JPS6058223U - 吸着テ−ブル用流路開閉シヤツタ - Google Patents

吸着テ−ブル用流路開閉シヤツタ

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JPS6058223U
JPS6058223U JP15096583U JP15096583U JPS6058223U JP S6058223 U JPS6058223 U JP S6058223U JP 15096583 U JP15096583 U JP 15096583U JP 15096583 U JP15096583 U JP 15096583U JP S6058223 U JPS6058223 U JP S6058223U
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JP
Japan
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flow path
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dust collection
closing shutter
path opening
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JP15096583U
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Inventor
増尾　紀久
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弥栄商事株式会社
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  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の流路開閉シャッタと吸着テーブルとを
示す縦断正面図、第２図は開閉シャッタを示す平面図、
第３図は同縦断正面図、第４図は゛第１図におけるＩＶ
−ＩＶ断面図である。 １・・・開閉シャッタ、２・・・吸着テーブル、３・・
・流路、７・・・側路、９・・・シャツタ板、１２・・
・集−室、１３・・・フィルタ、１４・・・透孔、１５
・・・集塵路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 吸着テーブルと吸引ポンプとを接続する流路を開閉する
    開閉シャッタのシャツタ板に、該シャツタ板が後退した
    とき流路と連通ずるフィルタ付の集塵室と、シャツタ板
    が前進したとき流路へ通ずる側路の開口端と連通ずる透
    孔とを設けると共に、前進した集塵室を器外の集塵装置
    へ連通させる集塵路とを設けてなる吸着テーブル用流路
    開閉シャッタ。
JP15096583U 1983-09-29 1983-09-29 吸着テ−ブル用流路開閉シヤツタ Granted JPS6058223U (ja)

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Publication Number Publication Date
JPS6058223U true JPS6058223U (ja) 1985-04-23
JPS6140330Y2 JPS6140330Y2 (ja) 1986-11-18

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ID=30334674

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