JPS60236005A - 線巾測定方法 - Google Patents
線巾測定方法Info
- Publication number
- JPS60236005A JPS60236005A JP9214484A JP9214484A JPS60236005A JP S60236005 A JPS60236005 A JP S60236005A JP 9214484 A JP9214484 A JP 9214484A JP 9214484 A JP9214484 A JP 9214484A JP S60236005 A JPS60236005 A JP S60236005A
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- JP
- Japan
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- light
- grating
- film
- refractive index
- line width
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
不発明ｒｃ微細別工によシ那工されたＡターンの線巾測
定方法に関するものである。
定方法に関するものである。
（従来技術とその問題点）
従来、微細加工により得られた・ぐターンの１３１＋ｌ
Ｊを測定するには、・Ｐターン上方から東光した九を照
射し、・母ターン各部からの光の反射率を測定すること
により行なわれてきた。［７かし、光のＩ又身ｊ率ハパ
ターンエッジにおいて急峻には変化せＪ″、このために
１得られた・４′ターン４１ｉ１ ＋ｌ＋の測定値が東
の・９ターン線巾とは等しくならないという欠点があっ
た。
Ｊを測定するには、・Ｐターン上方から東光した九を照
射し、・母ターン各部からの光の反射率を測定すること
により行なわれてきた。［７かし、光のＩ又身ｊ率ハパ
ターンエッジにおいて急峻には変化せＪ″、このために
１得られた・４′ターン４１ｉ１ ＋ｌ＋の測定値が東
の・９ターン線巾とは等しくならないという欠点があっ
た。
（発明の目的）
本発明の目的は、上記のような欠点を除去した線巾測定
方法を提供することにおる。
方法を提供することにおる。
（発明の構成）
すなわち、本発明は基板上のμＪ透光性祠實ＩＩＭ表面
にグレーティングを２ケ所に形成し、−力のグレーティ
ングを通して核層に導波せしめた光を他方のグレーティ
ングを通して出射せしめ、偏光方向の異なる光の出射角
の１Ｍ１１定値から該層の７１＋ｉ Ｍ率と膜厚とをめ
、これらの値と、該膜ｔｌ−所望の形状に加工した後、
加工された紋服に一力のグレーティングを通して光を導
波せしめ、次に、該層から他方のグレーティングを通し
て出射せしめに光の出射角の測定値とを演算して、加工
された膜の加工線ｌ〕をめることを特徴とする線巾測定
方法である。
にグレーティングを２ケ所に形成し、−力のグレーティ
ングを通して核層に導波せしめた光を他方のグレーティ
ングを通して出射せしめ、偏光方向の異なる光の出射角
の１Ｍ１１定値から該層の７１＋ｉ Ｍ率と膜厚とをめ
、これらの値と、該膜ｔｌ−所望の形状に加工した後、
加工された紋服に一力のグレーティングを通して光を導
波せしめ、次に、該層から他方のグレーティングを通し
て出射せしめに光の出射角の測定値とを演算して、加工
された膜の加工線ｌ〕をめることを特徴とする線巾測定
方法である。
（本発明の作用・原理）
以下に本発明の原理を図面を参照しながら説明する。
第１図に示すように、屈折率ｎ１１厚さｔの膜１が、屈
折率ｎｌＯ物′Ｒ２と屈折率ｎ（１の物質（例えば空気
・液体）３との間にはさまれている場合において、まず
膜１の表面に周期Ｓ′のグレーティング４及び周期Ｓの
グレーティング５を形成する。
折率ｎｌＯ物′Ｒ２と屈折率ｎ（１の物質（例えば空気
・液体）３との間にはさまれている場合において、まず
膜１の表面に周期Ｓ′のグレーティング４及び周期Ｓの
グレーティング５を形成する。
次に、グレーテイング４全通して波長λの光６を腺１中
に導波させ、グレーテイング５全通して光を出射させ、
光用射角θを測定する。なお、グレーティングの周期Ｓ
及びＳ′は１＋λ／Ｓ及び１＋λ／Ｓ′が、ｎ４＋１２
より大きく、λ／８及びλ／Ｓ／がｎｌよｐ小さいこと
が必要である。この時、ＴＥ波について、各変数間には
式（１）から（３）の関係が成漫立つ。
に導波させ、グレーテイング５全通して光を出射させ、
光用射角θを測定する。なお、グレーティングの周期Ｓ
及びＳ′は１＋λ／Ｓ及び１＋λ／Ｓ′が、ｎ４＋１２
より大きく、λ／８及びλ／Ｓ／がｎｌよｐ小さいこと
が必要である。この時、ＴＥ波について、各変数間には
式（１）から（３）の関係が成漫立つ。
β−ｋ （−θ十λ／Ｓ） ・・・（２）ｋ＝２π／λ
・・（３） 次に、ＴＭ波については式（２） 、 （３）及び式（
４）の関係が成り立つ。
・・（３） 次に、ＴＭ波については式（２） 、 （３）及び式（
４）の関係が成り立つ。
従って、ＴＥ波、ＴＭ波について、出射角０の６１１１
定を行ない、式（１）から（４）を解くことにより、膜
ｌの屈折率１１及びＨさｔをめる。
定を行ない、式（１）から（４）を解くことにより、膜
ｌの屈折率１１及びＨさｔをめる。
次に第２図に示したように、細＋ｌ＋ Ｗに加工され
また膜ｌにグレーテイング４全通して光６を導波させる
と、グレーティング５を通して光が出射される。このグ
レーティング５からの光出射角θを測定する。この時Ｔ
Ｅ波について、前記式（３）及び式ンｉフ７Ｆ＝１シ；
；Ｆ＝藷＝―θ十λ／Ｓ ・・・（７）また、ＴＭ波に
ついては前記式（３）及び式（７）及び式（８） 、
（９）が成り立つ。
また膜ｌにグレーテイング４全通して光６を導波させる
と、グレーティング５を通して光が出射される。このグ
レーティング５からの光出射角θを測定する。この時Ｔ
Ｅ波について、前記式（３）及び式ンｉフ７Ｆ＝１シ；
；Ｆ＝藷＝―θ十λ／Ｓ ・・・（７）また、ＴＭ波に
