JPS6022830U - ウエ−ハホルダ - Google Patents
ウエ−ハホルダInfo
- Publication number
- JPS6022830U JPS6022830U JP11378283U JP11378283U JPS6022830U JP S6022830 U JPS6022830 U JP S6022830U JP 11378283 U JP11378283 U JP 11378283U JP 11378283 U JP11378283 U JP 11378283U JP S6022830 U JPS6022830 U JP S6022830U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer holder
- metal pieces
- holder
- holding metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はディッピング式液相エピタキシャル装置に使用
するウェーハホルダの従来構成の概略を示す斜視図、第
２図は第１図のホルダにウエーノ１を咬持させた部分の
一部分を破断しｆ側面図、第３図は第１図のホルダを用
いてエピタキシャル膜を被着したウェーハの融液残香を
示す平面図、第４図は本考案の一実施例にな′るウェー
ハホルダの概略構成を示す斜視図、第５図は本考案の他
の一実施例になるウェーハホルダの概略構成を示す斜視
図、第６図は第４図及び第５図に示したウェーハホルダ
のウェーハ咬持部分を拡大した側面図、第７図は第４図
及び第５図に示したウェーハホルダを用いてエピタキシ
ャル膜を被着したウェーハの融液残香を示す平面図であ
る。 図中において、１，１１．３１はウェーハホルダ、５．
１７．３３は支持金具、６，１８はウェーハ咬持用金属
片を示す。
するウェーハホルダの従来構成の概略を示す斜視図、第
２図は第１図のホルダにウエーノ１を咬持させた部分の
一部分を破断しｆ側面図、第３図は第１図のホルダを用
いてエピタキシャル膜を被着したウェーハの融液残香を
示す平面図、第４図は本考案の一実施例にな′るウェー
ハホルダの概略構成を示す斜視図、第５図は本考案の他
の一実施例になるウェーハホルダの概略構成を示す斜視
図、第６図は第４図及び第５図に示したウェーハホルダ
のウェーハ咬持部分を拡大した側面図、第７図は第４図
及び第５図に示したウェーハホルダを用いてエピタキシ
ャル膜を被着したウェーハの融液残香を示す平面図であ
る。 図中において、１，１１．３１はウェーハホルダ、５．
１７．３３は支持金具、６，１８はウェーハ咬持用金属
片を示す。
Claims (1)
- 複数個のウェーハ咬持用金属片を用いてウェーハの外縁
部近傍を複数個所で咬持するように構成されたウェーハ
ホルダにおいて、前記咬持用金属片を一端に固着した複
数本の金属アームが放射状に接続された咬持用金属片支
持金具を具えてなることを士ｆ−７ｌとする・クエーノ
・ホルり。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11378283U JPS6022830U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | ウエ−ハホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11378283U JPS6022830U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | ウエ−ハホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022830U true JPS6022830U (ja) | 1985-02-16 |
Family
ID=30263261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11378283U Pending JPS6022830U (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | ウエ−ハホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022830U (ja) |
-
1983
- 1983-07-22 JP JP11378283U patent/JPS6022830U/ja active Pending
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