JPS60257335A - Force sensor - Google Patents

Force sensor

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Publication number
JPS60257335A
JPS60257335A JP59112972A JP11297284A JPS60257335A JP S60257335 A JPS60257335 A JP S60257335A JP 59112972 A JP59112972 A JP 59112972A JP 11297284 A JP11297284 A JP 11297284A JP S60257335 A JPS60257335 A JP S60257335A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
attached
force
leaf spring
force sensor
sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP59112972A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsuya Araya
新家 達弥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59112972A priority Critical patent/JPS60257335A/en
Publication of JPS60257335A publication Critical patent/JPS60257335A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/16Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
    • G01L5/161Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance
    • G01L5/1627Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance of strain gauges

Abstract

PURPOSE:To thin the thickness size of a sensor, to change performance by changing the thickness of a plate spring, and to improve a convenient property and an economical property by coupling a pair of plate springs in series and also at a relative angle of 90 deg., and placing radially its plural pieces. CONSTITUTION:Combined plate springs 14-17 are constituted as one body by coupling a pair of plate springs A, B whose section has been formed in the shape of a rectangle, respectively, in series in the longitudinal direction, and also so as to have a relative angle of 90 deg., and installed radially to the outside peripheral part of a holder 13. Each tip part of the plate springs 14-17 is supported so as to be freely slidable, and also freely rotatable by holding parts 18-21, respectively. Also, strain gauges S1-S8 are stuck to each plate spring A, B, respectively. In this state, forces of X, Y and Z directions and moment of the periphery of each axis of X, Y and Z can be derived easily by calculating an output of each strain gauge. In this way, a thin type sensor can be constituted.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はロボットの手先に加わる任意方向の力およびモ
ーメントを検出するのに用いられる力センサ、特に6軸
カセンサに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a force sensor, particularly a six-axis force sensor, used to detect forces and moments in arbitrary directions applied to a hand of a robot.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

従来のロボットでは、その手先に力センサを装着して6
軸の力を検出する必要性は余りなく、また、仮りに前記
必要性があっても、把持部品の重量および一方向への押
付時に、その方向のオーバーロード検出が目的であるた
め、第1図に示すようにロボットアーム1に簡易な一軸
(方向)力センサ2A、例えば市販のロードセルを装着
して用いるのがほとんどであった。
In conventional robots, force sensors are attached to the hands.
There is little need to detect the axial force, and even if there is a need, the purpose is to detect the weight of the gripped part and the overload in that direction when pressed in one direction, so the first As shown in the figure, in most cases, a simple uniaxial (directional) force sensor 2A, such as a commercially available load cell, is attached to the robot arm 1.

ところが、近年ではロボットに多種多様の作業を行わせ
るようになると共に、ロボットアーム1に加わる任意方
向の力成分を検出し、この検出値を基にしてロボットの
動作を制御する必要性から、6軸カセンサのニーズがた
かまってきている。
However, in recent years, as robots have come to perform a wide variety of tasks, there is a need to detect force components in arbitrary directions applied to the robot arm 1 and control the robot's movements based on this detected value. The need for shaft sensors is increasing.

そこで、第2図に従来の6軸カセンサの典型例を示す。FIG. 2 shows a typical example of a conventional six-axis sensor.

この方センサ2は断面を短形状に形成した板ばね3にス
トレインゲージ4αをはり付け、その板はね6に加わる
力またはモーメントにより生ずる板ばね3のひずみをス
トレンゲージ4αにより検出し、力またはモーメントの
大きさをめるものである〇 上記板はね6の断面を第2図<b>に示すように短形状
に形成すれば、断面係数の差かられかるように、同図(
h)の入方向の力に対してはたわみ易く、B方向の力に
対してはたわみ難くなるため、特定方向の力を選択して
検出するのに有効であり、まメストレインゲージの出力
信号の処理が簡単になることは周知のとおりである。
In this sensor 2, a strain gauge 4α is attached to a plate spring 3 having a rectangular cross section, and the strain gauge 4α detects the strain of the plate spring 3 caused by a force or moment applied to the plate spring 6. If the cross section of the plate spring 6 is formed into a rectangular shape as shown in FIG. 2<b>, as can be seen from the difference in section modulus,
h) It is easy to deflect in response to the force in the input direction, but it is difficult to deflect in response to the force in the direction B, so it is effective for selectively detecting force in a specific direction, and the output signal of the female strain gauge It is well known that this simplifies the process.

