JPS6045369U - 液体窒素の供給装置 - Google Patents
液体窒素の供給装置Info
- Publication number
- JPS6045369U JPS6045369U JP13762283U JP13762283U JPS6045369U JP S6045369 U JPS6045369 U JP S6045369U JP 13762283 U JP13762283 U JP 13762283U JP 13762283 U JP13762283 U JP 13762283U JP S6045369 U JPS6045369 U JP S6045369U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid nitrogen
- supply device
- nitrogen supply
- sealed container
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例に係るスパッタリング装置で液体窒素を
流し込む機構部分の説明図、第２図は本考案に係るスパ
ッタリング装置の液体窒素供給機構を示す説明図である
。 １０ニドラツプ、１１：密封容器、１２：吐出口、１４
ニスプリング、１５：閉止弁、１７：受口、１８：ピン
。
流し込む機構部分の説明図、第２図は本考案に係るスパ
ッタリング装置の液体窒素供給機構を示す説明図である
。 １０ニドラツプ、１１：密封容器、１２：吐出口、１４
ニスプリング、１５：閉止弁、１７：受口、１８：ピン
。
Claims (1)
- 液体窒素を収容する密封容器を備え、その容器の液体′
窒素吐出口にスプリングで押圧偏位した閉止弁を設け、
且つ、密封容器から液体窒素を注入するトラップ側の受
口に密封容器の閉止弁をスプリングに抗して突上げ開成
するピンで突設固定したことを特徴とするスパッタリン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13762283U JPS6045369U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 液体窒素の供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13762283U JPS6045369U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 液体窒素の供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6045369U true JPS6045369U (ja) | 1985-03-30 |
| JPH0243864Y2 JPH0243864Y2 (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=30309056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13762283U Granted JPS6045369U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 液体窒素の供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6045369U (ja) |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP13762283U patent/JPS6045369U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0243864Y2 (ja) | 1990-11-21 |
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