JPS60228668A - モリブデン基合金部材の表面処理方法 - Google Patents
モリブデン基合金部材の表面処理方法Info
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- JPS60228668A JPS60228668A JP8477984A JP8477984A JPS60228668A JP S60228668 A JPS60228668 A JP S60228668A JP 8477984 A JP8477984 A JP 8477984A JP 8477984 A JP8477984 A JP 8477984A JP S60228668 A JPS60228668 A JP S60228668A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C10/00—Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
- C23C10/28—Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes
- C23C10/34—Embedding in a powder mixture, i.e. pack cementation
- C23C10/36—Embedding in a powder mixture, i.e. pack cementation only one element being diffused
- C23C10/44—Siliconising
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、モリブデン基合金部材の表面処理方法の改良
に関する。
に関する。
(従来技術)
例えば、ロークリピストンエンジンのアペックスシール
スプリング、コーナシールスプリングなどは、耐熱性、
耐酸化性、vl性などが要求される。
スプリング、コーナシールスプリングなどは、耐熱性、
耐酸化性、vl性などが要求される。
そこで、耐熱性に優れた合金として、モリブデン基合金
かある。しかし、モリブデン基合金自体は、耐熱性は良
好であるが、高温下での耐酸化性が低い。
かある。しかし、モリブデン基合金自体は、耐熱性は良
好であるが、高温下での耐酸化性が低い。
、二のため、モリブデン基合金を珪素粉末中に埋設して
表面処理し、珪素拡散層を形成して耐酸化性を向上させ
る方法が提案されているか(特公昭4、8−15778
号公報参照)、この珪素拡散層には微小孔が存在するた
め、高温下で長時間使用すると、この微小孔より酸化が
進むという欠点がある。
表面処理し、珪素拡散層を形成して耐酸化性を向上させ
る方法が提案されているか(特公昭4、8−15778
号公報参照)、この珪素拡散層には微小孔が存在するた
め、高温下で長時間使用すると、この微小孔より酸化が
進むという欠点がある。
そこで、珪素粉末に希土類元素を添加し、モリブデン基
合金をこの粉末中に埋設して表面処理をする方法が考え
られる。しかし、この方法では、モリブデン基合金の耐
酸化性は向上するか、希土類元素がモリブデン基合金の
母材中に拡散するので、靭性を低下させるという問題か
ある。
合金をこの粉末中に埋設して表面処理をする方法が考え
られる。しかし、この方法では、モリブデン基合金の耐
酸化性は向上するか、希土類元素がモリブデン基合金の
母材中に拡散するので、靭性を低下させるという問題か
ある。
(発明の目的)
本発明は、」1記従来の問題点に鑑みてなされたもので
、耐熱性、耐酸化性、靭性の向上などを同時に図ること
ができるモリブデン基合金部材の表面処理方法を提供す
ることを目的とするものである。
、耐熱性、耐酸化性、靭性の向上などを同時に図ること
ができるモリブデン基合金部材の表面処理方法を提供す
ることを目的とするものである。
(発明の構成)
このため本発明は、珪素を含む処理粉末中にモリブデン
基合金部材を埋設して、非酸化性雰囲気下で加熱保持し
、モリブデン基合金部材に珪素を拡散させる工程と、
上記工程の後に、希土類元素を含む処理粉末中にモリブ
デン基合金部材を埋設して、非酸化性雰囲気下で600
℃〜1200℃で加熱保持し、モリブデン基合金部材の
珪素拡散層に希土類元素を拡散させる工程とから構成し
