JPS60262011A - 変位変換器及び変位変換方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は１機構の位置の変化を検出し、検出された位
置の変化を示す電気信号を提供する装置に関する。

位置の変化を示す電気信号を提供する従来からの１つの
手段として一形電位差計を用いることがある。しかし、
電位差計は豆炭抵抗ワイヤまたは帯材に対するワイパの
ような可動接点の校正において高い精度を必要とすると
いう不利な点をもっている。小型であることが要求され
る場合、小体積の単位完成品において高い精度をもって
長い行程の運−を検出する能力をもつ抵価格の電位差計
を提供することは極めて困難であった。さらに精度また
は゛識別性の低下及び接点の摩耗によって生じた校正ず
れの問題を避けるために、ワイパ接点金すべて無くすこ
とが望まれていた。この発明は予め定めた電気信号が印
加される回路内に配設されたコイル中を流れる電流によ
って発生された磁界の磁力線を切るように配置された金
属製可動部材に応答する電気信号を提供するために、無
接点電磁現象を利用する。装置に関すする。可動部材は
、コイルの磁界を受けるとき、（その中に発生した５ず
電流をもち、１このうず電）流はコイルのインダクタン
ス、従ってコイルの誘導リアクタンス、従ってコイル回
路のインピーダンスに影響する。コイルに′Ｎする可動
部材の位置の変化は、コイル回路インピーダンスの変化
管検出する回路を設けることによって検出される。コイ
ル回路インピーダンスの変化は１次にインピーダンス変
化を示す電気信号を発生することに用いられ、これによ
って可動部材の位置の変化を表示する。このような装置
は１．、当業界では公知でありかつしばしばうず電流ま
たは位相ずれ検出器と称される。

既知の５ず電流また、は位相ずれ検出器の１例−は、米
国特許第４，１１２，３６５号に開示されている。

この米国特許第４，１１２，３６５号において、位置検
出システムにおいて、可動部材は検出コイルの外方に隣
接して位置し、コイルに対して移動する。

コイル回路に電位差を印加し、または回路を励起する上
記の従来技術は、基準となり、また共振を起し得るコイ
ル回路を励起す、ゐサイクル信号を提供するための発振
器を使用する。コイルに隣接する可動部材の位置によっ
て影響される共振回路の電圧は、可動部材の位置による
位相ずれを決定するために基準信号と比較される。

この位相ずれは次に電気技術分野においてよ（知られて
いる適宜の技術によって、アナログまたはデジタル出力
信号を提供するのに用いられる。５ず電流装置を使用す
る運動または位置を検出する従来技術の他の例は、米国
特許第４．１１０，７３２号、同第４，０７２，９２７
号に開示されている。

位置の変化を指示するためにうす電流を利用する上記の
従来の技術は、コイルを取巻く区域内に移動可能に支持
されるコイルのりアクタ／　（スを生ずるように配置さ
れた金属部材を必要とする。このような装置は、小型の
まとまりのよい形態にこのような検出器を設計すること
を困難にしていた。よって限定された広さの空所が検出
器用として利用できるようなところで、検出器を使用さ
せるために、小型の一体完成品内に配置された構成要素
をもつう・ず電流式位置検出変換器を提供することが長
い間望まれてきた。

特に圧力検出器内に用いられるダイヤフラムのような圧
力応答部材の動きを検出するような小屋の５ず電流式変
換器を提供することか望まれていた。他の使用目的とし
ては内燃機関内の排出ガスの再循環の際に用いられる弁
部材の運動を検出することが含まれる。

この発明は、可動部材の検出された位置の変化に応答し
て、電気信号を提供する変換器に関する。この発明の変
換器は、可動部側の実際の位置を電気的に指示するため
に、電気的に検出可能な回路インピーダンス変化をつく
ることを目的として、１つの回路内のコイルのインダク
タンスを変化する５ず電流を発生する電磁現象を用いる
。この発明の変換器は、電気的に励起される１つの回路
内に、それぞれが接続された１つまたは複数のパンケー
キ形電気コイルを用いる。コイルの内側区域内を軸方向
に移動するときの金属部材の影響は、このコイル回路の
インピーダンスを電気的に監視することによって検出さ
れる。可動部材かコイル内を軸方向に移動すると、コイ
ル回路インピーダンスの変化が検出され、これかインピ
ーダンスの変化に比例する１つの電気信号を発生するの
に用いられる。

