JPS6029385Y2 - XY moving table - Google Patents
XY moving tableInfo
- Publication number
- JPS6029385Y2 JPS6029385Y2 JP1289980U JP1289980U JPS6029385Y2 JP S6029385 Y2 JPS6029385 Y2 JP S6029385Y2 JP 1289980 U JP1289980 U JP 1289980U JP 1289980 U JP1289980 U JP 1289980U JP S6029385 Y2 JPS6029385 Y2 JP S6029385Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed screw
- nut
- base
- guide surfaces
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Machine Tool Units (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、ベース上に設けられた下テーブルと、この
下テーブル上に設けられた上テーブルを有し、この2つ
のテーブルが互いに直角な方向に夫々送りねじによって
移動可能とされているXY移動テーブルであって、上テ
ーブルを移動させる送りねじがベースに支承され、この
送りねじに螺合するナツトと上テーブル間に自由度を持
った接続機構を介在させて送りねじの回転変位に対応し
た正確な上テーブルの移動を可能としたXY移動テーブ
ルに関する。[Detailed description of the invention] This invention has a lower table provided on the base and an upper table provided on the lower table, and these two tables are moved by feed screws in directions perpendicular to each other. This is an XY moving table that is capable of moving the upper table, and the feed screw that moves the upper table is supported by the base, and a connection mechanism with a degree of freedom is interposed between the nut screwed onto the feed screw and the upper table. The present invention relates to an XY moving table that enables accurate movement of an upper table corresponding to the rotational displacement of a screw.
ベースに設けられた第1の案内手段に支承され一方向に
移動可能とされている下テーブルと、この下テーブル上
に設けられた第2の案内手段により下テーブルの移動方
向と直角な方向に移動可能とされた上テーブルを有し、
前記夫々のテーブルが送りねじによって移動されるよう
にしたXY移動テーブルは、一般に下テーブルを移動さ
せる送りねじをベースに支承し、上テーブルを移動させ
る送りねじを下テーブルに支承するものとなっているが
、この形式スY移動テーブルは、上テーブルを駆動する
動力源であるモータ等がテーブルに取付けられるもので
あるため、下テーブルの重量が大きくなり、下テーブル
の慣性が大となる結果下テーブルを高速移動させること
が困難となるという欠点があった。A lower table supported by a first guiding means provided on the base and movable in one direction, and a second guiding means provided on the lower table move in a direction perpendicular to the moving direction of the lower table. It has a movable upper table,
The XY moving table in which the respective tables are moved by feed screws generally has a feed screw that moves the lower table supported on the base, and a feed screw that moves the upper table supported on the lower table. However, in this type of Y-moving table, the motor, which is the power source for driving the upper table, is attached to the table, so the weight of the lower table increases and the inertia of the lower table increases. There was a drawback that it was difficult to move the table at high speed.
また、下テーブルにモータを取付けたものでは、モータ
から発生する振動によりテーブルが振動しモータを停止
させてもすぐにテーブルが安定化しないという欠点があ
った。Further, in the case where the motor is attached to the lower table, there is a drawback that the table vibrates due to vibrations generated by the motor, and the table does not stabilize immediately even if the motor is stopped.
この様な欠点を解消したXY移動テーブルとしては、上
テーブルを移動させる送りねじをベースに支承し、この
送りねじに螺合させた滑動ブロックに一対のガイドロー
ラを設け、上テーブルの移動方向の一端を折曲してガイ
ドローラーにより挾持してなるXY移動テーブルが公知
である。An XY moving table that eliminates these drawbacks has a feed screw that moves the upper table supported on the base, and a pair of guide rollers installed on a sliding block screwed onto the feed screw to control the direction of movement of the upper table. An XY moving table is known that has one end bent and held between guide rollers.
しかし、このXY移動テーブルは、滑動ブロックを用い
ているため、送りねじの偏心または送りねじを支承する
部分等に偏心が存在するとナツトに振れが生じ、滑動ブ
ロックの滑動面に加わる面圧が変化するので滑動ブロッ
クの摺動抵抗が変化し、テーブルの正確な位置決めが困
難となるという欠点があった。However, since this XY moving table uses a sliding block, if there is eccentricity in the feed screw or in the part that supports the feed screw, the nut will run out, and the surface pressure applied to the sliding surface of the sliding block will change. Therefore, the sliding resistance of the sliding block changes, making it difficult to accurately position the table.
