JPS60502245A - コ−テイング付き複合窒化珪素切削工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 コーティング付き複合窒化珪素切削工具関連出願に対する相互引用 本出願は、１９８０年３月７日付けで出願された［−耐摩耗性窒化珪素基物品］ と題する現在係属中の特許出願番号第１２８，０７０号並びに本件と併せて出願 された以下の特許出願（これらはすべて本出原の該受入に譲渡されている）にお （・て開示されそして請求された事項に関する内容を含んでいる： 「複合セラミック切削工具」と題する出願番号第３８０、３６４号； 「改良珪素−アルミニウムー酸窒化物基複合切削工具を製造する方法」と題する 出頼番号第３８０．３６１号；「炭化物被覆窒化珪素切削工具」と題する出願番 号第３８０．３８４号； 「アルミナ被覆窒化珪素切削工具」と題する出願番号第３８０、３６３号； 「炭化物被覆窒化珪素切削工具」と題する出願番号第３８　Ｇ、　３８１号； 「窒化物被覆窒化珪素切削工具」と題する出願番号第３８０、３８３号； 「炭化物被覆複合窒化珪素切削工具」と題する出願番号第３８０．３６２号； 「アルミナ被覆複合窒化珪素切削工具」と題する出！８番号第３８０．３７９号 ； 「炭窒化物被覆被合窒化珪素切削工具」と題する出願番号第５８０．３８２号； 「窒化物被覆複合窒化珪素切削工具」と題する出願番号第３．８０．５８０号； 「炭化物被覆複合改良珪素−アルミニウムー酸窒化物切削工具」と題する出Ｂ番 号第６８０．６８７号；「アルミナ被蟲複合改良珪累−アルミニウムー酸窒化物 切削工具」と題する出願査号第３８０．３８８号；「炭窒化物被覆複合改良珪素 −アルミニウムー酸窒化物切削工具」と題する出願番号第３８０．３８９号；「 窒化物被覆複合改良珪素−アルミニウムー酸窒化物切削工具」と題する出願番号 第５８０．４５２号；「炭化物被覆複合改良珪累−アルミニウムー酸窒化物切削 工具」と題する出願番号不詳号（代理人取扱番号８６−３−０８８）； 「炭化物被覆窒化珪素切削工具」と題する出願番号不詳号（代理人取扱番号ａ６ −３−ｏｐｏ）。

発明の分野 本発明はセラミック切蘭工具及び切削工具挿入体に関する。特には、本発明は、 耐火材料を有する複合屋化珪素セラミック切削工具及び工具押入体と関係する。

発明の背景 炭化物焼結材料は、硬度、強度及び耐摩耗性についてのそのユニークな性質の組 合せにより周知されており、そして鉱山用ツールビット、金属切削及び穿孔用エ ノ１、金属引抜きグイ、餠摩耗機械部品等において広範に使用されてきた。炭化 物焼結材料の耐摩耗性は炭化チタン或いは匂化アルミ臣つムのような高度に耐摩 耗性の材料の薄いコーティングの被移により向上されうろことが知られている。

これらコーティング付き炭化物材料は、成る種の切削工具及び機械加工用途向け に工業的有用性を高機械加工用途における一層高い生産性を追求しての経済的圧 力は、切削工具材料の性能に益々増太せる要求を課しつつある。機械加工におけ る高い生陀性を実現する為には、工具は高速で切削を行うことが出来ねばならな い。１５００表面ｆｔ／分（ｓｆｐｍ）を越える切削速度においては、切削工具 材料の高温強度と化学的不活性とが益々重要となる。焼結炭化物切削工具材料（ 今日切削工具において使用されている主たる材料）の有用性は、こうした工具に 酸化アルミニウムを被覆することにより）約１５［１１０５ｆｐ　の切削速度を 必要とする用途如まで拡張された。１５００　ｓｆｐｍ　を越える切削速度に対 しては焼結炭化物工具は強度の損失と工具鼻部の変形に関連するを与えそして工 具寿命の短縮を生みだす。