たものである。
基合金部材を埋設して、非酸化性雰囲気下で加熱保持し
、モリブデン基合金部材に珪素を拡散させる工程と、
上記工程の後に、希土類元素を含む処理粉末中にモリブ
デン基合金部材を埋設して、非酸化性雰囲気下で600
℃〜1200℃で加熱保持し、モリブデン基合金部材の
珪素拡散層に希土類元素を拡散させる工程とから構成し
たものである。
(発明の効果)
本発明によれば、耐熱性が高いモリブデン基合金部材に
対する珪素の拡散工程と、希土類元素の拡散工程とを別
個に行なう表面処理方法であるか呟珪素の拡散工程によ
りモリブデン基合金部材3− の耐酸化性が向−1−するととも1こ、希土類元素の)
d、数工程で、拡散条件の設定により、珪素拡散層に希
土類元素が拡散するので、希土類元素のモリブデン基合
金部祠の母材への拡散か防止され、モリブデン基合金部
材の靭性も向」ニするようになる。
対する珪素の拡散工程と、希土類元素の拡散工程とを別
個に行なう表面処理方法であるか呟珪素の拡散工程によ
りモリブデン基合金部材3− の耐酸化性が向−1−するととも1こ、希土類元素の)
d、数工程で、拡散条件の設定により、珪素拡散層に希
土類元素が拡散するので、希土類元素のモリブデン基合
金部祠の母材への拡散か防止され、モリブデン基合金部
材の靭性も向」ニするようになる。
(実施例)
第1図に示すように、モリブデン基合金部材1の表面処
理工程は、次の通りとする。
理工程は、次の通りとする。
[I] モリブデン基合金部材1としては、OMa −
0,5Ti −(1,f’18Zr (u+L%)のM
o 1.25Ti−(1,15Zr−0,1sC(u+
L%) OMa −0,STi (1111%)等が好適である
。
0,5Ti −(1,f’18Zr (u+L%)のM
o 1.25Ti−(1,15Zr−0,1sC(u+
L%) OMa −0,STi (1111%)等が好適である
。
[■目 珪素の拡散工程Aは、モリブデン基合金部材1
を、珪素(S i)を含む処理粉末2中に埋設し、さら
に、その処理容器3を蓋3aで覆って非酸化性雰囲気の
処理炉4中に収納したうえで、所定時間だけ所定温度で
加熱することにより行なう。
を、珪素(S i)を含む処理粉末2中に埋設し、さら
に、その処理容器3を蓋3aで覆って非酸化性雰囲気の
処理炉4中に収納したうえで、所定時間だけ所定温度で
加熱することにより行なう。
この拡散工程Aにより、第6図に示すように、4−
モリブデン基合金部材1の表面に珪素(Si)が拡散さ
れて、珪素拡散層8が形成される。
れて、珪素拡散層8が形成される。
(A−1)処理粉末2としては、
拡散剤 珪素(Si)粉末 95〜99u+t%活性剤
弗化すYリウム(Nap)、1−5u+t%弗化カリ
ウム(KF)等 のハロゲン化物粉末 が好適である。
弗化すYリウム(Nap)、1−5u+t%弗化カリ
ウム(KF)等 のハロゲン化物粉末 が好適である。
(A−2)非酸化性雰囲気としては、
水素(H2)、アルゴン(Ar)
等が好適である。
(A−3)処理温度と時間は、
温度800℃〜1200℃
時間30分〜120分
である。
[II目目土土類元素拡散工程Bは、拡散工程Aが終っ
たモリブデン基合金部材1を希土類元素を含む処理粉末
5中に埋設し、さらに、その処理容器6を蓋6aで覆っ
て非酸化性雰囲気の処理炉7中に収納したうえで、所定
時間だけ所定温度で加熱することにより行なう。
たモリブデン基合金部材1を希土類元素を含む処理粉末
5中に埋設し、さらに、その処理容器6を蓋6aで覆っ
て非酸化性雰囲気の処理炉7中に収納したうえで、所定
時間だけ所定温度で加熱することにより行なう。
この拡散工程Bにより、第6図に示すように、モリブデ
ン基合金部材1の珪素拡散層8のみに希土類元素(MM
)が拡散されて希土類元素拡散層9が形成される。
ン基合金部材1の珪素拡散層8のみに希土類元素(MM
)が拡散されて希土類元素拡散層9が形成される。
(B−1)処理粉末5としては、
拡散剤 希土類元素粉末 0.02〜S+uL%不活性
剤 アルミナ(A、LO3)粉末90〜98.98田L
% 活性剤 弗化ナトリウム(NaF)、1〜5LIIL%
弗化カリウム(KF)等 のハロゲン化物粉末 が好適である。
剤 アルミナ(A、LO3)粉末90〜98.98田L
% 活性剤 弗化ナトリウム(NaF)、1〜5LIIL%