このため一般に6軸カセンサは第2図(α)に示すよう
に、板はね5,5.6をその短形状断面がX〜2方向に
それぞれ垂直になるように配置し、かつ前記板はね5,
5.6を対象に配置することにより、xryz方向のそ
れぞれの力およびモーメント成分を検出するように構成
されている祇のが多い。
For this reason, in general, a 6-axis force sensor has plate blades 5, 5.6 arranged so that their rectangular cross sections are perpendicular to the X-2 direction, as shown in FIG. 2 (α), and the plates are Ne5,
5.6, many of them are configured to detect force and moment components in the xryz directions.

このように構成すれば、設計が容易であるばかりでなく
、組立も簡単となる長所を有する反。
This structure has the advantage that it is not only easy to design, but also easy to assemble.

面、ロボットの手先に装着する場合には、板ばね6の長
さが力センサの厚み寸法に影響するため、力センサの先
端にハンド、ツールまたは把持部品などの負荷を加えた
際、ロボットの手先に作用する負荷トルクが増加する短
所を有する。。
When the force sensor is attached to the tip of a robot, the length of the leaf spring 6 affects the thickness of the force sensor. This has the disadvantage that the load torque acting on the hand increases. .

したがって、力センサを装着しない場合に比べて、ロボ
ットが把持てきる部品の重量の減少を招くから問題であ
る。この問題点を第3図について詳述する。
Therefore, this is a problem because the weight of the parts that the robot can grasp is reduced compared to the case where no force sensor is attached. This problem will be explained in detail with reference to FIG.

第3図において、1は四ボットアーム、7はロボットア
ーム1に手首回転軸8を介して枢着された手首で、この
手首7にはカセンサハが装着されている。9は手首7の
ハンド7αに把持さ ゛れた部品である。
In FIG. 3, 1 is a four-bot arm, 7 is a wrist that is pivotally attached to the robot arm 1 via a wrist rotation shaft 8, and a cassette arm is attached to this wrist 7. 9 is a part held by the hand 7α of the wrist 7.

上記把持部品9の中心位置に作用する全重量をW1手首
回転軸8と把持部品9の雨中心間の距離をL1手首7に
作用する負荷トルクをMとすれば、このMは下記(1)
式で表わされる・。
If the total weight acting on the center position of the gripping part 9 is W1, the distance between the wrist rotation axis 8 and the rain center of the gripping part 9 is L1, and the load torque acting on the wrist 7 is M, then this M is expressed as follows (1)
It is expressed by the formula.

M=WΦL ・・・(1) このためpボラートの手首7の許容負荷トルクしたがっ
て、力センサ2Aを装着する場合には、その力センサ2
Aの厚み寸法、すなわち板ばねの長さ寸法tを極力小さ
くすることが望ましい。
M=WΦL (1) Therefore, when the force sensor 2A is attached, the allowable load torque of the wrist 7 of the p-borate is
It is desirable to make the thickness dimension of A, that is, the length dimension t of the leaf spring, as small as possible.

しかるに、前記tは検出能力の制約から極端に小さくす
ることはできないという問題があった。
However, there is a problem in that t cannot be made extremely small due to limitations in detection ability.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は上記にかんがみセンサの厚み寸法を近似的に板
ばねの幅寸法まで薄くすると共に、検出性能の変更に対
しては、板ばねの厚みの変更で対処することにより、簡
便性および経済性を向上させることを目的とするもので
ある。
The present invention reduces the thickness of the above-mentioned perception sensor to approximately the width of the leaf spring, and also handles changes in detection performance by changing the thickness of the leaf spring, thereby achieving simplicity and economy. The purpose is to improve the

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明は上記目的を達成するために、断面が1Ej1形
状に形成された一対の板ばねを直列に、かつ90°の相
対角度を有するように結合し一体化して組合せ板ばねを
構成すると共に、前記一対の板ばねにストレインゲージ
をはり付け、この。
In order to achieve the above object, the present invention constitutes a combined leaf spring by combining and integrating a pair of leaf springs each having a cross section of 1Ej1 shape in series and having a relative angle of 90°. A strain gauge is attached to the pair of leaf springs.