従来からのセラミック切削工具はこれら欠点の多くを克服するが、それらの低い 衝撃強さ及び破壊靭性に関係する幾つかの制限を有している。これは殊に多くの アルミナ基の従来型式のセラミック切削工具についてあてはまる。窒化珪素基セ ラミック切削工具は著しく高い％撃強さと破壊靭性を持っているが、鋼のような 長い切屑発生材料を切削するのに使用される時所望水準より低い作学的不活性し か示しえない。

発明の目的 従って、本発明の目的は、改善された切削工具及び切削工具挿入体を提供するこ とである。

本発明のまた別の目的は、機械加工速度、温度或いは加工物硬度について課せら れている条件の下で金属を機械加工するに有用な改善された切削工具挿入体を提 供することである。

本発明のまた別の目的は、長い切屑を発生する加工物材料を切削するに当って改 善された性能を備える改善された耐摩耗性複合セラミック切削工具を提供するこ とである。

発明の概要 これら及びその他の目的、利点及び利用能力は、コーティング付き切削工具或い は切削工具挿入体を耐火材料製の一層以上の密着中間コーティング層と耐火材料 製の−ＪＭの外側密着コーティング層とを有する複合窒化珪素基材から構成する 本発明に従って提供される。中間密着コーティング層は外側密着コーティング層 とは別の化学組成を有している。詳しくは、基体は、マ）　ＩＪソクス中に耐火 材料の粒子を一様に分布して実質土酸る。マトリックスは、窒化珪素の第１相と 、窒化珪素並びに酸化イツトリウム、酸化ハフニウム、ランタニド希土類酸化物 及びその混合物から成る群から選択される有力ｔｉｔの高密化助剤から実ケ成る 耐火第２相から実質成る。中間密着コーティング層及び外側密着コーティング層 は、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、ＮｂｌＭｏ、トｆｆ、Ｔａ、Ｗ及びそノ組合せの炭 化物、会化物、炭窒化物並び１てアルミナから完ろ群からフぢ択される。

詳細な記述 本発明に従うコーティング付き工具及び工具挿入体は、高密化窒化珪素マトリッ クス中に硬質耐火材料の細く分断された粒子を一様に分布して成る複合窒化珪素 基体から成る。本明細書及び添付請求の範囲全体を通して使用される用語「硬質 耐火材料」とは、混合物及び固溶体を含めて、高融点金属の任意の炭化物及び／ 或いは窒化物及び／或いは炭窒化物を意味する。本発明の範囲内に入るものとし て考えられる粒状硬質耐火材料は、約１０００ｋｇ／−２を越える微小硬度と約 １５０［］’Ｃを越える溶融或いは分解温度とを有する上記から選択される材料 である。

代表的な硬質耐火材料は、組合せ及び固溶体を含めて、チタン、バナジウム、ク ロム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ハフニウム、タンタル及びタングス テンの炭化物及び／或いは窒化物及び／或いは炭窒化物である。

もつとも好ましい硬質耐火粒子は、炭化チタン、窒化チタン、炭窒化チタン、炭 化ハフニウム及び窒化ハフニウムである。硬質耐火材料の粒子は、窒化珪素の第 １相と窒化珪素並びに酸化イツトリウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、 ランタニド希土類酸化物及びその混合物からヴる群から選択される有効量の高密 化助剤を含む桁火第２相とから実質成るマトリックス中に一様ニ分布される。

硬質耐火粒子の平均ξ寸は好ましくは、約０５〜２０ミクロン、より好ましくは 約０５〜５ミクロンの０囲である“。

本発明に従う切削工具及び工具挿入体の有用寿命及び性能は、大半、複合体全体 中の粒状硬質耐火材料により占められる容積分率に依存する。切削工具基体の硬 度は一般に、約６０容積％まで粒状硬質耐火材料の容積％含有分の増加につれて 増大するが、最大限の硬度と破壌靭性を得る為には、基体に含まれる炭化物及び ／或いは窒化物及び／或いは炭窒化物粒子が約１５〜５０容積％、もつとも好ま しくは約２０〜４０容積％の範囲にあることが好ましい。

