JPS6039224B2 - Manufacturing method for circuit pattern punching mold - Google Patents

Manufacturing method for circuit pattern punching mold

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JPS6039224B2
JPS6039224B2 JP14419576A JP14419576A JPS6039224B2 JP S6039224 B2 JPS6039224 B2 JP S6039224B2 JP 14419576 A JP14419576 A JP 14419576A JP 14419576 A JP14419576 A JP 14419576A JP S6039224 B2 JPS6039224 B2 JP S6039224B2
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JP
Japan
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coating layer
circuit pattern
film
mold
metal foil
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JP14419576A
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Japanese (ja)
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JPS5368873A (en
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康行 田中
和夫 中島
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Nippon Mektron KK
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Nippon Mektron KK
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Publication of JPS6039224B2 publication Critical patent/JPS6039224B2/en
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、回路基板上に所要の回路パターンを打抜いて
押圧成形するための金型の製造方法に関し、特には、フ
オトェツチング法による回路パターン打抜き用金型の製
造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a mold for punching and press-molding a desired circuit pattern on a circuit board, and in particular, a method for manufacturing a mold for punching a circuit pattern using a photo-etching method. Regarding.

予め形成した平面金型における打抜き金属箔の逃げ溝に
ェポキシ樹脂等を一様に充填しておき、その後、上記平
面金型の外縁に刃部を形成するための二段階によるフオ
トレジスト工程とを骨子とするこの種金型の従来の製造
方法は、上記の樹脂充填工程およびフオトレジスト工程
でのフィルム位置合せ等に煩雑であって然も相当な手間
と熟練を要求されることに加え、最終段階で充填した樹
脂を除去しなければならないという難点を有し、かつ、
上記の如き複雑な作業段階を経た割合に比し、所要品質
の金型を量産することは極めて困難であるという点に鑑
み、本願の出願人は、先に特願昭51一116843号
(特開昭53−41769号公報参照)において、上記
従来手法のもつ問題点を好適に解決して簡単なプロセス
で容易に一定の高品質金型を製造することの可能な手段
を提供した。
Epoxy resin or the like is uniformly filled into the escape groove of the punched metal foil in the flat mold formed in advance, and then a two-step photoresist process is performed to form a blade on the outer edge of the flat mold. The conventional manufacturing method of this kind of mold is complicated and requires considerable effort and skill in the resin filling process and photoresist process, etc. It has the disadvantage that the filled resin must be removed at the stage, and
In view of the fact that it is extremely difficult to mass-produce molds of the required quality compared to the number of complicated work steps described above, the applicant of the present application previously filed Japanese Patent Application No. 51-116843 (see Japanese Patent Publication No. 1983-41769), the inventors have provided a means for suitably solving the problems of the above-mentioned conventional methods and easily manufacturing molds of constant high quality with a simple process.

