JPS6033860B2 - Fluororesin film with adhesive - Google Patents

Fluororesin film with adhesive

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JPS6033860B2
JPS6033860B2 JP11971376A JP11971376A JPS6033860B2 JP S6033860 B2 JPS6033860 B2 JP S6033860B2 JP 11971376 A JP11971376 A JP 11971376A JP 11971376 A JP11971376 A JP 11971376A JP S6033860 B2 JPS6033860 B2 JP S6033860B2
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JP
Japan
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adhesive
fluororesin film
film
sputter etching
discharge
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Application number
JP11971376A
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Japanese (ja)
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JPS5345339A (en
Inventor
英 山本
孝彦 森内
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Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は接着剤付き弗素樹脂製フィルムに関するもので
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a fluororesin film with adhesive.

接着剤付きプラスチックフィルムのうち、プラスチック
フィルムを弗素樹脂フィルムとし、接着剤を熱硬化性接
着剤とするものは、プラスチックフィルム並びに接着剤
と共に耐熱性に秀れているため、更には、弗素樹脂フィ
ルムが有する耐薬品性等のために、用途が広範囲である
Among plastic films with adhesives, those in which the plastic film is a fluororesin film and the adhesive is a thermosetting adhesive have excellent heat resistance as well as the plastic film and adhesive. Because of its chemical resistance, etc., it has a wide range of uses.

例えば、耐熱性が要求されるフラットプリントケーブル
或いは耐熱性、耐薬品性が要求される容器内面の被覆等
への利用が考えられる。しかしながら、弗素適脂フィル
ムの表面は著しく不活性であり、上記接着剤付き弗素樹
脂フィルムにおいては、フィルム表面と熱硬化性酸着剤
層との接着力が弱いため、長期使用中には、この接着界
面での剥離が懸念される。
For example, it can be used for flat printed cables that require heat resistance, or for coating the inner surface of containers that require heat resistance and chemical resistance. However, the surface of the fluorine-adhesive film is extremely inert, and the adhesive force between the film surface and the thermosetting acid adhesive layer is weak in the adhesive-coated fluororesin film. There is a concern about peeling at the adhesive interface.

従釆、弗素樹脂成形物の表面を活性化する方法として、
ナトリウムの液体アンモニア溶液等の化学薬品により表
面処理することが公知である。
As a method for activating the surface of fluororesin molded products,
It is known to treat the surface with chemicals such as sodium in liquid ammonia solution.

しかし、この方法では、ナトリウムを用いるため、処理
中での火災の誘発が懸念される、使用済みの処理液の取
扱いがやつかいである。弗素樹脂フィルムの処理面が褐
色に変色し、商品価値の低下が避けられない。同フィル
ム表面の電気抵抗が低下される等の難点がある他、処理
面が紫外線に曝されると、処理効果の大中な低下が惹起
されるといった不利がある。本発明者等は、か)る状況
に鑑み、鋭意研究したところ、発素樹脂製フィルムの表
面を雰囲気圧0.0005〜0.5Torrの条件下で
スパッタエッチング処理すれば、同表面に熱硬化性接着
剤層を強固に、しかも上記した難点なく付着させ得るこ
とを見出し、本発明の接着剤付き弗素樹脂製フィルムを
提案するに至った。
However, since this method uses sodium, it is difficult to handle the used processing solution, which poses a risk of igniting a fire during processing. The treated surface of the fluororesin film turns brown and the product value inevitably decreases. In addition to the disadvantage that the electrical resistance of the surface of the film is reduced, there is also the disadvantage that when the treated surface is exposed to ultraviolet rays, the treatment effect is significantly reduced. In view of the above situation, the present inventors conducted extensive research and found that if the surface of a polyurethane resin film is subjected to sputter etching treatment under atmospheric pressure conditions of 0.0005 to 0.5 Torr, the same surface can be thermally cured. The present inventors have discovered that a fluororesin film with an adhesive can be firmly attached to the adhesive layer without the above-mentioned difficulties, and have proposed the adhesive-coated fluororesin film of the present invention.

すなわち、本発明に係る接着剤付き弗素樹脂製フィルム
は、弗素樹脂製フィルムの表面を雰囲気圧0.0005
〜0.5Tonの条件下でスパッタエッチング処理し、
該処理面に熱硬化性接着剤層を設けたことを特徴とする
構成である。
That is, the adhesive-attached fluororesin film according to the present invention has the surface of the fluororesin film exposed to an atmospheric pressure of 0.0005.
Sputter etching treatment under ~0.5Ton conditions,
This structure is characterized in that a thermosetting adhesive layer is provided on the treated surface.

