JPS60206884A - Electrically conductive paste composition - Google Patents
Electrically conductive paste compositionInfo
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- JPS60206884A JPS60206884A JP6483484A JP6483484A JPS60206884A JP S60206884 A JPS60206884 A JP S60206884A JP 6483484 A JP6483484 A JP 6483484A JP 6483484 A JP6483484 A JP 6483484A JP S60206884 A JPS60206884 A JP S60206884A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は横変性を付与した導電性ペースト組成物に関し
、その目的とするところはディスペンス法での塗布方法
に適したチクソトロピー性を有するポリイミド°基前駆
体導電性ペースト組成物を提供するごとにある。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a conductive paste composition imparted with transverse modification, and its object is to provide a polyimide ° group precursor conductive paste composition having thixotropic properties suitable for application by a dispensing method. There is something for each offering.
従来、半導体素子のグイボンディング用接着剤として、
耐熱性に優れ半導体として高い信頼性の得られるポリイ
ミド銀ペーストに代表される導電性ペースト組成物が使
用されてきたことは広く周知である。このポリイミド銀
ペーストは、バインダーとしての樹脂成分が本質的に耐
熱性に優れ。Traditionally, it has been used as adhesive for bonding semiconductor devices.
It is widely known that conductive paste compositions, typified by polyimide silver paste, which have excellent heat resistance and are highly reliable as semiconductors, have been used. This polyimide silver paste has excellent heat resistance due to its resin component as a binder.
熱分解発生物によるチップ汚染が少ないこと、気密封止
型半導体の封止温度(470〜420℃)にも耐えられ
ること、およびNa”、CI−などのイオン性不純物が
少いため、半導体として高い信頼性が得られることがら
、半導体素子のグイボンディング用接着剤として用いら
れてきた。しかし、このボリイミM系銀ペーストには横
変性が小さいという欠点があった。これは、バインダー
であるボリイミV前駆体が溶液中に高濃度で溶解しに<
<、そのため最終ペースト中の溶剤量が多くなり、ため
に横変性が出にくいのであった。横変性が小さいことは
、シリンジを用いたディスペンス法で、IJ −Vフレ
ームトに連続的に銀ペーストを塗布した場合、塗布量が
ばらつくこと、および°“たれ”のため、塗布部分以外
のリート°フレームにもベース)が滴下し、汚染してし
まうこと、などの問題があった。It has low chip contamination due to thermal decomposition products, can withstand the sealing temperature of hermetically sealed semiconductors (470-420℃), and has low ionic impurities such as Na'' and CI-, making it highly effective as a semiconductor. Because of its reliability, it has been used as an adhesive for bonding semiconductor devices. However, this Boli-Imium-based silver paste had the drawback of low lateral deformation. If the precursor is dissolved in solution at high concentration, <
Therefore, the amount of solvent in the final paste was increased, and lateral deformation was less likely to occur. The small lateral deformation is due to the fact that when silver paste is continuously applied to the IJ-V frame using a dispensing method using a syringe, the amount of application varies and due to "sag" There were problems such as the base material dripping onto the frame and contaminating it.
またポリイミド系導電性ペースト組成物の他の用途とし
て、チップ部品の端面外部電極材、水晶発振子の水晶振
動子固定兼電極用接着剤等があるが、このような用途に
対しても、従来のポリイミド系導電性ペースト組成物は
横変性に劣り、その本来の機能を発揮しない錐点があっ
た。Other uses of polyimide-based conductive paste compositions include end face external electrode materials for chip components, crystal oscillator fixing and electrode adhesives, etc. The polyimide-based conductive paste composition had poor lateral modification and had cone points that did not perform its original function.
本発明はかかる欠点を改良してなるもので、導電性充填
剤を含有するボリイミ)r系前駆体溶液に。The present invention improves these drawbacks by providing a polyimide precursor solution containing a conductive filler.
一般式
(式中R,およびR1は炭素数6〜24の一価の炭化水
素基であり、互いに同じであっても異なって1/%でも
よい。R8は炭素数1〜6の二価の炭化水素基である。General formula (in the formula, R and R1 are monovalent hydrocarbon groups having 6 to 24 carbon atoms, and may be the same or different from each other by 1%. R8 is a divalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms) It is a hydrocarbon group.