本発明は、上記特魔昭51−116843号の方法を改
善して更に良好な品質の金型を製造する為の新規な手段
を提供しようとするものであって、その特徴とするとこ
ろは、予め仕上げた金型材料表面上に所要回路パターン
の輪郭もしくは縁部を残すようにしてポジフオトレジス
トコート等で第一の被覆層を形成することから出発し、
次いでこの第一の被覆層に残されている上記回路パター
ンの輪郭もしくは綾部としての空白部分に上記第一の被
覆層より相当耐性の強い性質をもつメッキ等の手段で第
二の被覆層を形成し、該第この被覆層がなす形状より一
様に大きな形状を取り得るべき前記第一の被覆層の一部
を露光・現像手段で適宜除去し、斯かる剥離によって露
出した金型材料の金属部分をエッチング除去して打抜き
金属箔に十分な逃げ溝を形成したのち、上記第一の被覆
層の残る全てを剥離して前記第二の被覆層によって包囲
されている金属露出部分を除去し、最後に上記第二の被
覆層を剥離して前記回路パターンの緑部もしくは輪郭相
当部分を刃物状に仕上げる点にある。このような一連の
プロセスにおいて、上記第一の被覆層は打抜き金属箔の
逃げ溝を形成する際の保護膜として直接役立つこととな
り、然も第二の被覆層が極めて高い耐性を備えることと
相俊つて上言己逃げ溝を迅速かつ正確に形成できるので
、全体のプロセスを非常に能率よくかつ簡単に処理しな
がら微細な回路パターンをも製作できる優秀な金型を得
ることが可能となる。本発明は、また、前記第二の被覆
層の形状より一様に大きな形状を形成するように上記第
一の被覆層の一部を剥離するという工程に移行する前に
、予め上記第一および第二の両被覆層上に該第一のそれ
と同質の第三の被覆層を重ねて形成した状態で上記の剥
離処理を行なうようにした他の方法をも同時に提供しよ
うとするものであって、この場合には、後段の打抜き金
属箔のための逃げ溝を形成するエッチング工程をより迅
速かつ確実に達成することが出来る。
The present invention aims to improve the method disclosed in Tokuma Sho 51-116843 and provide a new means for manufacturing molds of even better quality, and its features are as follows: Starting from forming a first coating layer with a positive photoresist coat or the like so as to leave the outline or edge of the desired circuit pattern on the surface of the pre-finished mold material,
Next, a second coating layer is formed on the outline of the circuit pattern or the blank area as a twill portion left on this first coating layer by means of plating or the like, which has considerably stronger properties than the first coating layer. Then, a part of the first coating layer, which should be able to take a uniformly larger shape than the shape formed by the second coating layer, is appropriately removed by exposure/developing means, and the metal of the mold material exposed by such peeling is removed. After etching away the portion to form a sufficient clearance groove in the punched metal foil, peeling off all remaining portions of the first coating layer to remove the exposed metal portion surrounded by the second coating layer; Finally, the second coating layer is peeled off to finish the green portion or the portion corresponding to the outline of the circuit pattern into a knife-like shape. In this series of processes, the first coating layer directly serves as a protective film when forming the relief grooves of the punched metal foil, and this is coupled with the fact that the second coating layer has extremely high resistance. Since the relief groove can be formed quickly and accurately, it is possible to obtain an excellent mold that can manufacture even minute circuit patterns while making the entire process very efficient and simple. The present invention also provides the first and second coating layers before proceeding to the step of peeling off a part of the first coating layer so as to form a shape uniformly larger than the shape of the second coating layer. It is an object of the present invention to simultaneously provide another method in which the above-mentioned peeling treatment is performed in a state where a third coating layer having the same quality as the first coating layer is formed on both second coating layers. In this case, the etching process for forming the escape groove for the subsequent punched metal foil can be accomplished more quickly and reliably.

添附図面は、上記の如き本発明方法の好適な実施例を図
解したものであって、第1図1〜8は本発明の一方のプ
ロセスを示す。
The accompanying drawings illustrate preferred embodiments of the method of the invention as described above, with FIGS. 1-8 showing one process of the invention.

