JPS6054617B2 - Simultaneous measurement method of refractive index and refractive index dispersion - Google Patents

Simultaneous measurement method of refractive index and refractive index dispersion

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JPS6054617B2
JPS6054617B2 JP13271478A JP13271478A JPS6054617B2 JP S6054617 B2 JPS6054617 B2 JP S6054617B2 JP 13271478 A JP13271478 A JP 13271478A JP 13271478 A JP13271478 A JP 13271478A JP S6054617 B2 JPS6054617 B2 JP S6054617B2
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refractive index
angle
wavelength
sample
prism
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信之 井元
陽 杉村
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、物質の屈折率の分散をプリズム形試料を用い
て測定する屈折率分散測定装置を利用し屈折率と屈折率
分散を同時に測定する方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for simultaneously measuring refractive index and refractive index dispersion using a refractive index dispersion measuring device that measures the refractive index dispersion of a substance using a prism-shaped sample.

上述した種類の屈折率分散測定装置は、昭和53年7月
3日出願の特願昭53−08629号(特公昭58−1
743号)の「屈折率分散測定装置」にも述べてあるが
、プリズムによる光の最小偏角を測定することにより屈
折率nを波長λの関数としてもとめ、それを微分するこ
とによつて屈折率の分散−をもとめる方法を利用してい
た。
The above-mentioned type of refractive index dispersion measuring device is disclosed in Japanese Patent Application No. 53-08629 filed on July 3, 1978 (Japanese Patent Publication No. 58-1).
743), the refractive index n is determined as a function of the wavelength λ by measuring the minimum polarization angle of light by a prism, and by differentiating it, refraction can be calculated. A method was used to find the variance of the rate.

つまり第1dλ図のような頂角αのプリズムにおいて、
角度φ、で光が入射した時のプリズムによる光の偏角を
Eとし、その他の記号を第1図に示したように定義する
と、これらの角度の間には、φ1+φ2=E+α・・・
・・・・・・(1)φ1+φ2=α ・・・・・・・・
・(2)slnφ1 ■nSlnφ1、、、、・、、、
、(3)sinφ2 ■nsinφ2 ・・・・・・・
・・(4)の関係がある。
In other words, in a prism with an apex angle α as shown in Fig. 1dλ,
When light is incident at angle φ, the deflection angle of light by the prism is E, and other symbols are defined as shown in Figure 1. Between these angles, φ1+φ2=E+α...
・・・・・・(1)φ1+φ2=α・・・・・・・・・
・(2) slnφ1 ■nSlnφ1, ,,,,,,,
, (3) sinφ2 ■nsinφ2 ・・・・・・・
...There is the relationship (4).

εが最小Emlnになるとき、これ。らの式を解くと、
n ■sinC+(Emin+α)〕 ・・・・・・(
5)sin(+α)となり、この式を利用してn=n(
λ)を求める。
This when ε becomes the minimum Emln. Solving the equations of
n ■sinC+(Emin+α)] ・・・・・・(
5) sin(+α), and using this formula, n=n(
Find λ).

具体的装置として第2図に示したような装置が知られて
いる。
A device as shown in FIG. 2 is known as a specific device.

第2図において、1は波長可変光源、2は回転可能な試
料台、3は回転可能で、かつ回転角読み取り可能な光位
置検出器をとりっけφ’、b+φ3b+ε− ) 一φ’lb−y2φlb、11−sin2(二lb關(
I’lb)る台、4はその台3にとりつけられた光位置
検出器、5はプリズム形の試料である。
In Fig. 2, 1 is a wavelength variable light source, 2 is a rotatable sample stage, and 3 is a rotatable optical position detector that can read the rotation angle. y2φlb, 11-sin2 (two lb)
4 is an optical position detector attached to the table 3, and 5 is a prism-shaped sample.

