atmosphere is performed at 50°C or less, the spun fibers will not be oxidized. unable to form a membrane,
At temperatures above 400CB, oxidation progresses too much, so 50~
Good results in the temperature range of 400°C are better than 70i. The time for the low-temperature heating is related to the temperature, and is suitably in the range of several minutes to 30 hours.

低温加熱芥囲気として前記酸化性ガス雰囲気以外にKM
nO,、K@Or@01 、 H2O,及びその他の無
機過酸17− 化物の水溶液も使用することができ、この場合温度は室
温から90℃の範囲が好ましく1時間は0.5°〜5時
間の範囲が好ましい。
In addition to the above-mentioned oxidizing gas atmosphere, KM is used as a low-temperature heating atmosphere.
Aqueous solutions of nO, K@Or@01, H2O, and other inorganic peroxides can also be used, in which case the temperature is preferably in the range of room temperature to 90°C, at 0.5° to 5°C for 1 hour. A time range is preferred.

ただし1本発明の方法の第1工程で得られるポリジルコ
ノカルボシランは合成条件により2分子量分布が異な9
.低分子量化合物のせ有量の多少により軟化温度が約5
0℃以下になる場合もありうる。この場合は後述するよ
うな諸方法により低分子量化合物を少なくして前記共重
合体の軟化温度を少なくとも50’Cとすることができ
る。軟化温度が50C以下のポリジルコノカルボシラン
を紡糸して繊維としても、該紡糸繊維を酸化性雰囲気中
で50〜400℃の温度範囲で低温加熱して不融化する
場合繊維の形状が失なわれることがあるからである。す
なわち、約50’C以下の軟化点を有するポリジルコノ
カルボシランが第1工程で得られる場合には、il工程
の後、第2工程の前で必要ならば付加工程として、第l
工程で得られたポリジルコノカルボシラン中の低分子量
化合物を除去する工程t−mこすことができる。この付
カロ工−1,8− 程を実施するための代表的な方法は、第1工程で得られ
るポリジルコノカルボシラン中の低分子電化合物’tメ
y−ルアルコール、エチルアルコールの如きアルコール
類、あるいはアセトン等の溶媒で抽出し、軟化温度約5
0’C以上のポリジルコノカルボシランとするか、ある
いは前記ポリジルコノカルボシランを減圧下で、あるい
は不活性ガス雰囲気中で500℃以下の温度で加熱し低
分子量化合物を蒸留によって除去し軟化温度500以上
のポリジルコノカルボシランとする方法である。この付
加工程において、突気、酸素ガス等を含有する酸化性雰
囲気で蒸留することは、前記ポリジルコノカルボシラン
が酸化され1分解、あるいはゲル化するので好ましくな
い。また加熱温度が500℃以上では前記ポリジルコノ
カルボシランの分解が陳しくなるから、加熱温度は50
00以下にする必要かある。
However, the polyzirconocarbosilane obtained in the first step of the method of the present invention has a different molecular weight distribution depending on the synthesis conditions9.
.. The softening temperature may vary depending on the amount of low molecular weight compounds.
Temperatures may drop below 0°C. In this case, the softening temperature of the copolymer can be adjusted to at least 50'C by reducing the amount of low molecular weight compounds by various methods as described below. Even if polyzirconocarbosilane with a softening temperature of 50C or less is spun into fibers, the shape of the fibers will not be lost if the spun fibers are heated at a low temperature in an oxidizing atmosphere in the temperature range of 50 to 400C to make them infusible. This is because there are times when you may be exposed. That is, if a polyzirconocarbosilane having a softening point of about 50'C or less is obtained in the first step, the il step is followed by an additional step if necessary before the second step.
In step t-m, low molecular weight compounds in the polyzirconocarbosilane obtained in the step are removed. A typical method for carrying out this addition process is to use a low molecular weight compound such as methanol or ethyl alcohol in the polyzirconocarbosilane obtained in the first step. Extract with a solvent such as alcohol or acetone, and the softening temperature is approximately 5.
The polyzirconocarbosilane has a temperature of 0'C or higher, or the polyzirconocarbosilane is heated at a temperature of 500°C or lower under reduced pressure or in an inert gas atmosphere to remove low molecular weight compounds by distillation and soften it. This is a method for producing polyzirconocarbosilane with a temperature of 500 or higher. In this addition step, it is not preferable to distill in an oxidizing atmosphere containing sudden air or oxygen gas because the polyzirconocarbosilane will be oxidized and decomposed or gelled. In addition, if the heating temperature is 500°C or higher, the polyzirconocarbosilane will tend to decompose, so the heating temperature should be 500°C or higher.
Is it necessary to set it below 00?

本発明の第3工程におい、てはさらに前記酸化性雰囲気
中で低温加熱して不融化する方法のほかに該紡糸繊維に
酸化性雰囲気あるいは非酸化性雰囲気で、張力あるいは
無張力下で必要に応じて低温加熱しなからr=照射、あ
るいは電子線照射して不融化することができる。この7
1%1i!あるいは電子線を照射する目的は、紡糸繊維
を形成するポリジルコノカルボシランを、さらに重合さ
せることによって、ポリジルコノカルボシランが軟化す
ることなく分解し後述の焼成工程で紡糸繊維が融解して
、繊維形状を失なうことを防ぐためである。
In the third step of the present invention, in addition to the method of heating at low temperature in an oxidizing atmosphere to make it infusible, the spun fibers are further heated under tension or non-tension in an oxidizing atmosphere or a non-oxidizing atmosphere. Depending on the situation, it can be made infusible by low-temperature heating and then r=irradiation or electron beam irradiation. This 7
1%1i! Alternatively, the purpose of electron beam irradiation is to further polymerize the polyzirconocarbosilane that forms the spun fibers, so that the polyzirconocarbosilane decomposes without softening and the spun fibers melt in the firing process described later. This is to prevent the fiber from losing its shape.

前記γ線あるいは電子線照射による不融化は。The above-mentioned infusibility due to γ-ray or electron beam irradiation.

不活性ガスあるいは真窄中等の非酸化性雰囲気で行なう
ことができ照射線量線10〜1010γが過当であや、
室温で行なうことができる。前記r線あるいは・−子線
照射は、空気、オゾン、酸素、塩素ガス、臭素ガス、ア
ンモニアガスのうちから選ばれるいずれか一種または二
種以上の酸化性ガス雰囲気でも行うことができ、さらに
必要であれば50〜200℃の温度範囲で加熱しながら
行なうことによって紡糸縁上表面に薄い酸化被膜を形成
させ、不−化紫より短時間で達成させることができる。
It can be carried out in a non-oxidizing atmosphere such as an inert gas or a true tube.
It can be done at room temperature. The r-ray or -son beam irradiation can be carried out in an oxidizing gas atmosphere of one or more selected from air, ozone, oxygen, chlorine gas, bromine gas, and ammonia gas, and further, if necessary If so, a thin oxide film can be formed on the upper surface of the spinning edge by heating in a temperature range of 50 to 200 DEG C., and this can be achieved in a shorter time than in the case of untreated purple.

このr線、るるいは電子線照射によって不融化する場合
、第1工程で得られるポリジルコノカルボシランは常温
で固体でありさえすればよく。
When the polyzirconocarbosilane obtained in the first step is rendered infusible by this r-ray, irradiation, or electron beam irradiation, it is sufficient that it is solid at room temperature.

もし粘稠な流動性を有するものが得られた場合には、前
述した溶媒による抽出かめるいは°蒸留によってポリジ
ルコノカルボシラン中の低分子量化合物を除去し、室温
で固体状にしなければならない。
If a viscous fluid product is obtained, the low molecular weight compounds in the polyzirconocarbosilane must be removed by extraction with the aforementioned solvent or distillation, and the polyzirconocarbosilane must be made solid at room temperature. .

前記不融化するに際して無張力下で行うと前記紡糸繊維
は収縮のため波状の形を呈するようになるが、後工程の
焼成工程で矯正できる場合もあシ。
If the infusibility is carried out under no tension, the spun fibers will shrink and take on a wavy shape, but this can sometimes be corrected in the subsequent firing step.

張力は必ずしも必要でないが、張力を作用させる場合に
は、その張力の大きさは不融化時に紡糸繊維が収縮して
も波状となることを少なくとも防止することができる以
上の大きさでめればよ<、1〜500t/Ijの範囲の
張力倉作用させると良い結果が得られる。
Tension is not necessarily required, but if tension is applied, the tension should be large enough to at least prevent the spun fibers from becoming wavy even if they shrink during infusibility. Good results can be obtained by applying a tension chamber in the range of 1 to 500 t/Ij.

1f/IjJa下の張力を作用させても縁上倉たるませ
ないような緊張を与えることができず、500F、−以
上の張力r作用させると張力が大きすざてfIII#&
が切断することがあるから、張力は1〜50027−の
範囲がよい。
Even if a tension below 1f/IjJa is applied, it is not possible to apply a tension that will not cause the rim to sag, and when a tension r above 500F is applied, the tension becomes large fIII#&
may break, so the tension is preferably in the range of 1 to 50027-.

