JPS6059599A - Non-volatile semiconductor memory - Google Patents

Non-volatile semiconductor memory

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JPS6059599A
JPS6059599A JP58168689A JP16868983A JPS6059599A JP S6059599 A JPS6059599 A JP S6059599A JP 58168689 A JP58168689 A JP 58168689A JP 16868983 A JP16868983 A JP 16868983A JP S6059599 A JPS6059599 A JP S6059599A
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column
row
dummy
dummy cell
cell group
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Misao Higuchi
樋口 三佐男
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NEC Corp
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing

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  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

PURPOSE:To test a manufactured non-volatile semiconductor memory and to obtain the high reliability of the device by forming a testing circuit consisting of dummy cell groups connected to row/column lines selected only at the testing time and a peripheral circuit selecting the dummy cell groups. CONSTITUTION:The testing circuit including a row dummy cell group selecting means consisting of row dummy cell groups 23, 24 to be driven by row lines selected only at the testing time, dummy row decoders 20, 21 selecting the cell groups 23, 24 and a testing row address buffer 18, and a column dummy cell group selecting means consisting of a column dummy cell group 25 connected to a column line selected only at the testing time and formed in one column every I/O bit, a dummy column selector 22 selecting the cell group 25, a dummy column decoder 19, and a testing column address buffer 17 is formed. Thus, information is inputted/outputted to/from a memory cell matrix 16 on the basis of address inputs A0-Am.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は不揮発生半導体メモリに関し、特に紫外線照射
等によシメモリ内容を消去可能な不揮発性半導体メモリ
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of the Invention] The present invention relates to a non-volatile semiconductor memory, and more particularly to a non-volatile semiconductor memory whose memory contents can be erased by ultraviolet irradiation or the like.

〔従来技術〕[Prior art]

近年、マイクロコンピュータの急激な発展につれて、大
きく伸びてきた分野として読出し専用メモリ(以下、R
OMという。)がある。ROMは、構造が比較的簡単で
集積度が高く、コストが安い、又、書込機能はないか、
あってもランダムアクセスメモリに比較して、性能的に
は低くてもよいとするメモリである。
In recent years, with the rapid development of microcomputers, read-only memory (hereinafter referred to as R
It's called OM. ). ROM has a relatively simple structure, high degree of integration, low cost, and does not have a write function.
Even if there is, it is a memory that may have lower performance than random access memory.

最も基本的なROMは、IC製造工程で使用するマスク
のパターンに情報を入れておくもので、マスクROMと
呼ばれる。メモリ内容の変更は不可能であるが、書込み
の確実性、記憶の安定性が非常によく、同一記憶内容の
ものを大量に作る場合には嚇価が安くなる利点があるが
、少量多品種製品には適さず、ユーザからそのパターン
情報を入手してから製品となるまで相当の期間を要する
The most basic type of ROM stores information in mask patterns used in the IC manufacturing process, and is called a mask ROM. Although it is impossible to change the memory contents, the reliability of writing and the stability of storage are very good, and when making large quantities of the same memory contents, the cost is low, but it is not possible to change the memory contents in small quantities. It is not suitable for use as a product, and it takes a considerable amount of time from the time the pattern information is obtained from the user until it becomes a product.

一方、使用者がフィールドで自由にメモリ内容を書込め
るようにしたROMがプログラム可能ROMで、本発明
における紫外線照射等によりメモリ内容容を消去可能な
不揮発性半導体メモIJ (1′J、下EP−ROMと
いう。)はこの一種である。EPROMは紫外線照射の
ために特殊なパッケージが必要であシ、ROMに比べ単
価が高いという欠点がある・しかし、フィールドでの利
用性に優れており大きな市場を形成している。
On the other hand, a ROM in which the user can freely write the memory contents in the field is a programmable ROM, and in the present invention, the non-volatile semiconductor memory IJ (1'J, lower EP -ROM) is one type of this type. EPROM requires a special package for ultraviolet irradiation, and has the drawback of being more expensive than ROM. However, it has excellent usability in the field and has formed a large market.