本発明において、弗素適脂製フィルムとしては、4弗化
エチレン、3弗化エチレン、6弗化プロピレン等のフッ
素系モノマーの重合体、あるいはこれらモノマーとオレ
フィン類との共重合体を挙げることができ、特にポリテ
トラフルオロェチレン、フルオロェチレンプロピレンポ
リマ−の成形物が有効である。
In the present invention, examples of the fluorine-compatible resin film include polymers of fluorine-based monomers such as tetrafluoroethylene, trifluoroethylene, and hexafluoropropylene, or copolymers of these monomers and olefins. Molded products of polytetrafluoroethylene and fluoroethylenepropylene polymers are particularly effective.

弗素樹脂製フィルムをスパッタエッチング処理する時の
雰囲気圧は、上記の通り、常温で0.0005〜0.5
Torrであるが、好ましくは0.001〜0.15T
onである。
As mentioned above, the atmospheric pressure when sputter etching a fluororesin film is 0.0005 to 0.5 at room temperature.
Torr, preferably 0.001 to 0.15T
It's on.

電極間距離は、ほゞ1/ノP(Pは圧力Torr)に比
例して定められ、例えば雰囲気圧0.005Torrの
ときは約100肌である。他のスパッタエッチング処理
条件として、周波数は数百KHZ〜数十MHZであり、
通常は工業用割当周波数の13.53MHZである。放
電電力は0.1〜lOWatt/のである。処理時間に
ついては、放電電力が小である程、長くする必要があり
、実用的には、放電電力を大として処理時間を短くする
ことが望ましい。一例を示すと、5Watt/嫌の場合
の処理時間は1秒以上、好ましくは2秒〜1分がよく、
従って、放電電力と処理時間との積は5Watt・Se
c/仇以上、好ましくはlOWatt・Sec/c流〜
300Watt・Sec/c虎がよい。雰囲気圧は、ガ
スを導入しつつ上記の圧力に保持することもでき、この
場合、ガスとしては、アルゴン等の不活性ガス、空気、
チッ素、水蒸気、炭酸ガス、アンモニア等が用いられる
。また、導入ガス無しで分解生成ガスのみによる処理も
できる。
The distance between the electrodes is determined in proportion to approximately 1/P (P is pressure Torr), and is approximately 100 cm when the atmospheric pressure is 0.005 Torr, for example. Other sputter etching processing conditions include a frequency of several hundred KHZ to several tens of MHZ;
The normal frequency is 13.53 MHZ, which is the industrially allocated frequency. The discharge power is 0.1 to lOWatt/. As for the processing time, the smaller the discharge power is, the longer it is necessary to make it. Practically speaking, it is desirable to increase the discharge power and shorten the processing time. To give an example, the processing time in the case of 5Watt/unwanted is 1 second or more, preferably 2 seconds to 1 minute,
Therefore, the product of discharge power and processing time is 5Watt・Se
c/enemy or higher, preferably lOWatt・Sec/c style~
300 Watt Sec/c tiger is good. The atmospheric pressure can also be maintained at the above pressure while introducing a gas. In this case, the gas may be an inert gas such as argon, air,
Nitrogen, water vapor, carbon dioxide, ammonia, etc. are used. Furthermore, treatment can be performed using only decomposed gas without introducing gas.

スパッタエッチング装置としては、例えば、第1図に示
すごときものが用いられる。
As the sputter etching apparatus, for example, the one shown in FIG. 1 is used.

第1図において、1は減圧容器2内の気体を排気するた
めの真空ポンプ(図示せず)に接続する排気管、3は雰
囲気ガスを減圧容器2内に導入するためのバルブ、4は
弗素樹脂製フィルム5をスバッタエッチングするための
電極であって、リード線で外部のマッチングボックス6
(インピーダンス整合器)に接続され、さらに高周波電
源7に導かれている。
In FIG. 1, 1 is an exhaust pipe connected to a vacuum pump (not shown) for exhausting the gas in the reduced pressure vessel 2, 3 is a valve for introducing atmospheric gas into the reduced pressure vessel 2, and 4 is a fluorine gas pipe. It is an electrode for sputter etching the resin film 5, and is connected to the external matching box 6 with a lead wire.
(impedance matching device), and is further guided to a high frequency power source 7.

8は電極4のシ−ルド用電極で、高周波電源7のアース
側と導適している。
Reference numeral 8 denotes a shielding electrode for the electrode 4, which is suitable for conduction with the ground side of the high frequency power source 7.

9は対向電極で同じく高周波電源7のアース側に接続さ
れている。
Reference numeral 9 denotes a counter electrode, which is also connected to the ground side of the high frequency power source 7.