この発生した電気信号は、コイル内の可動部材の変位を
示す１つの出力を提供する。

この発明は、可動部材の移動量の関数として所望の応答
信号を提供するのに電気回路に手を加えずに、可動部材
の変位の関数としてコイル回路内のインピーダンス変化
の応答特性を制御するために、独特の形態の可動部材を
用いる。

可動部材の変位に対する電気出力信号の線形的な応答を
提供することか望まれる場合、可動部材は磁力線密度を
増大するため円錐形の表面をもった形態とし、可動部材
の変位量が増大してコイルの中央区域内をさらに移動す
るとき、この部材によって磁力線が横切られる。可動部
材の増大する変位量の関数として特別の非線形出力電気
信号が要求される場合は、この部材は指数的に増大また
は減少する横断面、または円筒形断面と円錐形断面との
組合わせたものとなっている形態とすることもできる。

複数のコイルを用いる実施例において、これらのコイル
は間隔を保って同軸配列で配置され。

可動部材は連結棒の両端において２つの円錐形表面を用
いて、一方のコイルから他方のコイル内へ移動して、線
形電気出力または可動部材の運動との非線形出力を提供
する。複数のコイルを有する実施例において、円筒形可
動部材が１つのコイル内に挿入されて配憶される。２つ
のコイル間の空所を通ってこの可動部材が第１コー　イ
ルから第２・イル内へ移動すると、この可動部材の変位
量の増大に対して、最初はｆｉ！診で次には非線形の所
望の電気出力が得られる。

よってこの発明は、５ず電流を内部に発生し可動部材が
、検出コイル内を軸方向に移動するように配設された５
ず電流式移動量変換器を提供する。電気出力信号の所望
の特性が、出力信号を電気的に形成する回路を用いずに
、可動部材の表面を特定の形態とすることによって提供
される。

図面を参照しつつ、以下にこの発明を説明する。

第１図において、変換器ｌＯ共振コイル回路１２を有し
、この回路１２はコンデンサ１６及びこれと電気的に並
列接続されたコイル１４をもっている。適宜の抵電圧電
力供給源１８が発振器２０に給電し、該発振器２０は第
１信号を提供し、第２信号が第１侶号によって提供され
た電流によって励振された共振回路１２によりて発垂さ
れる。第２信号の１．正位相は共振回路１２のインピー
ダンスを変化することによって、あ、。。。Ｋ＃Ｌアイ
うあゎ、１．２□　（は２つの信号の位相差をあられす
衝撃係数をもつサイクリング出力信号を発生する。第２
信号の位相はコイル１４内を軸方向に移動する金属可動
部材２４の位置によって変化して可動部材２４内に５ず
電流をつくり、このうず電流はコイル１４のインピーダ
ンス、従って回路１２のインピーダンスを変える。可動
部材２４の形態及び連動の詳細を後述する。

発振器２０の出力は、分局器２６に加えられ。

分局器ｚ６の出力はライン２８を経て接合点３０に加え
られ、該接合点３ｏは導＃３ｚを経て方形波緩衝兼励振
器３４の入力に接続される。

接合点３０はさらに導線３６を経て排他的ＯＲ装置であ
る検出器２２０１つの入力に接続される。＃Ｊ娠密器３
４出力は、抵抗器３８を介して接合点４０に印加され、
該接合点４ｏは導線４２を紗て共振回路１２に、及び導
線４４を通って増幅器３５０入力に接続される。増゛□
幅器３５の出力は導線４６を経てゼ四りリス検出兼方形
波発生器４８に印加される。検出器４８の出力拡排他的
０Ｒ２２の残りの入力に導＠ＳＯを経て接続される。検
出器２２の出力は平滑回路網を含′む直列抵抗器５４及
び並列接地コンデンサ５６を経て信号出力端子５２に印
加される。

