JPS6027429U - ウェ−ファスライス装置 - Google Patents

ウェ−ファスライス装置

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JPS6027429U
JPS6027429U JP12039583U JP12039583U JPS6027429U JP S6027429 U JPS6027429 U JP S6027429U JP 12039583 U JP12039583 U JP 12039583U JP 12039583 U JP12039583 U JP 12039583U JP S6027429 U JPS6027429 U JP S6027429U
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JP
Japan
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wafer slicing
slicing equipment
wafer
silicon ingot
equipment
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Pending
Application number
JP12039583U
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English (en)
Inventor
水上　昇
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のスライス装置を示す断面図で、１はカー
ボンプレート、２は接着剤、３はシリコンウェーハ、４
はブレードソーの刃、５はウェーハ押えゴム板、６は固
定用ブロックである。 第２図は本考案の一実施例によるスライス装置を示す断
面図で、１〜４は第１図と同じ、５′はウェーハモレ止
押え治具、６は固定ブロックである。 第３図はプレ止め押え治具を示す斜視図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. シリコンインゴットのスライス時にあらかじめシリコン
    ゴツト上部にウエーファプレ止め押え治具を取り付けた
    ことを特徴としたウエーファスライス装置。
JP12039583U 1983-08-02 1983-08-02 ウェ−ファスライス装置 Pending JPS6027429U (ja)

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JP12039583U JPS6027429U (ja) 1983-08-02 1983-08-02 ウェ−ファスライス装置

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JP12039583U JPS6027429U (ja) 1983-08-02 1983-08-02 ウェ−ファスライス装置

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JPS6027429U true JPS6027429U (ja) 1985-02-25

Family

ID=30275950

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JP12039583U Pending JPS6027429U (ja) 1983-08-02 1983-08-02 ウェ−ファスライス装置

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