減圧容器2に金属製減圧容器を用いた場合、この容器は
高周波電源7のアース側に接続される。マッチングボッ
クス6はキヤパシタンスとインダクタンスからなる回路
器で、インピーダンス整合を行うものである。電極9に
対して電極4側の電位が負のときに放電の結果生じたプ
ラスイオンが加速されて弗素樹脂製フィルム5の表面に
衝突し、スパッタエッチングが行われる。このとき弗素
樹脂製フィルム5の表面には、衝突したブラスイオンの
もっていたプラス電荷が蓄積して表面電位が上昇するの
で、この表面と電極9との間の電位差は4・となり、放
電を維持し難くなる。しかし高周波電圧の半サイクルに
おいては、電極9に対して電極4側の電位が正となるの
で、放電空間から電子がフツ化オレフィン共重合体成形
物5の表面に入り、電子のもつているマイナス電荷によ
り表面に蓄積していたプラスイオンを中和する。この結
果、高周波電圧のつぎの半サイクルにおいて電極9に対
して電極4側の電位が負となったときの両者間の電位差
が大きくて放電が行われ、生じたプラスイオンが加速さ
れてフッ化オレフィン共重合体成形物5の表面に衝突し
て、スパッタエッチングを行うことを可能ならしめる。
以上のことが、高周波電圧の各サイクルごとにくりかえ
し行われ、フッ化オレフィン共重合体成形物5の表面が
スパッタエッチングされる。スパッタエッチング処理の
一例を簡単に述べると、第1図の電極4上に弗素樹脂製
フィルム5を設置し、真空ポンプで減圧容器2内の圧力
を1×10‐5Torrとした後、バルブ3を通じて雰
囲気ガスを導入し、1×10‐2Tomになるように調
整し、さらに高周波電源を放電電力が0.5Wattノ
洲になるように調整し、数秒〜数十秒スパッタエッチン
グする。
When a metal reduced pressure container is used as the reduced pressure container 2, this container is connected to the ground side of the high frequency power source 7. The matching box 6 is a circuit consisting of capacitance and inductance, and performs impedance matching. When the potential on the electrode 4 side is negative with respect to the electrode 9, positive ions generated as a result of the discharge are accelerated and collide with the surface of the fluororesin film 5, thereby performing sputter etching. At this time, the positive charges possessed by the colliding brass ions accumulate on the surface of the fluororesin film 5 and the surface potential increases, so the potential difference between this surface and the electrode 9 becomes 4, maintaining the discharge. It becomes difficult to do. However, during a half cycle of the high frequency voltage, the potential on the electrode 4 side becomes positive with respect to the electrode 9, so electrons enter the surface of the fluorinated olefin copolymer molded article 5 from the discharge space, and the electrons have a negative potential. Neutralizes positive ions that have accumulated on the surface due to electric charge. As a result, when the potential on the electrode 4 side becomes negative with respect to the electrode 9 in the next half cycle of the high-frequency voltage, the potential difference between the two is large and discharge occurs, and the generated positive ions are accelerated and fluorinated. It collides with the surface of the olefin copolymer molded article 5 to enable sputter etching.
The above steps are repeated for each cycle of the high frequency voltage, and the surface of the fluorinated olefin copolymer molded article 5 is sputter-etched. To briefly describe an example of the sputter etching process, a fluororesin film 5 is placed on the electrode 4 shown in FIG. Atmosphere gas is introduced and adjusted to 1 x 10-2 Tom, and the high frequency power source is adjusted so that the discharge power is 0.5 Watt, and sputter etching is performed for several seconds to several tens of seconds.

弗素樹脂製フィルムの表面処理を連続的に行うには、た
とえば第2図に示す如く、減圧容器2内にシート巻取り
駆動装置を設置すればよい。
In order to continuously perform the surface treatment of the fluororesin film, a sheet winding drive device may be installed in the vacuum container 2, as shown in FIG. 2, for example.