ク この装置の動作は、ます波長可変光源1からの光を
試料5を取り光位置検出器4に入れ、偏角をが最小にな
るように試料台2を動かし、その最小偏角E、、nを台
3で読み、(5)式から屈折率nを求めるものである。
The operation of this device is to take the light from the wavelength tunable light source 1 to the sample 5, enter it into the optical position detector 4, move the sample stage 2 so that the declination angle becomes the minimum, and then move the sample stage 2 so that the minimum declination angle E,... The refractive index n is determined from equation (5) by reading n using the stand 3.

夕 上記の方法は屈折率のみを測定する方法であり、か
つ、その装置は回転軸を共有する二つの高精度の回転台
を必要とするという欠点があつた。また、従来の屈折率
分数の測定装置としては、最小偏角に近い所に固定して
ある光位置検出器にフ光が入るように試料台の方をまわ
し、試料台の角度が光源の波長差分に対応してずれる量
を読むことによつて波長分数値を求める方法を利用して
いた。この装置及び方法を第3図の実施例て示す。第3
図において1は波長可変光源、4は光位置・検出器、5
は試料のプリズム、6は回転角読み取り可能な試料台で
ある。波長可変光源1と光位置検出器4を「適当な位置
」に固定しておき、波長可変光源1からの光が光位置検
出器4に入るように試料台6を回転する。(「適当な位
置」といつたのは、試料台6を回転することにより、検
出器4に光が入るように予め計算又は予備実験て定めた
位置ということである。)波長をΔλ変えたとき試料台
6をΔφ1だけ回転する必要があつたとすれば、ローA
l・Aも・ ・・・・・・(6) dλ dφ1 Δλ から屈折率分散−を求めることができる。
Evening: The above method measures only the refractive index, and the device has the disadvantage that it requires two high-precision rotary tables that share a rotating axis. In addition, in a conventional refractive index fraction measurement device, the sample stage is rotated so that the light enters the optical position detector fixed at a position close to the minimum deviation angle, and the angle of the sample stage is adjusted to the wavelength of the light source. A method was used to determine the wavelength fraction value by reading the amount of shift corresponding to the difference. This apparatus and method is illustrated in the embodiment of FIG. Third
In the figure, 1 is a wavelength tunable light source, 4 is a light position/detector, and 5 is a wavelength tunable light source.
is a sample prism, and 6 is a sample stage whose rotation angle can be read. The wavelength tunable light source 1 and the optical position detector 4 are fixed at "appropriate positions", and the sample stage 6 is rotated so that the light from the wavelength tunable light source 1 enters the optical position detector 4. (The term "appropriate position" refers to a position determined in advance by calculation or preliminary experiment so that light enters the detector 4 by rotating the sample stage 6.) The wavelength was changed by Δλ. If it is necessary to rotate the sample stage 6 by Δφ1, then the low A
Also l·A... (6) The refractive index dispersion can be determined from dλ dφ1 Δλ.

(6)式dλにおける−はあらかじめ計算しておく必要
があdφ、るが、この方法では(1)〜(4)式におい
て、α、Eが固定されているので、すべての変数(φ1
、φ2、φ1、φ2)はnのみを関数となる。
(6) - in equation dλ needs to be calculated in advance, but in this method, α and E are fixed in equations (1) to (4), so all variables (φ1
, φ2, φ1, φ2) are functions of only n.

従つて、上記の測定ては波長λの関数としての屈折率の
式により、波長λ。における前記試料プリズムの屈折率
n及び屈折率分散N?を求めることを特徴とする屈折率
及ひ屈折率分散の同時測定方法。発明の詳細な説明本発
明は、物質の屈折率の分散をプリズム形試料を用いて測
定する屈折率分散測定装置を利用し屈折率と屈折率分散
を同時に測定する方法に関するものである。
Therefore, the above measurements are performed using the formula for refractive index as a function of wavelength λ. The refractive index n and refractive index dispersion N? of the sample prism at ? A method for simultaneously measuring refractive index and refractive index dispersion, characterized by determining the following. DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for simultaneously measuring refractive index and refractive index dispersion using a refractive index dispersion measuring device that measures the refractive index dispersion of a substance using a prism-shaped sample.