本発明に従うコーティング付き複合窒化珪素ジノ削工具及び工具挿入体の基体は 、主体たるマトリックス全体を通して硬質耐火粒子が分散せしめられている複合 ミクロ組織を有している。マトリックスは、窒化珪素から成る第１相と、窒化珪 素並びに酸化イツトリウム、酸化ハフニウム、ランタニド希土類酸化物及びその 混合物から選択されろ有効量の高密化助剤を含む耐火第２相とから実質戚る。

粒界相は実質上ゼ続しているからそして複合基体全体中に存在する不紳物及び添 加剤は高密化過程中粒異相に・與紗する傾向があるから、粒界相の組成は高密化 複合体の高温性質１で深く影祷する。

マ）　ＩＪソクスの粒界相中に、理論値に近い密度まで高密化を許容し同時に複 合体全体の品温強度及びクリープ抵抗に悪影響を与文な℃・高密化助剤を含入さ せることが重ダと考えられる。この目的の為有用な代表的高密化助剤は、酸イヒ マグネシウム、酸化イツトリウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、ランタ ニド希土類酸化物及びその混合物から選択される金属酸化物である。酸化イソ） 　ＩＪウム及び酸化ハフニウムが好ましい。金属酸化物高密化助剤は、光分なる 高密化を許容する有効下限から基体の高温性質に不当に悪い影響を与えない上限 までの量において使用される。好ましくは、金属酸化物高密化助剤は、硬質耐火 粒子が分散せしめられる２相生体マトリックスの約１〜２５重信％を＠Ｆ反する 。より好ましくは、金属酸化物は主体マ）　ＩＪラックス約１〜５重￥゛％を物 に添加されるか或いは使用される窒化珪素における表面酸化物として存在してい る。高密化複合窒化珪素基体を形成する為の粉末混合物の爾後処理中、二酸化珪 素及び金属酸化物高密化助剤は粒界相に濃縮する傾向がある最終高密化基体中の 存在する二酸化珪素の量は主体マトリックスの約５重量％より少ないものとする ことが好ましい。

基体マトリックスの粒界相は、上記二酸化珪素及び金属酸化物高密化助剤に加え て添加剤或いは不鈍物の形態で追加的な物質を含むことがある。こうした追加物 質は好ましくはマ）　ＩＪラックス約５重量％より少ない量で存在することが好 ずし℃・。

本発明の原理に従えば、基禾或いは中間密着コーティング層には、耐火材料から 成る少くとも一層の硬質密着コーティング層が被覆される。密着コーティング層 用の代表的耐火材料としては、チタン、バナジウム、クロムジルコニウム、ニオ ブ、モリブデン、ハフニウム、タンタル及びタングステンの窒化物、炭化物及び 炭窒化物並びにアルミナが挙げられる。本発明に従う好ましいコーティングは、 窒化チタン、炭化チタン、炭窒化チタン、窒化ハフニウム、炭化ハフニウム及び 炭窒化ハフニウム並びにアルミナである。

中間及び外側コーティング層は、約０１〜２０ミクロン、好ましくは約１．０〜 １０ミクロンの範囲の厚さを有する。本発明に従うコーティング付き切削工具及 び工具挿入体を作製する例示的方法が以下に呈示される。これら方法は、例示と してみなさるべきであって添付請求の範囲により定義されるものとしての本発明 の範囲を制限するものとして考えられるべきでない。以下の方法丁及びＩＩば、 本発明の切削工具及び工具挿入体の基体を作虜する方法を例示する。一つの方法 において、窒化珪素、硬質粒状耐火材料、二酸化珪素及び高密什助剤として働く 一種１゛Ｊ上の金属酸化物を含有するプレスされた生の圧粉体が高密度体に焼結 される。他の方法において、上記材料の乾燥粉末混合物が賦形された切削工具挿 入体を生成するべく熱間プレスされる。