なお、図中51は弗素樹脂製フィルムであり、10は供
給ロール、11は巻取りロールである。第3図は上記の
ようにしてスパッタエッチング処理された弗素樹脂製フ
ィルムの表面状態を示す400の音拡大写真であり、微
細な針状凹凸面であり、この針状凹凸化が接着力の向上
に大きく寄与する。後述する比較例1並びに2に示すよ
うに、他のプラスチックにおいてはスパッタエッチング
による表面の凹凸化が顔られず、表面が化学的に変化す
るのみであるが、弗素樹脂製フィルムにおいては、化学
的変化のみならず、針状凹凸化の発生があり、この凹凸
による接着性向上効果が大である。本発明において、上
記のようにしてスパッタエッチング処理されて弗素樹脂
製フィルムの表面に熱硬化性接着層を設けるには、熱硬
化性樹脂組成物が適当な溶剤により溶液とされ、この溶
液がロールコーテング、リバースコーテング、ナイフコ
−テング、グロビアロールコーテング等の通常の塗布方
法により塗布され、これが加熱され、溶剤が揮発除去さ
れる。
In addition, in the figure, 51 is a fluororesin film, 10 is a supply roll, and 11 is a winding roll. Figure 3 is a 400-degree enlarged photo showing the surface condition of the fluororesin film that has been sputter-etched as described above.The surface has minute acicular unevenness, and this acicular unevenness improves adhesive strength. greatly contributes to As shown in Comparative Examples 1 and 2, which will be described later, in other plastics, the surface does not become uneven due to sputter etching, and the surface only changes chemically, but in fluororesin films, chemical In addition to the change, there is also the occurrence of acicular unevenness, and this unevenness has a great effect of improving adhesion. In the present invention, in order to provide a thermosetting adhesive layer on the surface of a fluororesin film subjected to sputter etching as described above, the thermosetting resin composition is made into a solution with an appropriate solvent, and this solution is rolled. The coating is applied by a conventional coating method such as coating, reverse coating, knife coating, or globia roll coating, and the coating is heated to volatilize and remove the solvent.

この場合、熱硬化性樹脂塗布層は、未硬化状態、半硬化
状態の何れの状態で設けてもよい。熱硬化性樹脂組成物
には、ェポキシ樹脂、フェノール樹脂等、熱硬化性樹脂
であれば適宜のものを使用できるが、フレキシビリティ
を付与するために、アクリロニトリルブタジェンゴム等
のゴム成分を添加することが好ましい。
In this case, the thermosetting resin coating layer may be provided in either an uncured state or a semi-cured state. For the thermosetting resin composition, any suitable thermosetting resin such as epoxy resin or phenol resin can be used, but in order to impart flexibility, a rubber component such as acrylonitrile butadiene rubber may be added. It is preferable.

また、熱硬化性接着剤の低コスト化、低収縮率化等のた
めに、クレー、夕ルク、炭酸カルシウム、シリカ、炭酸
バリウム等の充填材を添加したり、紙、布、ガラスペー
パー、ガラス繊維布等の積層用基材フィルムやシートを
接着層中に埋入させることもできる。更に、必要に応じ
て、熱安定剤、老化防止剤、硬化促進剤等の添加剤を加
えることもできる。本発明に係る接着剤付き弗素樹脂製
フィルムは、第3図に示すように、微細に凹凸化された
フィルム表面に熱硬化性接着剤を設けたものであり、フ
ィルム表面の凹凸化に加え、スパッタエッチング時に発
生するイオンや電子や極紫外光によるフィルム表面の化
学的変化のために、フィルムと接着剤層との界面接着力
が著しく大である。単なるグロー放電処理では、弗素樹
脂製フィルム表面が凹凸化されないため、上記の秀れた
界面接着力は得られない。即ち本発明によると、放電域
のイオンエネルギーの極めて大なる陰極暗部で、しかも
前述のごとく特定された条件下で放電処理が行なわれる
In order to reduce the cost and shrinkage of thermosetting adhesives, we add fillers such as clay, silica, calcium carbonate, silica, barium carbonate, etc. to paper, cloth, glass paper, and glass. A base film or sheet for lamination such as fiber cloth can also be embedded in the adhesive layer. Furthermore, additives such as heat stabilizers, anti-aging agents, and curing accelerators can be added as necessary. As shown in FIG. 3, the adhesive-attached fluororesin film according to the present invention is a film in which a thermosetting adhesive is applied to a finely textured film surface. Due to chemical changes on the film surface due to ions, electrons, and extreme ultraviolet light generated during sputter etching, the interfacial adhesive force between the film and the adhesive layer is extremely large. A simple glow discharge treatment does not make the surface of the fluororesin film uneven, so the above-mentioned excellent interfacial adhesion cannot be obtained. That is, according to the present invention, the discharge treatment is carried out in the cathode dark region where the ion energy of the discharge region is extremely high, and under the specified conditions as described above.