ところで、EPROMの記憶の安定性、すなわち情報書
込み後の保持特性は極めて良好であり、ROMの代わり
として十分使用出来るものであることが知られている。
By the way, it is known that the storage stability of EPROM, that is, the retention characteristic after information is written, is extremely good, and that it can be used as a sufficient substitute for ROM.

そこで、特殊なパッケージを使用せず、プラスチックパ
ッケージ等ROMと同様なパッケージとしてメモリ内容
の消去は無くし、1回の書込みのに限定して使用するこ
とにより、小計多品種はもちろん、大量に使う場合でも
単価は極めて安くなり、フィールドでの利便性もあり、
ユーザが製品全入手するのも短期間となり得るEPRO
M(以下、ワンライトlPROMという。)が考えられ
た。しかし、この場合、製品としての機能チェックは組
立前のウェーハの状態のときだけとなり、組立後は、全
くデータが記憶されていない状態のみのチェックに限定
されてしまうことになる。単価は安いが、ユーザにおけ
るデータ書込み不良となる製品の混入比率が高いことに
なる・又、通常データの読出し時間、いわゆるアクセス
タイムについても十分チェック出来ないことになる。
Therefore, instead of using a special package, we use a package similar to a ROM, such as a plastic package, which eliminates the need to erase the memory contents and is used only for one-time writing.In addition to using a large number of products, we can However, the unit price is extremely low, and it is convenient in the field.
EPRO may take a short period of time for users to obtain all products.
M (hereinafter referred to as one-write lPROM) was considered. However, in this case, the function of the product as a product is checked only when the wafer is in the state before assembly, and after assembly, the check is limited to the state where no data is stored. Although the unit price is low, there is a high proportion of products that cause data write failure by users.Also, it is not possible to sufficiently check the normal data read time, so-called access time.

N1図は従来のEPROMの一例の構成を示すブロック
図である。本従来例は入出力8ビツト構成で、アドレス
入力A からArnにより、列デコーダ2、行デコーダ
3の選択によってメモリセルマトリックス6への情報の
入出力が、入出力コントローラーによって入出力バッフ
ァ4′f:介して行われる。なお同図で5は列セレクタ
、Cは制御信号、凸。〜6.は入出力データ信号である
Figure N1 is a block diagram showing the configuration of an example of a conventional EPROM. This conventional example has an input/output 8-bit configuration, and the input/output of information to the memory cell matrix 6 is controlled by the input/output controller by the selection of the column decoder 2 and row decoder 3 using the address inputs A to Arn. : Done through. In the figure, 5 is a column selector, and C is a control signal, convex. ~6. is the input/output data signal.

この構成においては、KFROMの機能をチェックする
チェック機能が付加されていないので、上記のごとく製
品としての機能チェックはウェーッ為状態において探針
によるチェックしか出来ず、組立以後においては十分な
チェックが出来ないと言5− う欠点がある◎ 〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記欠点を除去することにより、試験
回路を備えだ高歩留り、高信頼性の不揮発性半導体メモ
リを提供することにあるO〔発明の構成〕 本発明の不揮発性半導体メモリは、試験時にのみ選択さ
れる行線によって駆動される複数の行ダミーセル群と、
該行ダミーセル群を選択する行ダミーセル群選択手段と
、試験時にのみ選択される列線に接続され各入出力ビッ
トごとに少くとも一列設けられた列ダミーセル群と、該
列ダミーセル群を選択する列ダイ−セル群選択手段とを
含むことから構成される。
In this configuration, a check function to check the function of KFROM is not added, so as mentioned above, the function of the product can only be checked with a probe in the wet state, and sufficient checks cannot be performed after assembly. [Objective of the Invention] An object of the present invention is to provide a high-yield, highly reliable non-volatile semiconductor memory equipped with a test circuit by eliminating the above-mentioned drawbacks. [Structure of the Invention] The nonvolatile semiconductor memory of the present invention includes a plurality of row dummy cell groups driven by row lines selected only during testing;
A row dummy cell group selection means for selecting the row dummy cell group, a column dummy cell group connected to a column line selected only during testing and provided for each input/output bit in at least one column, and a column for selecting the column dummy cell group. and die-cell group selection means.