方法■ 窒化珪素、硬質耐火材料及び金属酸化物高密化助剤から成る粉末混合物１重量部 に対して、約２５重量部トルエン、０１重量部メタノール及び００５重量部ステ アリン酸が粉末混合物に添加された。生成するスラリけ、ボールミル処理により 充分に混合されそして後７５℃で乾燥された。生成する乾燥混合物は、約２４時 間ボールミル処理されそして後約１０５重量部のポリエチレングリコール及びメ トキシエチレングリコールの共重合体、１重量部のトルエン及び約００５重量部 のメタノールと混合された。この混合物はボールミル処理により約１５分間混和 され、そして後スラリは７５℃で乾燥されそして６０メツシユ篩を通して分篩さ れた。−６０メツシュ部分が周囲温度において約２５，０００　ｐｓｉｇ　（１ ７２％＋７０ＫＮ／Ｍ２）においてプレスされて、生の圧粉体を得た。

残留溶剤及びステアリン酸結合剤は不活性芥囲気中約６００℃において加熱する ことにより生の圧粉体から防去された。その後生の圧粉体は、約１７００〜１８ ５０℃の範囲の温度にお℃・て加熱することにより硬質高密度化複合体に焼結さ れた。

方法■ −６０メツシユ乾燥粉末混合物を得る時点まで方法■の過程が追従された。その 後、この材料が約３０００ｐｓｉｇ　の圧力及び約Ｔ７００℃の温度においてプ レスされて、硬度高密度化複合体を生成した。

被覆方法 上記方法■或いは■いずれかにより生成された複合基体或いは中間密着層に、斯 界で知られる化学的蒸着技術或いは物理的蒸着技術により耐火材料が被覆され密 着コーティング層を形成する。例えば、窒化チタン、炭化チタン、炭窒化チタン 、窒化ノ・フニウム、炭化ハフニウム或いは炭窒化ハフニウム及びアルミナの好 ましいコーティングが化学的蒸着により被覆される。他の金属炭化物、炭窒化物 或いは窒化物は、化学的蒸着技術が適用可能な場合にはそれにより或いは直接蒸 発、スパッタリング等のような物理的蒸着技術により被覆される。

化学的蒸着法の有用な特性は、付着層の純度及び付着過程の早期段階中付着され つつある層と基体乃至中間層との間での成る程度の拡散的相互反応の川向によっ て良好な層密着性が得られやすいことである。

−例として、窒化チタン層が、四塩化チタン、窒素或いはアンモニアのような気 体状混合物及び水素の気体状混合物を基体或いは中間層周囲に約８００〜１５０ ０℃、好ましくは約１０００℃を越える温度において流すことに）り本発明の切 削工具の複合窒化珪素基体上に或いは中間層上に形成された。反応は次の式によ り記述される；水素は反応が還元雰囲気において起ることを保証する為に添加さ れた： ２　Ｔ’ｉＣｌ　４　＋　Ｎ２　＋　４　Ｎ２　＝　２　ゴｉＮ＋８　ＦＩＣ＋ 混合物は所望のコーティング厚さが実現されるずで加熱された基体或いは中間層 上に流される。特定の気体流量及び温度におけるコーティング厚さ酸長の速度を 決定するのに日常実、Ｉηが使用される。

