JPS60232442A - 空気調和装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、半導体装置製造のクリーンルームなど、一
定温度、湿度で高清浄を要する室内へ、蓼ｍ［ハ櫓在殉
頗か掛語手入四傾槓鉛慇着ｆ聞十スー〔従来技術〕 従来、この種の空気調和装置として、第１図に構成図で
示すものがあった。（１）は比較的大きい異物を除く金
属メツシュ、（２）は第１粗粒フィルタ、（３）は第１
エリミネータ、（４）は外気Ａを金属メツシュ（１）側
から吸込み、装置の以後段に圧送する送風機、（５）及
び（６）は第２粗粒フィルタ（２）及び第１エリミネー
タ（３）と材質、性能は同一であり、異物を再度除去す
る。（７）は取入れた空気を加熱する加熱器、（８）は
第１中性能フイルタで、次の第２中性罷フイルタ（９）
とで小さな異物を順次除去する。Ｑｌは通過する空気を
加湿又は減湿し適当な湿度に調整する調湿器、（ロ）は
送気を冷却又は加熱し適温に調整する冷暖房器、（２）
は送気ダクト、（至）はとの送気ダクト（２）からの調
和空気の微細異物を除去し、高清浄空気として室μ・内
に送る高性能（ＨＥＰＡ）フィルタである。α◆は金属
メッ７（１）の下部に設けられ、水滴などによる水を排
水するドレン抜きで、Ｃは排水を示す。四は送気ダクト
（２）の途中から余分の空気を排気する排気管である。

上記従来装置の動作は、次のようになる。送風機（４）
により吸込まれた外気は、まず、金属メツシュ（１）に
より主に大きな水滴や央部が除去される。

このメツシュ（１）は６０〜１００番の金属網等で構成
されである。つづいて、第１粗粒フィルタ（２）によシ
メッシュ（１）で除去できなかった比較的大きいごみを
除去し、後段フィルタの詰まりを防止する。

第１エリミネータ（３）は大きなミスト粒子を除去する
装置で、第１粗粒フィルタ（２）を通過した３〜５μｍ
径以上のミスト、水滴、微粒子を６０〜ｂデする。

つりいて、送風機（４）により押出された送気は、第２
粗粒フィルタ（５）及び第２エリミネータ（６）により
、これまで除去されなかった比較的大径の粒子が再度除
去される。

次に、加熱器（７）は、例えば海塩粒子などのように潮
解性をもった粒子が再びミスト、水滴状の粒子になって
、中性能フィルタ（８）　、　（９）などがミスト通過
や捕集ちりの再飛散などを起こすことのないように、流
通空気を適温に加熱して相対湿度を除去し、対酸イオン
物質の潮解湿度以下に制御する。

このような構成により、まず、外部環境の変化、時に、
強風時の雨・２どの場合に入り込んでくるミスト、水滴
の除去に有効であるようにしている。

この前段でミスト、水滴はほとんど除去されるので、中
段の第１中性能フイルタ（８）、第２中性能フイルタ（
９）の負担か大きく低減され、さらに、フィルタの性能
が有効に＠憚される。

この第１中性能フイルタ（８）で粒径０．３μｍ以上の
ごみを５０〜８０チ以上除去し、さらに、第２中性能フ
イルタ（９）で粒径０．３μｍ以上のごみを７０〜９０
チ以上除去する。ついで、Ａ湿器αＱにより一定湿度に
調整し、Ｉ？暖房ｆＦ（ロ）ＶＣより一定温度に制御し
、この空気を送風ダクト＠により後段の各高性能フィル
タ（至）に送る。このフィルタ（ト）で粒径０．１μｍ
以上のごみが９９．９７１以上除去され、高清浄な空気
を呈りり内に送込む。

上記従来の装置は、外気中にごみの混入′！ｔが多く７
ヨると、中段ｓ２中性フィルタ（９）では、除去効率７
０〜９０慢以上であって不十分であり、また、はつ水性
が悪く、捕集じんあいを再飛散しやすかった。

〔発明の概要〕

この発明は、上記従来装置の欠点を除去するためになさ
れたもので、中段のフィルタに、中性能フィルタの次段
として、良はつ水性の低圧損高性能フィルタを設け、じ
んあいの捕集効率を高め、再飛散をなくする空気調和装
置を提供することを目的としている。

〔発明の実施例〕

第２図はこの発明の一実施例による空気調和装置の構成
図であり、（１）〜（８）、ｕＯ〜αＱは上記従来装置
を同一のものである。四は中段のフィルタ群として中性
能フィルタ（８）の次段に設けられた、良はつ水の低圧
損高性能（ｆ（ＥＰＡ）フィルタである。