21一 本発明の第3工程により不一化処理された紡糸繊維は、
その引張強度および伸び率が非常に大きく、これは連続
繊維を製造するのに大きな利点である。すなわち、ポリ
カルボシランから810 m維を製造する通常の方法で
は、ポリカルボシランを紡糸し不融化した場合、一般に
その引張強度は1、0 gy7−を超えることができず
伸び率も2%以下であるのに対して9例えば、後述の実
副例1に記載の本発明の方法に従がい、不融化した繊維
の引張強度は5.0にV−伸び率は13.0%である。
21- The spun fibers subjected to the unification treatment in the third step of the present invention are
Its tensile strength and elongation are very high, which is a great advantage for producing continuous fibers. In other words, in the conventional method of producing 810 m fibers from polycarbosilane, when polycarbosilane is spun and made infusible, its tensile strength generally cannot exceed 1.0 gy7- and its elongation rate is 2% or less. On the other hand, 9 For example, according to the method of the present invention described in Actual Sub-Example 1 below, the tensile strength of the infusible fiber is 5.0 and the V-elongation is 13.0%.

俤って本発明の不融化糸は収り扱いが容易であり、後工
程で焼成する際に糸切れを少なくすることができるので
歩留が上り有利である。
In addition, the infusible yarn of the present invention is easy to store and handle, and it is possible to reduce yarn breakage during firing in the subsequent process, which is advantageous in increasing yield.

次に本発明の論4工程においては、前記不融化した繊維
を、800〜1800℃の温度範囲で焼成し。
Next, in step 4 of the present invention, the infusible fibers are fired at a temperature range of 800 to 1800°C.

主として81. zr、 O又は81. Zr、O,O
よりなる連続無機繊維とする。
Mainly 81. zr, O or 81. Zr, O, O
A continuous inorganic fiber consisting of

前記焼成は、A至めるいは不活性ガス雰囲気中で800
〜1800 Cのi?ii1度範囲で張力、あるいは無
張力下で行なわれる。この焼成において紡糸繊維22− 全形成するポリジルコノカルボシランは、熱室縮合反応
と、熱分解反応とにより易揮発性成分を放出する。易揮
発性成分の揮散は500〜700 ℃の温度範囲で最も
大きく、このために前記紡糸繊維は収縮し屈曲するが、
加熱中に張力を作用させることは、この屈曲を防止する
上で特に有利である。
The calcination is carried out at 800 mA or below in an inert gas atmosphere.
~1800 C i? ii It is carried out under tension or no tension in the 1 degree range. The polyzirconocarbosilane that is entirely formed in the spun fiber 22 during this firing releases easily volatile components through a heat chamber condensation reaction and a thermal decomposition reaction. Volatilization of easily volatile components is greatest in the temperature range of 500 to 700°C, which causes the spun fibers to shrink and bend;
Applying tension during heating is particularly advantageous in preventing this bending.

この際の張力の大きさは前記力ロ熱時に繊維が収縮して
も波状の形となることを少なくとも防止することができ
る以上の大きさであればよいが、実用的には0.001
〜5 KF/−の範囲の張力を作用させると良い結果か
得られ、O,0O1F4/−以下の張力を作用させても
繊維金たるませないような緊張を与えることができず、
5Q/−以上の張力を作用させると、張力が大きすぎ゛
て繊維が切断することがあるため、0.001〜5に9
/−の範囲の張力を作用させるのが良い。なお前記焼成
は雰囲気、温度。
The magnitude of the tension at this time may be at least as large as being able to at least prevent the fibers from forming a wavy shape even if they contract during the heating process, but practically 0.001
Good results can be obtained by applying a tension in the range of ~5 KF/-, and even if a tension of O,0O1F4/- or less is applied, it is not possible to apply a tension that does not cause the fiber metal to sag.
If a tension of 5Q/- or more is applied, the tension may be too large and the fibers may break.
It is preferable to apply a tension in the range of /-. Note that the firing is performed under different atmospheres and temperatures.

時間等の加熱条件を替えた多段焼成法で行なうこともで
きる。
A multi-stage firing method in which heating conditions such as time are changed can also be used.

以上の工程により得られた前記繊維には、β−810、
ZrO、β−810とzro (7)固溶体およびZr
0l−x(たたし0くxく1)のほかに黒鉛、遊離炭素
、8102 あるいはZrO□が言1f1.ていること
があり、使用目的によってはこれらを収り除くことが必
要となる場合もある。従って必要に応じて、前記繊維を
、硫酸、硝酸、硫酸と硝酸の混酸2項酸。
The fibers obtained through the above steps include β-810,
ZrO, β-810 and zro (7) solid solution and Zr
In addition to 0l-x (tad 0 x x 1), graphite, free carbon, 8102 or ZrO□ can be used as 1f1. Depending on the purpose of use, it may be necessary to eliminate these. Therefore, if necessary, the fibers may be treated with sulfuric acid, nitric acid, or a mixed diamic acid of sulfuric acid and nitric acid.

硝酸と塩酸との混酸、j@クロム酸カリウムの硫酸酸性
溶液、過マンガン酸カリウムの硫酸酸性溶液。
Mixed acid of nitric acid and hydrochloric acid, sulfuric acid acidic solution of potassium chromate, sulfuric acid acidic solution of potassium permanganate.

フッ化水素酸、フッ化水素酸と硝酸との混酸、フッ化水
素酸と硫酸との混酸などに浸漬することKより、前記焼
成した繊維中に官まれる上記の黒鉛。
The above-mentioned graphite is incorporated into the fired fiber by immersion in hydrofluoric acid, a mixed acid of hydrofluoric acid and nitric acid, a mixed acid of hydrofluoric acid and sulfuric acid, or the like.

遊離炭素、810.あるいはZrO2を溶比させること
かできる。なおこのほかの方法として、N、OH。
free carbon, 810. Alternatively, it is possible to dissolve ZrO2. Other methods include N, OH.

ボラツクス、 Na200g 、K2O0g I K2
00g /Na2003 。
Borax, Na200g, K2O0g I K2
00g/Na2003.

Na2804 、 KNO2、Na0j 、xaLos
 l No20g 、 K2O03/KNO34の俗l
l11!ll塩を使用して、前記の8102 を溶出さ
せることができ、又、リン酸により前記の遊離炭素を溶
出させることもできる。
Na2804, KNO2, Na0j, xaLos
l No20g, K2O03/KNO34 slang l
l11! 11 salt can be used to elute the 8102, and phosphoric acid can also be used to elute the free carbon.

また前記の遊離炭素は前21[18帛4工程の焼成を一
旦1000℃以上の温度で行った繊維を、酸素ガス。
In addition, the above-mentioned free carbon is obtained by using fibers that have been fired in the 4 steps of 18 times at a temperature of 1000° C. or higher, and then using oxygen gas.

莫気、オゾン、水素ガス、水蒸気、 00ガスのうちか
ら選ばれるいずれか少なくとも1種の雰囲気中で好適に
は800〜1600℃の温度範囲で〃0熱することによ
り除去することができる。前記焼成を800℃以下の温
度で行っても遊離炭素を光分除くことはできず、160
0℃を越えると複合炭化物と前記雰囲気ガスとの反応が
著しくなるために好ましくない。前記雰囲気中での焼成
の時間は焼成温度が低いと長時間を要し、焼成温度が高
いと短時間でよいが、どちらかといえば低い温度で比較
的長時間焼成した方が、複合炭化物と雰囲気ガスとの反
応生成物の生成量が少ないので良い結果が得られる。
It can be removed by heating preferably at a temperature in the range of 800 to 1600° C. in an atmosphere of at least one selected from the group consisting of carbon dioxide, ozone, hydrogen gas, water vapor, and 00 gas. Even if the above-mentioned calcination is performed at a temperature of 800°C or lower, free carbon cannot be removed by light;
If the temperature exceeds 0°C, the reaction between the composite carbide and the atmospheric gas becomes significant, which is not preferable. If the firing temperature is low, the firing time in the above atmosphere will take a long time, and if the firing temperature is high, it will take a short time, but if anything, firing at a low temperature for a relatively long time will produce a composite carbide. Good results can be obtained because the amount of reaction products produced with the atmospheric gas is small.

前記脱戻素工橿において張力を作用させることは必ずし
も必要ではないが0.001〜1oOKf/−の範囲で
張力を作用させながら高温焼成すると屈曲を少なくした
強度の簡い遅続無機繊維金得ることができ、O,0O1
h/−以下の張力を作用させても効果はな(、1,00
Kg/j 以上張力を作用させても効果に変わりないか
ら1作用させる張力は0.001〜100時/−の範囲
がよい。
Although it is not necessarily necessary to apply tension to the de-recovered raw material, by applying tension in the range of 0.001 to 1oOKf/- and firing at a high temperature, slow-onset inorganic fiber gold with reduced bending and easy strength can be obtained. can be O,0O1
Even if a tension of less than h/- is applied, there is no effect (,1,00
Even if a tension of Kg/j or more is applied, the effect will not change, so the tension to be applied is preferably in the range of 0.001 to 100 hours/-.

25一 本発明の第1工程で生成したポリジルコノカルボシラン
を第2工程により紡糸し、第3′工程で不融化した紡糸
繊維は、第4工程の加熱過程において約700℃から無
機化が激しくなり約800 Uでほぼ無機化が完了する
ものと推定される。したがって第4工程は800℃以上
の焼成温度で行なうことが必要であり、また上限は繊維
強度の優れたものを得るために1800℃とし、さらに
彼達する如く好適には1000〜1500℃である。
25- The polyzirconocarbosilane produced in the first step of the present invention is spun in the second step, and the spun fibers made infusible in the 3' step are mineralized from about 700°C in the heating process of the fourth step. It is estimated that the mineralization becomes intense and almost complete at about 800 U. Therefore, it is necessary to carry out the fourth step at a firing temperature of 800°C or higher, and the upper limit is 1800°C to obtain excellent fiber strength, and preferably 1000 to 1500°C.