また別の例として、アルミナ中間コーティング層或いは外仙コーティング層が、 本発明の切削工具の基体或いは中間コーティング層上に、斯界で知られる化学的 蒸着技術或いは物理的蒸着技術により形成される。一つの化学的蒸着技術におい て、米国特許第３．９１４．４７３号により詳しく記載されるように、気化塩化 アルミニウム或いは他のアルミニウムハロゲン化物が、水蒸気及び水素ガスと共 に加熱された基体或いは中間コーティング上に流される。別様には、酸化アルミ ニウムは、直接蒸発或いはスパッタリングのような物理的蒸着技術により付＝さ れる。但し反応が還元雰囲気において起ることを保証する為水素がしはしば添加 される： ２　ＡｌＣｌ３＋　３　Ｎ２０　：　Ａｔ２０３＋（Ｓ　Ｉ−１ｃＩ単数或いは 複数の基体或いはコーティング付き基体が気流を流送する設備を備えた炉内で約 ８００〜１５００℃の範囲の温度に加熱される。塩化アルミニウム源がその蒸発 の為予熱されそして塩化アルミニウム蒸気が他の気体と共に炉を通して流される 。気体混合物は所望のコーティング厚さが実現されうるまで加熱された基体或い はコーティング付き基体周囲に通される。特定の気体流量及び温度におけるコー ティング厚さの成長速度を決定するのに日常実験が使用される。

複合窒化珪素基体或いはコーティング付き基体に一つ以上の密着アルミナコーテ ィング層を被覆するまた別の好ましい方法において、塩化アルミニウムが次式に 従って水素ガスの存在下で二酸化炭素と反応せしめられる＝２ＡＩＣ１３＋３Ｃ ０２＋３Ｈ２＝ＡＩ２０．＋ｇＣＯ−１−ｓＨｃｌ−酸化炭素が、所望の平衡気 体組成を確立する為に加熱された基体或いはコーティング付き基体周囲に流され る気体混合物に随意的に添加される。

次の例は、後者の方法により複合窒化珪素切削工具挿入体に中間アルミナコーテ ィングの作成する方法を例示する。

３０容積％ＴｉＣを含有する、組成５４％Ｓｉ３Ｎ４及び６％Ｙ２Ｏ３を有する ５０個のコーティング付き複合切削工具挿入体−バッチが、水素ガス雰囲気中で 約１２００°Ｃの温度まで加熱された。その温度で、７０％１４２．５％ＣＯ２ ，２０％ＣＯ及び５％ＡｌＣｌ　、の混合物が反応室に導入された。気体圧力は ５０トルに維持されそして２０１／分の直線気体流量が維持された。６時間後、 コーティング付き工具が取出されそしてアルミナコーティング層の厚さは走査型 電子顕微鏡技術により約２〜６ミクロンであると測定された。

また別の例として、四塩化チタン、メタンのような気体状炭素の及び水素の気体 状混合物を約８００〜１５００℃の卸１囲の温度、好ましくは約１０００℃を越 える温度において基体周囲に流すことにより、本発明の切削工具の複合窒化珪素 基体上に、炭化チタン中間コーティング層が形成される。反応は次の式により記 述される。但し、反応が還元雰囲気で起ることを保証する為に水素がしばしば添 加される： ＴｉＣ１＋ＣＨ４＝　Ｔｉｃ　＋４　ＨＣＩ混合物は、所望のコーティング厚さ が実現されるまで加熱された基体上に通される。特定の気体流量及び温度におい てコーティング厚さ成長速度を決定するのに日常実験が使用される。

次の例は、炭化チタンの中間コーティング層を有する、本発明に従うコーティン グ付き複合窒化珪素基体９削工具挿入体の調製の詳細を与える。これら例におい て、複合基体はマトリックス中に一様に分散される粒状炭化チタンを含有してい る。

例　１ 炭化チタン含有複合窒化珪素基体が大気圧において炭化チタンの中間コーティン グで°被覆された。１％ＴｉＣｌ４．２％ＣＨ４及び９７％Ｈ２から成る気体混 合物が、約１１００℃の温度に保持された室内で約２０１／分の流量にお℃・て 約２時間基体周囲に通された。生成コーティング付き基体は、約６ミクロン厚の 炭化チタンの一様な密着中間コーティングを有した。その後、コーティング付き 基体は前述したようにしてアルミナで被覆された。