上記一実施例の装置の動作は、次のようになる〇送風機
（４）により吸込まれた外気は、前段フィルタ群のうち
のメツシュ（１）、第１粗粒フィルタ（２）、第１エリ
ミネータ（３）を通り、従来装置と同様に、ミづいて、
送風機（４）により押出された空気は、前段フィルタの
第２粗粒フィルタ（５）及び第２エリミネータ（６）に
よシ、上記従来装置と同様に、これまで除去されなかっ
た大径粒子が再度除去される。次に、加熱器（７）によ
り従来のものと同様に、送気を適温に加熱し相対湿度を
除去する。このように処理された送気は、上記従来のも
のと同様に中段フィルタのうちの中性能フィルタ（８）
により、粒径００−３ｐ以上のごみが５０〜５Ｏｔｓ以
上除去される。

次段の低圧損高性能フィルタ四は、従来の高性能フィル
タよりはつ水性を強化してあり、０．３μｍ以上のごみ
を９９．９７％以上除去する。このように微細ごみが除
去された送気は、調湿器Ｑ（ｅにより従来装置と同様に
、一定湿度に調整され、冷暖房器＠で一足温度に制御さ
れ、送風ダクト（６）に導かれ後段の高性能フィルタ０
を通る。ここで、粒径０．１以上のごみが９９．９７　
Ｓ以上除かれ、室ａＱ内へ送込まれる。

なお、上記実施例では、前段フィルタ群として、メツシ
ュ（１）、画工粗粒フィルタ（２八第１エリミネ−タ（
３）、送風機（４）、第２粗粒フィルタ（５）、第２エ
リミネータ（６）の順に構成したが、加熱器（７）の加
温能力、中段の中性能フィルタ（８）及び低圧損高性能
フィルタ（ホ）への負担を考慮したうえ、外気環境に応
じた構成変更及びフィルタの種類変更や増減をしてもよ
い。

また、上記実施例ではドレン抜きα◆を金属メツシュ（
１）にのみ設けたが、この後の各フィルタ部にも設けて
もよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、中段のフィルタに、
中性能フイ・ルタの次段として、良はつ水性の低圧損高
性能フィルタを設けたので、中段でじんめいの捕集効率
が高められ、再飛散をなくし、外気状態が不順であって
も適正に調和した高清浄な空気を安定して供給すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の空気調和装置を示す構成図、第２図はこ
の発明の一実施例による空気調和装置を示す構成図であ
る。 （１）・・・金属メツシュ、（２）・・・第１粗粒フィ
ルタ、（３）・・・第１工ＩＪ　ミネータ、（４）・・
・送風機、（５）・・・第２粗粒フィルタ、（６）・・
・第２エリミネータ、（７）・・・加熱器、（８）・・
・中性能フィルタ、ＱＱ・・・調湿器、αη・・・冷暖
房器、（６）・・・送風ダクト、（至）・・・高性能フ
ィルタ、（ホ）・・・低圧損高性能フィルタ。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人大岩増雄 第１図 Ｉｔ、　１６ 第２図 手続補正書（自発） １．事件の表示　特願昭５９−８６８６８号２、発明＋
７）名４　空気調和装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
の欄 ６、補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正する
。 （２）　明細書第２ページ第６行の「以後段」を「後段
」に補正する。 （３）明細書第２ページ第１７行の「メッシ」を「メツ
シュ」に補正する。 （４）　明細書落３ペ一ジ第１９行の「ちり」を「じん
あい」に補正する。 （５）明細書第４ページ第１９行の「中性フィルタ」を
「中性能フィルタ」に補正する。 ７、添付書類の目録 補正後の特許請求の範囲を示す書面　１通以上 特許請求の範囲 送風機により外気を吸込み前段のフィルタ群に順次通し
、外気中の太き目から細目の異物を除去し、との送気を
加熱器により適温に加熱し相対湿度を除去し、中段のフ
ィルタ群に通して微粒の異物を除去し、この送気を調湿
器により調湿し、冷暖房器によシ適温にしてから後段の
高性能フィルタに通し、極微粒異物を除去して清浄空気
を室内に送り込むようにした装置において、上記中段の
フィルタ群を中性能フィルタと、このフィルタの次段の
良はつ水性の低圧損高性能フィルタとにより構成したこ
とを特徴とする空気調和装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 送風機により外気を吸込み前段のフィルタ群に順次通し
   、外気中の太き目から細目の異物を除去し、この送気を
   加熱器により適温に加熱し相対湿度を除去し、中段のフ
   ィルタ群に通して微粒の異物を除去し、この送気を調湿
   器により調湿し、冷暖房器により適温にしてから後段の
   高性能フィルタに通し、極微粒異物を除去して清浄空気
   を室内に送込むようにした装置においてＪ上記中段のフ
   ィルタ群を中性能フィルタと、このフィルタの次段の良
   はつ水性の低圧損高性能フィルタとにより構成したこと
   ｔ特徴とする空気調和装置。