先ず、同図1の女0く、予め焼入れ熱処理を施して硬度
を適宜に高め、かつ、得られた表面を0.2側〜0.3
肌程度に機械的な研磨を行なった後、蒸気トリクレン等
による脱酸後のリン酸等で酸洗いを行なうなど適宜化学
的な整面処理を施した使用すべき金型材料1の表面には
、上記で仕上げたこの表面が酸化しないうちに第一の被
覆層たるジアゾ系などからなるポジティブフオトレジス
ト膜2を速やかに塗布される。このポジティブフオトレ
ジスト膜2は、同図2に示すように、該膜2中に所要の
回路パターンの緑部、すなわち輪郭を十分に占めるよう
な閉じた空白部2Aを有するように、後述する第3図1
のポジフオトレジストフィルムを用いて露光・現像処理
に付され、かくしてこの空白部2Aに位置していたレジ
スト膜2が剥離されることとなる。空白部2Aには、次
の工程で第1図3のように、半田もしくは鉛または金等
の金属材料を用いてメッキ3を施して充填される結果、
このメッキ3の部分は上記第一の被覆層としてのレジス
ト膜2のそれに比して極めて耐性の強い特性をもつ第二
の被覆層に該当するようになる。而してこの発明の場合
には、後工程で行なう打抜き金属箔の逃げ溝を形成する
ことに備えて、後述する第3図2の如きポジフオトレジ
ストフィルムを用いて第1図4のように、上記〆ッキ3
が形成する形状よりも適度に大きな形状を前記レジスト
膜2が有するべく、露光・現像手段でこの膜2のメッキ
3が位置する外方隣接部分2Bを直ちに剥離除去するも
のである。その後、第1図4および同図5のように、こ
の隣接部分2Bに露出した金型材料1の斜線で示す金属
部分IAには、所要の深さまでエッチング除去され、レ
ジスト膜2の裏面に食い込んでそこに僅かなオーバーハ
ング部4Aをもつ打抜き金属箔のための逃げ溝4を形成
される。ここで、エッチング処理液は、通常約50qo
に加熱した37oBe前後の塩化第二鉄液を用いること
ができ、その際、メッキ3の部分は云うに及ばずレジス
ト膜2に対しても何んら支障を与えることなく十分なエ
ッチング処理を行なえる。既述のとおり、メッキ3の部
分は、レジスト膜2に比較して非常に強い耐性を有して
いるので、上記エッチング処理工程後に、レジスト膜2
を全面露光し、かつ、現像液を用いてこの腰2を除去す
るか、または、たとえばシツプレィ社の商品名にいうA
Zm等の剥離液を用いて上記の如き全面露光作業を行な
うことなく直接的に剥離除去することができる(第1図
6)。オーバーハング部4Aはこの段階で適当に除去さ
れてこの部分は略垂直な壁状を呈するようになる。かく
してメッキ3の部分のみで囲まれた金型材料の金属露出
部分は、第1図7のように、所要の深さまで適宜エッチ
ング除去される結果、その部分には前記溝4よりも浅い
陥部5を形成されるようになる。陥部5はその周緑に多
少のオーバーハング部5Aをもつが、第1図8に示すよ
うに、最終工程に行なうメッキ3のソフトエッチング除
去操作によってこれが好適に除去されると共に、そこに
は所要の回路パターンの輪郭に合致した刃部6を形成す
ることとなる。なお、上記のようなオーバーハング部は
、化学反応が迅速に行なわれるので、他の部分に悪影響
を与えることなく行なえるが、かかるオーバーハング部
を予め僅少にとどめる一法としては、エッチング処理液
にたとえばサイドエッチ防止剤を適宜添加すると非常に
効果がある。これは、金型の金属壁面とキレート化合物
を形成し、エッチング液のスプレー圧の小さな壁面部の
エッチングスピードがスプレー圧の高い底部のそれに比
して遅いという特性にするものである。上記の如くして
得られた第1図8の金型は、そのまま実用に供すること
が出釆るようになる。第2図1〜9は、本発明の他の方
法による実施例を示すものであって、同図から明らかな
とおり、第1図1〜3および6〜8の工程は、この方法
による第2図1〜3並びに7〜9の各工程においてもそ
のまま行なわれる。
First, the hardness of the female 000 in Figure 1 is increased appropriately by quenching heat treatment in advance, and the obtained surface is 0.2 to 0.3 hard.
The surface of the mold material 1 to be used has been mechanically polished to a surface level, then deoxidized with steam trichloride, etc., and then subjected to appropriate chemical surface treatment such as pickling with phosphoric acid, etc. A positive photoresist film 2 made of diazo or the like as a first coating layer is quickly applied to the surface finished as described above before it is oxidized. As shown in FIG. 2, this positive photoresist film 2 has a closed blank part 2A that fully occupies the green part of the required circuit pattern, that is, the outline, as shown in FIG. 3 figure 1
The resist film 2 located in the blank area 2A is peeled off by exposure and development using a positive photoresist film. In the next step, the blank space 2A is filled with plating 3 using solder or a metal material such as lead or gold, as shown in FIG.
This portion of the plating 3 corresponds to a second coating layer which has characteristics that are extremely resistant compared to that of the resist film 2 as the first coating layer. In the case of the present invention, in preparation for forming escape grooves in the punched metal foil in a later process, a positive photoresist film as shown in FIG. 3, which will be described later, is used as shown in FIG. , the above closing 3
In order for the resist film 2 to have a shape that is appropriately larger than the shape formed by the resist film 2, the outer adjacent portion 2B of the film 2 where the plating 3 is located is immediately peeled off and removed using an exposing/developing means. Thereafter, as shown in FIGS. 1 and 5, the metal portion IA of the mold material 1 exposed in the adjacent portion 2B, indicated by diagonal lines, is etched away to a required depth and bites into the back surface of the resist film 2. Then, an escape groove 4 for the punched metal foil with a slight overhang 4A is formed there. Here, the etching solution is usually about 50 qo.
A ferric chloride solution heated to around 37oBe can be used, and in this case, sufficient etching can be performed without causing any trouble to not only the plating 3 but also the resist film 2. Ru. As mentioned above, the plating 3 portion has much stronger resistance than the resist film 2, so after the above etching process, the resist film 2 is removed.
Either expose the entire surface to light and remove this grain 2 using a developer, or, for example,
Using a stripping solution such as Zm, the film can be directly stripped and removed without performing the above-mentioned full-surface exposure operation (FIG. 1, 6). The overhang portion 4A is appropriately removed at this stage, so that this portion has a substantially vertical wall shape. In this way, the exposed metal part of the mold material surrounded only by the plating 3 is removed by appropriate etching to a required depth, as shown in FIG. 5 will be formed. The recessed part 5 has a slight overhang part 5A on its periphery, but as shown in FIG. The blade portion 6 is formed to match the outline of the required circuit pattern. Note that overhangs as described above can be removed without adversely affecting other parts because the chemical reaction occurs quickly, but one way to minimize such overhangs is to use an etching solution. For example, it is very effective to add a side etch inhibitor as appropriate. This forms a chelate compound with the metal wall surface of the mold, so that the etching speed of the wall surface portion where the spray pressure of the etching solution is low is slower than that of the bottom portion where the spray pressure is high. The mold shown in FIG. 1 and 8 obtained as described above can be put to practical use as is. FIGS. 2 1 to 9 show an embodiment according to another method of the present invention, and as is clear from the figures, the steps of FIGS. The steps shown in FIGS. 1 to 3 and 7 to 9 are also carried out as they are.