そしてこの陰極暗部のイオンエネルギーは、プラズマ中
で放電処理を行なう単なるグロー放電のイオンエネルギ
ーに比しては)、10〜100倍程度大である。このた
め弗素樹脂製フィルムの表面に短時間で良好な表面処理
を施すことができ、強接着表面を得ることができるので
ある。更に、本発明フィルムにおける上記の界面接着力
は、既述した化学薬品で弗素樹脂製フィルムの表面を処
理したものよりも秀れており、化学薬品で処理する場合
の既述の難点を総て解消できる。
The ion energy in the dark part of the cathode is about 10 to 100 times greater than the ion energy of a simple glow discharge in which discharge processing is performed in plasma. Therefore, the surface of the fluororesin film can be subjected to a good surface treatment in a short time, and a strong adhesive surface can be obtained. Furthermore, the above-mentioned interfacial adhesion of the film of the present invention is superior to that of a fluororesin film whose surface is treated with the chemicals mentioned above, and overcomes all the difficulties mentioned above when treating with chemicals. It can be resolved.

本発明においては「弗素樹脂製フィルムの両面をスパッ
タエッチング処理し、各処理面に熱硬化性接着剤層を設
けることもできる。以下、本発明の実施例について説明
する。
In the present invention, it is also possible to sputter-etch both sides of a fluororesin film and provide a thermosetting adhesive layer on each treated side.Examples of the present invention will be described below.

実施例 1 厚み0.2肋の切削ポリテトラフルオロェチレンシート
を第1図に示す如き装置にセットし(電極間距離11物
肋)、真空ポンプにより、容器内を1×10‐5Tor
r以下にした後、アルゴンをバルブより導入し、雰囲気
圧を5×10‐汀orrに保持した。
Example 1 A cut polytetrafluoroethylene sheet with a thickness of 0.2 ribs was set in a device as shown in Fig. 1 (distance between electrodes: 11 ribs), and the inside of the container was heated to 1 x 10-5 Torr using a vacuum pump.
After reducing the pressure to below r, argon was introduced through a valve to maintain the atmospheric pressure at 5×10-orr.

次いで、13.5母MH2の高周波電圧を印加し、放電
電力4.0Watt/鮒のもとで3頂砂間スパッタエッ
チング処理し、電源遮断後、容器内にバルブより空気を
入れて常圧に戻した。他方、ビスフェノール型ェポキシ
樹脂(シェル石油化学社製、商品名:ェピコート)10
碇部、カルボキシ変性アクリロニトルーブタヂェンゴム
(日本ゼオン社製、商品名:ニボール1072)30碇
郭並びにメチルエチルケトン400部を6時間燈拝し、
接着剤樹脂溶液を作成した。
Next, a high frequency voltage of 13.5 MH2 was applied, and sputter etching was carried out under a discharge power of 4.0 Watts per carp. After the power was turned off, air was introduced into the container through a valve to bring it to normal pressure. I returned it. On the other hand, bisphenol type epoxy resin (manufactured by Shell Petrochemical Co., Ltd., trade name: Epiquat) 10
Ikaribe, 30 Ikaribe, carboxy-modified acrylonitrobutadiene rubber (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd., trade name: Nibol 1072) and 400 parts of methyl ethyl ketone were lit for 6 hours,
An adhesive resin solution was created.

この樹脂溶液を、上記したポリテトラフルオロェチレン
シートのスパッタエッチング処理面にアプリケーターに
よって塗布し、13000、10分間乾燥して接着剤層
を設けた。
This resin solution was applied to the sputter-etched surface of the polytetrafluoroethylene sheet described above using an applicator, and dried at 13,000°C for 10 minutes to form an adhesive layer.

このようにして得た試料の接着力をJIS−C−210
7に準じて測定するために、試料を、厚さ35レの銅箔
上に接着剤層面において重ね、170qo、50k9/
地の加熱加圧条件で1.5時間プレスし、かくして得ら
れた測定用試料について接着力を測定したところ1.0
k9/抑であった。
The adhesive strength of the sample obtained in this way was determined according to JIS-C-211
7, the sample was placed on a 35-layer copper foil with the adhesive layer side facing up to 170qo, 50k9/
Pressing was carried out for 1.5 hours under normal heating and pressure conditions, and the adhesive strength of the thus obtained measurement sample was measured and found to be 1.0.
It was K9/depression.

実施例 2 厚み0.2肋の切削ポリテトラフルオロェチレンシート
を第1図に示す如き装置にセットし(電極間距離11仇
奴)、真空ポンプを用いて容器内の雰囲気圧を5×10
‐汀orrに保持した。
Example 2 A cut polytetrafluoroethylene sheet with a thickness of 0.2 mm was set in the apparatus shown in Fig. 1 (distance between electrodes 11 mm), and the atmospheric pressure in the container was increased to 5 × 10 mm using a vacuum pump.
-Kept at 汀orr.