次に2本発明の連続無機繊維について説明する。Next, two continuous inorganic fibers of the present invention will be explained.

本発明の連続無機繊維は実質的に81.Zr、O又は8
1.Zr、o、Oからなる無機繊維であり、前記の第1
工程乃至第4工程からなる本発明の方法により製造され
るものであるが、このさい主として第4工程の焼成の温
度に依存して、#&維の構造は下記(A)乃至(0)に
示す如く変化する。
The continuous inorganic fiber of the present invention has a substantially 81. Zr, O or 8
1. It is an inorganic fiber consisting of Zr, o, O, and the above-mentioned first
It is manufactured by the method of the present invention consisting of steps to the fourth step, and depending mainly on the firing temperature in the fourth step, the structure of the #& fiber can be as shown in (A) to (0) below. Changes as shown.

(A) 焼成温度が比較的低い場合には、実質的に非晶
質からなる無機繊維が得られ、その非晶質は。
(A) When the firing temperature is relatively low, substantially amorphous inorganic fibers are obtained;

第1工纏乃至tJl、4工程で採用される製造条件の如
何により、生として81.Zr、Oからなるか又は26
一 81、Zr、c、0からなるのいずれかである。一般的
に云えば、第4工程の焼成後において得られる繊維中に
酸素が実質的に残留しないような条件を第1乃至第4工
程で選定すれば、主として81゜Zr、Oからなる非晶
質が生成し、それとは逆に。
Depending on the manufacturing conditions adopted in the 4th process from the 1st process to tJl, the raw material is 81. Consisting of Zr, O or 26
-81, Zr, c, or 0. Generally speaking, if conditions are selected in the first to fourth steps such that substantially no oxygen remains in the fiber obtained after firing in the fourth step, an amorphous material consisting mainly of 81°Zr and O will be produced. Quality generates and vice versa.

焼成後の繊維中に酸素が残留し易いような条件を第1乃
至第4工程で選定すれば、王として81゜Zr、O,O
からなる非晶質が生成する。例えば。
If conditions are selected in the first to fourth steps such that oxygen tends to remain in the fiber after firing, the final result will be 81°Zr, O, O.
An amorphous substance consisting of for example.

第1工程でポリジルコノカルボシランを製造するさいに
ポリカルボシランの使用量に対して有機ジルコニウム化
合物の使用重管相対的に多くする程。
In producing polyzirconocarbosilane in the first step, the amount of organic zirconium compound used is relatively large relative to the amount of polycarbosilane used.

おるいは第3工程の不融化処理において繊維の酸化が起
り易い程(例えば酸化性雰囲気中での加熱温度を高くす
る)、焼成後の繊維中に酸素が残留し易くなる。またm
4工程において、焼成を窒素のような不活性ガスの気流
・中で行なうより鉱真空中で行なう方が、酸素は除去さ
れ易いので、焼成後の繊維中に酸素は残留し難くなる。
The more easily the fibers are oxidized in the infusibility treatment in the third step (for example, by increasing the heating temperature in an oxidizing atmosphere), the more likely oxygen will remain in the fibers after firing. Also m
In the fourth step, oxygen is more easily removed when firing is performed in a mineral vacuum than in a stream of an inert gas such as nitrogen, so that oxygen is less likely to remain in the fiber after firing.

例えば、後述の実施例3では第1工程でポリカルボシラ
ンとジルコニウムテトライソグロボキシドとのl:1.
9の重量比の混合物からポリジルコノカルボシランを製
造し、第3工程で紡出繊維を空気中で110℃に加熱す
ることによって不融化処理を行ない、そして第4工程で
アルゴン気流中において1000℃という比較的低い温
度で焼成を行なったが、この場合に得られた無機繊維は
、王として81.Zr。
For example, in Example 3, which will be described later, in the first step, polycarbosilane and zirconium tetraisogloboxoxide were mixed at l:1.
Polyzirconocarbosilane is produced from a mixture with a weight ratio of 9 to 9, in the third step the spun fibers are infusible by heating to 110° C. in air, and in the fourth step they are heated to 1000° C. in an argon stream. Firing was carried out at a relatively low temperature of 81°C. Zr.

0.0よりなる非晶質から実質的になる繊維である。一
方、後述の実権例5では1ml工程におけるポリカルボ
シラン対ジルコニウムテトラフェノキシドの重量比は1
5.4:lであって、有機ジルコニウム化合物の相対的
使用量が少ないために得られた無機繊維は王として81
.Zr、Oよりなる非晶質から実質的になる繊維である
It is a fiber consisting essentially of an amorphous substance consisting of 0.0. On the other hand, in Actual Example 5 described later, the weight ratio of polycarbosilane to zirconium tetraphenoxide in the 1 ml process was 1.
5.4:l, and the inorganic fiber obtained due to the relatively small amount of organic zirconium compound used is 81
.. It is a fiber consisting essentially of an amorphous material consisting of Zr and O.

(B) 焼成温度が高い場合には9粒径が500Å以下
の、β−810、ZrO、β−810とZrOの固溶体
およびZr0x−x(ただしO<X<X >の各結晶質
超微粒子集合体から実質的になる無機繊維が得られる。
(B) When the firing temperature is high, each crystalline ultrafine particle aggregate of β-810, ZrO, a solid solution of β-810 and ZrO, and Zr0x-x (where O < X < Inorganic fibers consisting essentially of the body are obtained.

但し、帛1工程乃至第4工程で採用される製造条件の如
何により、これらの各結晶質超微粒子の近傍に非晶質の
810.およびZr01 が存在する場合がある。例え
ば、後述の実権例(1−11)に記載の無機繊維は、前
記の実施例(1−1)で得られた不融化糸を1700℃
で焼成することによって得られたものであるが、この実
権例(1−1)の無機繊維は、上記の各結晶質超微粒子
の集合体からなる無機繊維である。
However, depending on the manufacturing conditions adopted in the first to fourth steps, amorphous 810. and Zr01 may be present. For example, the inorganic fiber described in Actual Example (1-11) below is prepared by heating the infusible yarn obtained in Example (1-1) at 1700°C.
The inorganic fiber of this working example (1-1) is an inorganic fiber consisting of an aggregate of each of the above-mentioned crystalline ultrafine particles.

焼成温度が高い場合、上記のような構造の繊維が得られ
る理由は次の如くである。第3工程の不融化処理後に得
られる繊維は1M、軸表面に薄い酸化被膜が形成されて
いるけれども、大部分は出発原料として使用したポリジ
ルコノカルボシランよりなるものである。そしてこのよ
うな不融化糸は第4工程の焼成処理により無機化される
が、焼成温度が比較的低い段階では、無機化(二より生
成する物質は、前項(A)で述べたように、主として8
1゜Zr、O父は81.Zr、0,0 からなる非晶質
であって、未だ結晶質超微粒子が生成するに社到らない
。然しながう、焼成温度が更に上昇すると。
The reason why fibers with the above structure can be obtained when the firing temperature is high is as follows. The fiber obtained after the infusibility treatment in the third step is 1M, and although a thin oxide film is formed on the shaft surface, most of the fiber is made of the polyzirconocarbosilane used as the starting material. Such infusible threads are mineralized by the firing process in the fourth step, but at a stage where the firing temperature is relatively low, the substances produced from the second process are mineralized (as described in the previous section (A), Mainly 8
1゜Zr, O father is 81. It is amorphous and consists of Zr, 0,0, and crystalline ultrafine particles have not yet been produced. However, if the firing temperature increases further.

上記の非晶質の一部が1粒径が5ooLB下でめるβ−
810、ZrO、β−810とZrOの固溶体および2
9− ZrO1+g(ただしO<X<1)の各結晶質超微粒子
からなる集合体に転化されるようになり、焼成温度が充
分高い場合には、非晶質の実質的にすべてが、上記の結
晶質超微粒子集合体に転化される。
β-
810, ZrO, solid solution of β-810 and ZrO and 2
9- ZrO1+g (however, O<X<1) is converted into an aggregate consisting of crystalline ultrafine particles, and if the firing temperature is high enough, substantially all of the amorphous particles are converted into the above-mentioned It is converted into a crystalline ultrafine particle aggregate.

そして、この結晶質超微粒子集合体への転化にさいして
、非晶質が王として81.Zr、0よりなる場合には、
実質的にβ−810、ZrO、β−810とZrOの固
溶体およびZr01−xの各結晶質超微粒子からなる集
合体が生成する。然しなから、非晶質が王として81.
Zr、O,Oよりなる場合には、上記の各結晶質超微粒
子の近傍に非晶質の810.およびZr01が存在する
よう(二なる。
In this conversion to crystalline ultrafine particle aggregates, amorphous is king.81. When consisting of Zr, 0,
An aggregate consisting essentially of crystalline ultrafine particles of β-810, ZrO, a solid solution of β-810 and ZrO, and Zr01-x is produced. However, amorphous is king as 81.
In the case of Zr, O, and O, amorphous 810. and Zr01 (two).

