JPS6053004U - プロ−プカ−ド平行度測定装置 - Google Patents
プロ−プカ−ド平行度測定装置Info
- Publication number
- JPS6053004U JPS6053004U JP14537783U JP14537783U JPS6053004U JP S6053004 U JPS6053004 U JP S6053004U JP 14537783 U JP14537783 U JP 14537783U JP 14537783 U JP14537783 U JP 14537783U JP S6053004 U JPS6053004 U JP S6053004U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- pulse
- wafer
- command
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案装置の回路構成図、第２図は第１図にお
ける装置のタイミングチャート図、第３図、第４図は本
考案装置の取付は状態を示すもので、第３図は平面図、
第４図は側面区である。 １・・・プローブカード、１ａ・・・探針、２・・・入
力アンプラッチ回路、３・・・パルス発生回路、４・・
・パルス制御ゲート、５・・・３桁デジタルカウンタ、
８・・・ヘッドプレート。
ける装置のタイミングチャート図、第３図、第４図は本
考案装置の取付は状態を示すもので、第３図は平面図、
第４図は側面区である。 １・・・プローブカード、１ａ・・・探針、２・・・入
力アンプラッチ回路、３・・・パルス発生回路、４・・
・パルス制御ゲート、５・・・３桁デジタルカウンタ、
８・・・ヘッドプレート。
Claims (1)
- 測定ウェハーを保持しこれを一定速度で上昇させるウェ
ハーチャックと、針先を下に向けてプローブカードを測
定ウェハーの上方に定置し測定ウェハーに対する該プロ
ーブカードの平行度を調整する機能をもつヘッドプレー
トとからなり、さらにパルス発生回路と、プローブカー
ドの探針を測定センサーとして用い、プローブカードの
傾きにより最初の探針がウェハーに接触したときにパル
ス計数を開始させる指令を発し、続いてその後にウェハ
ーに残りの探針が接触する毎に順次パルス計数を停止さ
せる指令を発する入力アンプラッチ回路と、パルス計数
開始指令を受けてパルス回路よりパルスを出力させるパ
ルス制御ゲートと、パルス計数停止指令を受けるまでの
プローブカードの探針を単位としそパルス回路よりのパ
ルス数を計数し、その値を表示するデジタルカウンター
とを備え、プローブカードの各探針が測定ウェハーに接
触する瞬間を捉え、その時間差から数値的にプローブカ
ードと測定ウェハーとの平行度を判定するようにしたこ
とを特徴とするプローブカード平行度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14537783U JPS6053004U (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | プロ−プカ−ド平行度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14537783U JPS6053004U (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | プロ−プカ−ド平行度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6053004U true JPS6053004U (ja) | 1985-04-13 |
Family
ID=30323912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14537783U Pending JPS6053004U (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | プロ−プカ−ド平行度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053004U (ja) |
-
1983
- 1983-09-20 JP JP14537783U patent/JPS6053004U/ja active Pending
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