JPS60501372A - 流量調整弁と、その使用 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 流量調整弁と、その使用 この発明は、流量調整弁に作用する差圧が与えられた範囲内において変化すると き、ガス状物体の容積流量を正確に所定の値に維持する、特にエアコンディショ ニングならびにペンヂレーション装置のためのガス状物体の流量調整弁であって 、前記流量調整弁は、包囲体と包囲体により構成された流路に配置された調整部 材を備えた構成の流量調整弁に関するものである。 容積流量のセットポイントをかなり広い範囲で調整する従来技術の低圧流足調整 弁においては、最低圧の点から作動が開始され、容積流量レートが増加する。 流量が低いときでも、最低圧の圧力は、通常比較的高い。容積流量レートのセッ トポイントの増加につれて高い終りの圧力も増加する。 最低圧の圧力が高く、および／または容積流量セットポイン１−値によっては、 従来の流量調整弁が機能するためには、余分なブロワエネルギと大型のブロワを 必要とし、圧力の増加は、騒音問題を惹起し、構造が複雑となり、設置面におい ても問題が生じる。 ぬえ的にいって、流Ｗ調整弁が設置されている現場で流量調整弁の容積流ｔｄの 値を正確に無段階に設定づることは、至勤の業であり、特に流量調整弁がすでに 設置済みであると実際面において不角能に近く、また設定値も直接読み取ること もでぎないこども事実である。 従来の技術による′ｆｆＬｍ調整弁においては、流量を規制する絞り圧力を読み 取ることができない。　ある構造の従来の流量調整弁においては、流量調整弁が 作動範囲にあるか否かを外部から判断できても、その流吊し・一トを調節するこ とができないようになっていることは、事実である。 流量調整弁の製造、格納、拡布、使用の容易性の条ｆ１は、流は調整弁の設置現 場ならびの設置後において、簡単かつ正確に調整できることである。エアコンデ ィショニング装置には、流１調整弁の設定値が流量調整弁の外部から観察でき、 流量調整弁が作動範囲内にあるか否かが分り、流れをどの程度絞るかが判断でき ることが重要な課題である。 さらに、流量調整弁の基本構造ならびに製造技術に必須なことは、測定手段が簡 単で、できる限り部材が少なく、容積流過の値を設定するものとは、沖工個にな っているという点である。　現在公知の流量調整弁においては、調整部材を無段 階調整ができない構造になつている。　したがって、従来の流量調整弁は、手段 を拘束する危険のない、いわゆるシングルパス調整に基く単なるバランス調整が できない構造になっている。 つぎに、従来の流量調整弁は、局限され、コントロールされた補正に使用できな い。　第三に、従来の流５％調整弁は、昼間と夜間とては、送り込まれる空気流 の量が異なるなどの空気流量の異なるエアコンディショナなどの空調装置には、 最高の状態で使用できない。 従来の流量調整弁においては、調整部材のカウンタ部材として用いられれる力は 、質量体またはスプリング、またはスプリングとべＤウズとの複合体である。　 これらは、長所と欠点をもつもので、スプリング使用の欠点は、ゆるみ、製造の 不正確性、損傷を受けやりいなどである。　また、質量体をカウンタフォースと して用いた場合、流量調整弁は、水平なダクトまたは流路にしか設置できず、回 転軸は、常に空気の流れに対し水平でなければならず、質量体（よ、流路と同じ 側に常になければならない欠点がある。　質量体をカウンタフォースとして用い た場合の艮７Ｉｌｒ４よ、使−用の信頼性が高く、製造が正確に行なえ、耐久性 がある点である。 スプリングとベロウズの複合体の場合は、Ｍ４造的に損傷しやすく、単なるスプ リングよりもコストが高く、耐久性に劣る欠点がある。 従来の流過調整弁においては、調整部材の振動、揺動を防ぐ特殊なダンパが必要 である。　ある種の従来構造においては、ベロウズタイプのダンパが用いられて いるが、このような構造の欠点は、例えば、経時的変化によりダンパの一部が破 損したり、故障して保守が必要であり、正確性を損じる。 この発明の目的は、従来Ｍａ造の流ｍ調整弁を改良することにある。　