(0) 焼成温度が比較的高いが、ただし非晶質から結
晶質超微粒子集合体への転化が完結するには到らないよ
うな温度である場合には、前Xji(A)で述べたよう
な非晶質と、前項(B)で述べたような結晶質超微粒子
集合体との混合系からなる無*繊維が得られる。そして
前項(B)で述べた説明から明らかなように、非晶質が
主として81. Zr、0よりなる場合には、この非晶
質と、β−810、ZrO。
(0) If the calcination temperature is relatively high, but does not reach the point where the conversion from amorphous to crystalline ultrafine particle aggregates is completed, the above-mentioned Xji(A) A*-free fiber is obtained which is a mixed system of such amorphous material and a crystalline ultrafine particle aggregate as described in the previous section (B). As is clear from the explanation given in the previous section (B), amorphous is mainly 81. When consisting of Zr, 0, this amorphous, β-810, and ZrO.

−a〇− β−810とZrOの固溶体およびZr01−Hの各結
晶質超微粒子集合体とからなる混合系が生成する。これ
に対して、非晶質が主としてst、Zr、O,。
-a〇- A mixed system consisting of a solid solution of β-810 and ZrO, and each crystalline ultrafine particle aggregate of Zr01-H is generated. On the other hand, amorphous materials are mainly st, Zr, O,.

よりなる場合には、この非晶質と、各結晶質超微粒子の
近傍に生成した非晶質の810!およびZr01を有す
る結晶質超微粒子集合体との混合系が生成する。
In this case, this amorphous and the amorphous 810! formed in the vicinity of each crystalline ultrafine particle. A mixed system with a crystalline ultrafine particle aggregate having Zr01 is produced.

以上述べたように1本発明の連続無機繊維には種々のI
i!11sが存在しており、これら各態様の線維は、下
記の(A−1)型乃至(o−2)mに示すような構造を
有するものである。
As mentioned above, the continuous inorganic fiber of the present invention contains various I
i! 11s exists, and the fibers of each of these embodiments have structures as shown in the following types (A-1) to (o-2)m.

(A−1)凰: 連続無機繊維が、実質的(二81.Z
rおよび0からなる非晶質から実質的に構成されている
(A-1) 凰: Continuous inorganic fibers are substantially (281.Z
It is substantially composed of amorphous material consisting of r and 0.

(A−2) fl! : 連続無機線維が、実質的に8
1.Zr。
(A-2) fl! : Continuous inorganic fibers are substantially 8
1. Zr.

0および0からなる非晶質から実質的に構成されている
It is substantially composed of amorphous material consisting of 0 and 0.

(B−1)型: 連続無機繊維が、実質的にβ−810
゜ZrO、β−810とZrOの固溶体およびZr0l
−x(ただしO<X<1>の粒径が500λ以下の各結
晶質超微粒子の集合体から実質的に構成されている。
Type (B-1): Continuous inorganic fiber is substantially β-810
゜ZrO, solid solution of β-810 and ZrO and Zr0l
-x (provided that O<X<1> is substantially composed of an aggregate of crystalline ultrafine particles having a particle size of 500λ or less.

(B−2)型: 連続無機繊維が、実質的にβ−810
゜ZrO、β−810とZrOの固溶体およびzrcl
−x(ただしO<J<1)の粒径が500λ以下の各結
Igjx超微粒子の集合体から実質的に構成されており
Type (B-2): Continuous inorganic fiber is substantially β-810
゜ZrO, solid solution of β-810 and ZrO and zrcl
-x (where O<J<1), the particle size is substantially composed of an aggregate of Igjx ultrafine particles having a particle size of 500λ or less.

このさいこれらの結晶質超微粒子の近傍に非晶質の81
0.およびZr01が存在している。
At this time, amorphous 81 particles are present near these crystalline ultrafine particles.
0. and Zr01 are present.

(o−1)型: 連続無機線維が、実質的にsi、zr
および0からなる非晶質と、実質的にβ−810゜Zr
O、β−810とZrOの固溶体およびZr0x−x(
ただし0(a=(1)の粒径が500λ以下の各結晶質
超微粒子の集合体の混合系から構成されている。
(o-1) type: continuous inorganic fibers are substantially si, zr
and 0, and substantially β-810°Zr
Solid solution of O, β-810 and ZrO and Zr0x-x (
However, it is composed of a mixed system of aggregates of crystalline ultrafine particles having a particle size of 500λ or less where 0(a=(1)).

(0−2)型: 連続無機線維が、実質的に81.Zr
(0-2) type: Continuous inorganic fibers are substantially 81. Zr
.

0および0からなる非晶質と、実質的にβ−810゜Z
rO、β−810とZrOの固溶体およびZrOx+)
i (ただしo(z(1)の粒径が500久以下の各結
晶質超微粒子の集合体の混合系から構成されており。
Amorphous consisting of 0 and 0 and substantially β-810°Z
rO, solid solution of β-810 and ZrO and ZrOx+)
i (provided that o(z(1)) is composed of a mixed system of aggregates of crystalline ultrafine particles with a particle size of 500 microns or less.

このさいこれらの結晶質超微粒子の近傍に非晶質の81
0!およびZr01が存在している。1以上を要約すれ
ば9本発明で特定した縞l工程乃至#$4工橿からなる
連続無機線維の方法において、第1工程乃至電番工程の
条件を適宜に選定して、第4工程の焼成後に得られる無
機繊維中に酸素が実質的に残留しないようにし、且つ焼
成温度が比較的低い場合には、上記(A−1)!の構造
の繊維が得られ、このさい焼成温度を充分高くすれば(
B−1)屋の構造の繊維が得られ、中間の焼成温度では
(0−1)屋の構造の繊維が得られる。一方、焼成後に
得られる無機繊維中に酸素が残留し易いような条件を選
び、且つ焼成温度が比較的低い場合には# (A−2)
型の構造の繊維が得られ、このさい焼成温度を充分高く
すれば(B−2)型の構造の繊維が得られ、中間の焼成
温度では(0−2)型の構造の繊維が得られる。
At this time, amorphous 81 particles are present near these crystalline ultrafine particles.
0! and Zr01 are present. To summarize 1 or more, 9 In the continuous inorganic fiber manufacturing method consisting of the striped I step to the #$4 step specified in the present invention, the conditions of the first step to the number step are appropriately selected, and the fourth step is performed. When substantially no oxygen remains in the inorganic fibers obtained after firing and the firing temperature is relatively low, the above (A-1)! A fiber with the structure can be obtained, and if the firing temperature is raised sufficiently (
A fiber with a structure of B-1) is obtained, and at an intermediate firing temperature, a fiber with a structure of (0-1) is obtained. On the other hand, if conditions are selected such that oxygen tends to remain in the inorganic fibers obtained after firing, and the firing temperature is relatively low, # (A-2)
If the firing temperature is set high enough, fibers with a (B-2) type structure can be obtained, and at an intermediate firing temperature, fibers with a (0-2) type structure can be obtained. .

本発明の連続無機繊維は驚くべきことにe(A−1)!
または(A−2)のような王として非晶質からなる構造
の場合でも、極めて良好な強度的性質及び熱的性質を有
しているが、一般i二は。
Surprisingly, the continuous inorganic fiber of the present invention is e(A-1)!
Or, even in the case of a predominantly amorphous structure such as (A-2), it has extremely good strength and thermal properties, but in general.

(O−X)型または(o−2)型のような非晶質と結晶
質超微粒子集合体との混合系からなる構造33− の場合に1強度的性質及びその他の性質が最も良好であ
る。その理由は、これらの性質に対する非晶質の寄与と
結晶質超微粒子集合体の寄与とが互いに協同的に慟らき
、相乗的効果が得られるためであろうと考えられる。
In the case of a structure 33- consisting of a mixed system of amorphous and crystalline ultrafine particle aggregates such as the (O-X) type or (o-2) type, the strength properties and other properties are the best. be. The reason for this is thought to be that the contribution of the amorphous and the contribution of the crystalline ultrafine particle aggregate to these properties cooperate with each other, resulting in a synergistic effect.

本発明の(B−1)型、(B−’2)型、(C−1)型
または(0−2)型の構造の連続無機繊維中に存在する
結晶質超微粒子が、β−810、ZrO。
The crystalline ultrafine particles present in the continuous inorganic fibers of the (B-1) type, (B-'2) type, (C-1) type or (0-2) type structure of the present invention are β-810 , ZrO.

β−810とZrOの同溶体およびZr0x−x(ただ
し0<Z<1)からなる複合炭化物によって構成されて
いることは、繊維のX線回折図形によって確認すること
ができる。第1図の(1)は、後述の実権例(1−1)
E記載の(B−1)型の構造を有する本発明の連続無機
繊維のX線粉末回折図形である。
It can be confirmed from the X-ray diffraction pattern of the fiber that the fiber is composed of a composite carbide consisting of an isosolute of β-810 and ZrO and Zr0x-x (0<Z<1). (1) in Figure 1 is an example of actual power (1-1) described later.
It is an X-ray powder diffraction pattern of the continuous inorganic fiber of the present invention having the (B-1) type structure described in E.

