JPS59167636U - 吸着テ−ブル用管路切換弁 - Google Patents
吸着テ−ブル用管路切換弁Info
- Publication number
- JPS59167636U JPS59167636U JP5970983U JP5970983U JPS59167636U JP S59167636 U JPS59167636 U JP S59167636U JP 5970983 U JP5970983 U JP 5970983U JP 5970983 U JP5970983 U JP 5970983U JP S59167636 U JPS59167636 U JP S59167636U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction table
- opening
- valve
- switching valve
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１区はこの考案の管路切換弁を配置した吸着テーブル
とブロアを示−す正面図、第２図は管路を開いた管路切
換弁を示す斜視図、第３図は同縦断面図、第４図は同平
面図、第５図は管路を閉じた管路切換弁を示す斜視図、
第６図は同縦断面図、第７図は同平面図、第８図は従来
の吸着開放弁を示す縦断面図である。 １１−吸着テーブル、１６−ブロワ、１７−管路、２〇
−管路切換弁、２１一本体、２３−開閉弁、２５１．２
５２−外気吸入口、２６−開閉シャッタ、２７−回転中
心。
とブロアを示−す正面図、第２図は管路を開いた管路切
換弁を示す斜視図、第３図は同縦断面図、第４図は同平
面図、第５図は管路を閉じた管路切換弁を示す斜視図、
第６図は同縦断面図、第７図は同平面図、第８図は従来
の吸着開放弁を示す縦断面図である。 １１−吸着テーブル、１６−ブロワ、１７−管路、２〇
−管路切換弁、２１一本体、２３−開閉弁、２５１．２
５２−外気吸入口、２６−開閉シャッタ、２７−回転中
心。
Claims (1)
- 吸着テーブルとブロアを結ぶ管路の中間に、回転により
管路を開閉する開閉弁を取付け、該開閉弁ノ吸着テーブ
ル側とブロア側とに外気吸入口を設けると共に、この外
気吸入口に回転により開閉する開閉シャッタを設け、該
開閉シャッタの回転中心を前記開閉弁の回転軸の一端に
固定して、開閉弁が管路を閉じたとき開閉シャッタが両
外気吸入口を開くようにした吸着テーブル用管路切換弁
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5970983U JPS59167636U (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 吸着テ−ブル用管路切換弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5970983U JPS59167636U (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 吸着テ−ブル用管路切換弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59167636U true JPS59167636U (ja) | 1984-11-09 |
| JPS6125962Y2 JPS6125962Y2 (ja) | 1986-08-05 |
Family
ID=30189954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5970983U Granted JPS59167636U (ja) | 1983-04-21 | 1983-04-21 | 吸着テ−ブル用管路切換弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59167636U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010036263A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Fujitsu Ltd | 集塵機構および基板切断装置 |
| JP2012002279A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Saginomiya Seisakusho Inc | スライド弁 |
-
1983
- 1983-04-21 JP JP5970983U patent/JPS59167636U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010036263A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Fujitsu Ltd | 集塵機構および基板切断装置 |
| JP2012002279A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Saginomiya Seisakusho Inc | スライド弁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6125962Y2 (ja) | 1986-08-05 |
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