JPS6021030U - 空気軸受パツド - Google Patents

空気軸受パツド

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Publication number
JPS6021030U
JPS6021030U JP11353383U JP11353383U JPS6021030U JP S6021030 U JPS6021030 U JP S6021030U JP 11353383 U JP11353383 U JP 11353383U JP 11353383 U JP11353383 U JP 11353383U JP S6021030 U JPS6021030 U JP S6021030U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing pad
air bearing
recess
pad
recorded
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Pending
Application number
JP11353383U
Other languages
English (en)
Inventor
博史 後藤
Original Assignee
オムロン株式会社
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6021030U publication Critical patent/JPS6021030U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本案の空気軸受パッドの使用例を示す断面図、
第2図は第1図の一部拡大図、第3図は従来構造の概略
図である。 2・・・・・・空気軸受パッド、24.25・・・・・
・軸受パッド面、26・・・・・・凹部、3,3a・・
・・・・圧電部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 軸受パッド面に凹部を形成し、該凹部には電圧印加によ
    り膨張、収縮して凹部から出没する圧電部材を埋設して
    なる空気軸受パッド。
JP11353383U 1983-07-20 1983-07-20 空気軸受パツド Pending JPS6021030U (ja)

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JP11353383U JPS6021030U (ja) 1983-07-20 1983-07-20 空気軸受パツド

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JP11353383U JPS6021030U (ja) 1983-07-20 1983-07-20 空気軸受パツド

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Publication Number Publication Date
JPS6021030U true JPS6021030U (ja) 1985-02-13

Family

ID=30262776

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JP11353383U Pending JPS6021030U (ja) 1983-07-20 1983-07-20 空気軸受パツド

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JP (1) JPS6021030U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63163042A (ja) * 1986-12-23 1988-07-06 Smc Corp リニアアクチユエ−タ
JPH11294456A (ja) * 1998-04-09 1999-10-26 Nippon Seiko Kk 静圧空気軸受直線案内装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63163042A (ja) * 1986-12-23 1988-07-06 Smc Corp リニアアクチユエ−タ
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