〔実施例の説明〕[Explanation of Examples]

以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第2図は本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。なお、本図は入出力2ビツトで構成されているlP
ROMの1ビツト分について示した6一 ものである。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention. Note that this diagram shows an IP that consists of 2 bits of input and output.
6 is shown for one bit of ROM.

本実施例は、試験時にのみ選択される行線によって駆動
される2行の行ダミーセル群23.24と、この行ダミ
ーセル群23.24を選択するダ試験時にのみ選択され
る列線に接続され、各人出カビットごとに一列設けられ
た列ダミーセル群25と、この列ダミーセル群25′f
t選択するダミー列群選択手段とを含むことから構成さ
れる・本実施例は、アドレス人力A。からA、lllに
ょシ、列デコーダ12、行デコーダ13の選択にょシメ
モリセルマ) +7ツクス16への情報の入出力が入出
力コントローラ11により人出カバッ7ア14を介して
行われる。なお、図において、15は列セレクタ、Cは
制御信号、′ozは入出力データ信号である・ 第3図ないしI第8図は本実施例の動作を説明するため
の部分的詳細回路図で、第3図は行ダミーセル群を、第
4図は列ダミーセル群とダミー列セレクタを、第5図は
行デコーダを、第6図は列デコーダを、第7図はダミー
行デコーダ全、第8図はダミー列デコーダをそれぞれ示
している。
In this embodiment, two row dummy cell groups 23.24 are driven by row lines that are selected only during testing, and the row dummy cell groups 23.24 are connected to column lines that are selected only during testing. , a column dummy cell group 25 provided in one column for each person's output, and this column dummy cell group 25'f.
t-selecting dummy column group selection means. In this embodiment, address manual A is used. From A to A, selection of the column decoder 12 and row decoder 13 (memory cell), input/output of information to the +7x 16 is performed by the input/output controller 11 via the output cover 7a 14. In the figure, 15 is a column selector, C is a control signal, and 'oz is an input/output data signal. Figures 3 through 8 are partial detailed circuit diagrams for explaining the operation of this embodiment. , FIG. 3 shows the row dummy cell group, FIG. 4 shows the column dummy cell group and dummy column selector, FIG. 5 shows the row decoder, FIG. 6 shows the column decoder, FIG. 7 shows all the dummy row decoders, and FIG. The figures each show a dummy column decoder.

次に、これらの図を参照して、本実施例の動作について
説明する。
Next, the operation of this embodiment will be explained with reference to these figures.

第2図において試験用列アドレスバッファ(BY)17
は、列デコーダ12へのアドレス人力A。からAnのう
ち、Anに電源電圧以上のある一定電圧が入力された時
に、ダミー列デコーダ19をアクティブに、列デコーダ
12はすべて非選択にな一ダ13へのアドレス人力An
+1からA□のうち、A、、に電源電圧以上のある一定
電圧が入力されたときに、ダミー行デコーダ20.21
をアクティブに、行デコーダ13はすべて非選択になる
ような信号DAXとその反転信号Dxを出力する。
In FIG. 2, the test column address buffer (BY) 17
is the address input A to the column decoder 12. When a certain voltage higher than the power supply voltage is input to An from An, the dummy column decoder 19 is activated and all column decoders 12 are deselected.
When a certain voltage higher than the power supply voltage is input to A from +1 to A□, the dummy row decoder 20.21
is activated, the row decoder 13 outputs a signal DAX and its inverted signal Dx such that all are unselected.