この方法によるときは、ポジフオトレジスト膜2中に所
要回路パターンの縁部、すなわち輪郭に該当する部分を
除去して空白部になし、そこに前述のメッキ3を施すと
いう前記の段階で、実質的に第一の被覆層としてのレジ
スト膜2を補強するよ′うに第2図4のとおりこれらレ
ジスト膜2およびメッキ3の上に更に該膜2と同質の材
料でもつて重ねて他のポジフオトレジスト膜7を形成す
るものである。次いで、同図5のように、両膜2および
7におけるメッキ3の外方隣接部分2B,7Bを第1図
4と同様に、露光・現像手段で除去し、その部分に金型
材料1の表面を露出せしめ、以下、打抜き金属箔のため
の逃げ溝4を形成すべく同様なエッチング処理工程に付
される(第2図6)。4Bはその時生じるオーバーハン
グ部である。
When using this method, the edges of the desired circuit pattern, that is, the portion corresponding to the outline, are removed from the positive photoresist film 2 to create a blank space, and the above-mentioned plating 3 is applied thereto. As shown in FIG. 2, a material of the same quality as the film 2 is further overlaid with another positive photo film to reinforce the resist film 2 as the first coating layer. A resist film 7 is formed. Next, as shown in FIG. 5, the outer adjacent portions 2B and 7B of the plating 3 on both films 2 and 7 are removed by exposure and development means in the same manner as in FIG. The surface is exposed and then subjected to a similar etching process to form escape grooves 4 for the punched metal foil (FIG. 2, 6). 4B is an overhang portion that occurs at that time.

この手法によれば、レジスト膜2は他のレジスト膜7に
よって実質的に補強されるようになる結果、逃げ溝4の
ためのエッチング処理を強く速やかに行なえるようにな
るので、厚い回路パターンを打抜くべく溝4の深さを大
きくしたいような金型を得ようとする場合、または、よ
り微細な回路パターンを構成するような用途目的に適用
して最適である。上記の両発明において、メッキ3を施
すべき空白部2Aのパターンおよび第1図4、第2図5
の如きレジスト膜27のパターンを形成するには、第4
図に示すように、空白部2Aのパターンに対応するポジ
フィルム12を作るためのポジおよびネガの各フィルム
10,11を、また、上記しジスト膜27のパターンに
対応するポジフィルム13を予め各一枚それぞれ製作し
ておく。
According to this method, the resist film 2 is substantially reinforced by the other resist film 7, and as a result, the etching process for the escape groove 4 can be performed strongly and quickly, so that thick circuit patterns can be formed. It is most suitable for use when trying to obtain a mold with a large depth of the groove 4 for punching, or for applications such as forming a finer circuit pattern. In both of the above inventions, the pattern of the blank area 2A to be plated 3 and FIG. 1 4 and FIG. 2 5
In order to form a pattern of the resist film 27 as shown in FIG.
As shown in the figure, the positive and negative films 10 and 11 for making the positive film 12 corresponding to the pattern of the blank area 2A are prepared, and the positive film 13 corresponding to the pattern of the resist film 27 described above is prepared in advance. Make one each.