上述した種類の屈折率分散測定装置は、昭和53年7月
3日出願の特願昭53−08629号(特公昭58一1
743号)の1屈折率分散測定装置ョにも述べてあるが
、プリズムによる光の最小偏角を測定することにより屈
折率nを波長λの関数としてもとめ、それを微分するこ
とによつて屈折率の分散41をもとめる方法を利用して
いた。
The above-mentioned type of refractive index dispersion measuring device is disclosed in Japanese Patent Application No. 53-08629 filed on July 3, 1981 (Japanese Patent Publication No. 5811).
743), the refractive index n is determined as a function of the wavelength λ by measuring the minimum polarization angle of the light by the prism, and the refraction is determined by differentiating it. A method was used to find the variance 41 of the ratio.

つまり第1dλ図のような頂角αのプリズムにおいて、
角度φ1で光が入射した時のプリズムによる光の偏角を
Eとし、その他の記号を第1図に示したように定義する
と、これらの角度の間には、の関係がある。
In other words, in a prism with an apex angle α as shown in Fig. 1dλ,
If the polarization angle of the light by the prism when the light is incident at an angle φ1 is E, and the other symbols are defined as shown in FIG. 1, then there is a relationship between these angles.

εが最小εMinになるとき、これ,らの式を解くと、
となり、この式を利用してn=n(λ)を求める。
When ε becomes the minimum εMin, solving these and other equations, we get
Using this formula, n=n(λ) is determined.

具体的装置として第2図に示したような装置が知られて
いる。
A device as shown in FIG. 2 is known as a specific device.

第2図において、1は波長可変光源、2は回転可能な試
料台、3は回転可能で、かつ回転角読み取り可能な光位
置検出器をとりつける台、4はその台3にとりつけられ
た光位置検出器、5はプリズム形の試料である。ク こ
の装置の動作は、まず波長可変光源1からの光を試料5
を取り光位置検出器4に入れ、偏角tが最小になるよう
に試料台2を動かし、その最小偏角E.,nを台3で読
み、(5)式から屈折率nを求めるものである。5 上
記の方法は屈折率のみを測定する方法であり、かつ、そ
の装置は回転軸を共有する二つの高精度の回転台を必要
とするという欠点があつた。また、従来の屈折率分数の
測定装置としては、最小偏角に近い所に固定してある光
位置検出器に)光が入るように試料台の方をまわし、試
料台の角度が光源の波長差分に対応してずれる量を読む
ことによつて波長分数値を求める方法を利用していた。
この装置及び方法を第3図の実施例て示す。第3図にお
いて1は波長可変光源、4は光位置検出器、5は試料の
プリズム、6は回転角読み取り可能な試料台である。波
長可変光源1と光位置検出器4を1適当な位置ョに固定
しておき、波長可変光源1からの光が光位置検出器4に
入るように試料台6を回転する。C適当な位置ョといつ
たのは、試料台6を回転することにより、検出器4に光
が入るように予め計算又は予備実験で定めた位置という
ことてある。)波長をΔ入変えたとき試料台6をΔφ1
だけ回転する必要があつたとすれば、から屈折率分散N
?を求めることができる。
In Fig. 2, 1 is a wavelength variable light source, 2 is a rotatable sample stage, 3 is a rotatable stage on which an optical position detector that can read the rotational angle is attached, and 4 is an optical position attached to the stage 3. The detector 5 is a prism-shaped sample. H The operation of this device is to first transfer light from the wavelength tunable light source 1 to the sample 5.
is placed in the optical position detector 4, the sample stage 2 is moved so that the declination angle t becomes the minimum, and the minimum declination angle E. , n are read on the stand 3, and the refractive index n is determined from equation (5). 5. The above method measures only the refractive index, and the device has the disadvantage that it requires two high-precision rotary tables that share a rotation axis. In addition, in a conventional refractive index fraction measurement device, the sample stage is rotated so that the light enters the optical position detector (fixed at a position close to the minimum deviation angle), and the angle of the sample stage is adjusted to the wavelength of the light source. A method was used to determine the wavelength fraction value by reading the amount of shift corresponding to the difference.
This apparatus and method is illustrated in the embodiment of FIG. In FIG. 3, 1 is a variable wavelength light source, 4 is an optical position detector, 5 is a sample prism, and 6 is a sample stage whose rotation angle can be read. The wavelength tunable light source 1 and the optical position detector 4 are fixed at a suitable position, and the sample stage 6 is rotated so that the light from the wavelength tunable light source 1 enters the optical position detector 4. C. The term "appropriate position" refers to a position determined in advance by calculation or preliminary experiment so that light can enter the detector 4 by rotating the sample stage 6. ) When the wavelength is changed by Δ, the sample stage 6 is changed to Δφ1
If it is necessary to rotate the refractive index dispersion N from
? can be found.