次いで、13.5aMHZの高周波電圧を印加し、放電
電力2.0Watt/地のもとで、5の砂間スパッタエ
ッチング処理し、電源を遮断し、容器内にバルフより空
気を入れて常圧に戻した。
Next, a high-frequency voltage of 13.5 aMHZ was applied, and a sand sputter etching process was performed under a discharge power of 2.0 Watt/ground, the power was cut off, and air was introduced into the container from the valve to bring it to normal pressure. I returned it.

他方、ノボラツクーェポキシタイプのェポキシ樹脂(ダ
ゥケミカル社製、商品名:DEN438)10碇部、カ
ルボキシ変性アクルロニトリルーブタジェンゴム(日本
ゼオン社製、商品名:ニポール1072並びにメチルエ
チルケトン300部を6時間縄拝し、接着剤樹脂溶液を
作成した。
On the other hand, 10 parts of Novorazku epoxy type epoxy resin (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd., trade name: DEN438), carboxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd., trade name: Nipole 1072) and 300 parts of methyl ethyl ketone were added. After 6 hours of rope worship, an adhesive resin solution was created.

次いで、実施例1と同様にして、ポリテトラフルオロェ
チレンシートのスパッタエッチング処理面に接着剤層を
設け、更に実施例1と同様にして測定用試験を作成し、
接着力を測定したところ1.1k9/cのであった。
Next, in the same manner as in Example 1, an adhesive layer was provided on the sputter-etched surface of the polytetrafluoroethylene sheet, and a measurement test was created in the same manner as in Example 1,
When the adhesive strength was measured, it was 1.1k9/c.

実施例 3 厚み0.2側のフルオロェチレンプロピレンポリマーの
シートを第1図に示す如き装置にセットし(電極間距離
11仇肋)、真空ポンプにより容器内を1×10‐5T
orr以下にした後、空気をバルブより導入して雰囲気
圧を5×10‐汀orrに保持した。
Example 3 A sheet of fluoroethylene propylene polymer with a thickness of 0.2 was set in the device shown in Figure 1 (distance between electrodes 11 mm), and the inside of the container was heated to 1 x 10-5 T using a vacuum pump.
After the pressure was reduced to below orr, air was introduced through a valve to maintain the atmospheric pressure at 5×10-orr.

次いで、13.58MHZの高周波電圧を印加し、放電
電力3.0Watt/c瀞のもとで4栃砂、間スパッタ
エッチング処理し、電源遮断後、容器内にバルブより空
気を入れて常圧に戻した。他方、エーテルェステルタィ
プのェポキシ樹脂(大日本インキ化学工業社製、商品名
:ェピクロン1030)10戊郡、カリボキシ変性アク
リロニトリルーブタジェンゴム(ニポール1072)4
0戊都、並びにメチルエチルケトンとアセトンとの1:
1の混合溶液750部を6時間櫨拝して接着剤溶液を得
た。
Next, a high frequency voltage of 13.58 MHZ was applied, and sputter etching was performed for 4 hours under a discharge power of 3.0 Watt/c. After the power was turned off, air was introduced into the container through a valve to bring it to normal pressure. I returned it. On the other hand, ether ester type epoxy resin (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, trade name: Epicron 1030) 10, cariboxy-modified acrylonitrile-butadiene rubber (Nipole 1072) 4
0 and 1 with methyl ethyl ketone and acetone:
750 parts of the mixed solution of No. 1 was stirred for 6 hours to obtain an adhesive solution.

次いで、実施例と同様にして、フルオロェチレンプロピ
レンポリマーシートのスパッタエッチング処理面に接着
剤層を設け、更に実施例1と同様にして測定用試料を作
成し、接着力を測定したところ1.0k9/cのであっ
た。
Next, an adhesive layer was provided on the sputter-etched surface of the fluoroethylene propylene polymer sheet in the same manner as in Example 1, and a measurement sample was prepared in the same manner as in Example 1, and the adhesive strength was measured.1. It was 0k9/c.

実施例 4 実施例1における放電電力4.0Watt/地並びに処
理時間30秒の代りにそれぞれ、放電電力0.1Wat
t/洲並びに20分を使用した以外、他の条件を全て実
施例1と同様にした。
Example 4 Instead of the discharge power of 4.0 Watt/ground and the processing time of 30 seconds in Example 1, the discharge power was 0.1 Watt.
All other conditions were the same as in Example 1, except that 20 minutes and 20 minutes were used.

本実施例品につき実施例1と同機にして、JIS−C−
2107に準じ接着力を測定したところ1.05k9/
肌であった。
Regarding this example product, the same machine as Example 1 was used, and JIS-C-
When the adhesive strength was measured according to 2107, it was 1.05k9/
It was the skin.

