JPS604280A - 無声放電式ガスレ−ザ装置 - Google Patents
無声放電式ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS604280A JPS604280A JP11312783A JP11312783A JPS604280A JP S604280 A JPS604280 A JP S604280A JP 11312783 A JP11312783 A JP 11312783A JP 11312783 A JP11312783 A JP 11312783A JP S604280 A JPS604280 A JP S604280A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- tube
- close contact
- discharge part
- dielectric constant
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は無声放電式ガスレーザ装置、とくに管状の放
電管を・有するものにおける誘導電流の減少に関するも
のである。
電管を・有するものにおける誘導電流の減少に関するも
のである。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。
第１図（ａ）は従来の無声放電式ガスレーザ装置を示す
正面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＴ−１線に沿っ
た断面図である。図において、（１）は一様の比誘電率
をもつ誘電体よりなる管状の放電管。
正面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＴ−１線に沿っ
た断面図である。図において、（１）は一様の比誘電率
をもつ誘電体よりなる管状の放電管。
（２＋ 、 （３］は放電管（１）の外壁に密着する一
対の電極。
対の電極。
（４）は高周波電源で、電極（２＋ 、 ＋３１に接続
される。また、前記放電管ｆｌ）の軸方向の両対向端に
はそれぞれ全反射鏡（５）及び部分反射鏡（６）が取り
付けられている。そして、この放電管（１）ハ内部に送
風機（９）及び熱交換器ａ＠を備えだ送気管（７１（８
１に接続されて循環的に連通されている。矢印Ｑｌ）は
レーザブＣを示す。
される。また、前記放電管ｆｌ）の軸方向の両対向端に
はそれぞれ全反射鏡（５）及び部分反射鏡（６）が取り
付けられている。そして、この放電管（１）ハ内部に送
風機（９）及び熱交換器ａ＠を備えだ送気管（７１（８
１に接続されて循環的に連通されている。矢印Ｑｌ）は
レーザブＣを示す。
次に、ＣＯ２レーザ装置を例にとシ、動作説明する。放
電管（１）内には＃ ＣＯＨｅ ＋ Ｎ ２の混合ガス
１ が数１０ Ｔｏｒｒ、の圧力で充填されている。この放
電管［１１において、電極＋２１ 、 （３１に高周波
電源（４）より００２分子が励起され、全反射鏡（５）
と部分反射鏡（６）で構成される光共振器内でレーザ発
振が起る。レーザ元の一部は矢印αｌ）で示されるよう
に部分反射鋭（６）より外部に取り出される。一方、放
電にょシガス温度が上昇するとレーザ出力が低下するの
で。
電管（１）内には＃ ＣＯＨｅ ＋ Ｎ ２の混合ガス
１ が数１０ Ｔｏｒｒ、の圧力で充填されている。この放
電管［１１において、電極＋２１ 、 （３１に高周波
電源（４）より００２分子が励起され、全反射鏡（５）
と部分反射鏡（６）で構成される光共振器内でレーザ発
振が起る。レーザ元の一部は矢印αｌ）で示されるよう
に部分反射鋭（６）より外部に取り出される。一方、放
電にょシガス温度が上昇するとレーザ出力が低下するの
で。
送風機＋９１ Ｋよりガスを循〕１へさせて熱交換器ａ
ので冷却し、これにより放η１管（１）内のガス温度は
所定値以下に保持されている。
ので冷却し、これにより放η１管（１）内のガス温度は
所定値以下に保持されている。
このような無声放電式ガスレーザ装置においては、投入
電力は、電極の静電界はに比−例する。従来の放電管（
１）は上記のように、一様な比誘電率（以下εと紀丁。
電力は、電極の静電界はに比−例する。従来の放電管（
１）は上記のように、一様な比誘電率（以下εと紀丁。
）を有しているため、放電管ｔ１１を構成する誘電体が
低い比誘電率（例えばガラスの場合ε５ＩＴｓ）の場合
、電力投入が困難となり２反面、高い比誘電率（例えば
セラミクスの場合ｅｓｚ数千）の場合、放電管（１）の
壁］０ｊを伝って膨大な誘導電流が流れ、電源容赦を大
きくすることが必要で去するためになされたもので、放
電管の電極と密着した放電部の比誘電率を放電管の電極
と密着しない非放電部の比誘電率に比べ、大きくするこ