組合せ板ばねの複数個を放射状に配置して結合し、複数
方向の力とモーメント成分を検出するようにしたことを
特徴とするものである。
This device is characterized in that a plurality of combination leaf springs are arranged radially and connected to each other, so that force and moment components in a plurality of directions can be detected.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

゛以下、本発明の力センサの実施例を図面について説明
する。
゛Hereinafter, embodiments of the force sensor of the present invention will be described with reference to the drawings.

第4図および第5図において、11はロボットアーム、
12はロボットアーム11に取付けられたベース、13
はベース12の中央部に取付けられたホルダ、14〜1
7はホルダ13の外周部に放射状に取付けられた複数個
(図では左右および上下に対称(十字状)に4個)の組
合せ板はねて、これらの各組合せ板はね14〜17は、
断面が短形状に形成された一対の板はねAlBを長手方
向に直列に、かつ90°の相対角度を有するように結合
して一体に構成されている。これらの組合せ板はね14
〜17の各先端部は、ベース27に取付1すられたボー
ルブツシュからなる保持部18〜21により、それぞれ
摺動自在に、かつ回転自由に支持されている。前記組合
せ板ばね14〜17の各板ばねA、Bには、ストレイン
ゲージ(Ss、S+ )、(S6.S2 )、(S7 
* Ss ) 、(Ss r Sa )がそれぞれはり
付けられている。また、前記ホルダ16には、作業用の
ハンドまたはツール(図示せず)が装着されている。
In FIGS. 4 and 5, 11 is a robot arm;
12 is a base attached to the robot arm 11, 13
is a holder attached to the center of the base 12, 14-1
Reference numeral 7 denotes a plurality of combination plates (four pieces symmetrically (cross-shaped) horizontally and vertically in the figure) attached radially to the outer periphery of the holder 13, and each of these combination plates 14 to 17 is
A pair of plates AlB each having a rectangular cross section are connected in series in the longitudinal direction and at a relative angle of 90° to form an integral structure. These combination plates 14
- 17 are slidably and rotatably supported by holding parts 18 - 21 consisting of ball bushes attached to a base 27 . Each of the leaf springs A and B of the combination leaf springs 14 to 17 is provided with strain gauges (Ss, S+), (S6.S2), and (S7).
*Ss ) and (Ss r Sa ) are attached, respectively. Further, a working hand or tool (not shown) is attached to the holder 16.

次に上記のような構成からなる本実施例の作用について
説明する。
Next, the operation of this embodiment configured as described above will be explained.

前記ホルダj3の先端゛に作業用のノ・ンドまたはツー
ルが装着されるため、このハンドまたはツールを介して
反力により、組合せ板ばね14〜17はたわみを生ずる
。すなわち、第4図に示すように力センサの中心部にX
、Y、Zの各座標をとると、X方向の力に対して組合せ
板ばね14.i6の各板ばねAはたわむが、この板はね
Aと一体に結合された板ばねBはX方向に対して断面係
数が大で、かつ剛性を有するからほとんどたわみを生じ
ない。
Since a working hand or tool is attached to the tip of the holder j3, the combined leaf springs 14 to 17 are deflected by the reaction force exerted by the hand or tool. That is, as shown in Fig. 4, there is an X in the center of the force sensor.
, Y, and Z coordinates, the combined leaf spring 14. Each of the leaf springs A of i6 bends, but the leaf spring B, which is integrally connected to the leaf A, has a large section modulus in the X direction and is rigid, so it hardly bends.