上託した実施例1〜4の何れにおいても、第3図に示す
ような微細な針状凹凸の発生が競られた。
In all of Examples 1 to 4 submitted, the generation of fine needle-like irregularities as shown in FIG. 3 was competed.

本発明における弗素樹脂製フィルムについての特有の効
果(上記した微細な針状凹凸化)を明らかにするため、
ポリエチレンフィルム並びに塩化ビニルフィルム(何れ
もフィルム厚みは0.2側)について、上記実施例1〜
4と同じ条件でスパッタエッチング処理を行った。
In order to clarify the unique effect of the fluororesin film in the present invention (the above-mentioned fine acicular unevenness),
Regarding polyethylene film and vinyl chloride film (both film thickness is on the 0.2 side), the above Examples 1 to
Sputter etching treatment was performed under the same conditions as in 4.

しかしながら、実施例1、2並びに3の条件では、何れ
のフィルムも高温度のために溶融してしまいスパッタエ
ッチング処理は不可能であった。
However, under the conditions of Examples 1, 2, and 3, all of the films melted due to the high temperature, making sputter etching impossible.

実施例4の条件では、ポリエチレンフィルム、塩化ビニ
ルフィルムを処理できたが、表面の凹凸化は観られなか
った。比較例 1 厚み0.2側のポリエチレンフィルムを実施例4と同じ
条件でスパッタエッチング処理した。
Under the conditions of Example 4, polyethylene film and vinyl chloride film could be treated, but no surface roughness was observed. Comparative Example 1 A polyethylene film with a thickness of 0.2 was subjected to sputter etching under the same conditions as in Example 4.

すなわち、厚み0.2脚のポリエチレンフィルムを第1
図に示す如き装置にセットし(電極間距離110側)、
容器内を1×10‐5Ton以下にした後、アルゴンを
バルブより導入し、雰囲気圧を5×10‐汀orrに保
持した。
That is, a polyethylene film with a thickness of 0.2
Set it in the device as shown in the figure (electrode distance 110 side),
After the pressure inside the container was reduced to 1×10 −5 Ton or less, argon was introduced through a valve to maintain the atmospheric pressure at 5×10 −5 orr.

次いで、13.58MHZの高周波電圧を印加し、放電
電力0.1Watt/嫌のもとで20分間スパッタエッ
チング処理し、電源遮断後、容器内にバルブより空気を
入れて常圧に戻した。
Next, a high frequency voltage of 13.58 MHZ was applied, and sputter etching was performed for 20 minutes at a discharge power of 0.1 Watt/h, and after the power was cut off, air was introduced into the container through a valve to return to normal pressure.

この比較例の処理面の状態は第5図A(4,00川音拡
大写真)の通りであり、凹凸化の発生は観られなかった
。比較例 2 比較例1のポリエチレンフィルムに代え塩化ビニルフイ
ルムを使用した以外、比較例1に同じとした。
The condition of the treated surface of this comparative example was as shown in FIG. 5A (enlarged photograph at 4,000 yen), and no unevenness was observed. Comparative Example 2 Same as Comparative Example 1 except that a vinyl chloride film was used instead of the polyethylene film of Comparative Example 1.

この比較例の処理面の状態は第5図B(4,00M音拡
大写真)の通りであり、凹凸化の発生は親られなかった
。上記の比較例1並びに2と実施例4との比較から、本
発明におけるスパッタエッチング処理による弗素樹脂製
フィルムの針状凹凸化とそれに伴う顕著な接着性向上効
果は弗素樹脂製フィルム個有の効果であることが明らか
である。
The condition of the treated surface of this comparative example was as shown in FIG. 5B (4,00M sound magnification photograph), and no unevenness was observed. From the comparison of Comparative Examples 1 and 2 and Example 4 above, it can be seen that the sputter etching process of the present invention causes the fluororesin film to become acicularly uneven, and the accompanying remarkable adhesion improvement effect is due to the unique effects of the fluororesin film. It is clear that

次に、通常のグロー放電処理(プラズマ域での放電処理
)の場合では、電力量を増大しても接着力を増大できな
いことが次の比較例3から明らかである。
Next, it is clear from Comparative Example 3 below that in the case of normal glow discharge treatment (discharge treatment in a plasma region), the adhesive force cannot be increased even if the amount of electric power is increased.