この発明 のさらに詳細な目的は、従来構造の流量調整弁にみられる欠点を解消した流過調 整弁を提供することにある。 この発明の目的は、流量調整弁に、流量調整弁の差圧範囲を制限する制限部材が 設けられ、該制限部材は、調整部材の動きを制限するようにｌｉ［！置されてい ることを特徴′とする流ｍ調整弁により達成される。 この発明の実施例においては、流量調整弁は、制限部材が調節可能であることを 特徴とする。　この発明の実施例においては、制限部材は、セルフ調節可能であ る。　この発明の実施例においては、流量調整弁に制限部材設定スケールが設け である。　この発明の実施例においては、制限部材は、必要に応じて、調整部材 を所定の位置にロックできるように配置されている。 この発明の数例の実施例は、調整部材が僅かにカーブしたプレートからなること を特徴とする。　調整部材の最初と最終の位置の間における回転角は、差圧が同 じであれば、異なった流量レートにおいて同じオーダーである。　調整部材の最 初と最終の位置は、差圧が同じであれば、容積流量レートのマグニチュードに基 く。　この発明の流ｍ調整弁には、アジャストできる、または、セルファジャス トできる制限部材を設け、流儀調整弁の差圧範囲を制限するもので、該制限部材 は、調整部材の角運動を制限するように設けられれる１゜流１．調整弁の作動範 囲は、調整部材と流路との間の有効流通開口部分の度合を変えることにより変更 できる。 同様に、流量調整弁の作動範囲は、調整部材の位置に基いてカウンタトルクを生 ずるシフト可能な質量体により変更できる。 この発明の流量調整弁により、数々の著しい効果が得られる。　この発明の流ｆ ｌｉｔ整弁によれば、調整部材の動きは、制限され、必要に応じ、完全に拘束で きる。 この特徴により、この発明の流量調整弁は−、いわゆるシングルパス調整と称す るバランス操作に用いることができ、故障が生じない。。　つぎに、流量調整弁 は、流量の僅かな補正に用いることができ、さらに、空気の流れを中央で変更す ることが望ましい空調装置に使第二に、この発明の流量調整弁によれば、流量調 整弁の設定値は、流量調整弁の作動範囲を変えることなく、極めて広い範囲、例 えば、ダグ１〜速麿が２”□８ｍ／ｓの範囲に調整される。さらに、流量調整弁 は、作動範囲が２０〜２００Ｐａである従来の流量調整弁よりも低い差圧、例え ば２０Ｐａの差圧でも作動する。　この発明の流量調整弁においては、調整部（ Ａの回転角は、約９０°であり、これによって、有効流通開口を調節することな く、差圧の変化に対応して調整部材を大きく動かし、極めて広い作動範囲を得る ことができる。 第三に、この発明の流量調整弁によれば、容積流部レー１〜は、無段階に調整で き、しかも、ぞの調整も設置現場において、それがすでに設置完了している場合 でも、流量調整弁（二股（づた操作２１ブを回４だ（′１で可能である。　また 、容積流ｍレー１〜は、目盛から直接読み取りでき、空気流の絞り度合ならびに 流通調整弁がその作動範囲にあるか否か、例えば、空気流入量が適正なものか、 過不足があるか否かをチェックできる。 この発明の流量調整弁においては、質量体がカウンタフォースとして用いられて いる。　しかしながら、この発明の流量調整弁においては、質量体の欠点は、実 際面で解消されている。　この発明の流量調整弁は、どのような方向の流路にも 設置でき、質量体（ｊ、流路またはダクトのいずれの側にも設置できる。　これ は、調整部材の回転軸が流１調整弁に設けたレベル手段により水平に設置できる 事実と、前記質ｍ体の設置位置により、空調装置の設置状況の変化により別な位 置に分岐されたとしても前記質ｍ体は、同じ角度で反対方向に回転することがで きる事実に某くものである。 この発明の流量調整弁は、別個の振動抑制手段を必要としない。碓かに振動抑制 手段ｔよ、調整部材にとって故障の原因となる。　原則として、ダクトシステム にお（プるカウンタ圧力は、調整部材を安定状態に保つのみで充分である。　こ の特徴に貢献する要素は、第一に、調整部材は、僅かにカーブしていることであ り、調整部材がどの位置においても流路を略完全には閉■しないことである。　 