共振回路１２を励振し、かつ該回路内の位相ずれを検出
する回路は当業界では公知であり、例えば米国特許第４
，１１２，３６５号に開示されている。

よって検出器２２は可動部材２４の位置の変化によって
生ずる回路１２０位相ずれ、またはインピーダンスの変
化をあられすよ５に変化する衝撃係数をもつ１つの電圧
を提供する。

次に第１４図には、第１回の回路の変更例が示され、こ
こにおいてそれぞれが同軸に配置されたコイル１２１，
１２８を用いる複式共振回路１２０．１２１が示されて
いる。回路１２０，１２１はそれぞれ、発振器２６から
ライン１２８を経て接合点１３０に印加されたサイクリ
ング信号によって励振され°る。接合点１３０は緩衝兼
励振器１３２及び緩衝兼励振器１３４に接続される。励
振器１３２の出力は直列抵抗１３６を経て接合点１３８
に接続され、該接合点線導線１４Ｇを経て共振回路１２
．１に接続される。励振器１３４の出力は直列抵抗１４
２を経て、導ｍ１４６を介して共振回路１２０に接続さ
れた接合点１４４に印加される。・ 回路ｉ２’ｘからの接合点１３ｇにおける信号社、増幅
器１４Ｂの入力に接続され、その出力紘ゼｐクロス検出
器１５０を経て検出器２２０１つの入力に印加される。

接合点１４４における共振回路１２０からの信号祉増幅
器１５２０入力に印加され、その出力ＩＩｉ、ゼロクロ
ス検出器１１５４を経て排他的ＯＲ検出器２２の残りの
入力に印加される。

第１４図に示す実施例において、検出器２２は共振回路
１２０，１２１からの信号を比較して、一方の回路の他
方の回路に対する位相ずれを検、　出し、それによって
１つの出方信号を提供する。

第１４図の回路によって励振された複式コイル実施例の
５ず電流電磁結合については、第２゜第・７図を参照し
つつ以下において詳細に説明する。

第２．第７図における２つのコイルの実施例は、単一コ
イルの実施例に比べて２倍の感度をもつことが理解され
る。

まず第２図に示す実施例において、同軸にかつ軸方向に
間隔を保って複式コイル１２２　、１２３が示される。

これらのコイル間には、アルミニウムか好機である金属
板ワッシャ１２５が配設される。アルミニウム板ワッシ
ャ１２５はコイル１２２，１２３用のゼビンの内周に相
当するサイズのその内周をもち、かつ１．５７　ｍ　（
１７，１６１ｎ　）の厚さまたは軸方向高さをもってい
る。板またはワッシャ１２Ｂはコイル１２２，１２３間
の相互磁気結合またはクロストークを減少するように機
能する。

この発明の実施例において、コイル１２２゜１２３は１
１７ｍ（０，５Ｉｎ）の直径で軸方向の高さまたは長１
’３．°“（°°”°”ｎ）Ｏ′ｋ”７−Ｅ−に巻　１
かれた３４番銅線の２００ターンで形成される。

第一図の実施例において、可動部材１２−は、アルミニ
ウムが好適な１対の金属円錐体１２４ｂ。

１２４ａを軸方向に間隔を保って配設した。プラスチッ
クが好適な非金属棒１２４ａを有する。非金属棒として
は３．２１ｍ１（１／　８　ｉｎ　）の直径のものを使
用すれば満足であることが判明している。

円錐体１２４ｂ、１２４ａはそれらの頂部を対向８させ
て配置され、一方の円錐体上方コイル１２３内に極めて
わずか配置されるとき、円錐体１２４ｃがその頂部を下
方コイル１２２から極めてわずか外側に位置させるよう
に棒１２４ａ上で隔たって配設される。この発明の実例
において１円錐体１ｚ４ｂ、１ｚ４ｅは１円錐体の軸線
に対して１９−６　のテーノ臂角をもち、かつプラスチ
ック棒１２４＆の直径と合致する小直径と９．６＋ｅ＋
（０，１８０ｉｎ）長さとをもち、この棒は実例におい
ては１１７ｍ（０，１２５ｉｎ　）の直径であり、円錐
体は１０、Ｉｌｍ（０，４２７ｉｎ　）　Ｏ大直径をも
°つている。