i 一方、組合せ板はね15.17は、その先端が各保
持部19.21に対して摺動するため、前記組合せ板ば
ね15,17の各板ばねA、Bはたわみを生じない。し
たがって、組合せ板ばねi4,16の各板ばねAにはり
付けた各ストレインゲージSs、Syの出力を検知すれ
ば、この両検知値の和からX方向の力をめることができ
るので、信号処理を簡単化することが可能である。
i On the other hand, since the tips of the combination leaf springs 15.17 slide against the respective holding parts 19.21, the leaf springs A and B of the combination leaf springs 15, 17 do not deflect. Therefore, by detecting the output of each strain gauge Ss, Sy attached to each leaf spring A of the combination leaf springs i4, 16, the force in the X direction can be calculated from the sum of both detected values, so the signal It is possible to simplify the processing.

同様に組合せ板ばね15,17の各板ばねAのたわみに
より、この各板はねAにはり付けられたストレインゲー
ジs6.s、の出力の和からY方向の力をめることがで
き、また各組合せ板ばね14〜17の各ストレインゲー
ジS1〜S4の出力の。
Similarly, due to the deflection of each leaf spring A of the combination leaf springs 15 and 17, the strain gauge s6 attached to each leaf spring A. The force in the Y direction can be calculated from the sum of the outputs of s, and the output of each strain gauge S1 to S4 of each combination leaf spring 14 to 17.

和から2方向の力をめることができる。We can calculate the forces in two directions from the sum.

さらにXYZ軸の各軸周りのモーメン)Mx。Furthermore, the moment around each axis of the XYZ axes) Mx.

MySMzについて考察する。Consider MySMz.

まず、モーメン) Mxに関して考察するに、組合せ板
ばね14,16の各板ばねBはたわみを生ずるが、他方
の各版はねAは剛性が高いからたわみを生じない。一方
、組合せ板はね1’5.17の各ばねA、Bは、それぞ
れ保持部19.21に対して回転するからたわみを生じ
ないので、組合せ板ばね14,16の各板ばねBに1よ
り付けられたストレインゲージS1.S3の出力のみか
らモーメントMxをめることができる。
First, considering the moment Mx, each leaf spring B of the combination leaf springs 14 and 16 causes deflection, but the other plate spring A does not cause deflection because it has high rigidity. On the other hand, since the springs A and B of the combination leaf spring 1'5.17 rotate with respect to the holding part 19.21, they do not deflect, so each leaf spring B of the combination leaf springs 14 and 16 has a Twisted strain gauge S1. The moment Mx can be calculated only from the output of S3.

モーメントMyは上記と同様に、組合せ板&まね15.
17の各板ばねBにはり付けられたストレインゲージs
2 S4の出力からめられる。また、モーメン)MZは
各組合せ板ばね14〜17ノ各板ばねAにはり付けられ
たストレインゲージS5〜Seの出力からめることがで
きる。
Moment My is the same as above, combination board & imitation 15.
Strain gauge s attached to each leaf spring B of 17
2 Concerned from the output of S4. Further, the moment) MZ can be determined from the outputs of the strain gauges S5 to Se attached to each of the leaf springs A of the combination leaf springs 14 to 17.

上記の説明をまとめると、下記(2)式のようになる。The above explanation can be summarized as shown in equation (2) below.

Fx O000tL OαOS+ Fy 00000 (L O(L 52pzh b b
 b 0000 Ss Mx CO−C00000S4 ・・・(2)My O
1?Of?0000 S5 Mz 0000 d−d−(L −d S6Sア 8 ただし、α〜dはストレインゲージ出力の力換算係数で
ある。
Fx O000tL OαOS+ Fy 00000 (L O(L 52pzh b b
b 0000 Ss Mx CO-C00000S4...(2) My O
1? Of? 0000 S5 Mz 0000 dd-(L-d S6SA8 However, α to d are force conversion coefficients of the strain gauge output.