そして、この(1)のX線回折図形ではm 2tl =
 35.8゜にβ−810の(ill )回折線、2d
=60.2°(二β−810の(220)回折線および
2θ= 72.1’にβ−810の(311’) H折
線が、また2θ=33.フ0にZrOの(111)回折
線、20=39.1°にZrOの(200”)回折線、
2θ=56.3°にZrOの(220)回折線、2#=
67.0°に34− ZiOの(311)回折線および2θ=10.6°E 
ZrOの(222)回折線が机われており、特(二注目
すべき点は、ZrOの各回折線はいずれも従来のZrO
に観察される各回折線の20 よりも高角度側にシフト
しており、該ZrOは従来のZrOと格子定数が異なっ
ていることである。
In the X-ray diffraction pattern of (1), m 2tl =
β-810 (ill) diffraction line at 35.8°, 2d
= 60.2° (two β-810 (220) diffraction lines and 2θ = 72.1' the (311') H-diffraction line of β-810, and 2θ = 33.0) the (111) diffraction line of ZrO line, (200”) diffraction line of ZrO at 20=39.1°,
(220) diffraction line of ZrO at 2θ=56.3°, 2#=
(311) diffraction line of 34-ZiO at 67.0° and 2θ = 10.6°E
The (222) diffraction line of ZrO is included, and the second noteworthy point is that each diffraction line of ZrO is different from that of conventional ZrO.
The difference is that the ZrO has a different lattice constant from that of conventional ZrO.

上記のX線回折図形のデータは1本発明の連続無機繊維
中に存在する結晶質超微粒子が、主としてβ−810お
よびZrOからなり、しかもβ−810とZrOが固溶
している本の、及びzro、−x(ただしO<、Z!<
1 )を一部含むような複合炭化物であることを示して
いる。
The data of the above X-ray diffraction pattern is based on a book in which the crystalline ultrafine particles present in the continuous inorganic fiber of the present invention mainly consist of β-810 and ZrO, and β-810 and ZrO are in solid solution. and zro, -x (where O<, Z!<
1) indicates that it is a composite carbide containing a part of it.

前記のような特異的な複合炭化物の結晶質超微粒子から
なる81.ZrおよびO含有連続無機繊維は、これまで
全く知られていなかった新規な繊維である。しか本、結
晶質超微粒子がこのような複合炭化物から構成されてい
ること紘9本発明の81゜Zr および0宮M連続無機
繊維に対し、&めて望ましい優秀な性能を付与するとい
う利点をもたらすものである。即ち、ZrOは、/−8
10に比べて。
81. consisting of crystalline ultrafine particles of a specific composite carbide as described above. Zr and O-containing continuous inorganic fibers are novel fibers that have not been known until now. However, the fact that the crystalline ultrafine particles are composed of such composite carbides has the advantage of imparting highly desirable and excellent performance to the 81° Zr and 0 M continuous inorganic fibers of the present invention. It is something that brings. That is, ZrO is /-8
compared to 10.

曲げ強度、引張り強度、耐圧強度等の機械的強度が扁<
、また高融点であるため耐熱性にすぐれるという性質を
有している。
Mechanical strength such as bending strength, tensile strength, and pressure resistance is
Also, due to its high melting point, it has excellent heat resistance.

本発明の81.Zrおよび0言有連続無機線雑では、Z
rOとβ−810の両者が一部固溶化していることから
明らかなように1両者が本発明の繊維中においては親密
な状態で共存しているために。
81. of the present invention. In Zr and 0-word continuous inorganic wire miscellaneous, Z
This is because both rO and β-810 coexist in an intimate state in the fiber of the present invention, as is clear from the fact that both rO and β-810 are partially dissolved.

ZrOの好ましい性質が著しく弗揮されるようになる。The favorable properties of ZrO become significantly volatile.

かくして本発明の81.Zrおよび0宮有連続無機繊維
は、従来の王としてβ−810のみからなる繊維に比べ
て機械的強度特性および耐熱性が良好である。
Thus, 81. of the present invention. The continuous inorganic fiber containing Zr and O-miya has better mechanical strength characteristics and heat resistance than the conventional fiber made only of β-810.

また1本発明の連続無機繊維中に存在する上記複合炭化
物よりなる結晶質微粒子は、平均粒径が500λ以下の
超微粒子である。例えば、後述の実施例(1−1)に記
載の(o−i)型の構造の繊維(焼成温1i1300℃
)の結晶質超微粒子の平均粒径は約801であり、実施
例(1−1)に記載の(B−1)型の構造を有する繊維
(焼成温度1700℃)のそれは約160″にであるこ
とがXMTJI回折シーより判明した。
Further, the crystalline fine particles made of the composite carbide present in the continuous inorganic fiber of the present invention are ultrafine particles having an average particle size of 500λ or less. For example, the fiber with the (o-i) type structure described in Example (1-1) described below (firing temperature 1i 1300 ° C.
) The average particle size of the crystalline ultrafine particles is about 801, and that of the fiber (B-1) type structure described in Example (1-1) (firing temperature 1700°C) is about 160". Something has been revealed from the XMTJI diffraction sheet.

通常本発明の連続無機繊維は、その製造の際の焼成温度
を高くするにつれて、繊維中の平均結晶粒径が大きくな
る。
Generally, in the continuous inorganic fiber of the present invention, the average crystal grain size in the fiber increases as the firing temperature during production increases.

本発明の連続無機繊維が非常に大きい強度を有する一つ
の原因は超微粒の結晶よりa成されているからであると
推考され、その理由は1局所的応力集中が密度の扁い結
晶粒界を通じて分散するため、変形しにくいこと、結晶
が超微粒子であるため、結晶粒中に変形に必要な転移の
存在する余地がないこと、結晶粒径か非常に小さいため
粒の見掛上の表面張力が異常に大さくなり、変形に対す
る抵抗力が大きいこと、繊維の表面が平滑で凹凸がない
ため、凹凸部へ応力か集中することによる強度の低下要
因がないこと1等C二よるものと考えられる。
One of the reasons why the continuous inorganic fiber of the present invention has extremely high strength is thought to be that it is made up of ultrafine crystals. Because the crystals are dispersed through the grains, they are difficult to deform; because the crystals are ultrafine particles, there is no room for the dislocations necessary for deformation to exist in the grains; and because the grain size is very small, the apparent surface of the grains The tensile force becomes abnormally large, the resistance to deformation is large, and the surface of the fiber is smooth and has no unevenness, so there is no cause of decrease in strength due to concentration of stress on uneven parts. 1st class C2. Conceivable.

一般に、焼成温度が中間の場合に得られる(0−1)型
またfi(0−2)型の構造の繊維の方が。
In general, fibers with a (0-1) type or fi (0-2) type structure obtained when the firing temperature is intermediate are better.

むしろ焼成温Kが非常に尚い場合に得られる(B−1)
型またIa、(B−2)Wの構造の繊維よりも37− 強度的性質がすぐれているが、その理由は主として、焼
成温度がより低いことに基因して、平均結晶粒径がより
小さいためであろうと考えられる。
Rather, it is obtained when the firing temperature K is very low (B-1)
The strength properties are superior to fibers of type Ia and (B-2)W, mainly due to the lower firing temperature and smaller average grain size. It is thought that this is because of this.

本発明の連続無機繊維の化学分析による元素比率は、x
t*で表ワLテ、 一般ニ、81 : 30〜60iZ
r:0.5〜40%、0:25〜40%、O:0.01
〜20%である。
The elemental ratio according to the chemical analysis of the continuous inorganic fiber of the present invention is x
t* for table wa Lte, general d, 81: 30-60iZ
r: 0.5-40%, 0:25-40%, O: 0.01
~20%.

上記から明らかなように、焼成工程後に得られる本発明
の連続無機繊維において、酸素が残留し易いような製造
条件を選べば、最高20重量饅もの酸素を含有する無機
繊維を得ることができる。
As is clear from the above, if manufacturing conditions are selected such that oxygen tends to remain in the continuous inorganic fiber of the present invention obtained after the firing step, inorganic fiber containing up to 20% of oxygen by weight can be obtained.

叩ち# (A−2)雛、(B−2)型及び(o−2)型
の構造の繊維は、実質的な量の酸素を含有する繊維であ
るが、このうち、(A−2)Mi&の構造の繊維は、8
1.Zr、O及び0よりなる非晶質から主としてなるこ
とがX@回折から判明している。
Fibers of type (A-2), (B-2) and (o-2) are fibers containing a substantial amount of oxygen; ) The fibers with the structure of Mi& are 8
1. It has been found from X@ diffraction that it is mainly composed of an amorphous material consisting of Zr, O, and 0.

ま九(B−2)型の構造の繊維では、結晶質超微粒子は
、実質的C二81.Zr及び0よりなる複合炭化物から
なるものであり、酸素原子は結晶質超微粒子の形成には
関与していないことがX線回折の38− 結果から判明している。このさい、酸素原子は一部の8
1及びZrと結合して非晶質の810.及びZr01 
を形成しており、これが複合炭化物の結晶質超微粒子の
近傍1例えば結晶粒子間の間隙等に介在しているものと
考えられる。
In a fiber with a B-2 type structure, the crystalline ultrafine particles have substantially C281. It is made of a composite carbide consisting of Zr and 0, and it is clear from the results of X-ray diffraction that oxygen atoms are not involved in the formation of crystalline ultrafine particles. In this case, oxygen atoms are some 8
1 and Zr to form an amorphous 810. and Zr01
This is thought to be present in the vicinity of the crystalline ultrafine particles of the composite carbide, for example in the gaps between the crystal particles.