ポジフィルム12は、第3図1および第4図1,2のと
おり、破線で示す所要回路パターン○の側綾部すなわち
輪郭線1から両側にそれぞれ×側広げた線画パターンN
を有すべく構成する一方、他のポジフィルム13は第3
図2および第4図4の如く、輪郭線1から一様にY側だ
け広げた線画パターンPとなるように構成するものであ
る。×およびYの値は、第7図に概念的に示すように、
製造すべき金型の大きさに応じて定めることができ、た
とえば次式で規定することができる。X=旨十号 Y=暑+芸 ただし、上式は下記を条件とする。
As shown in FIG. 3 1 and FIGS. 4 1 and 2, the positive film 12 has a line drawing pattern N extending from the side edges of the required circuit pattern ○ shown by broken lines, that is, from the contour line 1 to both sides, respectively.
while the other positive film 13 has a third
As shown in FIGS. 2 and 4, the line drawing pattern P is formed by uniformly expanding the Y side from the contour line 1. The values of × and Y are as conceptually shown in FIG.
It can be determined depending on the size of the mold to be manufactured, and can be defined, for example, by the following formula. X = Umami 10 Y = Heat + Art However, the above formula is subject to the following conditions.

尊くX<A ここに、A:所要回路パターン寸法 B:打抜き金属箔の逃げ溝4の深さ C:陥部5の深さ D:刃部6の先端所要寸法 E:エッチングフアクター 上記の如きネガおよびポジの各フィルム10〜13は、
それぞれに対応するマスターフィルムの反転時における
露出条件を適宜操作することによって容易に得ることが
可能である。
Preciously Each of the negative and positive films 10 to 13 is
This can be easily obtained by appropriately manipulating the exposure conditions when reversing the corresponding master films.

第5図および第6図はその一方法を示すものであって、
適当な厚みをもつ透明ポリエステルフィルム14をマス
ターフィルム15と未露光フィルム16との間に介在せ
しめてこれらをサンドイッチ状に一体化した後、露光す
ると、前記各線画パターンNまたはPの加減調整は極め
て容易となる。かかる線幅の調整は、介在させるポリエ
ステルフィルム14の厚さを適当に変えることによって
達成でき、たとえば、厚さ100ム仇のポリエステルフ
ィルム14を使用する場合には、結果的に110山肌の
線幅の細りまたは太りを得ることが可能である。なお、
露光量制御によって、更にほぼ30〆肌以下の微畠程度
で線幅調整を行なうことも出釆る。上記方法により、糠
幅を加減したフィルムは、ポジフィルム12を作る為に
第6図のように所要回路パターン幅よりX側細くしたポ
ジフィルム10とX帆太くしたネガフイルム11を上記
の如くして用意し、この2種のフィルムを同図の如く膿
面同志を合わせて露光することにより、ポジフィルム1
0とネガフイルム11との差のパターンが未露光フィル
ム12A中上に、所要回路パターンの輪郭線1を中心と
する線幅磯肋のパターンとして形成されるので、このフ
ィルムを反転すれば、所望とするフィルム12を得るこ
とができる。
FIGS. 5 and 6 show one method,
When a transparent polyester film 14 having an appropriate thickness is interposed between the master film 15 and the unexposed film 16 to integrate them into a sandwich shape and then exposed, the adjustment of each line drawing pattern N or P is extremely easy. It becomes easier. Such line width adjustment can be achieved by appropriately changing the thickness of the intervening polyester film 14. For example, when using a polyester film 14 with a thickness of 100 mm, the resulting line width is 110 mm. It is possible to get thinner or fatter. In addition,
By controlling the exposure amount, it is also possible to adjust the line width to a fine level of about 30 degrees or less. The film whose bran width has been adjusted by the above method is made by combining a positive film 10 which is made thinner on the X side than the required circuit pattern width and a negative film 11 which is made thicker on the X side as shown in FIG. 6 to make a positive film 12. By preparing these two types of films and exposing them with their pus surfaces aligned as shown in the figure, a positive film 1 is created.
0 and the negative film 11 is formed on the upper middle of the unexposed film 12A as a pattern with a line width that is centered on the outline 1 of the desired circuit pattern. A film 12 can be obtained.