この考案は、従来のXY移動テーブルがもつ前記欠点に
着目してなされたもので、その目的とするところは、テ
ーブルの高速動作が可能で、送りねじの偏心または送り
ねじを支承する部分等に若干の偏心が存在してもテーブ
ルの正確な位置決めが可能なXY移動テーブルを提供す
るにある。This idea was created by focusing on the above-mentioned drawbacks of the conventional XY moving table, and its purpose is to enable high-speed movement of the table and prevent eccentricity of the feed screw or the part that supports the feed screw. To provide an XY moving table capable of accurately positioning the table even if there is some eccentricity.
この目的を遠戚するため、この考案は、上テーブルを移
動させる送りねじをベースに支承し、この送りねじの軸
方向と直交する一対の案内面をナツトまたは上テーブル
のいずれか一方の部材に設け、この案内面に係合するロ
ーラを両端部に有するアームを他方の部材に揺動自在に
取付けた第1の接続部と、送りねじの軸方向と平行な一
対の案内面をナツトま゛たはベースのいずれか一方の部
材に設け、この案内面に係合するローラを両端部に有す
るアームを他方の部材に揺動自在に取付けた第2の接続
部を設け、夫々のアームの弾性変形により前記夫々の案
内面を夫々2つのローラにて予圧して送りねじの回転に
対応した正確な上テーブルの位置決めを可能としたもの
である。To achieve this objective distantly, this invention supports a feed screw that moves the upper table on a base, and attaches a pair of guide surfaces perpendicular to the axial direction of the feed screw to either the nut or the upper table. A first connecting part in which an arm having rollers at both ends that engage with this guide surface is swingably attached to the other member, and a pair of guide surfaces parallel to the axial direction of the feed screw are connected to a nut or A second connecting part is provided on either the base or the base member, and an arm having rollers at both ends that engage with this guide surface is swingably attached to the other member, and the elasticity of each arm is Due to the deformation, each of the guide surfaces is preloaded by two rollers, thereby making it possible to accurately position the upper table in accordance with the rotation of the feed screw.
次にこの考案に係る実施例を図面により説明する。Next, embodiments of this invention will be described with reference to the drawings.
下テーブル1は、ベース2に設けられた2組の第1の案
内手段3に支承された一方向に移動可能となっている。The lower table 1 is supported by two sets of first guide means 3 provided on a base 2 and is movable in one direction.
この第1の案内手段3は、2つの案内ブロック4,5間
に軸線の向きを交互に直角方向に変えたころ6が配され
たクロスローラ直動案内が用いられているが他の形式の
案内手段であっても良い。This first guide means 3 uses a cross roller linear motion guide in which rollers 6 whose axis directions are alternately changed at right angles are arranged between two guide blocks 4 and 5, but other types of guides are used. It may also be a guide means.
上テーブル7は、下テーブル1に設けられた2組の第2
の案内手段8に支承され下テーブル1の移動方向に対し
て直角な方向に移動可能とされている。The upper table 7 has two sets of second
The lower table 1 is supported by a guide means 8 and is movable in a direction perpendicular to the direction of movement of the lower table 1.
この第2の案内手段8は、2つの案内ブロック9,10
間に軸線の向きを交互に直角方向に変えたころ11が配
されたクロスローラ直動案内が用いられているが他の形
式の案内手段であっても良い。This second guide means 8 comprises two guide blocks 9, 10
A cross-roller linear motion guide is used in which rollers 11 whose axes are alternately oriented at right angles are disposed therebetween, but other types of guide means may be used.
送りねじ12は、軸線が上テーブル7の移動方向と平行
とされ軸受13とブラケット14に嵌合した2つの軸受
15,16により回転自在に支承されている。The feed screw 12 has an axis parallel to the moving direction of the upper table 7, and is rotatably supported by two bearings 15 and 16 fitted into a bearing 13 and a bracket 14.