本発明の連続無機繊維は1機械的強度、耐熱性。The continuous inorganic fiber of the present invention has 1 mechanical strength and heat resistance.

耐酸化性にすぐれた。新規構造を有する繊維であり、金
属ならびに合金との濡れは炭素繊維に比べ良好でめり、
かつ金属ならびに合金との反応性が低く、繊維強化型金
属、プラスチック、およびゴムの繊維材料、繊維状発熱
体、防火織布、耐酸隔膜、ま九強化用繊維として原子炉
材料、航空機構造材、橋梁、構築物材料、核融合炉材料
、ロケット材料、@光体、研摩布、ワイヤーロープ、海
洋開発材料、ゴルフシャフト材料、スキーストック材料
、テニスラケット材料、魚釣竿、靴底材料等に用いるこ
とができる。
Excellent oxidation resistance. It is a fiber with a new structure, and has better wetting with metals and alloys than carbon fiber.
In addition, it has low reactivity with metals and alloys, and is suitable for fiber-reinforced metals, plastics, and rubber fiber materials, fibrous heating elements, fireproof woven fabrics, acid-resistant diaphragms, nuclear reactor materials as reinforcement fibers, aircraft structural materials, Can be used for bridges, building materials, fusion reactor materials, rocket materials, @ light bodies, abrasive cloth, wire ropes, ocean development materials, golf shaft materials, ski stock materials, tennis racket materials, fishing rods, shoe sole materials, etc. can.

以下本発明を実権例によって説明する。The present invention will be explained below by way of practical examples.

参考例1 5tの三ロフラスコに無水キシレン2.5tとナトリウ
ム40ofとを入れ、窒素ガス気流下でキシレンの沸点
まで加熱し、ジメチルジクロロシラン1tを1時間で滴
下した。滴下終了後、10時間加熱還流し沈殿物を生成
させた。この沈殿をf過し、まずメタノールで洗浄した
後、水で洗浄して。
Reference Example 1 2.5 t of anhydrous xylene and 40 of sodium were placed in a 5 t three-loaf flask, heated to the boiling point of xylene under a nitrogen gas stream, and 1 t of dimethyldichlorosilane was added dropwise over 1 hour. After the dropwise addition was completed, the mixture was heated under reflux for 10 hours to form a precipitate. This precipitate was filtered and washed first with methanol and then with water.

白色粉末のポリジメチルシラン42ofを得た。42 of white powder polydimethylsilane was obtained.

他方# 9フエニルクロロシラン759tとホウ酸12
4Fを窒業ガス雰囲気下、n−ブチルエーテル中。
On the other hand #9 phenylchlorosilane 759t and boric acid 12
4F in n-butyl ether under a nitrous gas atmosphere.

100〜120℃の温度で加熱し、生成した白色樹脂状
物を、さらに真空中400℃で1時間加熱することによ
って53ofのポリボロジフェニルシロキサンを得た。
The resulting white resinous material was heated at a temperature of 100 to 120°C and further heated in vacuum at 400°C for 1 hour to obtain 53 of polyborodiphenylsiloxane.

次に、前記のポリジメチルシラン2502に上記のポリ
ボロジフェニルシロキサン8.2 ’/ fを添加混合
し、還流管を備えた2tの石英管中で窒素気流下で35
0℃まで加熱し6時間重合し、ポリカルボシランを得た
。室温で放冷後キシレンを加えて溶液として取り出し、
キシレンを蒸発させ、320℃1時間窒素気流下で濃縮
して140tの固体を得た。
Next, the above polyborodiphenylsiloxane 8.2'/f was added and mixed to the above polydimethylsilane 2502, and the mixture was heated for 35 minutes under a nitrogen stream in a 2t quartz tube equipped with a reflux tube.
The mixture was heated to 0° C. and polymerized for 6 hours to obtain polycarbosilane. After cooling at room temperature, add xylene and take out as a solution.
The xylene was evaporated and concentrated at 320° C. for 1 hour under a nitrogen stream to obtain 140 tons of solid.

参考例2 テトラメチルシラン100 fを秤取し、リサイクルの
できる流通式装置を用いて、窒素雰囲気下でフッ0℃で
24時間反応を行ない、ポリカルボシランを得た。室温
で放冷後ノルマルヘキサンを加えて溶液として収り出し
、濾過して不溶物を除去後。
Reference Example 2 100 f of tetramethylsilane was weighed out and reacted with fluorine at 0°C for 24 hours in a nitrogen atmosphere using a recyclable flow system to obtain polycarbosilane. After cooling at room temperature, normal hexane was added to obtain a solution, which was filtered to remove insoluble materials.

ノルマルヘキサンを蒸発させ、180℃で1時間。Evaporate normal hexane and heat at 180°C for 1 hour.

5aawH7の減圧下で濃縮して14fの粘着性物質を
得た。
Concentration under reduced pressure of 5aawH7 gave 14f sticky material.

参考例3 参考例1で得られたポリジメチルシラン250tをオー
トクレーブに入れ、アルゴン雰囲気中で。
Reference Example 3 250 tons of polydimethylsilane obtained in Reference Example 1 was placed in an autoclave under an argon atmosphere.

470℃、約100気圧下で14時間加熱重合し、ポリ
カルボシランを得た。室温で放冷後ノルマルヘキサンを
加えて溶液として取り出し、ノルマルヘキサンを蒸発さ
せ、280℃で1時間、1auaBpの減圧下で濃縮し
て得られた固体を、アセトンで処理して低分子量物を除
去して、ポリマー6091に得た。
Polycarbosilane was obtained by heating and polymerizing at 470° C. under about 100 atm for 14 hours. After cooling at room temperature, add normal hexane to take out as a solution, evaporate normal hexane, concentrate at 280 ° C. for 1 hour under reduced pressure of 1 auaBp, and treat the obtained solid with acetone to remove low molecular weight substances. Polymer 6091 was obtained.

実権例1 参考例1で得られ九ポリカルボシラン40.Ofと41
− テトラキスアセチルアセトナトシルコニウム5.4tと
を秤取し、この混合物にエタノール20−およびキシレ
ン300−を加えて均一相からなる混合溶液とし、i!
素ガス雰囲気下で60℃で2時間攪拌しながら還流反応
を行なった。還流反応終了後さらに加熱し、エタノール
およびキシレンを留出させた後285℃で30分間重合
を行ないポリジルコノカルボシランを得た。このポリジ
ルコノカルボシランを紡糸装置を用いて270℃に加熱
溶融して300μmの口金より、 300 m/min
の紡糸速度で空気中で溶融紡糸して繊維を得た。この繊
維を無張力下で空気中で室温から15C/時 の昇温速
度で昇温し、 110℃で1時間保持して不融化した。
Actual example 1 9 polycarbosilane obtained in reference example 1 40. Of and 41
- Weigh out 5.4 tons of tetrakisacetylacetonatosirconium, add 20% of ethanol and 300% of xylene to this mixture to make a mixed solution consisting of a homogeneous phase, and i!
A reflux reaction was carried out at 60° C. with stirring for 2 hours under a gas atmosphere. After the reflux reaction was completed, the mixture was further heated to distill off ethanol and xylene, and then polymerization was carried out at 285° C. for 30 minutes to obtain polyzirconocarbosilane. This polyzirconocarbosilane was heated and melted at 270°C using a spinning device, and then spun at 300 m/min through a 300 μm spinneret.
The fibers were obtained by melt spinning in air at a spinning speed of . This fiber was heated in air under no tension at a rate of 15 C/hour from room temperature and held at 110° C. for 1 hour to make it infusible.

この不融化糸の引張強度は5.0Kf/J、伸び率は1
3.0チであった。
The tensile strength of this infusible yarn is 5.0 Kf/J, and the elongation rate is 1.
It was 3.0chi.

次に、この不融化糸を、下記の(1)及び(1)に示す
ような2種の異なる条件で焼成した。
Next, this infusible yarn was fired under two different conditions as shown in (1) and (1) below.

(1):不融化糸を書素気流中(100cc/mtn 
) で無張力下で1300℃まで13B#間で昇温し、
1300℃で1時間保持して焼成した。得られた連続無
機繊42− 維の直径は約13μで引張強度は2フOKg/−,弾°
性率は13.Otm/−であった。この繊維のX線粉末
回折測定を第1図の(1)に示す。i1図の(1)にお
いてブロードなβ−810の各回折線及びブロードで強
度は小さいが、ZrOの各回折線が認められること〔た
だしZrOの各回折線の20は従来のZrOの場合より
も関角度側にシフトしている〕、及び化学分析の結果か
ら、この実権例(1−1)の焼成条件で得られた繊維は
、前Hピ(0−1)ffiの構造を有する繊維であるこ
とがわかった。また繊維中に存在する結晶質超微粒子の
平均粒径は約80大でるることがX線(ロ)折により判
明した。
(1): Infusible thread in graphene airflow (100cc/mtn
), the temperature was raised to 1300℃ under no tension at 13B#,
It was fired by holding it at 1300°C for 1 hour. The diameter of the obtained continuous inorganic fiber 42-fiber is approximately 13μ, the tensile strength is 2F OKg/-, and the elasticity is approximately 13μ.
The sex rate is 13. It was Otm/-. The X-ray powder diffraction measurement of this fiber is shown in FIG. 1 (1). In (1) of Figure i1, each broad diffraction line of β-810 and each broad diffraction line of ZrO are observed, although the intensity is small [However, 20 of each diffraction line of ZrO is higher than that of conventional ZrO. From the results of chemical analysis, the fiber obtained under the firing conditions of Example (1-1) is a fiber with a structure of front H pi(0-1)ffi. I found out something. Furthermore, it was found by X-ray analysis that the average particle diameter of the crystalline ultrafine particles present in the fibers was about 80.