次に、所要回路パターンよりX側太らせたポジフィルム
13を同様に作る。
Next, a positive film 13 made thicker on the X side than the required circuit pattern is made in the same manner.

そして、金型材料上に浸債法もしくは、スピンナーある
いはスプレー等により、ポジタィプフオトレジスト膜2
を約4〜5仏の塗布したのち、プリベークを経て、ポジ
フィルム12により、所要回路パターンの輪郭線1を中
心とし、線幅歌側の線画パターンを露光して指定現像液
で現像すれば、第1図2または第2図2を得ることがで
きる。以下、上記操作で形成された空白部2A(上記が
徹の線幅をもつ線画パターン)にメッキ3を施したら、
上記他のポジフィルム13を用いて上記ポジタィブフオ
トレジスト膜2により形成された線画のパターン上にこ
のフィルム13を位置合せをし、これで露光して指定現
像液を用いて現像処理すれば、第1図4または第2図5
に示すレジスト膜2または2と7における隣接部分2B
および7Bを剥離除去することが可能となる。本発明に
係る回路パターン打抜き用金型の製造方法によれば、所
要回路パターンの縁部、すなわち輪郭を残すようにレジ
スト膜等からなる第一の被覆層を形成する工程およびこ
れによって形成された空白部分にメッキ等を施して得ら
れる第二の被覆層の形状より一様に大きな形状となるべ
く第一の被覆層の一部を剥離する工程をより簡単かつ速
やかに終了させることができる一方、上記第二の被覆層
を第一のそれに比較して極めて強い耐性をもつように形
成する為、後工程で行なう打抜き金属箔のための逃げ溝
を容易・正確に形成可能であって、打抜くべき回路パタ
ーンの金属箔の厚膜に最適な溝を構成できる。
Then, a positive photoresist film 2 is applied onto the mold material using a bonding method, a spinner, spraying, etc.
After applying about 4 to 5 layers of , pre-baking, exposing the line pattern on the line width side with the outline 1 of the required circuit pattern as the center using the positive film 12, and developing it with the specified developer. 2 or 2 can be obtained. Hereafter, when plating 3 is applied to the blank area 2A (the above is the line drawing pattern with the line width of Toru) formed by the above operation,
Using the other positive film 13, align the film 13 on the line drawing pattern formed by the positive photoresist film 2, expose it to light, and develop it using a designated developer. , Figure 1 4 or Figure 2 5
Adjacent portion 2B of resist film 2 or 2 and 7 shown in
and 7B can be peeled off and removed. According to the method for manufacturing a die for punching circuit patterns according to the present invention, there is a step of forming a first coating layer made of a resist film or the like so as to leave the edges, that is, the contours, of a desired circuit pattern, and While it is possible to more easily and quickly complete the process of peeling off a part of the first coating layer so that the shape is uniformly larger than the shape of the second coating layer obtained by plating or the like on the blank area, Since the second coating layer is formed to have extremely high resistance compared to the first coating layer, it is possible to easily and accurately form relief grooves for the punched metal foil to be performed in the subsequent process. Optimal grooves can be constructed in the thick film of metal foil with the desired circuit pattern.