、次に第８図において、５／ルトの励振に対し、横軸に
位置の変化禦が、またこれに対する出力信号または電圧
が縦軸に２ルトでプロットされている。可、動部材１ｊ
、ｊ４の運動の最大限度都落２図の実線で示す位置から
点線で示す位置までで示される。出力信号は、第２図の
複式コイル部材の移動量に対して直線的に変動すること
が分かる。１２７ｍの全移町量に対して第２図の実施例
ｉ；ｊ　４．５　／ルトの最大出力信号を生ずる。

よって！＠ｚ図の冥、施例は、可動部材の新規な形態と
配置１を提供し、第２図において実線で示された最初の
位置から、コイル内に進入する円錐体１！４ａはコイル
、、の内周へ漸次接近して配置される金属の漸次増大す
る質量を提供して、大密度で形成された磁力線を横切っ
て第８図に示す線形出力を提供する。

変換器の適用が１６ｍより大きい位置の変更を検知する
ことに適合させることを必要とする場合、コイルの高さ
または軸方向の長さは増大され１円錐体１２４ｂ、、１
２４ｅの軸方向長さもそれにつれて増大することがわか
る。

第８図に示された信号出力は、第２図について述べたよ
うなコイル及び円錐体に対して測定されたもので、上述
のような寸法をもっている。

別の寸法と形態をもつコイル及び円錐体は、第８図のも
のとは異なる特性を有する信号出力をつくることが理解
される。例えば、もし円錐体のテーパ角が増大すれば（
例えは１９−Ｈより大きければ）、信号出力グラフの傾
斜は第８図のものよりも鋭くなり、また反対に、もし円
錐体のテーノ々がゆるやかであれは（例えばｘ９ｉ’よ
り小さければ）、信号出力グラフの傾斜は低くなる。

第２９ｍ７図に示す複式コイル型の実施例において、コ
イル回路１２０，１２１　（第１４図）内の位相ずれが
相互間で検出されるこの変換器１０１の新規な態様は、
もし両方のコイルが共通の状態にあるとすれば、この変
換器１０１に自己温度補償性をもたせる。

第７図における別の実゛施例において、可動部゛　７゜
２４．、ア２．＝つ４．、、、！、、−２７．−１、プ
ラスチック製作動棒２２４ｂに取付けられだ円筒体２２
４ａを有する。

第７図の実施例において、コイル１２２．１２３は第２
図について述べたものと同一の寸法及び形態をもつが、
はば９．２ｍ（０，３６４ｉｎ　）の空隙を軸方向に置
いて隔てられている。アルミニウム円筒体２２４ａは、
はぼ１１７ｍ＋（０，５ｉｎ　）のコイルはピンの内周
と接近して嵌合する直径と、はＦ１ａ、８ｍ（０，２７
０ｉｎ）の軸方向高さをもっている。

第７図の実施例は点線で輪郭を示した位置へ可動部材２
２４が上向き運動するとき、可動部材２２４はコイル間
の空隙を通過して上方＝イル１２３内に完全に嵌入され
た位置に達するように、その所期の変位の全範囲を移動
される。

第７図の実施例に対する信号出力線図は第１３図に示さ
れ、この線図において、可動部材２２４は出力信号が発
生される前にほぼ６．２■移動されており、かつ可動部
材２２４の全行程範囲の最初のほぼｈの間は直線状を保
ち、これは第１３図において６．２ｍｍ〜１０ｍの範囲
内でδｌに　ｉ対する曲線部分として示されることが分
かるであろ５゜δＪ＝１０簡に対し、第７図の実施例の
可ｍ’部材２２４１ｊ：ｌ（＃１２２，１２３間Ｏ窒隙
に関□して中央位置にあり、可動部材２２４がさらに上
方へ移動すると、１０〜１ｍ、’２ｍの範囲内のδｌに
対する曲線部分に応じた信号出力を生ずることが観察さ
れる。