今、アドレス入力Arnに高電圧が入力され、ダミー行
デコーダ20.21がアクティブになった状態を考える
。第2図ではダミー行デコーダが2個配置された場合で
あシ、アドレス入力An+1によってどちらかを選択す
る。このダミー行デコーダ20.21によって選択され
る行線によって駆動されるダは−セル群23.24はメ
モリセルマトリックス16を挟むように配置される。
Now, consider a state in which a high voltage is input to the address input Arn and the dummy row decoders 20 and 21 are activated. In FIG. 2, two dummy row decoders are arranged, and one of them is selected by address input An+1. Cell groups 23 and 24 driven by the row line selected by the dummy row decoder 20 and 21 are arranged to sandwich the memory cell matrix 16.

第3図は第2図に示す行ダミーセル群23゜24の回路
図である。M −Mゆからなるメモ■ リセルマトリックス16に対して、 DM u −DM
l)’及ヒDM□〜DMlyからなるダは−セル群23
.24が両端に配置されている。今、列ado〜dヶの
列線d11が列デコーダ12によって選択されたとする
。列線d11には、浮遊ゲート構造を有する絶縁ゲート
型電界効果トランジスタからなるメモリセルM3.〜M
X、及びダは−セルDMssとDM□のソース(あるい
はドレイン)が共通に接続されている。又、各ドレイン
(あるいはソース)が接地電位Gに共通に接続され、そ
れらの制御ゲートには行デコーダ13あるいはダミー行
デコーダ20゜9− 21の出力である行線が接続されている。通常の使用状
態ではダミーセルDMII、DNli2I は無視され
、MllからMX、のメモリセルのみの動作となる。
FIG. 3 is a circuit diagram of the row dummy cell groups 23 and 24 shown in FIG. Memo consisting of M -M Yu - DM u -DM for Recell Matrix 16
l)' and H DM□ to DMly are - cell group 23
.. 24 are arranged at both ends. Now, assume that the column lines d11 of columns ado to d are selected by the column decoder 12. Column line d11 includes memory cells M3. ~M
The sources (or drains) of cells DMss and DM□ are commonly connected to each other. Further, each drain (or source) is commonly connected to the ground potential G, and a row line which is an output of the row decoder 13 or the dummy row decoder 20.9-21 is connected to their control gates. In normal use, the dummy cells DMII and DNli2I are ignored, and only the memory cells Mll to MX operate.

ワンライ) Fl:FROMとしての使用の場合、MI
lからMxlのメモリセルは消去状態にあり、読出しの
みのチェックでは列線dllのレベルは常に一定なレベ
ルでしかチェックされない。更に、書込み機能チェック
は全く無視されてしまう。そこで、DMu 。
FL: When used as FROM, MI
The memory cells 1 to Mxl are in an erased state, and in read-only checking, the level of column line dll is always checked only at a constant level. Additionally, write function checks are completely ignored. Therefore, DMu.

DM□のダミーセルにより、書込み時、続出し時の機能
チェックを行なうものであり、列線digに対して最低
2個のダミーセルによって、DM、1. DM、lに相
反するデータを書込み、又読出すことにより、MHから
MXiのメモリセルが何らかの欠陥によって列線d□に
与える悪影響をもチェック出来る。
The dummy cells of DM□ are used to check the function at the time of writing and continuous output, and at least two dummy cells for the column line dig are used to check the functions of DM, 1. By writing and reading contradictory data to DM and l, it is also possible to check the adverse effect that any defect in the memory cells from MH to MXi has on the column line d□.

又、列線dllとd□の間において、ダミーセルのDM
uと0M1意、 DMIIとDMoに相反するデータを
書込むことによシ、列線dllとd□間の短絡等のチェ
ックも可能であり、同時に列デコーダ系の回路機能チェ
ックも可能となる。
Also, between the column lines dll and d□, the dummy cell DM
By writing contradictory data to u and 0M1, DMII and DMo, it is possible to check for short circuits between the column lines dll and d□, and at the same time, it is also possible to check the circuit function of the column decoder system.