例　２ 炭化チタン含有複合窒化珪素基体が約５０トルの圧力において炭化チタンの中間 コーティングで被覆された。

１％ＴｉＣｌ４．１％ＣＨ４及び９８％Ｈ２から成る気体混合物が、約１１００ ℃の温度に保持された室内で約１０１／分の流量において約６時間基体周囲に通 された。生成コーティング付き基体は、約６ミクロン厚の炭化チタンの一様な密 着中間コーティングを有した。その後、コーティング付き基体は前述したように してアルミナで被覆された。別の例として、方法Ｉ　ＤＩいは方法ＩＩＬ・ずれ かにより生成された複合基体が、斯界で知られる化学的蒸着或いは物理的蒸着技 術により中間高融点金属炭窒化物コーティングで被覆される。例えば、炭窒化チ タン或（・しま炭窒化ハフニウムの好ましいコーチインが化学的蒸着により被覆 される。別様には、高融点金属が化学的酸℃・シま物理的蒸着技術により付着さ れ、その後肢金属層が窒化されそして炭化される。

一例として、炭窒化チタン中間コーティング層が、本発明の切削工具の複合窒化 珪素基体上に、四塩化チタン、メタンのような気体状炭素源、窒素或いはアンモ ニアのような気体状窒素源及び水素の気体状混合物を約８００〜１５００℃、好 ましくは約１２００℃を越える温度において基体周囲に流すイヒ学的蒸着技術に より形成される。

解離アンモニアは窒素と水素ガスの混合物に代替されうる。反応は次式により記 述される。但し、還元雰囲気において反応が起ることを保証する為水素がしばし ば添加１”ｉｃｌ　＋　ＣＨ４＋　Ｎ２＝　’Ｉ’１（ＣｘＮｙ）　＋　４８Ｃ Ｉ混合物は、所望のコーティング厚が実現されるまで加熱された基体上に通され る。特定の気体流量及び温度においてコーティング厚さの成長速度を決定するの に日常実験が使用される。

気体混合物中のメタン及び窒素量の制御が、式’Ｉ’ｉ　（ＣｙＮｙ）における Ｘ対ｙの比率が変化される層形成を可能とする。Ｘ及びｙの好ましい値は、Ｘに 対しては約０．５〜０６そしてｙに対しては約０４〜０．５の範囲にあり、約１ ．０〜１５のｘ　／　ｙ比の好ましい範囲をもたらす。

ｘ　／　ｙのもつとも好ましく・比率は、約０．５５及び０．４５のＸ及びｙそ れぞれの値に対応して約１２２である。

次の例は、本発明に従って、炭窒化チタン中間コーチインク及びアルミナ外＊１ ＋コーチイン層を有するコーティング付き複合窒化珪素基体９Ｊ削工具挿入体の 作製の詳細を与える。これら付定例において、複合基体は、マ）　ＩＪツクス中 に一様に分布された粒状炭化チタンを含有して約３０容積％炭化チタンを含有す る幾つかの複合窒化珪素基体が、約１０６０℃の温度に加熱された反応器内に置 かれた。約ｌＸＴｉＣｌ４．３．５　％ＣＨ４，２，５％Ｎ２及び９３％Ｈ２か ら成る気体状混合物が、大気圧においてそして約２０１／分の流量において約２ 時間基体周囲に通された。この時間の終りにおいて、炭窒化チタンコーティング 付き基体が反応器から取出されそしてコーティング厚さは走査型電子顕微鏡技術 により約８ミクロンであることが測定された。コーティングの組成の分析の結果 、コーティングは約１．１のＣ／Ｎ比を有していることが判明した。その後、コ ーティング付き基体は前述したようにしてアルミナで被覆された。

例　４ 約３０容積％炭化チタンを含有する幾つかの複合密化珪素基体が、例３における のと実質同一の条件の下で、但し約５０トルの圧力において被覆処理された。気 体混合物組成は、約α５％’Ｉ’１Ｃ１４、ｔｓ５ぎＣＨ４，２％Ｎ２　及び９ ６％Ｈ２であった。約１０６’Ｏ℃で２時間の被覆処理後、基体は、１０ミクロ ン以下の厚さでそして約ｔ１のＣ／Ｎ比を有するコーティングを有した。その後 、コーティング基体は前述したようにしてアルミナで被覆された。

