JPS6058572B2 - バブルガ−ネット結晶の欠陥検査 - Google Patents
バブルガ−ネット結晶の欠陥検査Info
- Publication number
- JPS6058572B2 JPS6058572B2 JP6748677A JP6748677A JPS6058572B2 JP S6058572 B2 JPS6058572 B2 JP S6058572B2 JP 6748677 A JP6748677 A JP 6748677A JP 6748677 A JP6748677 A JP 6748677A JP S6058572 B2 JPS6058572 B2 JP S6058572B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bubble
- magnetic field
- defect inspection
- crystal
- coil
- Prior art date
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はバブルオートモーション法を用いてバブル結晶
中の欠陥を検出するバブルガーネット結晶の欠陥検査法
に関するものてある。
中の欠陥を検出するバブルガーネット結晶の欠陥検査法
に関するものてある。
従来のバブル転送による欠陥検査法はバブル磁区に磁場
勾配を与えて駆動させる方式が用いられ、これに必要な
回路は微細加工技術により形成され、また使用する際に
は結晶と回路とを密着させなければ十分な駆動力を発揮
することができないという問題点があつた。
勾配を与えて駆動させる方式が用いられ、これに必要な
回路は微細加工技術により形成され、また使用する際に
は結晶と回路とを密着させなければ十分な駆動力を発揮
することができないという問題点があつた。
これに対し、最近磁気勾配なしでバブル磁区を転送する
方法として、ビー・イー・アーギル氏等によりマグネテ
イズムおよびマグネアーク・マテリアル誌； １９７時
、第２巻、３５頂に「バブルオートモーション法」が提
案された。
方法として、ビー・イー・アーギル氏等によりマグネテ
イズムおよびマグネアーク・マテリアル誌； １９７時
、第２巻、３５頂に「バブルオートモーション法」が提
案された。
本発明の目的は上記バブルオートモーション法を応用し
てバブルガーネット結晶のバブル磁区の−簡単有効な欠
陥検査法を提供することである。
てバブルガーネット結晶のバブル磁区の−簡単有効な欠
陥検査法を提供することである。
前記目的を達成するため、本発明のバブルガーネット結
晶の欠陥検査法はバイアス磁界と水平磁界の中にバブル
磁区の発生用バイアスパルス印加コイルを囲むように転
送、消去用バイアスパルス印加コイルを設け、該両コイ
ルとイオン注入したバブルガーネット結晶を重ね、多数
のバブルを一方向に転送させ該結晶中の欠陥を検出する
ことを特徴とするものである。以下本発明の原理と実施
例につき詳述する。
晶の欠陥検査法はバイアス磁界と水平磁界の中にバブル
磁区の発生用バイアスパルス印加コイルを囲むように転
送、消去用バイアスパルス印加コイルを設け、該両コイ
ルとイオン注入したバブルガーネット結晶を重ね、多数
のバブルを一方向に転送させ該結晶中の欠陥を検出する
ことを特徴とするものである。以下本発明の原理と実施
例につき詳述する。
一般に、バブルガーネット結晶に形成したバブル磁区の
磁壁内スピンは第１図ａ、ｂに示すσャまたはσ−構造
をもつことが知られている。そしてこのスピンが回転し
ている領域をブロッホラインと称する。いま同図に示す
ように、バイアス磁界ドおよび水平磁界Ｈｐの中にバブ
ルを置き、さらにその上にパルス状のバイアス磁界Ｍを
印加すると、スピンの回転の仕方によつて同図ａまたは
をに示すＶｏの方向に移動する。
磁壁内スピンは第１図ａ、ｂに示すσャまたはσ−構造
をもつことが知られている。そしてこのスピンが回転し
ている領域をブロッホラインと称する。いま同図に示す
ように、バイアス磁界ドおよび水平磁界Ｈｐの中にバブ
ルを置き、さらにその上にパルス状のバイアス磁界Ｍを
印加すると、スピンの回転の仕方によつて同図ａまたは
をに示すＶｏの方向に移動する。
これはバブル磁壁内のブロッホラインが水平磁界Ｈｐお
よびパルス磁界Ｈｂの影響で運動し、この運動がバブル
の移動を誘起するためで、これを前述の「オートモーシ