送りねじ12の端部には、カップリング17が取付けら
れ、ブラケット14に間座18を介して取付けられたモ
ータ19の軸は、このカップリング17により送りねじ
12と結合されている。A coupling 17 is attached to the end of the feed screw 12, and the shaft of a motor 19, which is attached to the bracket 14 via a spacer 18, is coupled to the feed screw 12 through the coupling 17.
ナツト20は、送りねじ12に螺合し、送りねじ12の
回転により送りねじ12の軸方向に移動可能となってい
る。The nut 20 is screwed onto the feed screw 12 and is movable in the axial direction of the feed screw 12 as the feed screw 12 rotates.
上テーブル7とナツト20の間には、ナツト20の変位
を上テーブル7に確実に伝達するための第1の接続部が
設けられ、ナツト20とベース2の間には、ナツト20
が送りねじ12に対して回転するのを阻止する第2の接
続部が設けられている。A first connection part is provided between the upper table 7 and the nut 20 for reliably transmitting the displacement of the nut 20 to the upper table 7, and a first connection part is provided between the nut 20 and the base 2.
A second connection is provided which prevents rotation of the lead screw 12 relative to the lead screw 12.
この第1の接続部は、互いに平行且対向し背中合せとな
った案内面21.22を有するレール23をその案内面
が送りねじ12の軸線と直行するように上テーブル7に
ボルト24により固着し、ナツト20の上面に案内面2
1.22の夫々に対応し送りねじ12の軸線方向に離間
した支軸25.26を固着し、この支軸25に案内面2
1に係合する回転自在なローラ27を両端部に有するア
ーム28を揺動自在に嵌合させ、支軸26に案内面22
に係合する回転自在なローラ29を両端部に有するアー
ム30を揺動自在に嵌合させ、前記ローラの対27及び
29が各々反対方向から案内面21.22に圧接された
構成とされている。In this first connection, a rail 23 having guide surfaces 21 and 22 that are parallel and opposite to each other and back to back is fixed to the upper table 7 with bolts 24 so that the guide surfaces are perpendicular to the axis of the feed screw 12. , the guide surface 2 is on the top surface of the nut 20.
1. Support shafts 25 and 26 spaced apart in the axial direction of the feed screw 12 are fixed to each other, and the guide surface 2 is attached to the support shafts 25.
An arm 28 having a rotatable roller 27 at both ends that engages with the guide surface 22 is fitted in a swingable manner to the support shaft 26.
An arm 30 having rotatable rollers 29 at both ends that engage with the arm 30 is fitted in a swingable manner, and the pair of rollers 27 and 29 are pressed against the guide surfaces 21 and 22 from opposite directions. There is.
支軸25の中心と支軸26の中心間距離から、支軸25
の中心からローラ27が案内面21に接する側の2つの
ローラ27の共通接線までの自由状態における距離と、
支軸26の中心からローラ29が案内面22に接する側
の2つのローラ29の共通接線までの自由状態における
距離を差し引いた寸法は、レール23の案内面21.2
2間の幅寸法より小さく選ばれているのでレール23は
、アーム28.30を弾性変形させ、対向するローラ2
7,29の間隔を押し広げた状態としてローラ27,2
9の間に組付けられる。From the distance between the center of the support shaft 25 and the center of the support shaft 26, the support shaft 25
the distance in a free state from the center of the roller to the common tangent of the two rollers 27 on the side where the roller 27 contacts the guide surface 21
The dimension obtained by subtracting the distance in the free state from the center of the support shaft 26 to the common tangent line of the two rollers 29 on the side where the roller 29 contacts the guide surface 22 is the guide surface 21.2 of the rail 23.
2, the rail 23 elastically deforms the arms 28, 30 and the opposite roller 2.
The rollers 27 and 2 are in a state where the distance between them is expanded.
It is assembled between 9 and 9.
このためローラ27,29は、アーム28.30の弾性
変形によって案内面21.22に常に予圧された状態で
係合されている。For this purpose, the rollers 27, 29 are always engaged in a prestressed state on the guide surface 21.22 due to the elastic deformation of the arms 28.30.
アーム28.30には、ローラ27,39を案内面21
.22に適当な予圧で係合させるため切欠31または3
2が設けられているが、適当な弾性を得る他の手段とし
ても良い。The arms 28 and 30 have rollers 27 and 39 on the guide surface 21.