上述したように断面が短形状に形成された一対の板ばね
を長手方向に直列に、かつ90℃の相を角度を有するよ
うに結合して一体化した組合せ板ばねの4個を同一平面
内に十字状に配置することにより、力算出の演算を容易
に行うことができると共に、従来の6軸カセンサに比べ
て薄形の力センサを構成することが可能である。
As mentioned above, a pair of leaf springs each having a rectangular cross-section are connected in series in the longitudinal direction, and the four combined leaf springs are combined at an angle of 90 degrees, in the same plane. By arranging them in a cross shape, force calculation can be easily performed, and a force sensor that is thinner than a conventional six-axis force sensor can be constructed.

すなわち、第6図に示すように、力センサ2の厚さ寸法
lが薄くなるため、ロボットアーム11の手首回軸8と
ハンド把持品9の各中心間の距離L′を、第3図に示す
従来例に比べて小さくすることができる。したがって、
本実施例によれば、ハンド把持品の重量が同一であると
すると、従来例に比べてロボット手首にかくる負荷トル
クをL / L’倍だけ減少させることができる。
That is, as shown in FIG. 6, since the thickness l of the force sensor 2 becomes thinner, the distance L' between the wrist rotation axis 8 of the robot arm 11 and each center of the hand gripped item 9 is changed as shown in FIG. It can be made smaller than the conventional example shown. therefore,
According to this embodiment, assuming that the weight of the item held by the hand is the same, the load torque applied to the robot wrist can be reduced by a factor of L/L' compared to the conventional example.

一方、ロボットの手首部の出力トルクが一定であると、
ハンド把持品の重量をL/L’倍だけ増加させることが
可能である。
On the other hand, if the output torque of the robot's wrist is constant,
It is possible to increase the weight of the hand-held item by a factor of L/L'.

また、本実施例によれば、センサの最大または最小検出
力を変更する場合、センサ本体の外形寸法を変更せずに
板ばねの板厚寸法のみを変更することにより、任意の検
出性能を容易に実現できるため、板はねのみを予かしめ
製作しておけば、短時間に検出性能を変更できる利点が
ある。
Furthermore, according to this embodiment, when changing the maximum or minimum detection force of the sensor, arbitrary detection performance can be easily adjusted by changing only the plate thickness of the leaf spring without changing the external dimensions of the sensor body. This has the advantage that detection performance can be changed in a short time by pre-caulking only the plate springs.

サラに本実施例では、ロボットアーム1にセンサのベー
ス12を取付けたが、反対側のホルダ13を前記アーム
1に取付け、ベース12にハンドまたはツールを取付け
ても同様な効果をうろことができる。また、センサ本体
はベース12に広い空間を有しているためここにアンプ
を内蔵させることが可能であるため、例えば第5図に示
すように2点鎖#50のところにアンプを内蔵すれば、
外置きのアンプを準備することなくセンサを簡便に使用
することができる。
In this embodiment, the base 12 of the sensor is attached to the robot arm 1, but the same effect can be obtained by attaching the holder 13 on the opposite side to the arm 1 and attaching a hand or tool to the base 12. . Furthermore, since the sensor body has a large space in the base 12, it is possible to incorporate an amplifier there. ,
The sensor can be used easily without preparing an external amplifier.

本発明の他の実施例を第7図に示す。この実施例は、3
個の組合せ板ばね14をベース12め中央部に取付けた
三角形のホルダ13の外周部に放射状に取付けた虞が前
記実施例(第4,5図)と異なるのみで、その他の構造
は同一であるから説明を省略する。
Another embodiment of the invention is shown in FIG. In this example, 3
The only difference is that the combination leaf springs 14 are attached radially to the outer periphery of a triangular holder 13 attached to the center of the base 12, and the other structures are the same. Since there is, I will omit the explanation.

このように構成すれば、6軸の力検出が可能であること
はもちろんであり、かつストレインゲージの枚数を減少
させることができる長所がある。その反面、力算出演算
は複雑になる短所がある。
With this configuration, it is possible not only to detect force in six axes, but also to reduce the number of strain gauges. On the other hand, the force calculation operation is complicated.