弗化カリウム(KF)等 のハロゲン化物粉末 が好適である。
希土類元素の形態としては、
■希土類元素単体
(ランタン(1−aL セリウム(Ce)、イツトリウ
ム(Y)等) ■希土類元素の混合物 (ミツシュメタル(MM)) Q希土類元素、ミツシュメタルと油の金属の合等か好適
である。
ム(Y)等) ■希土類元素の混合物 (ミツシュメタル(MM)) Q希土類元素、ミツシュメタルと油の金属の合等か好適
である。
なお、■の合金の場合、合金中の希土類元素量か0.0
2〜5iut%になるよう合金粉を添加する。
2〜5iut%になるよう合金粉を添加する。
(B−2)非酸化性雰囲気としては、
水素(H2)、アルゴン(Ar)
等か好適である。
(B−3)処理温度と時間は、
温度600℃〜1200°C
時間15分〜120分
である。
■処理温度は、希土類元素の種類によって異なるか、融
点付近の温度を使用して拡散しやすくするのが好ましい
。
点付近の温度を使用して拡散しやすくするのが好ましい
。
例えば、ランタン(La)では920℃、セリウム(C
e)では795℃、ミツシュメタル(MM)では6 f
’l O°C〜65 f)’Cである。
e)では795℃、ミツシュメタル(MM)では6 f
’l O°C〜65 f)’Cである。
但し、温度か1200℃を越えると、モリブデン基合金
によっては、再結晶温度以」二になる場合があるので、
もろくなりやすく、従って、この温度以下が好ましい。
によっては、再結晶温度以」二になる場合があるので、
もろくなりやすく、従って、この温度以下が好ましい。
なお、温度が600 ’C未満であると、希土類元素が
珪素拡散層8に十分に拡散しなくなる。
珪素拡散層8に十分に拡散しなくなる。
■処理時間は、耐酸化性に効果が表われるのに最低必要
な時間は15分であり、珪素拡散層8の厚さによって時
間を延長してゆく。
な時間は15分であり、珪素拡散層8の厚さによって時
間を延長してゆく。
但し、時間が120分以−にになると、効果が飽和する
。
。
次に、」1記工程A、Bに従って表面処理したモリブデ
ン基合金部材1の耐酸化性と靭性の試験結果を説明する
。
ン基合金部材1の耐酸化性と靭性の試験結果を説明する
。
剰11ヒ性試験
(1)テストピースの材質:
モリブデン基合金(Mo−0,5T i−0,08Zr
田1%) (2)テストピースの形状: 12.8X6.8XI、] 4(mm)(3)珪素の拡
散工程A: (A−1)処理粉末2 珪素(Si) !HuIt% 弗化ナトリウム(NaF) 3u+t%(A−2)非酸
化性雰囲気 水素(H2) (A−3)処理温度と時間 1100℃×60分 (4)希土類元素の拡散工程B: (B−1)処理粉末5 ミツシュメタル(MM) 0.02〜5□1%アルミナ
(Aで、03)93〜97.981%弗化ナトリウム(
NaF)2社% (B−2)非酸化性雰囲気 水素(H2) (B−3)処理温度と時間 750°C×30分 (5)拡散層の厚み: 約30μ (6)酸化条件: 電気炉の大気雰囲気中で、1000℃×300分間、加
熱保持した。
田1%) (2)テストピースの形状: 12.8X6.8XI、] 4(mm)(3)珪素の拡
散工程A: (A−1)処理粉末2 珪素(Si) !HuIt% 弗化ナトリウム(NaF) 3u+t%(A−2)非酸
化性雰囲気 水素(H2) (A−3)処理温度と時間 1100℃×60分 (4)希土類元素の拡散工程B: (B−1)処理粉末5 ミツシュメタル(MM) 0.02〜5□1%アルミナ
(Aで、03)93〜97.981%弗化ナトリウム(
NaF)2社% (B−2)非酸化性雰囲気 水素(H2) (B−3)処理温度と時間 750°C×30分 (5)拡散層の厚み: 約30μ (6)酸化条件: 電気炉の大気雰囲気中で、1000℃×300分間、加
熱保持した。
上記(1)〜(6)の試験条件による試験結果を第=8
− 2図に示す。
− 2図に示す。
なお、希土類元素を拡散させない従来の珪素1d、散処
理のものについても、上記耐酸化性試験を行なった。
理のものについても、上記耐酸化性試験を行なった。
同図から明らかなように、ミツシュメタル量が0.02
u+1%より少なくなると、耐酸化性が低下する。
u+1%より少なくなると、耐酸化性が低下する。
逆に、ミツシュメタル量が5wL%より多くなると、希
土類元素が低融点の化合物を生成するために、酸化膜な