.. 22 with an appropriate preload, a notch 31 or 3 is provided.
2 is provided, but other means for obtaining appropriate elasticity may be used.
第2の接続部は、互いに平行且対向し背中合せとなった
案内面33.34を有するキー35をその案内面が送り
ねじ12の軸線と平行するようにベース2にボルト36
により固着し、ナツト20の下面に案内面33.34の
夫々に対応し送りねじ12の軸線方向と直交する方向に
離間した支軸37.38を固着し、この支軸37に案内
面33に係合する回転自在なローラ39を両端部に有す
るアーム40を揺動自在に嵌合させ、支軸38に案内面
34に係合する回転自在なローラ41を両端部に有する
アーム42を揺動自在に嵌合させ、前記ローラの対39
及び41が各々反対方向から案内面33.34に圧接さ
れた構成とされている。The second connection connects the key 35 with the bolt 36 to the base 2 in such a way that the guide surfaces 33 and 34 are parallel and opposite to each other and back to back.
Support shafts 37 and 38 that correspond to the guide surfaces 33 and 34 and are spaced apart in a direction perpendicular to the axial direction of the feed screw 12 are fixed to the lower surface of the nut 20. An arm 40 having rotatable rollers 39 at both ends to be engaged is fitted in a swingable manner, and an arm 42 having rotatable rollers 41 at both ends to engage with the guide surface 34 is rocked to the support shaft 38. The pair of rollers 39 are freely fitted together.
and 41 are pressed against the guide surfaces 33 and 34 from opposite directions.
支軸37の中心と支軸38の中心間距離から、支軸37
の中心からローラ39が案内面33に接する側の2つの
ローラ29の共通接線までの自由状態における距離と、
支軸38の中心からローラ41が案内面34に接する側
の2つのローラ41の共通接線までの自由状態における
距離を差し引いた寸法は、前記第1の接続部と同様とさ
れている。From the distance between the centers of the support shaft 37 and the center of the support shaft 38, the support shaft 37
the distance in a free state from the center of the roller to the common tangent of the two rollers 29 on the side where the roller 39 contacts the guide surface 33;
The dimension obtained by subtracting the distance in the free state from the center of the support shaft 38 to the common tangent line of the two rollers 41 on the side where the roller 41 contacts the guide surface 34 is the same as that of the first connection portion.
このためローラ39,41は、アーム40゜42の弾性
変形によって案内面33.34に常に予圧された状態で
係合されている。For this reason, the rollers 39, 41 are always engaged in a prestressed state with the guide surfaces 33, 34 due to the elastic deformation of the arms 40.42.
アーム40.42には、アーム40.42に適当な弾性
を持たせるための切欠43または44が設けられている
。The arm 40.42 is provided with a notch 43 or 44 to give the arm 40.42 appropriate elasticity.
下テーブル1を駆動するモータ45は、ベース2に固着
されている所のみが示しである。The motor 45 that drives the lower table 1 is only shown as being fixed to the base 2.
以上の様に構成したこの考案のXY移動テーブルは、上
テーブル7を駆動するモータ19をベース2に固着した
構造としたので、下テーブル1に上テーブル7を駆動す
る機構を設ける必要がなく、下テーブル1の慣性が大き
くならないので下テーブル1の作動の高速化が可能であ
り、また、モータ19がベース2に支持されているので
、モータの振動によりテーブルが振動してテーブルの安
定時間が多くなるということが少いXY移動テーブルを
得ることができ、送りねじ12の軸線と直交する方向に
自由度を持たせた第1の接続部をナツト20と上テーブ
ル7の間に設け、送りねじ12の軸線と平行な方向に自
由度を持たせた第2の接続部をナツト20とベース2の
間に設けた構成とし、前記夫々の接続部は、予圧された
ローラによる係合としたので、ナツトに若干の振れがあ
ってもテーブルの位置決め精度が阻害されることが少く
正確な位置決めが可能なXY移動テーブルが得られると
いう効果を有する。The XY moving table of this invention constructed as described above has a structure in which the motor 19 that drives the upper table 7 is fixed to the base 2, so there is no need to provide the lower table 1 with a mechanism that drives the upper table 7. Since the inertia of the lower table 1 does not increase, the operation of the lower table 1 can be made faster. Also, since the motor 19 is supported by the base 2, the table will vibrate due to the vibration of the motor, and the stabilization time of the table will be reduced. It is possible to obtain an XY moving table that does not increase the number of XY moving tables. A second connection part having a degree of freedom in a direction parallel to the axis of the screw 12 is provided between the nut 20 and the base 2, and each of the connection parts is engaged by a preloaded roller. Therefore, even if there is slight wobbling of the nut, the positioning accuracy of the table is less likely to be hindered, and an XY moving table capable of accurate positioning can be obtained.