(I):不融化糸を窒素気流中(100CC/min 
)で無張力下で1’700℃まで17時間で昇温し、1
フ00Cで1時間保持して焼成した。得られた繊維のX
線粉末回折測定を第1図の(1)に示す。第1−の(幻
においてシャープで強度が大きいβ−810及びZrO
の各回折線が認められること(ただしZrOの各回折線
の20は高角度側にシフトしている)。
(I): Infusible yarn in nitrogen stream (100 CC/min
) under no tension to 1'700℃ in 17 hours.
It was held at 00C for 1 hour and fired. X of the obtained fiber
Line powder diffraction measurements are shown in Figure 1 (1). 1st (β-810 and ZrO which are sharp and strong in illusion)
(However, 20 of each diffraction line of ZrO is shifted to the high angle side).

及びとの線維の化学分析の結果から、この実権例(1−
ml )の焼成条件で得られた繊維は、前ド己(B−1
)型の構造を有する繊維であることがわかった。また繊
維中に存在する結晶質超微粒子の平均粒径が約160X
であることがX線回折により判明した。
From the results of chemical analysis of fibers with and, this real example (1-
The fibers obtained under the firing conditions of B-1
) It was found that the fiber had a type structure. In addition, the average particle size of the crystalline ultrafine particles present in the fiber is approximately 160X.
It was found by X-ray diffraction that

実施例2 参考例1で得られたポリカルボシラン40.Orとジル
コニウムテトラブトキシド31.5 tとを秤取し。
Example 2 Polycarbosilane 40 obtained in Reference Example 1. Or and 31.5 tons of zirconium tetrabutoxide were weighed out.

この混合物にキシレン400−を加えて均一相からなる
混合溶液とし、アルゴンガス雰囲気下で。
Xylene 400- was added to this mixture to form a mixed solution consisting of a homogeneous phase under an argon gas atmosphere.

130℃で1時間攪拌しながら還流反応を灯った。The reaction was heated to reflux with stirring at 130° C. for 1 hour.

還流反応終了後、さらに温度?1−250℃まで上昇さ
せて溶媒のキシレンを留出させたのち、250℃で1時
間重合を行い、ポリジルコノカルボシランを得た。この
ポリジルコノカルボシランを紡糸装置〜を用いて230
℃に加熱溶融して250μmの0曾より200 m/m
inの紡糸速度で空気中で溶融紡糸して繊維を得た。こ
の繊維を50t/−の張力を作用させながら空気中で室
温から7℃/時 の昇iMm度で昇温し、155℃で3
時間保持して不融化した。この不融化糸の引張強度は5
.5 Kg/mj 、伸び率は17.0俤であった。
After the reflux reaction is complete, what is the temperature? After raising the temperature to 1-250°C to distill off the solvent xylene, polymerization was carried out at 250°C for 1 hour to obtain polyzirconocarbosilane. This polyzirconocarbosilane is produced using a spinning device ~230%
200 m/m from 250 μm by heating and melting at ℃
The fibers were obtained by melt spinning in air at a spinning speed of in. This fiber was heated in air at a rate of 7°C/hour from room temperature while applying a tension of 50t/-, and then heated to 155°C by 3°C.
It was kept for a while to make it infusible. The tensile strength of this infusible thread is 5
.. 5 Kg/mj, and the elongation rate was 17.0 yen.

次にこの不融化糸を、真空中(3X 10−’auwH
7)で無張力下で1200℃まで6時間で昇温し、12
00℃で3時間保持して焼成した。得られた連続無機線
維の直径は約20μで引張強度は200−/d 。
Next, this infusible thread was placed in a vacuum (3X 10-'auwH
7), the temperature was raised to 1200°C in 6 hours under no tension, and 12
It was held at 00°C for 3 hours and fired. The diameter of the obtained continuous inorganic fibers was about 20μ, and the tensile strength was 200-/d.

弾性率は’70.0 ta/−であった。ここで得られ
た繊維は、X線粉末回折測定および化学分析の結果から
、前記(0−2)型の構造を有する繊維であることがわ
かった。
The elastic modulus was '70.0 ta/-. From the results of X-ray powder diffraction measurement and chemical analysis, it was found that the fibers obtained here had the above-mentioned (0-2) type structure.

実権例3 参考例1で得られたポリマーを3300で3時間。Actual power example 3 The polymer obtained in Reference Example 1 was heated at 3300 for 3 hours.

窒素気流下で濃縮して得られるポリカルボシラン40、
Of トジルコニウムテトライソグロボキシド75.3
 fとを秤取し、この混合物にベンゼン50〇−を加え
て均一相からなる混合溶液とし、アルゴンガス雰囲気下
で70℃で5時間攪拌しながら還流反応を行った。還流
反応終了後さらζ二加熱し、ベンゼンを留出させた後、
200℃で2時間重合を行い、ポリジルコノカルボシラ
ンを得た。このポリ45− ジルコノカルボシランをベンゼンにkmさせ、紡糸原液
を造り、300.Am の口金より300 m/min
の紡糸速度で乾式紡糸法により紡糸して繊維を得た。こ
の線維を無張力下で空気中で室温から15C/時の昇温
速度で昇温し、110℃で0.5時間保持して不融化し
た。この不融化糸の引張強度は4、7 Kg/d #伸
び率は12.0%であった。
Polycarbosilane 40 obtained by concentrating under a nitrogen stream,
Of Tozirconium Tetraisogloboxide 75.3
f was weighed out, 500 - of benzene was added to this mixture to obtain a mixed solution consisting of a homogeneous phase, and a reflux reaction was carried out with stirring at 70° C. for 5 hours under an argon gas atmosphere. After the reflux reaction was completed, the mixture was further heated to distill off benzene, and then
Polymerization was performed at 200° C. for 2 hours to obtain polyzirconocarbosilane. This poly-45-zirconocarbosilane was mixed with benzene to prepare a spinning stock solution. 300 m/min from the base of Am
Fibers were obtained by dry spinning at a spinning speed of . This fiber was heated in air under no tension at a heating rate of 15 C/hour from room temperature and held at 110° C. for 0.5 hour to make it infusible. The tensile strength of this infusible yarn was 4.7 Kg/d, and the elongation rate was 12.0%.

次にこの不融化糸をアルゴン気流中(100CC/mi
n ) で50f/−の張力を作用させながら。
Next, this infusible thread was placed in an argon stream (100 CC/mi
n) while applying a tension of 50 f/-.

1000℃まで5時間で昇温し、1000℃で1時間保
持して焼成を行なった。得られた連続無機線維の直径は
16μで引張強度は190 Kg/d 、弾性率は12
−/−でめった。ここで得られた繊維は。
The temperature was raised to 1000°C over 5 hours, and the temperature was maintained at 1000°C for 1 hour to perform firing. The diameter of the obtained continuous inorganic fibers was 16μ, the tensile strength was 190 Kg/d, and the elastic modulus was 12.
-/- I was disappointed. The fibers obtained here.

X線粉末回折測定および化学分析の結果から、前記(A
−2)型の構造を有する線維であることがわかった。
From the results of X-ray powder diffraction measurement and chemical analysis, the above (A
-2) It was found that the fibers had a type structure.

実相側番 参考例2で得られたポリカルボシラン40.Ofとテト
ラキスアセチルアセトナトシルコニウム14.32とを
秤取し、この混合物にエタノール60m1お46− よびキシレン300m/を加えて均一相からなる混合溶
液とし、窒素ガス雰囲気下で60℃で8時間攪拌しなが
ら還流反応を行なった。還流反応終了後さらに加熱しエ
タノールおよびキシレンを留出させた後、250℃で3
時間重合を行い、ポリジルコノカルボシランを得た。こ
のポリジルコノカルボシランを紡糸装置を用いて240
℃に加熱溶融して250μmの口金より650 m/m
inの紡糸速度で空気中で溶融紡糸して繊維を得た。こ
の繊維を無張力下で50℃の空気中でrmを照射しく 
1.5 a xlOγ)不融化し丸。この不融化糸の引
張強度は6.0にf/−1伸び率は18.1チであった
Actual phase side number Polycarbosilane obtained in Reference Example 2 40. Of and 14.32 ml of tetrakis acetylacetonatosilconium were weighed out, 60 ml of ethanol and 300 m of xylene were added to this mixture to form a mixed solution consisting of a homogeneous phase, and the mixture was heated at 60°C for 8 hours under a nitrogen gas atmosphere. The reflux reaction was carried out while stirring. After the reflux reaction was completed, the ethanol and xylene were distilled off by further heating, and then heated at 250°C for 3
Time polymerization was performed to obtain polyzirconocarbosilane. Using a spinning device, this polyzirconocarbosilane was
Melt by heating to ℃ and 650 m/m from a 250 μm cap.
The fibers were obtained by melt spinning in air at a spinning speed of in. This fiber was irradiated with rm in air at 50℃ under no tension.
1.5 a xlOγ) Infusible round. This infusible yarn had a tensile strength of 6.0 and an f/-1 elongation of 18.1 inches.