続いて、アドレス入力Anに高電圧が入力され、10− ダミー列fコーダ19がアクティブになった状態を考え
る。第2図ではダミー列デコーダ19が1個配置された
場合であ如、このダミー列デコーダ19によって選択さ
れる列線によって駆動される列ダミーセル群25はメモ
リセルマトリックス16の一端に一列配置される。
Next, consider a state in which a high voltage is input to the address input An and the 10-dummy column f coder 19 becomes active. In FIG. 2, one dummy column decoder 19 is arranged, and the column dummy cell group 25 driven by the column line selected by this dummy column decoder 19 is arranged in one column at one end of the memory cell matrix 16. .

第4図は第2図に示す列ダミーセル群の回路図である◎ 行デコーダ13の出力X1.からXlx によって選択
されるダミーメモリセルDM、〜DMxの浮遊ゲート構
造を有する絶縁ゲート型電界効果トランジスタからfJ
る列ダンーセル群25が一列にメモリセルマトリックス
16の一端に配置されている。
FIG. 4 is a circuit diagram of the column dummy cell group shown in FIG. 2. Output X1 of the row decoder 13. dummy memory cell DM selected by Xlx from
A group of column cells 25 are arranged in one row at one end of the memory cell matrix 16.

この列ダミーセル群25の各セルのソース(あるいはド
レイン)はダミー列デコーダ19によって選択される列
線Ddに接続され、各セルのドレイン(あるいはソース
)は接地電位GIC!続され、セルの制御ゲートが行デ
コーダ13の出力に接続されている。通常列デコーダ出
力Y11〜Y1yにより列セレクタ15を形成するトラ
ンジスタQ、〜Qyによって列線d、からdyのいづれ
かが選択され、データの入出力がなされる。この場合、
列線Dd に接続されるダミーセルDM1〜DMXは、
ダミー列セレクタを形成するトランジスタQdのゲート
にはダミー列デコーダ19の出力DY、が出力されない
ので、無視され使用されない。ワンライトE3FROM
として使用の場合、メモリセルマトリックス16はすべ
て消去状態にあり、行デコーダ13の出力によって選択
され、出力されるデータはいづれの場合でも一定値でし
か読出されない。従って行デコーダ13が正常に動作し
ているか、また行デコーダ出力間の短絡等は十分にチェ
ック出来ない。そこで、ダミー列デコーダ19の出力D
Y、を1H”レベルにすることにより列線Ddに接続さ
れた列ダミーセルDM、〜DMxに、データの書込み読
出しを行なうことにより、行デコーダ13及びその出力
間のチェックを可能ならしめるものである。このダミー
列デコーダ19により選択される列ダミーセル群25は
各入出力ビットごとに最低1列づつ配置することにより
、各人出カビットのデータの組合せにより効率よく機能
チェックが可能となる。従って、入出力2ビツトであれ
ば2列のダミーセル群を設けることになる。
The source (or drain) of each cell in this column dummy cell group 25 is connected to the column line Dd selected by the dummy column decoder 19, and the drain (or source) of each cell is connected to the ground potential GIC! The control gates of the cells are connected to the output of the row decoder 13. Normally, one of the column lines d to dy is selected by the transistors Q, -Qy forming the column selector 15 according to the column decoder outputs Y11 to Y1y, and data is input and output. in this case,
The dummy cells DM1 to DMX connected to the column line Dd are
Since the output DY of the dummy column decoder 19 is not outputted to the gate of the transistor Qd forming the dummy column selector, it is ignored and not used. One light E3FROM
When used as a memory cell, the memory cell matrix 16 is all in an erased state, selected by the output of the row decoder 13, and the output data is read out only at a constant value in any case. Therefore, it is not possible to sufficiently check whether the row decoder 13 is operating normally or whether there is a short circuit between row decoder outputs. Therefore, the output D of the dummy column decoder 19
By setting Y to 1H" level, data is written to and read from the column dummy cells DM, to DMx connected to the column line Dd, thereby making it possible to check between the row decoder 13 and its output. By arranging at least one column of the column dummy cell group 25 selected by the dummy column decoder 19 for each input/output bit, it is possible to efficiently check the function by combining the data of each output bit. If the input/output is 2 bits, two columns of dummy cell groups are provided.