どの密着性が低下し、かえって耐酸化性が低下する。
土類元素が低融点の化合物を生成するために、酸化膜な
どの密着性が低下し、かえって耐酸化性が低下する。
従って、ミツシュメタル量は、0J)2〜5…1%の範
囲において、耐酸化性の向−にに寄与することがわかる
。
囲において、耐酸化性の向−にに寄与することがわかる
。
なお、後述する比較例としてのミツシュメタル入り珪素
の拡散工程Cにより、モリブデン基合金部材1を表面処
理した場合には、ミツシュメタル量が0.05u+t%
から耐酸化性の効果が生じる。
の拡散工程Cにより、モリブデン基合金部材1を表面処
理した場合には、ミツシュメタル量が0.05u+t%
から耐酸化性の効果が生じる。
この違いは、珪素の拡散工程Aと希土類元素の拡散工程
Bとを別個に行なえば、希土類元素は珪素拡散層8の表
面側にリッチに存在するようになり、珪素の酸化膜を緻
密にして酸化膜の定着性をより向上させるので、この結
果、ミツシュメタル量がO,(12u+t%でも耐酸化
性の効果か生しるからである。
Bとを別個に行なえば、希土類元素は珪素拡散層8の表
面側にリッチに存在するようになり、珪素の酸化膜を緻
密にして酸化膜の定着性をより向上させるので、この結
果、ミツシュメタル量がO,(12u+t%でも耐酸化
性の効果か生しるからである。
層性試験
(1)テストピースの材質:
モリブデン基合金(Mo −0,5Ti −0゜08Z
rIIIt%) (2)テストピースの形状: 2.7X60X1.3(+nm) (3)珪素の拡散工程A: (A−1)処理粉末2 珪素(Si) ’j7畝% 弗化す1リウム(NaF)3IllL%()\−2)非
酸化性雰囲気 水素(I]2) (A−3)処理温度と時間 テストピース(イ) 900’CX60分〃 (ロ)
900℃×60分 11− 〃 (ハ) ]00(1’cX6(1分〃 (ニ) 1
rHNl’CX60分 (4)希土類元素の拡散二り程B: (B−1)処理粉末5 ミツシュメタル(MM) 2ulL% アルミナ(l\で、(’)、) 96田1%弗化ナトリ
ウム(Nap) 2田1% (B−2)非酸化性雰囲気 水素(H7) (B−3)処理温度と時間 テストピース(イ) 7fN)’CX30分〃 (ロ)
8 (1(1’CX 3 (,1分〃 (ハ) 7f
’)f’)℃X30分〃 (ニ) 8 f’) f)’
CX 30分(5)ミツシュメタル入り珪素の拡散工程
(比較例)C: (c−i)処理粉末 珪素(Si) 95.5田1% 弗化ナトリウム(NaF) 3.(l切し%ミツシュメ
タル(MM) 1.5w1%12− (C−2)非酸化性雰囲気 水素(1−(2) (C−3)処理時間と温度 テストピース(ホ) 800℃×60分〃 (へ) 9
00’CX60分 # ()) 1000℃×60分 〃 (チ) 1100’CX60分 (6)曲げ条件: 第3図に示すように、支点間距離りが40+nmの基台
10.10の上にテストピース(イ)〜(チ)を置き、
中央に荷重Pを加える(3点曲げ)。
rIIIt%) (2)テストピースの形状: 2.7X60X1.3(+nm) (3)珪素の拡散工程A: (A−1)処理粉末2 珪素(Si) ’j7畝% 弗化す1リウム(NaF)3IllL%()\−2)非
酸化性雰囲気 水素(I]2) (A−3)処理温度と時間 テストピース(イ) 900’CX60分〃 (ロ)
900℃×60分 11− 〃 (ハ) ]00(1’cX6(1分〃 (ニ) 1
rHNl’CX60分 (4)希土類元素の拡散二り程B: (B−1)処理粉末5 ミツシュメタル(MM) 2ulL% アルミナ(l\で、(’)、) 96田1%弗化ナトリ
ウム(Nap) 2田1% (B−2)非酸化性雰囲気 水素(H7) (B−3)処理温度と時間 テストピース(イ) 7fN)’CX30分〃 (ロ)
8 (1(1’CX 3 (,1分〃 (ハ) 7f
’)f’)℃X30分〃 (ニ) 8 f’) f)’
CX 30分(5)ミツシュメタル入り珪素の拡散工程
(比較例)C: (c−i)処理粉末 珪素(Si) 95.5田1% 弗化ナトリウム(NaF) 3.(l切し%ミツシュメ
タル(MM) 1.5w1%12− (C−2)非酸化性雰囲気 水素(1−(2) (C−3)処理時間と温度 テストピース(ホ) 800℃×60分〃 (へ) 9