とにより、電力投入が容易で、且つ誘２１）電流の小さ
な装置を提供することを目的としている。
低い比誘電率（例えばガラスの場合ε５ＩＴｓ）の場合
、電力投入が困難となり２反面、高い比誘電率（例えば
セラミクスの場合ｅｓｚ数千）の場合、放電管（１）の
壁］０ｊを伝って膨大な誘導電流が流れ、電源容赦を大
きくすることが必要で去するためになされたもので、放
電管の電極と密着した放電部の比誘電率を放電管の電極
と密着しない非放電部の比誘電率に比べ、大きくするこ
とにより、電力投入が容易で、且つ誘２１）電流の小さ
な装置を提供することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図Ｉまこの発明の一実施例にかかわる放電管の断面図で
ある。図において、（１）は比誘電率ε８に分布を与え
た放電管で２例えばε８の異なるチタンサンバリウム等
で形成されている。込）ハ放市、管ｉｌ＋の電極＋２１
（３）と密着した放電部で、高誘電率／ｒＪ。
図Ｉまこの発明の一実施例にかかわる放電管の断面図で
ある。図において、（１）は比誘電率ε８に分布を与え
た放電管で２例えばε８の異なるチタンサンバリウム等
で形成されている。込）ハ放市、管ｉｌ＋の電極＋２１
（３）と密着した放電部で、高誘電率／ｒＪ。
（Ｂ）は放電管ｆｉ＋の電極＋２１ （３）と密着しな
い非放電部で。
い非放電部で。
放電部（Ａ）の比誘電率と比べ小さな低誘箪率層である
。
。
これら比誘電率の異なる放ｒｆｑ都（Ａ）及び非放君ｉ
部（Ｂ）は例えば焼付温度を変えて形成する。（Ｃ）は
放電管（１）内に起きた無声放電を示す。工ｄは放’）
ｉＬ’ｆｊ ｔｌｌ壁を流れる誘導電流、ｔは放電管の
厚み、Ｘは放電部（Ａ）の放電幅である。
部（Ｂ）は例えば焼付温度を変えて形成する。（Ｃ）は
放電管（１）内に起きた無声放電を示す。工ｄは放’）
ｉＬ’ｆｊ ｔｌｌ壁を流れる誘導電流、ｔは放電管の
厚み、Ｘは放電部（Ａ）の放電幅である。
る点は放電管部のみであるのでその点についての動作を
説明する。
説明する。
一対の１．極（２＋ （３） Ｋは高周波］電源（Ａ）
よフ数１０〜故１００ ｋＨｚ 、数ＫＶＯ高周波電圧
が印加される。
よフ数１０〜故１００ ｋＨｚ 、数ＫＶＯ高周波電圧
が印加される。
すると放電管（１）内に無声枚！（Ｃ）が発生し、 Ｃ
Ｏ２分子を励起せしめる。
Ｏ２分子を励起せしめる。
ところで投入電力Ｗ、は電源同波数ｆ、電極静電容ｈド
、印加ｉｊ、圧ピーク・ピーク値”ｐ−ｐ’放電維持電
圧Ｖ−より式ｉｌｌ Ｋて表わされる。
、印加ｉｊ、圧ピーク・ピーク値”ｐ−ｐ’放電維持電
圧Ｖ−より式ｉｌｌ Ｋて表わされる。
Ｗ、 ＝ ｆ Ｃ，Ｖ＊（Ｖｐ、−Ｖ＊） −（１）電
極静重答令Ｃｄは放′屯長／−１ｆｉＴ５ｉ管の厚みｔ
、放電幅Ｘ、真空中の誘電率ε（＝０．８８５Ｆ−ｍ
）によシ式（２）で与えられる。
極静重答令Ｃｄは放′屯長／−１ｆｉＴ５ｉ管の厚みｔ
、放電幅Ｘ、真空中の誘電率ε（＝０．８８５Ｆ−ｍ
）によシ式（２）で与えられる。
１ ′１６、（２）
ｄ ２０Ｓ を
式（１）１式（２）より放１￥の形状を一定にすると式
（３）を得る。
（３）を得る。
式（３）より比誘電率εを上昇すると投入電力Ｗｄが上
昇する。また放電管壁を流れる誘導電流工、は非放電部
（Ｅｌ）の静電容厳に比例する。
昇する。また放電管壁を流れる誘導電流工、は非放電部
（Ｅｌ）の静電容厳に比例する。
この実施例ではチタン酸バリウム等を用い、焼付は温度
を変える等して、放電部（Ａ）の比誘電率を大きく（例
えばε−１ｏｏｏ）非放電部（Ｂ）の比誘電率を放電部
＜Ａ）に比し、小さく（例えばε＝ｉｏｏ）シたので、
投入電力は上昇［７，電力投入が容易となる。また、誘
導電流は僅小となる。
を変える等して、放電部（Ａ）の比誘電率を大きく（例
えばε−１ｏｏｏ）非放電部（Ｂ）の比誘電率を放電部
＜Ａ）に比し、小さく（例えばε＝ｉｏｏ）シたので、
投入電力は上昇［７，電力投入が容易となる。また、誘
導電流は僅小となる。
なお、上記実施例では、チタンサンバリウム等の単独材
料による放電管について説明したか、第３図に示すよう
にεの異なる二喀・π類似上の材料で放電管（１）を構
成した場合にも同様の効果を奏する。
料による放電管について説明したか、第３図に示すよう
にεの異なる二喀・π類似上の材料で放電管（１）を構
成した場合にも同様の効果を奏する。
第３図は、この発明の他の実施例にかかわる放π１゜管
の断面図である。放電部（Ａ）は例えばセラミクスで非
放電部（Ｂ）は例えばガラスで構成され２両者は接着剤
等で一体に接着されている。このよう【。
の断面図である。放電部（Ａ）は例えばセラミクスで非
放電部（Ｂ）は例えばガラスで構成され２両者は接着剤
等で一体に接着されている。このよう【。