第5図は第2図に示す一実施例の行デコーダの一例の回
路図である。
FIG. 5 is a circuit diagram of an example of the row decoder of the embodiment shown in FIG. 2.

第5図において、番号26は行デコーダ出力パッファで
ある。第2図に示す試験用行アドレスバッファ18から
の出力DAXが1H#レベルの場合行デコーダはトラン
ジスタQDXがオンとなるため非選択となり、試験モー
ドになる・従って、通常は出力DAXは”L”レベルに
なっている。
In FIG. 5, number 26 is the row decoder output puffer. When the output DAX from the test row address buffer 18 shown in FIG. 2 is at the 1H# level, the row decoder becomes unselected because the transistor QDX is turned on, and enters the test mode. Therefore, the output DAX is normally "L" level.

第6図は列デコーダ120回路図である。第6図におい
て、27は列デコーダ出力パッ7アである。試験用列ア
ドレスバッファ17の出力DAYが1■”レベルの場合
トランジスタQDYがオンとなるため、列デコーダは非
選択とな〕、テストモードになる。従って、通常は出力
6台′は”L”レベルになっている。
FIG. 6 is a circuit diagram of column decoder 120. In FIG. 6, 27 is a column decoder output pad 7a. When the output DAY of the test column address buffer 17 is at the 1'' level, the transistor QDY is turned on, so the column decoder is not selected] and the test mode is entered. Therefore, normally the output 6' is "L". level.

第7図、第8図はダミー行デコーダ20.21およびダ
ミー列デコーダ19の回路図である。
7 and 8 are circuit diagrams of dummy row decoders 20, 21 and dummy column decoders 19.

13− 試験用行アドレスバッファ18および試験用列アドレス
バッファ17の出力DAX及びDAYが通常共に”H#
レベルになっており、トランジスタQdx及びQdyが
オンとなるため、非選択状態にあるが、試験モードで出
力DAX及びDAYが″L”レベルになると、アドレス
入力に応じた出力が選択される。
13- The outputs DAX and DAY of the test row address buffer 18 and the test column address buffer 17 are normally both “H#”.
However, when the outputs DAX and DAY become "L" level in the test mode, the output corresponding to the address input is selected.

第8図においては、第2図でダミーセル群25は1列の
場合であるため、アドレス入力は無いが、2列以上設け
た場合には、第7図同様、アドレス入力で選択可能とな
る。なお、28.29はそれぞれダミー行デコーダ出力
バッファ及びダミー列デコーダ出力バッファである。
In FIG. 8, since the dummy cell group 25 in FIG. 2 is in one column, there is no address input, but if two or more columns are provided, selection can be made by address input as in FIG. Note that 28 and 29 are a dummy row decoder output buffer and a dummy column decoder output buffer, respectively.