機械加工用途及び加工材材質に依存して、上述のような様々のコーティングの組 合せが総合的工具性能を向上する為調整されうる。これは、コーティング対基体 及びコーティング同志の密着性の改善につながる絆合せを通して実現され、また 硬度、破壊靭性、耐衝撃性、化学的不活性等のようなコーティングの講造／性質 の改＠により実現される。

本発明の好ましい具体例であると現在考えられるものを示しそして記載したが、 添付請求の範囲により定義されるような本発明の範囲から逸脱することなく様々 の変更や改変が為されうろことは当業者には明らかであろう。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．　少くとも１つの中間密着耐火コーティング層と１つの外側密着アルミナコ ーティング層とを具備する高密化複合窒化珪素基体から成るコーティング付き複 合セラミック切削工具であって、 前記基体が、窒化珪素の第１相と、窒化珪素並びに酸化イツトリウム、酸化ハフ ニウム、ランタニド希土類酸什物及びその混合物から成る群から選択される再効 景の高密化助剤を含む耐火第２相から実質成るマトリックス中に硬質耐火材料の 粒子を一様に分布して実質成るコーティング付きセラミック切削工具。 ２、　前記中間密着耐火コーティング層が、炭化チタン、炭化バナジウム、炭化 クロム、炭化ジルコニウム、炭化ニオブ、炭化モリブデン、炭化ハフニウム、炭 化タンタル及び炭化タングステンから成る群から選択される請求の範囲第１項記 載のコーティング付き複合セラミック切削工具。 ６　前記中間密着耐火コーティング層が、窒化チタン、窒化バナジウム、窒化ク ロム、窒化ジルコニウム、窒化ニオブ、窒化モリブデン、留化ハフニウム、窒化 タンタル及び窒化タングステンから成る群から選択される請求の範囲第１項記載 のコーティング付き複合セラミック切削工具。 ４　前記中間密着耐火コーティング層が、炭窒化テクノ、炭窒化バナジウム、炭 窒化クロム、炭窒化ジルコニウム、炭窒化ニオブ、炭窒化モリブデン、炭窒化ハ フニウム、炭窒化タンタル及び炭窒化タングステンから成る群から選択される請 求の範囲第１項言已載のコーティング付き耐摩耗性複合セラミック切削工具。 ５　少くとも１つの中間密着耐火コーティング層と１つの外仙ｊ密着耐火コーテ ィング層とを具備し、該中間密着耐火コーティング層は該外側密着耐火コーティ ング層とは別の什学組成を有するような高密化複合窒化珪素基体から成るコーテ ィング付き複合セラミック切削工具であって、 前記基体が、窒化珪素の第１相と、窒化珪素並びに酸化イツトリウム、酸化ハフ ニウム、ランタニド希土類酸化物及びその混合物から成る群から選択される有効 量の高密化助剤を含む耐火第２相から実質成るマトリックス中に硬質耐火材料の 粒子を一様に分布して実質成り、そして前記中間及び外側密着耐火コーティング 層が、Ｔｉ、■、Ｃｒ、ＺｒｌＮｂｌＭｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ及びその組合せの炭 化物、窒化物及び炭窒化物並びにアルミナから成る群から選択されるコーティン グ付き複合セラミック切削工具。 ６　前記中間密着耐火コーティング層が約０．１〜１０ミーティング付き複合セ ラミック切削工具。 Ｚ　前記中間密着耐火コーティング層が約０．１〜１０ミクロンの範囲の厚さを 有する請求の紳底筒５項記載のコ−ティング付き複合セラミック切削工具。 ８．　前記外側密着耐火コーティング層が約１０〜１０ミクロンの範囲の厚さを 有する請求の範囲第１頌記載のコーティング付き複合セラミック切削工具。 ２　前記外側密着俳人コーティング層が約１０〜１ｏミクロンの範囲の厚さを有 する請求の範囲第５項記載のコーティング付き複合セラミック切削工具。