二種以上の異なる材料で放電管（１）ｆｆｉｔ１４成す
ること以上のように、この発明によれば、放電管の極と
密着した放電部の比誘■を率を放電管の電極と密着しな
い非数■を部の比誘１ｉ（率より太きくしたので、誘動
電流を小さくでき、電源容置が激減できる効果がある。
ること以上のように、この発明によれば、放電管の極と
密着した放電部の比誘■を率を放電管の電極と密着しな
い非数■を部の比誘１ｉ（率より太きくしたので、誘動
電流を小さくでき、電源容置が激減できる効果がある。
第１区１（ａ）は従来の無声放電式ガスレーザ装置の正
面は１．第１図１（ｂ）は第７シ１０２のＩ〜Ｉ純に沿
ったｈｆｒ面図、！！２図はこの発ｕ＋ｊの一実施例に
かかわる放％、管の断面図、第３図はこの発明の他の実
施例にかかわる放電管の断面図である。 図において、（１）は放電管、 ＋２１ 、 ＋３１は
電極、（Ａ）は放′［１λ部、（Ｂ）を丁非数ＩＤ：部
である。 なお１図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第 １ 図 （ａ） 第２図 手 ぶ売 補 正 書（自発） ３．補正をする者 明細１の発明の詳細な説明の翻 ６ 補正の内容 明細書第５頁第１４行の「放電」を「電極」に訂正する
。 以上
面は１．第１図１（ｂ）は第７シ１０２のＩ〜Ｉ純に沿
ったｈｆｒ面図、！！２図はこの発ｕ＋ｊの一実施例に
かかわる放％、管の断面図、第３図はこの発明の他の実
施例にかかわる放電管の断面図である。 図において、（１）は放電管、 ＋２１ 、 ＋３１は
電極、（Ａ）は放′［１λ部、（Ｂ）を丁非数ＩＤ：部
である。 なお１図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第 １ 図 （ａ） 第２図 手 ぶ売 補 正 書（自発） ３．補正をする者 明細１の発明の詳細な説明の翻 ６ 補正の内容 明細書第５頁第１４行の「放電」を「電極」に訂正する
。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｆｉｌ 誘電体よυなる管状の放電管の外壁に密着する
一対の電極に交流電圧を印加して上記両電極間に放電を
起こし、レーザ光全発振させるものにおいて、上記放電
管の上記電極と密着した放電部の比誘電率を上記電極と
密着しない非放電部の比誘電率より大きくしたことを特
徴とする無声放電式ガスレーザ装置。 （２）放電部と非放電部が同一材料で構成されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無声放電式
ガスレーザ装置。 （３）放電部と非放電部が異なる材料で構成されている
ことを特徴とする特許ｉ目求の範囲第１項記載の無声放
電式ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11312783A JPS604280A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11312783A JPS604280A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604280A true JPS604280A (ja) | 1985-01-10 |
Family
ID=14604217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11312783A Pending JPS604280A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604280A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1274156A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-08 | TuiLaser AG | Gaslaser |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11312783A patent/JPS604280A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1274156A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-08 | TuiLaser AG | Gaslaser |
| US6782030B2 (en) | 2001-07-05 | 2004-08-24 | Claus Strowitzki | Gas laser |
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