なお、上記実施例はNチャネル型EPROMについて説
明したがPチャネル型及びCMO8型lPROMの場合
も同様に実施出来ることは言うまでもない。
Although the above embodiment has been described with respect to an N-channel type EPROM, it goes without saying that the same can be applied to a P-channel type and a CMO8 type lPROM.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上、詳細に説明したとおり、本発明の不揮発性半導体
メモリは、試験時のみに選択される行線及び列線に接続
されたダミーセル群とそれを選択する周辺回路からなる
試験回路を備えているので、14− 製品化された後においても十分に試験することが出来、
高歩り、高信頼性の紫外線照射等によ)メモリ内容を消
去可能な不揮発生半導体メモリが得られると酊う効果を
有している・従って1本発明をワンライテングEPRO
Mに適用すると特にその効果が発揮される。
As described above in detail, the nonvolatile semiconductor memory of the present invention includes a test circuit consisting of a dummy cell group connected to row lines and column lines that are selected only during testing, and a peripheral circuit that selects the dummy cells. Therefore, 14- It is possible to sufficiently test the product even after it has been commercialized.
If a non-volatile semiconductor memory whose memory contents can be erased (by high-speed, highly reliable ultraviolet irradiation, etc.) can be obtained, it will have an intoxicating effect.
The effect is particularly effective when applied to M.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の不揮発性半導体メモリの一例の構成を示
すプ目ツク図、i@2図は本発明の一実施例の構成を示
すブロック図、第3図ないしI第8図はそれぞれ第2図
の部分詳細回路図で、第3因は行ダミーセル群へ第4図
は列ダミーセル群とダミー列セレクタの、第5図は行デ
コーダの、第6図は列デコーダの、第7図はダミー行デ
コーダの、第8図はダば一列デコーダの詳細回路図であ
る。 1・・・・・・入出力コントローラ、2・・・・・・列
デコーダ、3・・・・・・行デコーダ、4・・・・・・
入出力バッファ、5・・・・・・列セレクタ、6・・・
・・−メモリセルマトリックス、11・・・・・・入出
力コントローラ、12・・団・列デコーダ、】3・・・
・・・行デコーダ、14・・川・入出力バッファ、15
・・・・・・列セレクタ、16・・・・・・メモリセル
マトリックス、】7・・・・・・試験用列アドレスバッ
ファ(BY)、18・・・・・・試験用行アドレスバッ
ファ(BX)、19・・・・・・ダミー列デコーダ、2
0.21・・・・・・ダミー行デコーダ、22・・団・
ダミー列セレクタ、23.24・・・・・・行ダンーセ
ル、25・・・・・・列ダミーセル、26・・・・・・
行デコーダ出力バッファ、27・旧・・列デコーダ出力
バッファ、28・・・・・・ダミー行デコーダ出力バッ
ファ、29・・・・・・ダミー列デコーダ出力バッファ
%A o、A−・・・・・アドレス入力、C・・・・・
・制御信号、00〜01.Oz・・・・・・入出力デー
タ信号、X11〜X1K ・・・・・・行デコーダ出力
信号、Yll〜Y1y・・・・・・列デコーダ出力信号
、DXl、DX、・・−・・ダミー行デコーダ出力信号
、DY、・・・・・・ダミー列デコーダ出力信号、Ml
、〜Mxy・・・・・・メモリセル、DM11〜DM、
、DM□〜DMEy 、DMI〜DM、・・・・・・D
AX 、DAX 、DAY、DAY・・・・・・試験用
アドレスバッファ出力、vo。・・・・・・電源電圧、
G・・・・・・接地電位%Q* ・Q冨e Q y e
 Q(1# Q Bz * QDY *Qdx・Qdy
・・・・・・NチャネルMO8)ランジスタ。 17− 3 第1図 阜4目 第6図 第7園 牟8 図
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an example of a conventional nonvolatile semiconductor memory, FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention, and FIGS. In the partial detailed circuit diagram of Figure 2, the third factor is the row dummy cell group, Figure 4 is the column dummy cell group and dummy column selector, Figure 5 is the row decoder, Figure 6 is the column decoder, and Figure 7 is the row dummy cell group. FIG. 8 is a detailed circuit diagram of the dummy row decoder. 1... Input/output controller, 2... Column decoder, 3... Row decoder, 4...
Input/output buffer, 5...Column selector, 6...
...-Memory cell matrix, 11... Input/output controller, 12... Group/column decoder, ]3...
... Row decoder, 14 ... River input/output buffer, 15
... Column selector, 16 ... Memory cell matrix, ]7 ... Test column address buffer (BY), 18 ... Test row address buffer ( BX), 19...Dummy column decoder, 2
0.21...Dummy row decoder, 22...Group...
Dummy column selector, 23.24...Row Dan cell, 25...Column dummy cell, 26...
Row decoder output buffer, 27 Old... Column decoder output buffer, 28... Dummy row decoder output buffer, 29... Dummy column decoder output buffer %A o, A-...・Address input, C...
- Control signal, 00-01. Oz...Input/output data signal, X11-X1K...Row decoder output signal, Yll-Y1y...Column decoder output signal, DXl, DX,...Dummy Row decoder output signal, DY,...Dummy column decoder output signal, Ml
, ~Mxy...Memory cell, DM11~DM,
, DM□~DMEy, DMI~DM,...D
AX, DAX, DAY, DAY...Test address buffer output, vo. ······Power-supply voltage,
G...Ground potential%Q* ・Qtue Q y e
Q(1# Q Bz * QDY *Qdx・Qdy
...N-channel MO8) transistor. 17-3 Figure 1, Figure 4, Figure 6, Garden 7, Figure 8