次にこの不融化糸を窒素気流中(100CC/min 
)で50f/−の張力を作用させながら、1300 C
まで13時間で昇温し、1300℃で1時間保持して焼
成を行った。得られた連続無機繊維の直径は9μで引張
強度は320 Kf/−、弾性率は21taa/jであ
った。ここで得られた繊維は、X線粉末回折測定および
化学分析の結果から、前記(0−2)型の構造を有する
繊維であることがわかった。
Next, this infusible thread was placed in a nitrogen stream (100 CC/min).
) while applying a tension of 50 f/- at 1300 C.
The temperature was raised to 1300° C. over 13 hours, and the temperature was maintained at 1300° C. for 1 hour to perform firing. The diameter of the obtained continuous inorganic fiber was 9μ, the tensile strength was 320 Kf/-, and the elastic modulus was 21 taa/j. From the results of X-ray powder diffraction measurement and chemical analysis, it was found that the fibers obtained here had the above-mentioned (0-2) type structure.

実姉例5 参考例3で得られたポリカルボシラン40.Ofとジル
コニウムテトラフェノキシド2.6tと’i1+Inし
、この混合物にキシレン200−を加えて均一相からな
る混合溶液とし、アルゴンガス雰囲気ドで130℃で2
時間攪拌しながら還流反応を行なった。
Actual sister example 5 Polycarbosilane obtained in reference example 3 40. Of, 2.6 t of zirconium tetraphenoxide and 'i1+In were added to this mixture, 200 - of xylene was added to make a mixed solution consisting of a homogeneous phase, and the mixture was heated at 130°C in an argon gas atmosphere for 2
The reflux reaction was carried out while stirring for hours.

還流反応終了後さらに加熱し、キシレンを留出させた後
、300℃で30分間重合を行い、ポリジルコノカルボ
シランを得た。このポリジルコノカルボシランをトルエ
ンに溶解させ、紡糸原液を造り。
After the reflux reaction was completed, the mixture was further heated to distill off xylene, and then polymerized at 300° C. for 30 minutes to obtain polyzirconocarbosilane. This polyzirconocarbosilane is dissolved in toluene to create a spinning stock solution.

300μmの口金より200 m/min の紡糸速度
で乾式紡糸法により紡糸して繊維を得た。この繊維を5
0t/−の張力を作用させながら空気中で室温から30
℃/時の昇温速度で昇温し、 110℃で0.5時間保
持して不融化した。この不融化糸の引張強度は4.8 
Kg/d 、伸び率は13.0%であった。
Fibers were obtained by dry spinning using a 300 μm spinneret at a spinning speed of 200 m/min. This fiber is 5
30 from room temperature in air while applying a tension of 0t/-
The temperature was increased at a temperature increase rate of 110° C./hour and held at 110° C. for 0.5 hours to make it infusible. The tensile strength of this infusible thread is 4.8
kg/d, and the elongation rate was 13.0%.

次にこの不融化糸を一酸化炭素と領素(00:N、=1
−:4(モル比)〕気流中(100CC/min )で
無張力下で1000℃まで5時間で昇温し。
Next, this infusible thread is mixed with carbon monoxide and hydrogen (00:N, = 1
-:4 (molar ratio)] The temperature was raised to 1000° C. in 5 hours under no tension in an air flow (100 CC/min).

1000℃で1時間保持して焼成を行った。この焼成糸
をさらに空気中で800℃まで2時間で昇温し。
Firing was performed by holding at 1000° C. for 1 hour. This fired yarn was further heated to 800°C in air for 2 hours.

800℃で0.5時間保持して上記焼成糸中の過剰炭素
を除去した。得られた連続無機繊維の直径は20μで引
張強度は195Kg/−、弾性率は9. Otm/jで
あった。ここで得られた繊維は、X線粉末回折測定およ
び化学分析の結果から、前記(A−1)凰の構造を有す
る繊維である仁とがわかった。
The yarn was held at 800° C. for 0.5 hours to remove excess carbon from the fired yarn. The diameter of the obtained continuous inorganic fiber is 20μ, the tensile strength is 195Kg/-, and the elastic modulus is 9. It was Otm/j. From the results of X-ray powder diffraction measurement and chemical analysis, the fiber obtained here was found to be a fiber having the structure of (A-1) 凰.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は連続無機繊維のX線粉末圓折図形である。 特許出願人 財団法人特殊無機材料研究所49− 鎌 〈 FIG. 1 is an X-ray powder cross-section diagram of a continuous inorganic fiber. Patent applicant Special Inorganic Materials Research Institute 49- sickle

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、実質的にSl、ZrおよびC1場合により更に0か
らなる連続無機繊維であって、該繊維は実質的に、 (1)Si 、ZrおよびC1場合により更にOから実
質的になる非晶質、または (2)実質的にβ−8I C,Zr C,β−3iCと
ZrCの固溶体およびZ r C1−)L(ただしQ<
X<1)の粒径が500八以下の各結晶質超微粒子の近
傍に非晶質のS I OtおよびZr0tが存在する場
合もある)集合体、または (3)上記(1)の非晶質と上記(2)の結晶質超微粒
子集合体の混合系、 からなることを特徴とする新規なケイ素、ジルコニウム
及び炭素含有連続無機繊維。 2、該連続無機繊維が、実質的にSl、ZrおよびCか
らなる非晶質から実質的になる特許請求の範囲第1項記
載の繊維。 3、該連続無機繊維が、実質的にSi、Zr、Cおよび
0からなる非晶質から実質的になる特許請求の範囲第1
項記載の繊維。 4、該連続無機繊維が実質的にβ−8i C,ZrC1
β−8ICとZrCの固溶体およびZrC1−エ(ただ
し0<x<1)の粒径が500八以下の各結晶質超微粒
子の集合体から実質的になる特許請求の範囲第1項記載
の繊維。 5、該連続無機繊維が、実質的にβ−sr c。 Zr C,β−81CとZrCの固溶体およびZr01
−X、(ただし0<x<1>の粒径が500八以下の各
結晶質超微粒子の集合体から実質的になり、このさいこ
れらの結晶質超微粒子の近傍に非晶質のS I O*お
よびZ「0!が存在する、特許請求の範囲第1項記載の
繊維。 6、該連続無機繊維が、実質的に3i 、 zrおよび
Cからなる非晶質と、実質的にβ−8i C1zr c
、β−8ICとZrCの固溶体およびZrC1−x(た
だし0<x<1)の粒径が500八以下の各結晶質超微
粒子の集合体の混合系からなる特許請求の範囲第1項記
載の繊維。 7、該連続無機繊維が、実質的に81 、Zr 、 C
および0からなる非晶質と、実質的にβ−8IC1zr
 c、β−8ICとZrCの固溶体およびZrCI−−
L(ただし0<x<1>の粒径が500八以下の各結晶
質超微粒子の集合体の混合系からなり、このさいこれら
の結晶質超微粒子の近傍に非晶質の5iOtおよびZr
O!が存在する特許請求の範囲第1項記載の繊維。
[Scope of Claims] 1. A continuous inorganic fiber consisting essentially of (1) Si, Zr and C1 optionally further consisting of O. or (2) substantially a solid solution of β-8I C, Zr C, β-3iC and ZrC and Z r C1-)L (where Q<
X < 1) amorphous SIOt and Zr0t may exist in the vicinity of each crystalline ultrafine particle with a grain size of 5008 or less), or (3) the amorphous of (1) above. A novel continuous inorganic fiber containing silicon, zirconium, and carbon, comprising: 2. The fiber according to claim 1, wherein the continuous inorganic fiber consists essentially of an amorphous material consisting essentially of Sl, Zr and C. 3. Claim 1 in which the continuous inorganic fiber consists essentially of an amorphous material consisting essentially of Si, Zr, C and 0.
Fibers as described in Section. 4. The continuous inorganic fiber is substantially β-8i C, ZrC1
The fiber according to claim 1, which consists essentially of an aggregate of crystalline ultrafine particles of a solid solution of β-8IC and ZrC and ZrC1-E (where 0<x<1) having a particle size of 5008 or less. . 5. The continuous inorganic fiber is substantially β-src. Solid solution of ZrC, β-81C and ZrC and Zr01
-X, (provided that the grain size of 0 The fiber according to claim 1, wherein O* and Z "0!" are present. 6. The continuous inorganic fiber has an amorphous material consisting essentially of 3i, zr and C, and an amorphous material consisting essentially of β- 8i C1zr c
, a solid solution of β-8IC and ZrC, and a mixed system of aggregates of crystalline ultrafine particles of ZrC1-x (where 0<x<1) having a particle size of 5008 or less, according to claim 1. fiber. 7. The continuous inorganic fiber substantially contains 81, Zr, C
and 0, and substantially β-8IC1zr
c, solid solution of β-8IC and ZrC and ZrCI--
L (However, it consists of a mixed system of aggregates of crystalline ultrafine particles with a grain size of 0<x<1> of 5008 or less, and in this case, amorphous 5iOt and Zr
O! The fiber according to claim 1, wherein the fiber is present.
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