次に第３図に関して、第１図の□この発明の実施例１Ｏ
が示され、ここにおいて信号コイル１４は円錐体２４ｍ
とその頂部における円筒体２４ｂとの組合わせ体で＊ｍ
’出力信号に対して異なる１組の特性を提供する。可動
部材２４はコイル１４の内側区域にその小直径円筒体２
４ｂ″が丁度進入する実線で示す最初の位置にあ″る状
態で示され、その変位の限度位置は第３′図において点
線で示され、それは円錐体がコイルの中央区域内に嵌入
した状態である。

第３図のコイル１４は第２図に用いられたコイルに関し
て述べたものと同一の形態及び寸法をもっているが、可
動部材の円錐体２４ｍについて軸方向に円筒体２４ｂを
与えるような形態とするために、第２図に関して述べた
円錐体よりも幾分説いテーパ角をもつことが理解される
であろう。

次に第９図において、この図には第３図の信号出力曲線
が示される。円筒体２４ｂがコイルに進入すると、“出
力電圧は指数的に点Ａまで増大する。さらに可動部材２
４が円錐体２４’ａをコイル内に進入させながらの下向
き運動に対しては、第９図の出力電圧グラフの直線部分
で示すようになる。

この実施例の実例では１円筒体２４ｂの高さは円錐体及
び円筒体の高さの１／３の高さまたは軸方向長さをもっ
ている。例をもって示せ□ば、７．６２ｍ（０，３ｉｎ
　）の行程に対して、１９↓０の角をもつ円錐体でその
底―直径はｌ　Ｏ，ｆ１４　ｍ（０，４２７ｉｎ）、高
さ０．５１ｍ（０，２０ｉｎ）のものがＳＬ５４ｍ（０
，１０ｉｎ）高さお円筒体と共に用いられる。

次に第４図には第１′図の変形実施例が示され、ここに
おいて、コイル１４は指数的に増大する横断面形状をも
つ可動部拐２２４をもっている。

その短直径は第４図において下向きに配置されて検出さ
れた運動の開始時にコイルの内側区域に入る。第４図の
実施例に対する出力信号曲線は、第１θ図に典屋的に示
される。

第１図に示すこの発明の実施例の別の変更態様１０であ
る第５図において、可動部材３２４は、第５図の湾曲面
３２４ａを形成する回転体としての放物線状に増大する
横断面の凹曲面をもつ。

第１１図において、第５図の実施例に対して端子５２に
おける電気信号出力は、電圧増大が初期において極めて
急激である状態が示される。

可動部材３２４の漸次下向き連動中に、電圧増大は指数
的な変動比率であまり急激でなくて全体的な変形状態で
あり、電圧増大は漸近ゼロ増大比率に近づく。

次に第１図のこの発明の他の実施例を示す第一　６図に
おいて、可動部＠４２４は、円錐体４２４１を有し、そ
の人−径から半径方向外方へ延びる板またはフランジ部
分４２４ｂをもっている°。第６図の実施例は第６図に
おいて実線の輪郭で示す初期位置から点緋で示す全行程
限度位置まで作用し、この限度位置において１円錐体４
２４ｍはコイルの中央区域内に見金に嵌入され、板フラ
ンジ４２４ｂはコイル１４の上方軸方向面に隣接して当
接する。

第６図の実施例では、上述の寸法形態をもつコイル１４
については、小直径が４９５■（α１９５ｉｎ）で大直
径が１０．８４ｍ（０，４２７ｉｎ　）の円錐体４２４
ａを用いれば満足できることが判明した。

このような円錐体用の板フランジ４２４は、外径が１９
．０５ｍ（０，７５ｉｎ　）、厚さが１．６　ｗｍ　（
１／　１６　ｉｎ）をもつものであれば満足できる。し
かし行程及び出力信号に関する要求事項による必要性に
応じて、他の寸法のもの、も用いられる。上述の実例に
おいて、円錐体の大直径の寸法として便宜上１０．８４
園（０，４２７１ｎンという寸法が選ばれたが、これに
限定するものではないことが分かる。