さらに、接続部の案内面に係合するローラをアームの両
端部に設ける構成としたので、係合部の剛性が大きく、
また、ローラに加える予圧力は、アームを両持梁とする
弾性変形を利用したので、ばね定数を小さく出来、製作
時の加工誤差による予圧力の変動が小さいので均一な製
品を容易に製造出来るという効果を有する。Furthermore, since rollers that engage with the guide surfaces of the connecting parts are provided at both ends of the arm, the rigidity of the engaging parts is high.
In addition, since the preload force applied to the roller utilizes elastic deformation using the arms as double-supported beams, the spring constant can be reduced, and fluctuations in the preload force due to processing errors during manufacturing are small, making it possible to easily manufacture uniform products. It has this effect.
この実施例では、上テーブル7の側に案内面21.22
を設け、ナツト20の側に支軸25,26を設けた第1
の接続部と、ベース2の側に案内面33.34を設け、
ナツト20の側に支軸37.38を設けた第2の接続部
を有するものを示したが、第1の接続部は、上テーブル
7の側に支軸25.26を設け、ナツト20の側に案内
面21.22を設ける構成としても良く、また、第2の
接続部は、ベース2の側に支軸37.38を設け、ナツ
ト20の側に案内面33.34を設ける構成としてもい
ずれも同様の作用効果が得られるものである。In this embodiment, a guide surface 21.22 is provided on the side of the upper table 7.
, and the support shafts 25 and 26 are provided on the side of the nut 20.
and a guide surface 33, 34 is provided on the side of the base 2,
Although the second connection section is shown in which the support shafts 37 and 38 are provided on the side of the nut 20, the first connection section is provided with support shafts 25 and 26 on the side of the upper table 7, and the support shafts 37 and 38 are provided on the side of the nut 20. The second connecting portion may have a support shaft 37.38 on the base 2 side and a guide surface 33.34 on the nut 20 side. The same effects can be obtained in both cases.
第1図はこの考案のXY移動テーブルの一実施例を示す
正面図、第2図は、第1図の右側面図、第3図は、第1
図のA−A線断面図、第4図は、第1図のB−B線断面
図である。
1・・・・・・下テーブル、2・・・・・・ベース、7
・・・・・・上テーブル、12・・・・・・送りねじ、
20・・・・・・ナツト、21.22,33.34・・
・・・・案内面、25.26゜37.38・・・・・・
支軸、27,29,39.41・・・・・・ローラ、2
8,30,40,42・・・・・・アーム。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the XY moving table of this invention, FIG. 2 is a right side view of FIG. 1, and FIG.
4 is a sectional view taken along line AA in the figure, and FIG. 4 is a sectional view taken along line BB in FIG. 1...Lower table, 2...Base, 7
...Top table, 12...Feed screw,
20... Natsu, 21.22, 33.34...
...Guidance surface, 25.26°37.38...
Support shaft, 27, 29, 39.41...Roller, 2
8, 30, 40, 42...Arm.