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)試験時にのみ選択される行線によって駆動される
複数の行ダミーセル群と、該行ダミーセル群全選択する
行ダミーセル群選択手段と、試験時にのみ選択される列
線に接続され各入出力ビットごとに少くとも一列設けら
れた列ダミーセル群と、該列ダミーセル群を選択する列
ダミーセル群選択手段とを含むことを特徴とする不揮発
性半導体メモリ。 (2ダミーセルが浮遊ゲート構造を有する絶縁ゲート型
電界効果トランジスタからなる特許請求の範囲第(1)
項記載の不揮発性半導体メモリ。 (3)複数の行ダミーセル群を選択する複数のダミー行
デコーダと、行線を選択するアドレス入力の少くとも一
人力に電源電圧以上の所定の電圧が入力されたとき所定
の前記ダミー行デコーダを選択し行デコーダ全体を非選
択とする試験用行アドレスバッファとからなる行ダミー
セル群選択手段と、列ダミーセル群を選択するダミー列
セレクタ及びダミー列デコーダと、列線を選択するアド
レス入力の少くとも一人力に電源電圧以上の所定の電圧
が入力されたとき所定の前記ダミー列デコーダ選択し列
デコーダ全体を非選択とする試験用列アドレスバッファ
とからなる列ダミーセル群選択手段とを有する特許請求
の範囲第(1)項記載の不揮発性半導体メモリ。 (4)行線及び列線を選択するアドレス入力に電源電圧
以上の所定の電圧が入力されたときに、その出力信号が
反転される試験用行アドレスバッファ及び試験用列アド
レスバッファを有する特許請求の範囲第(3)項記載の
不揮発性半導体メモリ◎
[Scope of Claims] (1) A plurality of row dummy cell groups driven by row lines selected only during testing, row dummy cell group selection means for selecting all of the row dummy cell groups, and column lines selected only during testing. 1. A nonvolatile semiconductor memory comprising: a column dummy cell group connected to a column and provided in at least one column for each input/output bit; and column dummy cell group selection means for selecting the column dummy cell group. (Claim (1) in which the two dummy cells are insulated gate field effect transistors having a floating gate structure)
Non-volatile semiconductor memory as described in Section. (3) A plurality of dummy row decoders that select a plurality of row dummy cell groups, and a predetermined dummy row decoder that selects a row line when a predetermined voltage higher than the power supply voltage is input to at least one of the address inputs that select a row line. A row dummy cell group selection means consisting of a test row address buffer that selects and unselects the entire row decoder, a dummy column selector and a dummy column decoder that selects a column dummy cell group, and at least an address input that selects a column line. A column dummy cell group selection means comprising a test column address buffer that selects a predetermined dummy column decoder and deselects the entire column decoder when a predetermined voltage higher than the power supply voltage is inputted to the test device. A nonvolatile semiconductor memory according to scope (1). (4) A patent claim having a test row address buffer and a test column address buffer whose output signals are inverted when a predetermined voltage higher than the power supply voltage is input to the address input for selecting a row line and a column line. Non-volatile semiconductor memory described in item (3) within the scope of ◎
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