その結果、調整部材がりＤ−ズの位置にあっても、調整部材の周縁にそい空気流 が下流へ流れることができる。　この特徴に貢献する他の要素は、例えば、調整 部材のダイスと形状、調整部材に対する調整部材の回転■の位置、カウンタウェ イトのサイズと位置、調整部材の制限部材である。 僅かにカーブした調整部材により、この発明の流ｍ調整弁は、きわめて正確で、 静粛であり、角度調整の動きもきわめてスムーズである。 この発明の詳細は、添附の図面に示された実施例により説明されるが、この発明 は、これに限定されるものではない。 第１図は、一部を切断した正面図における、この発明の実施例を示す。 第２図は、第１図１１−　ＩＩ線にそった断面図である。 第３Ａ図は、この発明の流量調整弁に実施される調整部材の第１実施例の側面図 である。 第３Ｂ図は：この発明の流量調整弁に実施される調整部材の第２実施例の側面図 である。 第３Ｃ図は、この発明の流量調整弁に実施される調整部材の第３実施例の側面図 である。 第３Ｄ図は、この発明の流量調整弁に実施される調整部材の第４実施例の側面図 である。 第３［図は、この発明の流量調整弁に実施される調整部材の第５実施例の側面図 である。 第３［図は、この発明の流量調整弁に実施される調整部材の第６実施例の側面図 である。 第４Ａ図は、容積流量レートが高い揚台における流量調整弁の調整部材の最初と 最終位置を示す側面図である。 第４Ｂ図は、容積流量レー１へが低い場合における流量調整弁の調整部材の最初 と最終位置を示す側面図である。 第５Ａ図は、調整部材により有効流通開口が最大に開口するように調整された状 態における、流れの方向から見た流量調整弁の有効流通開口を示す。 第５Ｂ図は、調整部材により有効流通開口が最小に開口するように調整された状 態における、流れの方向から見た流量調整弁の有効流通開口を示す。 第５Ｃ図は、流路における流量調整弁の可変断面を有する有効流通開口の変化を 示す側面図である。 第５Ｄ図は、別個の調整部材による有効流通開口の変化を示す側面図である。 第６図は、流量調整弁の差圧範囲を制限する原理を示す側面図である。 第７図は、６Ａの方向から見た第６図の詳細である。 第８図は、この発明の流量調整弁の作動範囲の変化を行なう方法を示す側面図で ある。 第９図は、保護ケースのカバー（該カバーは、外されている）方向から見た第１ 図の流量調整弁を示す。 第１０図は、この発明の流量調整弁の作動範囲を示すグラフである。 第１１図は、この発明の流量調整弁の用例を示す説明図である。 第１図と、第２図に示す実施例において、この発明の流量調整弁は、符号１０で 示されている。　流量調整弁１０は、包囲体１１と、この包囲体に内蔵されてい る調整部材１２とを備えている。　調整部材１２は、二枚のカーブしたフラップ １２ａ　、　１２ｂが互いに部分的に干なって構成されている。　調整部材１２ は、調整パ固定プツト１４とスリーブ状の調整・固定ナツト１６を介して回転軸 １３に取Ｎられている。 回転軸１３は、ベアリング１５．１８に回転自由に軸支されて、包囲体１１内に 設けられている。　調整部材１２は、包囲体１１内の流路を流れる空気流により 回転するもので、錘２３によるカウンタトルクによって、調整部材１２は、必要 なスロットル作用が行なえる位置を占める構成になっている。　錘２３は、前記 スリーブ状の調整・固定プツト１６、部材１９ならびに該部材と共に回転自由に 装着されたカバー２０にＪ：り調整部材１２に一体的に連結し、調整部材１２の 回転と共に回転する。　回転軸１３は、保護ケース３２内に設けられているバラ ンスと水準ボール３１により水平に設置されている。 容積流量レートに関する定量流量調整弁１０の作動範囲は、調整ノブ２４を回転 することにより変更できるものであり、調整ノブ２４を回転することにより、フ ラップ状の調整部材１２と有効流通開口のサイズ、鍾２３の位置、調整部材１２ の最初と最後の位置乃（変更される。　フラップ状の調整部材１２の各半体１２ ａ、１２ｂは、回転軸１３と調整ナツト１４．１６に設けＩζ互いに逆ねじの螺 糸にそって、互いに反対の方向に動く。　