Claims (1)
向に移動可能とされた下テーブル1と、該下テーブル1
に設けられた第2の案内手段8に支承され前記下テーブ
ル1の移動方向と直角な方向に移動可能とされた上テー
ブル7と、該上テーブル7の移動方向と平行にベース2
に回転自在に支承された送りねじ12と、該送りねじに
螺合するナツト20と、該ナツト20と前記上テーブル
7間に設けられた第1の接続部と、前記ナツト20と前
記ベース2間に設けられた第2の接続部を具え、前記第
1の接続部は、前記ナツト20または上テーブル7のい
ずれか一方の部材に設けられ前記送りねじ12の軸線に
直交し互いに平行且対向し背中合せとなった一対の案内
面21.22と、該案内面21.22の夫々に対応させ
前記ナツト20または上テーブル7の他方の部材に前記
送りねじ12の軸方向に互いに離間させて固着した2つ
の支軸25.26と、該支軸の夫々に揺動自在に嵌合し
前記案内面21.22の夫々に係合する回転自在なロー
ラ27,29を両端部に有する2つのアーム28.30
とを具え、前記第2の接続部は、前記ナツト20または
ベース2のいずれか一方の部材に設けられ前記送りねじ
12の軸線と平行で互いに平行且対向し背中合せとなっ
た一対の案内面33.34と該案内面33.34の夫々
に対応させ前記ナツト20またはベース2の他方の部材
に前記送りねじ12の軸方向と直交する方向に離間させ
て固着した2つの支軸37,38と、該支軸の夫々に揺
動自在に嵌合し前記案内面33,34の夫々に係合する
回転自在なローラ39.41を両端部に有する2つのア
ーム40゜42とを具えてなり、前記アーム28,30
,40.42の弾性変形により前記ローラの対27゜2
9及び39,41が各々反対方向から前記案内面21,
22,33.34に圧接されていることを特徴とするX
Y移動テーブル。a lower table 1 supported by a first guide means 3 provided on a base 2 and movable in one direction;
an upper table 7 supported by a second guide means 8 provided at the base 2 and movable in a direction perpendicular to the moving direction of the lower table 1;
A feed screw 12 rotatably supported by a feed screw 12, a nut 20 screwed onto the feed screw, a first connecting portion provided between the nut 20 and the upper table 7, and a first connecting portion between the nut 20 and the base 2. The first connecting portion is provided on either the nut 20 or the upper table 7 and is perpendicular to the axis of the feed screw 12 and parallel and opposite to each other. A pair of guide surfaces 21.22 are placed back to back, and a pair of guide surfaces 21.22 is fixed to the nut 20 or the other member of the upper table 7 at a distance from each other in the axial direction of the feed screw 12 in correspondence with each of the guide surfaces 21.22. and two arms having rotatable rollers 27 and 29 at both ends, which are swingably fitted into the respective support shafts and engaged with the guide surfaces 21 and 22, respectively. 28.30
The second connecting portion includes a pair of guide surfaces 33 that are provided on either the nut 20 or the base 2 and are parallel to the axis of the feed screw 12 and are parallel and opposite to each other, back to back. .34 and two support shafts 37 and 38 which correspond to the guide surfaces 33 and 34 and are fixed to the nut 20 or the other member of the base 2 in a spaced manner in a direction orthogonal to the axial direction of the feed screw 12; , two arms 40 and 42 having rotatable rollers 39 and 41 at both ends, which are swingably fitted to each of the support shafts and engaged with each of the guide surfaces 33 and 34, The arms 28, 30
, 40. Due to the elastic deformation of 42, the pair of rollers 27°2
9, 39, and 41 respectively approach the guide surface 21 from opposite directions.
22, 33, and 34.
Y moving table.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1289980U JPS6029385Y2 (en) | 1980-02-06 | 1980-02-06 | XY moving table |
US06/216,259 US4372223A (en) | 1979-12-20 | 1980-12-15 | Moving table assembly |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1289980U JPS6029385Y2 (en) | 1980-02-06 | 1980-02-06 | XY moving table |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPS56116125U JPS56116125U (en) | 1981-09-05 |
JPS6029385Y2 true JPS6029385Y2 (en) | 1985-09-05 |
Family
ID=29609451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1289980U Expired JPS6029385Y2 (en) | 1979-12-20 | 1980-02-06 | XY moving table |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPS6029385Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5971812A (en) * | 1982-10-19 | 1984-04-23 | 松下電器産業株式会社 | Sliding table |
-
1980
- 1980-02-06 JP JP1289980U patent/JPS6029385Y2/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS56116125U (en) | 1981-09-05 |
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