なお、検出数が4軸以下の場合には、第8図に示すよう
に2個の組合せ板はね14を、ベース12に取付けたホ
ルダ13に対称に取付けた構造により力検出することが
可能である。
In addition, when the number of detection axes is four or less, it is possible to detect force by using a structure in which two combination plate springs 14 are symmetrically attached to a holder 13 attached to a base 12, as shown in FIG. It is.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明によれば、力センサの厚み
寸法を近似的に板ばねの幅寸法まで薄くすることにより
、ロボットの有する可搬能力を低減させることなく、有
効に活用することが可能である。
As explained above, according to the present invention, by reducing the thickness of the force sensor to approximately the width of the leaf spring, it is possible to effectively utilize the transport capacity of the robot without reducing it. It is possible.

また、検出性能の変更に対しては、外形寸法を変更する
ことなく、板ばねの厚みの変更で対処することにより、
簡便性および経済性を向させることができる。
In addition, changes in detection performance can be handled by changing the thickness of the leaf spring without changing the external dimensions.
It can improve simplicity and economy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の力センサの説明図、第2図(α)(/i
)は従来の6軸カセンサの斜視図およびその板ばねの断
面図、第5図は従来の力センサの作用説明図、第4図お
よび第5図は本発明の力センサの一実施例を示す斜視図
および平面図、第6図は同実施例の作用説明図、第7図
および第8図は本発明に係わる他の実施例の平面図であ
る。 A、B・・・板ばね、 S1〜S8・・・ストレインゲージ、 13・・ホルダ、 14〜17・・・組合せ板ばね、 18〜21・・・組合せ板はねの先端部。 代理人弁理士 高 橋 明 夫 第 1 図 糖 2図 (a) b (b) 第 3 図 A 第 4 図 憾 5 図 第 乙 呂ゴ 第γ 図
Figure 1 is an explanatory diagram of a conventional force sensor, Figure 2 (α) (/i
) is a perspective view of a conventional 6-axis force sensor and a sectional view of its leaf spring, FIG. 5 is an explanatory diagram of the operation of the conventional force sensor, and FIGS. 4 and 5 show an embodiment of the force sensor of the present invention. A perspective view and a plan view, FIG. 6 is an explanatory view of the operation of the same embodiment, and FIGS. 7 and 8 are plan views of other embodiments according to the present invention. A, B... Leaf spring, S1-S8... Strain gauge, 13... Holder, 14-17... Combination leaf spring, 18-21... Tip portion of combination leaf spring. Representative Patent Attorney Akio Takahashi Figure 1 Figure 2 (a) b (b) Figure 3 A Figure 4 Figure 5 Figure Otsu Rogo Figure γ

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、 断面が短形状に形成された一対の板ばねを直列に
、かつ90°の相対角度を有するように結合し一体化し
て組合せ板ばねを構成すると共に、前記一対の板はねに
ストレインゲージをそれぞれはり付け、この組合せ板ば
ねの複数個を放射状に配置して結合し、複数方向の力と
モーメント成分を検出するようにしたことを特徴とする
力センサ。 2 」二記複数個の組合せ板ばねの各基部をホルダーに
放射状に取付けると共に、前記組合せ板ばねの各先端部
を摺動および回動自在に支持することを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の力センサ。
[Claims] 1. A pair of leaf springs each having a rectangular cross section are connected in series and at a relative angle of 90° to form a combined leaf spring; A force sensor characterized in that a strain gauge is attached to each leaf spring, and a plurality of the combined leaf springs are arranged and connected radially to detect force and moment components in multiple directions. 2. Claim 1, characterized in that each base of the plurality of combination leaf springs is radially attached to a holder, and each tip of the combination leaf spring is supported slidably and rotatably. Force sensor as described in section.
JP59112972A 1984-06-04 1984-06-04 Force sensor Pending JPS60257335A (en)

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JP59112972A JPS60257335A (en) 1984-06-04 1984-06-04 Force sensor

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Cited By (8)

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