(6)式における41はあらかじめ計算しておく必要が
あ dφ1るが、この方法では(1)〜(4)式にお
いて、α,Eが固定されているので、すべての変数(φ
1,φ2,φ1,φ2)はnのみを関数となる。
41 in equation (6) needs to be calculated in advance, but in this method, α and E are fixed in equations (1) to (4), so all variables (φ
1, φ2, φ1, φ2) is a function only of n.

従つて、上記の測定ては波長入の関数としての屈折率n
(λ)が既知である場合にのみ有効で、その誤差もn(
λ)の誤差に依存するという欠点があつた。本発明は、
1個の精密回転台を用いる屈折率分散測定装置を用い、
屈折率と共に屈折率分散をも同時に求める方法を提供す
ることを目的とする。
Therefore, the above measurements are based on the refractive index n as a function of wavelength input.
(λ) is known, and its error is also n(
The disadvantage was that it depended on the error of λ). The present invention
Using a refractive index dispersion measuring device that uses one precision rotary table,
It is an object of the present invention to provide a method for determining refractive index and refractive index dispersion at the same time.

先づ本発明の方法を説明するために、第4図を用いる。
第4図は第3図と同じ装置を示すが、異るところは5(
a)及び5(b)が二つの位置(後述す)における試料
プリズムを示すことである。(試料プリズムは試料台6
に装着されているので、5(a),5(b)に対応し試
料台6の回転位置も変つているわけてある。)波長可変
光源1からの光がプリズム面に垂直に入射する所を試料
台6の回転角の零度とする。
First, FIG. 4 will be used to explain the method of the present invention.
Figure 4 shows the same device as Figure 3, except for 5 (
a) and 5(b) show the sample prism in two positions (described below). (The sample prism is on the sample stage 6.
Since the sample stage 6 is mounted on the sample stage 6, the rotational position of the sample stage 6 is also changed corresponding to 5(a) and 5(b). ) The point where the light from the wavelength tunable light source 1 is perpendicularly incident on the prism surface is defined as zero degree of the rotation angle of the sample stage 6.

入射角は第1図に示す如くφ1とする。次に、光源1の
波長をλ−ヘへにして試料台を回転し、最小偏角を与え
る入射角φ10(正確には、後述の理由て、測定できな
い)より数度手前に止め、このときの回転角をφ1aと
する。第5図に入射角φ1を横軸とし偏角εを縦軸とし
て、上記の関数をグラフとして示す。
The angle of incidence is assumed to be φ1 as shown in FIG. Next, the wavelength of light source 1 is set to λ-, the sample stage is rotated, and the sample stage is stopped several degrees before the incident angle φ10 that gives the minimum deviation angle (accurately, it cannot be measured for reasons explained later). Let the rotation angle of φ1a be φ1a. FIG. 5 shows the above function as a graph with the horizontal axis representing the incident angle φ1 and the vertical axis representing the deflection angle ε.