ョン」と称している。本発明で使用するバブルガーネッ
ト結晶は（ＹＥｕＹａＣａ）Ｏ（（ｌ■ｅＦｅ）、０、
２である。
よびパルス磁界Ｈｂの影響で運動し、この運動がバブル
の移動を誘起するためで、これを前述の「オートモーシ
ョン」と称している。本発明で使用するバブルガーネッ
ト結晶は（ＹＥｕＹａＣａ）Ｏ（（ｌ■ｅＦｅ）、０、
２である。
この場合アズグローン（ａｓ−ｇｒｏＮｖｎ）結晶では
同図ａ、ｂの両方の構造が可能であるが、たとえばネオ
ン（Ｎｅ）等によるイオン注入処理を施した結晶につい
てはバイアス磁界怖および水平磁界Ｈｐの向きにより同
図Ａ，ｂの何れかの構造のみに制限されるため、バブル
の連動方向は一方向のみとなる。
同図ａ、ｂの両方の構造が可能であるが、たとえばネオ
ン（Ｎｅ）等によるイオン注入処理を施した結晶につい
てはバイアス磁界怖および水平磁界Ｈｐの向きにより同
図Ａ，ｂの何れかの構造のみに制限されるため、バブル
の連動方向は一方向のみとなる。
なお、オルソフェライト結晶では第１図に示すような磁
壁構造にならないから「オートモーション」によるバブ
ル磁区の駆動はできない。第２図は上述あオートモーシ
ョン法を用いた本発明の実施例の構成を示す説明図であ
る。
壁構造にならないから「オートモーション」によるバブ
ル磁区の駆動はできない。第２図は上述あオートモーシ
ョン法を用いた本発明の実施例の構成を示す説明図であ
る。
同図において、線径０．０５薦の銅線を直径１．５順、
ｂ回巻いて作つたコイル１の外側を囲むように線径０．
０８Ｔｎの銅線を直径４Ｔ１ｒｍ１２０回巻いたコイル
２を組としたものをバイアス磁界Ｈｂと水平磁界Ｈｐ内
に置く。
ｂ回巻いて作つたコイル１の外側を囲むように線径０．
０８Ｔｎの銅線を直径４Ｔ１ｒｍ１２０回巻いたコイル
２を組としたものをバイアス磁界Ｈｂと水平磁界Ｈｐ内
に置く。
コイル１はバブル磁区の発生用、コイル２はバブル磁区
の転送、消去用である。この場合コイル１は中心磁界１
２６エルステッド／Ａ１コイル２は中心磁界６３エルス
テッド／Ａを得ることがてきる。これらのコイル１，２
の上に被測定結晶３、すなわち、前述のバブルガーネッ
ト結晶（ＹＥｕＹｂＣａ）３（ＧｅＦｅ）５０１２に１
００Ｋｅ■で２×１０１４Ｎｅ１ｃ７１ｆ密度のイオン
注入処理を行つたものを載せて２つのコイル１，２にパ
ルス磁界を印加する。
の転送、消去用である。この場合コイル１は中心磁界１
２６エルステッド／Ａ１コイル２は中心磁界６３エルス
テッド／Ａを得ることがてきる。これらのコイル１，２
の上に被測定結晶３、すなわち、前述のバブルガーネッ
ト結晶（ＹＥｕＹｂＣａ）３（ＧｅＦｅ）５０１２に１
００Ｋｅ■で２×１０１４Ｎｅ１ｃ７１ｆ密度のイオン
注入処理を行つたものを載せて２つのコイル１，２にパ
ルス磁界を印加する。
以上のような構成において、バイアス磁界Ｈｂ．＝１４
４エルステッド、水平磁界約３エルステッドの静磁界中
に、コイル１にはパルス磁界１２６エルステッド、コイ
ル２には３８エルステッドで何れもパルス幅は０．５μ
秒として与える。コイル２の繰り返し周波数を１００Ｋ
ＨＺとしコイル１にはこれに対し適当な分周比の繰り返
し周波数をもたせる。第３図はコイル１，２のパルスタ
イミングの１例を示すものでコイル１のパルス磁界によ
りバブル磁区を発生し、コイル２のパルス磁界によりバ
ブル磁区を転送、消去させるものである。このようにコ
イル２により１００Ｋ取でバブル磁区を駆動させると欠
陥においてはバブル磁区が第４図の顕微鏡写真の白色点
で示すように止まつて見えるから、この場所を欠陥とし
て容易に検出することができる。
４エルステッド、水平磁界約３エルステッドの静磁界中
に、コイル１にはパルス磁界１２６エルステッド、コイ
ル２には３８エルステッドで何れもパルス幅は０．５μ
秒として与える。コイル２の繰り返し周波数を１００Ｋ
ＨＺとしコイル１にはこれに対し適当な分周比の繰り返
し周波数をもたせる。第３図はコイル１，２のパルスタ
イミングの１例を示すものでコイル１のパルス磁界によ
りバブル磁区を発生し、コイル２のパルス磁界によりバ
ブル磁区を転送、消去させるものである。このようにコ
イル２により１００Ｋ取でバブル磁区を駆動させると欠
陥においてはバブル磁区が第４図の顕微鏡写真の白色点
で示すように止まつて見えるから、この場所を欠陥とし
て容易に検出することができる。