00’CX60分 # ()) 1000℃×60分 〃 (チ) 1100’CX60分 (6)曲げ条件: 第3図に示すように、支点間距離りが40+nmの基台
10.10の上にテストピース(イ)〜(チ)を置き、
中央に荷重Pを加える(3点曲げ)。
荷重Pの降下スピードは30’mm/秒である。
そして、第4図に示すように、荷重の最大点を測定点P
′とした。
′とした。
」−記(1)〜(6)の試験条件による試験結果を第5
図に示す。
図に示す。
同図から明らかなように、比較例のテストピース(ホ)
〜(チ)は、全て靭性が0.4(Kg/c+n)以下で
、かつ折損した。
〜(チ)は、全て靭性が0.4(Kg/c+n)以下で
、かつ折損した。
これに対して、本方法によるテストピース(イ)〜(ニ
)は、靭性が1.5−5−2jl(/cm)に達し、か
つ折損もなかった。
)は、靭性が1.5−5−2jl(/cm)に達し、か
つ折損もなかった。
従って、珪素の拡散工程Aと希土類元素の拡散工程Bを
所定の拡散条件で別個に行なえば、靭性の向」二に寄与
することかわかる。
所定の拡散条件で別個に行なえば、靭性の向」二に寄与
することかわかる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る表面処理方法を示す工程図、第2
図は耐酸化性試験の結果を示すグラフ、第3図は靭性試
験機の側面図、第4図は靭性の試験測定点を示すグラフ
、第5図は靭性試験の結果を示すグラフ、第6図は表面
処理後のモリブデン基合金部材の拡大断面図である。 1・・・モリブデン基合金部材、 2・・・珪素を含む処理粉末、 5・・・希土類元素を含む処理粉末、 A・・・珪素の拡散工程、 B・・・希土類元素の拡散]1程。 特許出願人 東洋工業株式会社
図は耐酸化性試験の結果を示すグラフ、第3図は靭性試
験機の側面図、第4図は靭性の試験測定点を示すグラフ
、第5図は靭性試験の結果を示すグラフ、第6図は表面
処理後のモリブデン基合金部材の拡大断面図である。 1・・・モリブデン基合金部材、 2・・・珪素を含む処理粉末、 5・・・希土類元素を含む処理粉末、 A・・・珪素の拡散工程、 B・・・希土類元素の拡散]1程。 特許出願人 東洋工業株式会社
Claims (1)
- (1)珪素を含む処理粉末中に、モリブデン基合金部材
を埋設して、非酸化性雰囲気下で加熱保持し、モリブデ
ン基合金部材に珪素を拡散させる工程と、 上記工程の後に、希土類元素を含む処理粉末中にモリブ
デン基合金部材を埋設して、非酸化性雰囲気下で600
℃〜1200℃で加熱保持し、モリブデン基合金部材の
珪素拡散層に希土類元素を拡散させる工程とから成るこ
とを特徴とするモリブデン基合金部材の表面処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8477984A JPS60228668A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | モリブデン基合金部材の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8477984A JPS60228668A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | モリブデン基合金部材の表面処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60228668A true JPS60228668A (ja) | 1985-11-13 |
Family
ID=13840171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8477984A Pending JPS60228668A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | モリブデン基合金部材の表面処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60228668A (ja) |
-
1984
- 1984-04-25 JP JP8477984A patent/JPS60228668A/ja active Pending
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