7は波長がλ一楚のときのφ1−ε曲線、8は波長がλ
+楚のときのφ1上曲線を示す。
7 is the φ1-ε curve when the wavelength is λ, 8 is the wavelength is λ
The upper curve of φ1 when +C is shown.

これによると、最小偏角を与える入射角φ10より数度
大きい所に同じ偏角Eを与えるφ1bが存在するので、
この角度を読み取る。その次に、光源1の波長をλ+へ
△にして同様の測定を行い、上記φ1a,φ1,に相当
する入射角をφ″1a,φ″1bとする。最小偏角に近
い所ては第5図のグラフの曲線は左右対称であるので、
φ″1a,φ1a,φ1b,φ″1,の平均値を求める
ことにより最小偏角を与える入射角φ10を知ることが
できる。(第5図のφ1上曲線はφ10の位置でフラッ
トになつているので、この様な計算によらなければ正確
な値が得られない。)φ10から次式による屈折率nが
求められる。屈折率nの誤差δnについてはα=60度
の場合、となり、屈折率nと最小偏角を与える入射角φ
10の誤差はほぼ等しい。
According to this, there is φ1b that gives the same declination angle E at a location several degrees larger than the incident angle φ10 that gives the minimum declination angle, so
Read this angle. Next, the same measurement is performed by changing the wavelength of the light source 1 to λ+ to Δ, and the incident angles corresponding to φ1a and φ1 are set to φ″1a and φ″1b. Since the curve of the graph in Figure 5 is symmetrical near the minimum declination angle,
By finding the average value of φ″1a, φ1a, φ1b, φ″1, the incident angle φ10 that provides the minimum deviation angle can be found. (Since the curve above φ1 in FIG. 5 is flat at the position of φ10, an accurate value cannot be obtained unless such a calculation is performed.) From φ10, the refractive index n can be obtained from the following equation. Regarding the error δn of the refractive index n, when α = 60 degrees, the incident angle φ that gives the refractive index n and the minimum deviation angle is
10 errors are almost equal.

これは最小偏角法による場合の誤差と同程度である。This error is about the same as that obtained using the minimum argument method.

波長λを変えたことによる屈折率の変化Δnは次式で与
えられる。
The change Δn in the refractive index due to changing the wavelength λ is given by the following equation.

ただし、φ″1はφ″11又はφ″1bを表わし、φ1
はφ13又はφ1bを表わす。
However, φ″1 represents φ″11 or φ″1b, and φ1
represents φ13 or φ1b.

この式において、第2項以下を誤差として無視すると、
次式が得られる。(1a式を測定値φ1a,φ″1a,
φ1b,φ″1b,nおよび設定値α,ε,λから計算
するための表式は次のように求められる。まず、(1)
〜(4)式からφ1,φ2,φ2を消去すると、nがφ
1,α,εの関数として求まる。それをφ1て微分する
と、を得る。従つて、n(望)、すなわち、φ1とφ″
1の平均値における−02は、 の式で与えられる。
In this formula, if we ignore the second term and below as errors, we get
The following equation is obtained. (Formula 1a is the measured value φ1a, φ″1a,
The formula for calculating from φ1b, φ″1b, n and set values α, ε, λ is obtained as follows. First, (1)
~If φ1, φ2, and φ2 are eliminated from equation (4), n becomes φ
It is found as a function of 1, α, and ε. If we differentiate it by φ1, we get Therefore, n (desired), that is, φ1 and φ″
-02 in the average value of 1 is given by the following formula.

φ1およびφ″1の測定値としては、波長λ ]「にお
ける値φ1a,φ″18およびλ+]「における値φ1
b,φ″1,があるので、それぞれから求めたn″の平
均値をとることにより精度向上を図る。従つて、n″(
克纜コb)=n″1+n″となる。ただし、である。
The measured values of φ1 and φ″1 are the value φ1a at the wavelength λ ]”, the value φ1a at φ″18 and the value φ1 at λ+]
Since there are b and φ″1, the accuracy is improved by taking the average value of n″ obtained from each. Therefore, n″(
Summary b)=n″1+n″. However, it is.