ついては前記式（３）及び式（７）及び式（８） 、
（９）が成り立つ。
（５）
従って、式（３） 、 （７）及び式（５） 、 （６
）又は式（３１、（７）及び式（８） 、 （９）を解
くことにより・ゼター／の線巾Ｗをめることができる。
）又は式（３１、（７）及び式（８） 、 （９）を解
くことにより・ゼター／の線巾Ｗをめることができる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を示す。
屈折率１．４５７の石英ガラス上に、）ｅ リメチルメ
タアクリル酸（ＰＭＭＡ ）を塗布し、ＰＭＭＡ表面に
周期１μｍのグレーティングを２ケ所に形成する。次に
、空気（屈折率１．０００）中より一方のグレーティン
グを通して波長６３２８Ｘのヘリウムネオンレーデ光を
ＰＭＭＡ中に導波させ、他方のグレーティングから出光
する光の出射角を測定したところＴＥ波の出射角は５６
．０２度であり九、ま九ＴＭ波の出射角は５５．８５度
であった。従って、式（１）から（６） （４）より門凧の膜厚は０．８μｍ１屈折率は１．４９
１となる。次にＰＭＭＡを線状・母ターンに加工後、一
方のグレーティングを通してヘリウムネオンレーザ光を
ＰＭＭＡ中に導波させ、他方のグレーティングから出光
した光の出射角を測定したところＴＥ波の出射角が３８
００度であった。従って、式（３）及び式（５）から（
７）よりＷをめることによって、加工後の１）ＭＭＡ
ノ平ターンの線巾は０．３μｍであることが判る。
タアクリル酸（ＰＭＭＡ ）を塗布し、ＰＭＭＡ表面に
周期１μｍのグレーティングを２ケ所に形成する。次に
、空気（屈折率１．０００）中より一方のグレーティン
グを通して波長６３２８Ｘのヘリウムネオンレーデ光を
ＰＭＭＡ中に導波させ、他方のグレーティングから出光
する光の出射角を測定したところＴＥ波の出射角は５６
．０２度であり九、ま九ＴＭ波の出射角は５５．８５度
であった。従って、式（１）から（６） （４）より門凧の膜厚は０．８μｍ１屈折率は１．４９
１となる。次にＰＭＭＡを線状・母ターンに加工後、一
方のグレーティングを通してヘリウムネオンレーザ光を
ＰＭＭＡ中に導波させ、他方のグレーティングから出光
した光の出射角を測定したところＴＥ波の出射角が３８
００度であった。従って、式（３）及び式（５）から（
７）よりＷをめることによって、加工後の１）ＭＭＡ
ノ平ターンの線巾は０．３μｍであることが判る。
（発明の効果）
したがって、本発明によれば、グレーティングを用いて
加工前後の・母ターンに投射し九九の出射角を測定する
のみで、・！ターンの線巾を正確にめることがで為る効
果を有するものである。
加工前後の・母ターンに投射し九九の出射角を測定する
のみで、・！ターンの線巾を正確にめることがで為る効
果を有するものである。
第】図ｔＬＬＩ！ｉの屈折率及び厚さを測定する方法を
表わす模式図、第２図線膜の加工後の線巾を測定する方
法を表わす模式図である。 ｌ・・・膜、２・・・屈折率ｎ８の物質、３・・・屈折
率ｎ。 の物質、４・・・入射グレーティング、５・・・出射グ
レーティング、６・・・光。 （７）
表わす模式図、第２図線膜の加工後の線巾を測定する方
法を表わす模式図である。 ｌ・・・膜、２・・・屈折率ｎ８の物質、３・・・屈折
率ｎ。 の物質、４・・・入射グレーティング、５・・・出射グ
レーティング、６・・・光。 （７）
Claims (1)
- （１）基板上の町透光性材買膜表面にグレーティングを
２ケ所に形成し、一方のグレーティングを通して該層に
導波せしめた光を他方のグレーティングを通して出射せ
しめ、偏光方向の異なる光の出射角の測定値から該層の
屈折率と膜厚とをめ、これらの値と、該層を所望の形状
に加工した後、加工された該漢江一方のグレーティング
を通して光を導波せしめ、次に＃膜から他方のグレーテ
ィングを通して出射せしめた党の出射角の測定値とを演
算して加工された膜の加工線巾をめることｔｌ−％徴と
する線巾測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9214484A JPS60236005A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 線巾測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9214484A JPS60236005A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 線巾測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60236005A true JPS60236005A (ja) | 1985-11-22 |
Family
ID=14046238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9214484A Pending JPS60236005A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 線巾測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60236005A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
-
1984
- 1984-05-09 JP JP9214484A patent/JPS60236005A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| US7898661B2 (en) | 1998-03-06 | 2011-03-01 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
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