回転軸１３の一端は、ベアリング１５ に支承され、前記調整操作により、前記フラップ状の調整部材１２の半休１２ｂ にスリーブ１６を介して回転自由に装着された部材１９と、部材１９に取付られ たカバーとが、回転軸１３の軸方向に動かされる。　カバー２０に取付られた歯 車２２が回転軸１３に接触し、回転軸１３の溝に形成されたピニオンランクと、 回転自由に’ＡＭされた部材１９の横り向の動きとにより、回転し、同時に歯車 ２２は、ビニオーンラック３４により錘２３をシフトする。 第３八図から第３Ｆ図は、この発明の流ｍ調整弁１．０に用いられる調整部材１ ２の他の例を示すものである。 第３八図から第３Ｄ図において、調整部材１１２ａ、　１１２ｂｉ１２（１１２ ｄそれぞれを構成する各一対の半休は、回転軸１３に対し僅かにカーブしている が、第３Ｅ図と第３Ｆ図においては、調整部材１１２０．１１２ｆは、一方の半 休のみが僅かに傾斜している。 第４八図と第４Ｂ図において観察されるように、作動範囲の最小差圧にお番プる 高い容積流量レートにおいては、調整部材１２は、対応ブる差圧にお（プる低い 容積流量しニドにおけるよりも、より水平の位置にある。 同様に、作動範囲の最小差圧における高い容積流量レートにおいては、調整部材 １２は、対応する差圧における大きな容積流量レー１〜におけるよりも、より垂 直の位置にある。 最高の容積流量レートと作動範囲の最小の差圧における調整部材１２の位置は、 最小の容積流がレート−と竹動範囲の最高の差圧における調整部材１２の位置か ら９０°離れている。　これと対照的に、回転角φ２は、差圧が同じ場合、畠い 容積流＄レー１−に対づる回転角φ１と実質的に同じオーダーである。　このよ うに、この発明の流９調整弁１０においては、最小差圧と最大差圧に対する調整 部材１２の回転角φ　１、φ２は、異なった容積流量レートにおいて、実質的に 同じオーダーである。　差圧△ｐの同じ最小値と最大値においては、回転角φ　 １、φ　２は、約６０”である。 第５Ａ図と第５ｂ図の実施例における、この発明の流量調整弁１０においては、 有効流通開口３７は、調整部材１２のサイズを調整することにより変えられる。 この実施例において、有効流通開口３７は、フラップ状の調整部材１２の半体１ ２ａ　、　１２ｂを第５Ａ図の矢印へで示す方面に動かすことにより変えられる 。 第５Ｃ図の実施例においては、有効流通開口３７は、流路１１．１１ａを矢印Ｂ の方向に移動、即ち、流れの方向にシフトさせることにより変えられる。 第５Ｄ図の実施例においては、有効流通量［１３７は、流路に設置した一つ、ま たは、複数の部材からなる別個の調整部材３６による流通開口の調整によって変 えられる。　符号３５は、調整部材３６の軸を示す。調整部材３６は、軸３５を 回転軸として矢印Ｃ方向に回動される。。 この発明の流量調整弁においては、差圧範囲は、制限部材２５．２６ａ　、２６ ｂにより制限される。　制限部材２６ａ　、２６ｂが第６図矢印り方向に動くと 、調整部材１２の動きは、制限される。、　制限部材２６ａ、２６ｂは、第７図 に示すように、選択された容積流量レートに従いセルフ調整する制限部材である ことが望ましい９．　制限部材２６ａ　、２６ｂは、前記保護ケース内で傾斜面 を有している。制限部材２６ａ、２６ｂは、第７図矢印Ｆで示覆方法で、前記流 量レートが調整されるにつれて制限ピン２５が移動づるとき、調整される。　コ ンスタント流量調整弁１０のフラップ状調整部材１２の動きは、調節可能の制限 部材２６ａ、２６１）により全体的に、または、部分的に捕捉８れる。 保護ケース３２の制限ピン２５と調節スケール３つは、コンスタント流量調整弁 １０に作用づる差圧△ｐを示す。　制限ピン２５が制限部材２６ａに接触すると きは、差圧△ｐは、最低であり、制限ピン２５が制限部材２６ｂに接触するとき は、差圧△ｐは、最高である（第７図）。　制限ピン２５が制限部材２６ａと制 限部材２６ｂどの中間にあるときは、流量調整弁は、作動範囲にあるもので、そ うでないときは、量的に過ぎた空気または少な過き゛る空気が流入する。 第８図においては、流１調整弁１０の作動範囲は、矢印Ｆに示づように、錘２３ を動かすことにより変更することができる。 ＠２３、制限部材２６ａ　、２６ｂにより、フラップ状の調整部、材１°２の異 なった流量レートにおける最初と最終の位置が定まる。 