また、(10式のφ1″一φ1についても平均値をとる
ことにより、となる。
In addition, (by taking the average value for φ1″−φ1 in equation 10, it becomes.

これらを(10式に代人したΔnをΔλで除算すること
により、を得る。
These are obtained by dividing Δn substituted in equation 10 by Δλ.

この式を用いて測定した入射角φ1a,φ″1a,φ1
,,φ″1bかりJ〜を求めることができる。なお、屈
折率nだけを求めるのであれば、上述のようにλ−]「
とλ+]「の測定の平均を求めず、波長日λの測定から
求めればよいが、本発明では屈折率nと屈折率分散l?
とを入射角φ,.,φ,5,φ″1a,φ″1bの4つ
の測定値を与えられたΔλとから同時に求せることがで
きるので、光源波長をλに合わせてφ1aとφ1bを新
たに測定する必要はない。この測定の誤差要因を考える
に、(1a式でΔφ1の3次(即ちφ″−φ1)3)以
降を省略したことによる誤差を可〕4土±40・(φ″
,−φ,)とすれば、屈折率の変化の誤差は、a=60
度、n=1.46として計算すると、n″は−2〜−3
程度の値になり、通常Δφ1=3紛で測定するとすれば
、Δnは誤差は10−7以下となる。
Incident angles φ1a, φ″1a, φ1 measured using this formula
.
It is sufficient to calculate it from the measurement of the wavelength λ without calculating the average of the measurements of λ and λ+], but in the present invention, the refractive index n and the refractive index dispersion l?
and the angle of incidence φ, . , φ, 5, φ″1a, φ″1b can be obtained simultaneously from the given Δλ, so there is no need to adjust the light source wavelength to λ and newly measure φ1a and φ1b. . Considering the error factors in this measurement, the error may be due to the omission of the third order of Δφ1 (i.e. φ″-φ1) and subsequent parts in equation 1a.
, -φ, ), the error in the change in refractive index is a=60
degree, n=1.46, n″ is −2 to −3
If it is normally measured using Δφ1=3 particles, the error of Δn will be 10 −7 or less.

Δφ1自身の誤差によるΔnの誤差は、で 免は、最小
偏角を与えるφ1から5度以内ゝdφ1では、0.1よ
り小さい。
The error in Δn due to the error in Δφ1 itself is less than 0.1 within 5 degrees from φ1 that gives the minimum deviation angle.