また、この特長に関連し、本発明は第一の被覆層の厚さ
を実質的に補強するような第三の被覆層を形成すること
によって、より微細な回路パターンを打抜くための金型
を高い精度で製造し得るもので、然も全工程の簡易性と
相俊つて高品質の金型を低廉に提供可能である。
Further, related to this feature, the present invention provides a mold for punching finer circuit patterns by forming a third coating layer that substantially reinforces the thickness of the first coating layer. It is possible to manufacture molds with high precision, and combined with the simplicity of the entire process, it is possible to provide high quality molds at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図1〜8は、本発明の一方法による実施例を示す概
念的工程説明図、第2図1〜9は、本発明の他の方法に
よる実施例を示す第1図と同様な概念的工程説明図、第
3図1,2は第1図2および4並びに第2図2,5の各
工程時に使用する露光フィルムの概念的構成図、第4図
1〜4は第3図1,2に示すフィルムの説明図、第5図
および第6図は第3図の各フィルムを製作する一例を示
す図、そして第7図は完成金型の概念的部分拡大図であ
る。 1……金型材料、2・・…・ポジフオトレジスト膜、2
A…・・・空白部分、3・・・・・・メッキ、4・…・
・打抜き金属箔の逃げ溝、5・…・・陥部、6・・・・
・・刃部、7・・・・・・他のレジスト膜。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図
1 to 8 are conceptual process explanatory diagrams showing an embodiment according to one method of the present invention, and FIGS. 2 1 to 9 are similar concept to FIG. 1 showing an embodiment according to another method of the present invention. Figures 1 and 2 are conceptual diagrams of the exposure film used in each process of Figures 1 and 4 and Figures 2 and 5. Figures 4 and 4 are Figures 3 and 1. , 2 are explanatory views of the films shown in FIG. 2, FIGS. 5 and 6 are views showing an example of manufacturing each film shown in FIG. 3, and FIG. 7 is a conceptual partial enlarged view of a completed mold. 1... Mold material, 2... Positive photoresist film, 2
A...Blank area, 3...Plating, 4...
・Escape groove of punched metal foil, 5... recessed part, 6...
...Blade part, 7...Other resist film. Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 金属箔から回路パターンを打抜き成形するための金
型の製造方法において、硬化処理して整面した金型材料
表面上に所要回路パターンの縁部を残すようにして第一
の被覆層を形成し、次いで該第一の被覆層に残された空
白部分にこの被覆層より耐性の大きな第二の被覆層を形
成し、該第二の被覆層の形状より一様に大きな形状を形
成するように上記第一の被覆層の一部を剥離し、これに
よつて露出した金型材料表面の金属部分を除去して打抜
き金属箔の逃げ溝を形成したのち、上記第一の被覆層の
全てを剥離して前記第二の被覆層で囲まれた金属露出部
分を除去し、最後に上記第二の被覆層を剥離することを
特徴とする回路パターン打抜き用金型の製造方法。 2 金属箔から回路パターンを打抜き成形するための金
型の製造方法において、硬化処理して整面した金型材料
表面上に所要回路パターンの縁部を残すようにして第一
の被覆層を形成し、次いで該第一の被覆層に残された空
白部分にこの被覆層より耐性の大きな第二の被覆層を形
成したのち、これら第一および第二の両被覆層上に重ね
て上記第一の被覆層と同質な第三の被覆層を形成し、上
記第二の被覆層の形状より一様に大きな形状を形成する
ように上記第一および第三の両被覆層の一部を剥離し、
これによつて露出した金型材料表面の金属部分を除去し
て打抜き金属箔の逃げ溝を形成したのち、上記第一およ
び第三の両被覆層の全てを剥離して前記第二の被覆層で
囲まれた金属露出部分を除去し、最後に上記第二の被覆
層を剥離することを特徴とする回路パターン打抜き用金
型の製造方法。
[Scope of Claims] 1. A method for manufacturing a mold for punching and forming a circuit pattern from metal foil, in which the edges of the desired circuit pattern are left on the hardened and smoothed surface of the mold material. One coating layer is formed, and then a second coating layer having higher resistance than this coating layer is formed in the blank area left in the first coating layer, and the shape is more uniform than that of the second coating layer. After peeling off a part of the first coating layer so as to form a large shape and removing the exposed metal part on the surface of the mold material to form an escape groove for the punched metal foil, A circuit pattern punching die characterized in that all of the first coating layer is peeled off, the exposed metal portion surrounded by the second coating layer is removed, and finally the second coating layer is peeled off. Production method. 2. In a method for manufacturing a mold for punching and molding a circuit pattern from metal foil, a first coating layer is formed on the hardened and smoothed surface of the mold material so as to leave the edges of the required circuit pattern. Then, a second coating layer having higher resistance than this coating layer is formed in the blank area left in the first coating layer, and then the first coating layer is layered on top of both the first and second coating layers. A third coating layer having the same quality as the coating layer is formed, and a portion of both the first and third coating layers is peeled off so as to form a shape uniformly larger than the shape of the second coating layer. ,
After removing the exposed metal part on the surface of the mold material and forming an escape groove for the punched metal foil, all of the first and third coating layers are peeled off and the second coating layer is removed. A method for producing a die for punching a circuit pattern, the method comprising: removing the exposed metal portion surrounded by the second coating layer, and finally peeling off the second coating layer.
JP14419576A 1976-09-28 1976-11-30 Manufacturing method for circuit pattern punching mold Expired JPS6039224B2 (en)

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