以上説明したように、本発明によれば、バブルオートモ
ーション法を用いてバイアス磁界と水平磁界の中にバブ
ル磁区の発生用と転送、消去用のバイアスパルス印加コ
イルを重複させて設け、その上にイオン注入したバブル
ガーネット結晶を配置し、多数のバブルを一方向に転送
させ該結晶中の欠陥を検出するものであり、簡単な構成
でしかも微小加工精度を必要とせす操作も容易であるか
ら、この種の欠陥検査法として有効に利用することがで
きる。
ーション法を用いてバイアス磁界と水平磁界の中にバブ
ル磁区の発生用と転送、消去用のバイアスパルス印加コ
イルを重複させて設け、その上にイオン注入したバブル
ガーネット結晶を配置し、多数のバブルを一方向に転送
させ該結晶中の欠陥を検出するものであり、簡単な構成
でしかも微小加工精度を必要とせす操作も容易であるか
ら、この種の欠陥検査法として有効に利用することがで
きる。
第１図Ａ，ｂは本発明の原理説明図、第２図は本発明の
実施例の構成を示す説明図、第３図は第２図の実施例の
機能説明図、第４図は本発明の効果を示すバブル磁区の
顕微鏡写真であり、図中１，２はコイル、３は被測定結
晶を示す。
実施例の構成を示す説明図、第３図は第２図の実施例の
機能説明図、第４図は本発明の効果を示すバブル磁区の
顕微鏡写真であり、図中１，２はコイル、３は被測定結
晶を示す。
Claims (1)
- １ バイアス磁界と水平磁界の中にバブル磁区の発生用
バイアスパルス印加コイルを囲むように転送、消去用バ
イアスパルス印加コイルを設け、該両コイルとイオン注
入したバブルガーネット結晶を重ね、多数のバブルを一
方向に転送させ該結晶中の欠陥を検出することを特徴と
するバブルガーネット結晶の欠陥検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6748677A JPS6058572B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | バブルガ−ネット結晶の欠陥検査 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6748677A JPS6058572B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | バブルガ−ネット結晶の欠陥検査 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS543295A JPS543295A (en) | 1979-01-11 |
| JPS6058572B2 true JPS6058572B2 (ja) | 1985-12-20 |
Family
ID=13346347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6748677A Expired JPS6058572B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | バブルガ−ネット結晶の欠陥検査 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6058572B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS582215U (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-08 | 松下電工株式会社 | 内装材の目透し構造 |
| JPH0685814U (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-13 | 大高銘木株式会社 | 天井板 |
| JP2817874B2 (ja) * | 1995-10-31 | 1998-10-30 | 南海プライウッド株式会社 | 目透天井の施工方法 |
-
1977
- 1977-06-08 JP JP6748677A patent/JPS6058572B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS543295A (en) | 1979-01-11 |
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