また、Δφ1の読取誤差を10−5(2秒)とすれば、
Δnの誤差は10−6以下となる。以上述べたように、
本発明によれば、試料の屈折率と屈折率分散とを一つの
回転台装置で同時に測定することができ、かつ、平均操
作を多くして測定精度を高くすることができるという効
果がある。
Also, if the reading error of Δφ1 is 10-5 (2 seconds),
The error of Δn is 10 −6 or less. As mentioned above,
According to the present invention, the refractive index and refractive index dispersion of a sample can be measured simultaneously with one rotary table device, and the measurement accuracy can be increased by increasing the number of averaging operations.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はプリズムによる光の屈折を説明するための図、
第2図は従来の屈折率測定装置の構成図、第3図は従来
の屈折率分散測定装置の構成図、第4図は第3図の測定
装置を利用して本発明を実施する要領を示す構成図及び
第5図は本発明の詳細な説明するための実施例のグラフ
である。 1・・・・・・波長可変光源、2・・・・・・回転台、
3・・・・・・目盛付回転台、4・・・・・・光位置検
知器、5・・・・・・試料プリズム、6・・・・・・目
盛付回転台、7・・・・・・光源波長がAλλ−2の場
合のφ1上曲線、8・・・・・・光源波長がλ+△青の
場合のφ1上曲線。
Figure 1 is a diagram to explain the refraction of light by a prism.
Fig. 2 is a block diagram of a conventional refractive index measuring device, Fig. 3 is a block diagram of a conventional refractive index dispersion measuring device, and Fig. 4 shows how to implement the present invention using the measuring device of Fig. 3. The shown configuration diagram and FIG. 5 are graphs of an embodiment for explaining the present invention in detail. 1... Wavelength variable light source, 2... Turntable,
3... Turntable with scale, 4... Optical position detector, 5... Sample prism, 6... Turntable with scale, 7... . . . φ1 upper curve when the light source wavelength is Aλλ−2, 8 . . . φ 1 upper curve when the light source wavelength is λ + Δ blue.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 波長可変光源と、頂角αをもつ試料プリズムを装着
した回転角読み取り可能な試料台と、光位置検出器とを
有し、前記波長可変光源からの光を入射角φ_1で前記
頂角αの試料プリズムに入射させ、該試料プリズムで屈
折され入射光に対し偏角εで当該試料プリズムより出射
して前記光位置検出器へ入射させるように光学的に配置
された屈折率分散側測定装置を用い、最小偏角より少し
大きな1つの偏角εを与える二つの入射角φ_1_aお
よびφ_1_b(φ_1_a<φ_1_b)を波長λ=
λ_0−Δλ/2の光に対して測定し、同様に波長λ=
λ_0+Δλ/2の光に対して前記偏角εを与える二つ
の入射角φ′_1_aおよびφ′_1_b(φ′_1_
a<φ′_1_b)を測定し、測定によつて得られた入
射角φ_1_aおよびφ_1_b,φ′_1_aおよび
φ′_1_b)および予め与えられたα,εおよびΔλ
から、φ_1_0=(φ_1_a+φ_1_b+φ′_
1_a+φ′_1_b)/4n=sinφ_1_0/(
sinα/2)▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼ dn/dλ={(φ′_1_a−φ_1_a+φ′_1
_b−φ_1_b)/(2・Δλ・sinα)}・(n
′_a+n′_b)/2の式により、波長λ_0におけ
る前記試料プリズムの屈折率n及び屈折率分散dn/d
λを求めることを特徴とする屈折率及び屈折率分散の同
時測定方法。
[Scope of Claims] 1. A sample table having a wavelength tunable light source, a rotation angle readable sample stage equipped with a sample prism having an apex angle α, and an optical position detector, and comprising a wavelength tunable light source, a sample stage capable of reading the rotation angle, and an optical position detector, which converts the light from the wavelength tunable light source into an angle of incidence. The light beam is optically arranged so that it is incident on the sample prism having the apex angle α at φ_1, is refracted by the sample prism, is emitted from the sample prism at an angle of deviation ε relative to the incident light, and is incident on the optical position detector. Using a refractive index dispersion side measurement device, two incident angles φ_1_a and φ_1_b (φ_1_a<φ_1_b) that give one declination angle ε slightly larger than the minimum declination angle are set to wavelength λ=
Measured for light of λ_0-Δλ/2, and similarly wavelength λ=
Two incident angles φ'_1_a and φ'_1_b (φ'_1_
a<φ′_1_b), and the incident angles φ_1_a and φ_1_b, φ′_1_a and φ′_1_b) obtained by the measurement and the previously given α, ε and Δλ
From, φ_1_0=(φ_1_a+φ_1_b+φ'_
1_a+φ′_1_b)/4n=sinφ_1_0/(
sinα/2) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ dn/dλ={(φ′_1_a−φ_1_a+φ′_1
_b−φ_1_b)/(2・Δλ・sin α)}・(n
'_a+n'_b)/2, the refractive index n and refractive index dispersion dn/d of the sample prism at wavelength λ_0
A method for simultaneously measuring refractive index and refractive index dispersion, characterized by determining λ.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110749423A (en) * 2019-09-23 2020-02-04 商丘师范学院 Method and system for measuring refractive index of prism
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