比較例 3 電極間距離160側の電極を減圧容器内に設けたグロー
放電処理装置の電極内のほぼ中央に実施例1で使用した
厚み0.2肌の切削ポリテトラフルオロェチレンシート
を置き、容器内を水蒸気のガス雰囲気で0.01Ton
に保持し、周波数60世、放電電圧7KV、放電電流2
0MAの放電条件で3硯砂間放電した。
Comparative Example 3 A cut polytetrafluoroethylene sheet with a thickness of 0.2 skin used in Example 1 was placed approximately in the center of the electrode of a glow discharge treatment device in which the electrode on the side with an interelectrode distance of 160 was provided in a reduced pressure container, 0.01Ton in a water vapor gas atmosphere inside the container
The frequency is 60, the discharge voltage is 7KV, and the discharge current is 2.
Discharge was performed between three inkstone sands under the discharge condition of 0MA.

この放電の電力量は、実施例1〜4で使用した電力量(
100〜120Watt/地×Sec)とほぼ同等のも
のであった。この処理によるシートの表面状態は第4図
の通りであり、第3図の場合の針状凹凸面とは異なり、
や)相面化された程度であつた(第4図も第3図と同じ
拡大倍率である)。この処理シートに実施例1の場合と
同様に接着剤層を設け、更に接着力を測定したところ0
.2k9/肌にすぎず(実施例1の場合は既述した通り
1.0k9/伽)。
The electric energy of this discharge is the electric energy used in Examples 1 to 4 (
100 to 120 Watt/ground x Sec). The surface condition of the sheet after this treatment is as shown in Figure 4, and unlike the needle-like uneven surface in the case of Figure 3,
) (Figure 4 has the same magnification as Figure 3). An adhesive layer was provided on this treated sheet in the same manner as in Example 1, and the adhesive strength was measured to be 0.
.. It is only 2k9/skin (in the case of Example 1, it is 1.0k9/skin as described above).

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図並びに第2図は本発明フィルムにおける表面処理
に使用するスパッタエッチング装置を示す説明図、第3
図は本発明フィルムにおけるスパッタエッチング処理面
を示す顕微鏡写真、第4図はフッ化オレフィン重合体シ
ートを通常のグロ−放電によって処理して得られる表面
状態を示す顕微鏡写真、第5図A並びに第5図Bはそれ
ぞれ比較例1並びに2によって処理して得られた表面状
態を示す顕微鏡写真である。 図において、4並びに9は電極、5並びに51はフィル
ムである。 アノ図 〆2図 73図 オ4四 オタ図A カタ図B
Figures 1 and 2 are explanatory diagrams showing a sputter etching apparatus used for surface treatment of the film of the present invention;
The figure is a photomicrograph showing the sputter-etched surface of the film of the present invention, FIG. 4 is a photomicrograph showing the surface condition obtained by treating a fluorinated olefin polymer sheet by ordinary glow discharge, and FIGS. FIG. 5B is a micrograph showing the surface condition obtained by processing in Comparative Examples 1 and 2, respectively. In the figure, 4 and 9 are electrodes, and 5 and 51 are films. Anno diagram〆2 figure 73 figure O44 Ota diagram A Kata diagram B

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 弗素樹脂製フイルムの表面を雰囲気圧0.0005
〜0.5Torrの条件下でスパツタエツチング処理し
て微細な針状凹凸を形成させ、該処理面に熱硬化性接着
剤層を設けたことを特徴とする接着剤付き弗素樹脂製フ
イルム。 2 スパツタエツチング処理の放電電力が0.1〜10
Watt/cm^2であることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の接着剤付き弗素樹脂製フイルム。 3 スパツタエツチング処理の放電電力と処理時間との
積が5watt・Sec/cm^2以上であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の接着剤付き弗素樹
脂製フイルム。 4 スパツタエツチング処理の放電電力と処理時間との
積が10Watt・Sec/cm^2〜300Watt
・Sec/cm^2であることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の接着剤付き弗素樹脂製フイルム。
[Claims] 1. The surface of the fluororesin film is subjected to an atmospheric pressure of 0.0005
An adhesive-backed fluororesin film characterized in that it is sputter-etched under conditions of ~0.5 Torr to form fine acicular irregularities, and a thermosetting adhesive layer is provided on the treated surface. 2 Discharge power of sputter etching treatment is 0.1 to 10
Watt/cm^2. The adhesive-backed fluororesin film according to claim 1, characterized in that the adhesive is 3. The adhesive-backed fluororesin film according to claim 1, wherein the product of discharge power and processing time in the sputter etching process is 5 watt·Sec/cm^2 or more. 4 The product of discharge power and processing time for sputter etching treatment is 10Watt・Sec/cm^2~300Watt
- The adhesive-backed fluororesin film according to claim 1, characterized in that the adhesive is Sec/cm^2.
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