この発明のコンスタント流過調整弁１０においては、調製部材１２の回転軸１３ に対し調節可能のフレキシブルなカバー２０と、保護ケース３２のボールケース ２９と、ボールケース２９内を動くボール３０とによる重力効果により、同じ配 置構成を構成することができる。　コンスタント流量調整弁１０は、最初に、錘 ２３のカウンタトルクなしに、バランスウェイト３８によりバランスさせて製造 することができる。　ボールケース２９のボール３０とスケール４０とが調整部 材の位置を示す。　カバー２０は、ボール３０とカバー２０のスケール４１によ り示される（１／置に対応する位置に回転さけられ、ネジ２１によりロックされ る。 容積流量レートＶに関するこの発明の流量調整弁１０の作動範囲は、無段階の調 整することができ、その結果、第９図に示すように、流量調整弁１０が作動する 差圧範囲を変えなくしたり、または、所望の態様で変えることらできる１、　第 ９図において、斜線部分は、この発明の流量調整弁が作動する範囲を示す。　第 ９図の例において、作動範囲の下限と下限の圧力の比率は、１１０、または、例 えば、２Ｏ−２００Ｐａであり、容積流量レート■の下限と上限の比率１４は、 空気流速２〜８ｍ／ｓに相当する。　すでに述べたように、コンスタント流量調 整弁１０の作動範囲は、操作ノブ２４の回動により調整される。　回転可能部材 １９に設けられた制限ピン２５、回転軸１３の方向に変えられる制限部材２６ａ 　、２６ｂならびに鍾２３により、調整部材１２は、種々の容積流量レートにお いて、異なった最初と最終位置をとることができる。　歯車ラック３４の端部と ノＪバー２０の容積流量レートスケール４２が、コンスタント流（６）調整弁１ ０により調整した空気流を示す。　制限ピン２５と、保護クース３２に制限ピン ２５に近接させて設けたスケール３９（換言すれば、制限部材２６ａ　、２６ｂ をセットするためのスケール）は、流量調整弁１０に作用する差圧Δｐを示す。 　制限ピン２５が制限部材２６ａ　、２６ｂのいずれかに当たれば、流量調整弁 １０は、作動範囲外にあり、過分な、または、不足した空気が流量調整弁１０を 通過する。　スケール３９、制限部Ｕ２６ａ、２６ｂに関連する制限ピン２５の 位置は、外部手段により設定できる。 この発明の流量調整弁１０においては、調整部材１２の動きを規制でき、または 、すでに述べたように制限部材２６ａ　、２６ｂにより調整部材１２は、完全に 拘束できる。　これによって、第１０図に示すように、種々の可能性が生ずる。 第１０図の例ａ）は、流量調整弁１０が空調装置の調整のみに使用されている場 合を示す。　空調装置がバランスされていれば、流量調整弁１０は、自動的に止 しい位置をとり、その後で、流量調整弁１０は、制限部材２’６ａ、２６ｂによ り規制される。　空調装置は、流量調整弁により、このような方法でバランスさ れるもので、このことは、空調装置においては、どの点でも空気間は、適正であ るが、空調装置に設置した流量調整弁１０は、外部的影響で空気流の容積流量レ ートＶが変化するようなときには、容積？に＠レートＶを一定に保つような働き をしないことを意味する。　空気流は、ついで集中的に変更される。　流量調整 弁１０は、規制されているので、不動作となるおそれはない。 第１０図の例ｂ）は、流量調整弁１０が例えば、±２０Ｐａの範囲で僅かに補正 される場合を示で。　流量調整弁１０は、バランスした適正位置になっている。 　流量、調整弁１０の調整部材１２は、横両方向に僅か動けるようになっている 。　僅かな圧力変化の場合には、容積流量マグニチュードが変化しようどすれば 、流量調整弁１０は、容積流量レートを補正する。　他方、なんらかの理由で、 流量調整弁１０が停止１−すれば、大ぎなエラーは、発生しない。 第１０図の例Ｃ）は、空調装置が最大の空気量でバランスしている場合を示す。 　流量調整弁１０は、賃なったマグニチュードの空気流が流れる空調装置に使用 されている。　昼間は、通常、高い容積流量レートになっており、空調装置をバ ランスさせたときは、調整部材１２の動きは、下限の圧力制限部拐２６８により 規制されている。　