JPS6047665U - 軌道式搬送車 - Google Patents

軌道式搬送車

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Publication number
JPS6047665U
JPS6047665U JP13994883U JP13994883U JPS6047665U JP S6047665 U JPS6047665 U JP S6047665U JP 13994883 U JP13994883 U JP 13994883U JP 13994883 U JP13994883 U JP 13994883U JP S6047665 U JPS6047665 U JP S6047665U
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JP
Japan
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track
transport vehicle
opening
track section
track transport
Prior art date
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Pending
Application number
JP13994883U
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English (en)
Inventor
登 田中
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の軌道式搬送車の一例を示す横断面図、第
２図は本考案の一実施例を示す斜視図、第３図は第２図
に示す台車機構部の構造を説明するための横断面図であ
る。 １・・・・・・軌道、２・・・・・・搬送台車、３・・
・・・・ダクト、４・・・・・・開口部、５・・・・・
・支持アーム、６・・・・・・軌道部、７・・・・・・
開口部、８・・・・・・台車機構部、９・・・・・・支
持部、１０・・・・・・連結部、１１・・・・・・排気
部、１２・・・・・・駆動モータ、１３・・・・・・電
池、１４・・・・・・駆動輪、１５・・・・・・歯車。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 車輪の案内と防塵カバーを一体化してわずかな開口部を
    有す水密閉構造とした軌道部と、前記軌道部の内部を走
    行する台車機構部と、前記軌道部の開口部の外側に配置
    した搬送物用の支持部と、前記台車機構部と前記支持部
    とを前記開口部を貫通して固定した連結部と、前記軌道
    部の内部を負圧にするための排気部とを含むことを特徴
    どする軌道式搬送車。
JP13994883U 1983-09-09 1983-09-09 軌道式搬送車 Pending JPS6047665U (ja)

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JP13994883U JPS6047665U (ja) 1983-09-09 1983-09-09 軌道式搬送車

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JP13994883U JPS6047665U (ja) 1983-09-09 1983-09-09 軌道式搬送車

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JPS6047665U true JPS6047665U (ja) 1985-04-03

Family

ID=30313504

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13994883U Pending JPS6047665U (ja) 1983-09-09 1983-09-09 軌道式搬送車

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JP (1) JPS6047665U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003060001A (ja) * 2001-08-17 2003-02-28 Hirata Corp 基板処理装置及び搬送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003060001A (ja) * 2001-08-17 2003-02-28 Hirata Corp 基板処理装置及び搬送装置

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