可動部材４２４は第２図の実施例の円錐体１２４ｂ、　
１１２４Ｃの代りに用いることができる。

部６図の実施例は、第１２図に示すような可変応答性出
力を提供し、ここに′おいて出力電圧は、フランジ４２
４ｂがコイルＫｍ近するまで、円錐体がコイルの中央区
域内に進入する変位につれて直線的に変動する。この接
近位置において、フランジの質量及びその中に生じたう
ず電流は円錐体、４２４　ａ内のうす電流の効果に重な
りて、出力電圧は第１２図に示すようにそれ以上の変位
に伴つそ指数的に増大する。

可動部材の当初の位置は第６図において実線で示され、
変位限度位置は点線で示されているが、変換器１０．１
０１は、最初は点線の位置において可動部材とともに機
能する。

この発明は、ひとたび励振兼検出回路が校正されると、
感度及び行程の変更は回路に変更を加えずに、単に可動
部材の形態を変更するだけで適合させることができる％
似をもつ位！変換器を提供する。、 この発明は、可動部材が運動入力を検出し、ピックアッ
プコイルの中央区域内を軸方向に移動される部分をもつ
うず電流または位相ずれ変位変換器を提供する。この発
明の可動部材は、検出された変位の増加に関して検出回
路の所望の電気出力を提供するような方法で、コイルの
磁界上のうず電流の横断及び効果を制御するような形態
をもっている。この発明はコイルの中央区域内での検出
部材の位置の変化を提供することにより、５ず電流式位
置横用器用の新規の　′、それによって制限された空 所内に検出器を取付ける必要がある使用目的に対して、
□検出器の体積を最小ならしめることができる。

