JPS6050529U - 弾性表面波素子 - Google Patents

弾性表面波素子

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Publication number
JPS6050529U
JPS6050529U JP14150883U JP14150883U JPS6050529U JP S6050529 U JPS6050529 U JP S6050529U JP 14150883 U JP14150883 U JP 14150883U JP 14150883 U JP14150883 U JP 14150883U JP S6050529 U JPS6050529 U JP S6050529U
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JP
Japan
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acoustic wave
degrees
surface acoustic
wave device
person
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Pending
Application number
JP14150883U
Other languages
English (en)
Inventor
崎山　和之
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は弾性表面波素子を示す斜視図、第２図はウェハ
面方位回転角度の説明図、第３図ａは弾性表面波伝搬路
が自由な試料を示す側面図、第３図すは同試料に対する
周波数減衰度特性図、第４図ａは弾性表面波伝搬路に吸
収材を塗布した試料を示す側面図、第４図すは同試料に
対する周波数減衰度特性図、第５図はウェハ面方位が不
要波成分に及ぼす影響を測定した結果を示す図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ＋θ度回転ＹカットＬｉＮｂＯ３ウェハを基板とし、こ
    の基板上に、それぞれ、Ｘ方向に伝搬する弾性表面波を
    電気信号から発生、および、この弾性表面波から電気信
    号に変換する人、出カドランスジューサを設けた弾性表
    面波素子において、前記０度を１２７．１度〜１２８．
    ７度、または、１３０．３度〜１３０．８度の範囲内に
    在るようにしたことを特徴とする弾性表面波素子。
JP14150883U 1983-09-14 1983-09-14 弾性表面波素子 Pending JPS6050529U (ja)

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JP14150883U JPS6050529U (ja) 1983-09-14 1983-09-14 弾性表面波素子

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JP14150883U JPS6050529U (ja) 1983-09-14 1983-09-14 弾性表面波素子

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JPS6050529U true JPS6050529U (ja) 1985-04-09

Family

ID=30316478

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JP14150883U Pending JPS6050529U (ja) 1983-09-14 1983-09-14 弾性表面波素子

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