これによって、調整部材１２は、昼間の操作において空気量 が増加するのを防ぐばかりか、集中操作で空気間が減少される夜間の操伯におい てもなんらの問題も発生させない。　調整部材１２が、全開位置に回動すること が訂されれば、夜間操作における空調システムのある部分には、昼間操作と同様 な量の空気流が流れ、他の部分には、はとんど流れない。 第１０図の例ｄ）は、流量調整弁１０が、異なったマグニチュードの空気流が流 れる空調装置に使用されている場合、を示ず。　空調装置は、少ない空気量でバ ランスしている。　流量調整弁１０の調整部材１２の動きは、上限圧ノ〕制限部 Ｕ２６ｂで規制されている。　調整部材１２は、閉廿位置に回動できず、集中操 竹で空気流が増加しても何等の問題も生じない。 第１０図の例ｅ）は、流量調整弁１０が作動づるＴなった圧力範囲にわたり、流 量調整弁１０により空気流レートの補正を行なうようになっている場合を示す。 制限部材２６ａ　、２６ｂは、極限位置にある。 前記実施例では、この発明の二三の例を示したにずぎないものであって、下記の 請求の範囲に示された発明思想の範囲内においての変更が容易であることは、当 業者に明らかであり、例えば、この発明は、断面が円形のダクトに限定されるも のではない。 国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．流ｆＡ　ＨＶ弁（１０）に作用する差圧（Δｐ）が変化するとき、ガス状物 体の容積流子を正確に、所定の直に紺持する、特にエアコンディショニングなら びにベンチレーション装置のためのガス状物体の流量調整弁であって、前記流量 調整弁（１０）は、包囲体（１１と包囲体（１１）により構成された流路に配置 された回転可能な調整部材（１２）を備え、前記流量調整弁（１０）には、前記 流ＬＭ調整弁の差ＪＩ：範囲を制限する制限部ｔｌ＋　（２５；　２６ａ　、２ ６ｂ）が設ケチアリ、制限部材（２５：　２６ａ　、２６ｂ）は、前記調整部材 （１２）の動きを規制するように配置されていることを特徴とする流量調整弁。 ２、制限部材（２６ａ　、２６ｂ）が調節自由であることを特徴とする請求の範 囲１による流量調整弁。 ３、容積流量レートの設定値が変えられたとき、制限部材＜２６ａ　、２６ｂ） がセルフ調節することを特徴とする請求の範囲１または２による流量調整弁。 ４、流量調整弁（１０）に作用する差圧（△ｐ）が変化したとぎ、調整部ｖＪ（ １２）は、回転できるように配置されていることを特徴とする請求の範囲１へ・ ３による流量調整弁。 ５、流量調整弁（１０）に制限部材（２５：　２６ａ、２６ｂ）の設定スケール （３９〉が設けであることを特徴とする請求の範囲１〜４による流量調整弁。 ６、制限ビン（２５）と、前記制限部材の設定スケール（３９）とが流量調整弁 （１０）に作用する差圧（八〇）を示すように配置されていることを特徴とする 請求の範囲５による流量調整弁。 ７、流量調整弁（１０）の作動範囲が調整部材（１２）と流路の間の有効流通開 口（３７）を変えることにより変更されることを特徴とする請求の範囲１へ・６ による流量調整弁。 ８、流れこむガス状物体の流れに面する調整部材（１２）の面が僅かにカーブし ていることを特徴とする請求の範囲１へ・７による流し調整弁。 ９、制限部材（２５：　２６ａ、２６ｂ）が′ＪＡｖ部材（１２）の動きを規制 するように配置されていることを特徴とする請求の範囲１へ・８による流ｆｆｌ ！整弁。 １０　流量調整弁（１０）がシングルパス調整を基にして空気流をバランスさせ ることに用いられる前記請求の範囲１〜９のいずれかによる流量調整弁の利用方 法。 １１　圧力が比較的低い範囲で変化するとき、流量調整弁（１０）により、容積 流過レートを補正するようにして、空気流をバランスさせるために流量調整弁（ １ｏ）を利用することを特徴とする請求 いずれかによる流量調整弁の利用方法。 １２　圧力が増加または減少するときにのみ、流１調整弁（１０）により、容積 流過レートを補正するようにして、空気流をバランスさせるために流量調整弁（ １ｏ）を利用することを特徴とする前記請求の範囲１〜９のいずれかによる流量 調整弁の利用方法。