上述のように実施例についてこの発明を説明したが、こ
の発明の特許請求の範囲において規制する以外は、これ
らの実施例からの種々の変更態様を実施できることが理
解されるであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の電気回路の概略構成図、第２図は
、前記回路の可動部桐−笑施例の断面図、第３図は、前
記可動ｓ林の他の実施例の断面図、第４図は、可動部材
のさらに他の実施例の断面図、第５図は、可動部材のさ
らに他の実施例の断面図、第６図は、可動部材のさらに
他の実施例の断面図、第７図は、可動部剃のさらに他の
実施例の断面図、第８図は、第２図の実施例に対する、
位置の変化部に対する電気出力信号メルトのプロット図
、第９図は、第３図の実施例に対する第８図と類似のプ
ロット図、第１０図は、第４図の実施例に対する第８図
と類似のプロット図、第１１図は、第５図の実施例に対
する第８図と類似のプロット図、第１２図は、第６図の
実施例に対する第８図と類似のプロット図、第１３図は
、第７図の実施例に対する第８図と類似のプロット図、
第１４図は第２゜第７図の実施例の複式コイルの励起用
の第１図と類似の概略回路図を示す。 ｌＯ・・・変　換　器　１２県２，１２０，１２１・・
・共、掻回路−１４・”２２・”２°°°°３イ“　１
６°°°°′デｙｔ１Ｂ・・・低圧電力供給源　２０・
・・発　振　器２２・・・検　出　器　２４，１２４，
２２４，３２４，４２４・・・可動部材２４ｍ、１２４
ｂ、１２４ａ、３２４ｍ、４２４ｍ　・・・円錐体２４
ｂ、２２４ｍ・・・円　筒　体　２６・・・分　局　器
３４．１３２，１３４・・・緩衝兼励振器ｓｓ、ｌａｓ
・・・抵　抗　器１２４ｍ、２２４ｂ・・°プラスチッ
ク棒１２５・・・板クツシャ４２４ｂ・・・フランジ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　（ａ）　コイルを有する回路と、（ｂ）　電気励
   起信号を前記回路に発生及び印加させる部材止、 （ｅ）　導電性材料で形成されてコイルの中央区、域内
   に配置される移動部分をもち、該部分が外部から加えら
   れた力に応答してコイル内で軸方向に移動可能であり、
   コイル内の磁界によって移動部分内に５ず電流か発生し
   、このうず電流か回路の有効インピーダンスに影響し、
   移動部分が予め定めた軸方向運動量に対してインピーダ
   ンスの予め定めた変動を生ずるように変位可能な可動部
   材と。 （ｄ）　軸方向連動によって生ずるインピーダンスの変
   動を検出する検出回路とを具えていることを特徴とする
   変位変換器。 ２　コイル内に延びる可動部材の移動部分が、検出回路
   の出力が、可動部材の軸方向位置の変動に比例するよう
   な、、円錐形面を有する特許請求の範囲第１項記載の変
   位変換器。 龜　可動部材かコイル内に延びるほば円筒形部分を有す
   る特許請求の範囲第１項記載の変位変換器。 ４、　可動部材がコイ、ルの外方に、その運動方向に対
   して横方向に延びる平°坦な板部分を有し、コイル内に
   延びる移動部分が円錐形面を有する特許請求の範囲第１
   項記載の変位変換器。 ５、　（ａ）　コイルを有する回路と、（ｂ）　電気励
   起信号を回路に発生及び印加させる部材と。 （、Ｊ　導電性材料で！成されて、コイル内にそれと間
   隔を保った状態で配置された移動部分をもち、コイルに
   対して軸方向に移動可能であり１．運動方向ヘテーパし
   た部分とほぼ一定の横方向寸法をもつ隣接部分をもち、
   周期性信号がコイル内に磁界を発生し、５ず電流が回路
   の有効インピーダンスに変化を隻じさせ・°イ′内で可
   動部材０移動部分が軸方向に運動するとき有効インピー
   ダンスが軸方向運動に関連して線形的に変化する可動部
   材と、 （ｄ）　前記の一方向運動に伴う有効インピーダンスの
   変化を検出して、インピーダンス変化の出力を指示し、
   この出力がコイル内の円錐形部分の運動に関連して線形
   的に、コイル内の円筒形部分の運動に関連して非線形的
   に変化する回路とを具えてソることを特徴とする変位変
   換器。 ６、　（ａ）　コイルを有し、共振可能な電気−路と。 （ｂ）　周期性電気信号を提供できて、この信号を回路
   に印加するように接続された発生装置と、 ％　（ｅ）　金属材料で形成され、コイル内で軸方向に
   運動するように配置された移動部分をもち、それにより
   コイルの磁界によって該部材内に５ず電流が発生し、こ
   の５ず電流が回路の有効インピーダンスを変化させる変
   位性能な可動部材と、 （ｄ）　回路内のうず電流の影響を受けて電気周期性信
   号を比較し、可動部材の変位の影響を受けて変化を示す
   出力信号を提供する回路とを具えていることを特徴とす
   る変位変換器。 ７、　コイルが同軸に、かつ狭い間隔を保って配置され
   ている特許請求の範囲第６項記載の変位変換器。 ８、　コイルが同軸に間隔を保って配置され、コイルの
   中間に配置された金属板を有する特許請求の範囲第６項
   記載の変位変換器。 ９、　可動部材の５ず電流部分が軸方向円錐体（１２４
   ｂ、１２４ｅ）をもち、可動部材の変位と出力信号との
   間のほば一定の比例関係を提供する特許請求の範囲第６
   項記載の変位変換器０ １０、　（ａ）　間隔を保って同軸的に配置されたコイ
   ルをもつ複数の回路を有し、 （ｂ）　発生装置が周期性信号を各回路に提供し。 ｔｃ＞　比較器回路が周期性信号を各コイルのイ□　ン
   ダクタｙスへの５ず電流の影響と比較し。 （ｄ）　可動部材゛が各・イル内辱軸方向運動を行うよ
   うに配置された金属部材からな゛る特許請求の範囲第６
   項記載の変位変換器。 １１、回路が、間隔を保って同軸的に配置された゛複数
   のコイルを有する特許請求の範囲第６項記載の変位変換
   器。 ＩＬ　゛コイル内の可動部材の移動部分が非線形テーノ
   ソ面をもグ特許請求の範囲第６項記載の変１３、部材の
   変位の検出方法であって、（ｂ）　電気信号をもって前
   記回路を励起し、（（１）　比較的低い透磁率の金属材
   料の移動部分をコイル内に位置させて配置して、′５ず
   電流か移動部分内に発生して回路のインピーダンスに影
   響を与え、□ （由　移動部分をコイル内で軸方向に配置して。 コイルインピーダンスの変化を検出することを特徴とす
   る部材の変位検出方法。