)で示されるアルキレンビス脂肪族モノカルボン酸アミ
Fを添加してなる導電性ペースト組成物に関するもので
ある。) The present invention relates to a conductive paste composition containing an alkylene bis aliphatic monocarboxylic acid amide F represented by the following.
本発明の導電性ペースト組成物を製造するには。To manufacture the conductive paste composition of the present invention.
ポリイミド前駆体溶液中に導電性充填剤およびチクソト
ロピー性付与剤としての前記アルキレンビス脂肪族モノ
カルボン酸アミドF、場合によシ各種界面活性剤、シラ
ンカップリング剤等の添加剤を加え、所望の方法(たと
えばミキサータイプの衝撃分散方式)により混線分散さ
せるのが一般的である。しかし導電性充填剤を含有する
ポリイミド。Additives such as the above-mentioned alkylene bis aliphatic monocarboxylic acid amide F as a conductive filler and thixotropy imparting agent, optionally various surfactants, and a silane coupling agent are added to the polyimide precursor solution to obtain the desired properties. It is common to disperse crosstalk using a method (for example, a mixer-type impact dispersion method). But polyimide containing conductive fillers.
系前駆体溶液を調整して後、これに前記酸アミル等の残
余成分を所望の方法により均一分散させることもできる
。前記方法において、アルキレンビス脂肪族モノカルボ
ン酸アミドをそのまま用し)てもよいが、これが粉状、
固形状を呈しているときには1分散効率を高め、チクソ
トロピー性を向上させるため、前記酸アミドを溶剤(キ
シレン、トルエン、ブタノール、プチルセロソルフ等)
中テ固形分含量10〜25重量%の膨潤分散体の形態で
用いるのが好ましい。このよンに工夫するとたとえば攪
拌や三本ロールなどのせん断分散方式で導電性ペースト
組成物を製造した際、上記酸アミFが均一分散し微粒子
となる。After preparing the system precursor solution, the remaining components such as the acid amyl may be uniformly dispersed therein by a desired method. In the above method, the alkylene bis aliphatic monocarboxylic acid amide may be used as it is;
When the acid amide is in solid form, the acid amide is treated with a solvent (xylene, toluene, butanol, butyl cellosol, etc.) to increase dispersion efficiency and improve thixotropy.
It is preferably used in the form of a swollen dispersion with a medium solids content of 10 to 25% by weight. If this is devised, for example, when a conductive paste composition is manufactured by a shear dispersion method such as stirring or a three-roll method, the acid amide F will be uniformly dispersed and become fine particles.
本発明で用いる前記一般式(1)で示されるアIレキレ
ンピス脂肪族モノカルボン酸アミドとしては。The alekilenepis aliphatic monocarboxylic acid amide represented by the general formula (1) used in the present invention is as follows.
一般的に分子量250〜900程度のものが用いられる
。Generally, those having a molecular weight of about 250 to 900 are used.
好ましい一般式0〕化合物としては、構造式に代表され
るエチレンビス脂肪族モノカルボン酸アミドである。A preferred compound of general formula 0 is an ethylene bis aliphatic monocarboxylic acid amide represented by the structural formula.
また一般式(1)化合物の添加量は通常、ポリイミド系
前駆体と導電性充填剤の総量に対して0.5〜5重量%
、好ましくは0.8〜2.0重量%とされる。Further, the amount of the compound of general formula (1) added is usually 0.5 to 5% by weight based on the total amount of the polyimide precursor and conductive filler.
, preferably 0.8 to 2.0% by weight.
添加量が少なすぎると横変性が不充分となる傾向があシ
、一方多すぎても、使用時に、ペースト組成物硬化体か
らのプルーミングが大となり、たとえば接着剤と用いた
ときに被着体Cす4フレーム等)との界面接着力が低下
してくる恐れがある。If the amount added is too small, lateral modification tends to be insufficient, while if it is too large, plumping from the cured paste composition will be large during use, and for example, when used with an adhesive, the adherend may There is a possibility that the interfacial adhesion force with C4 frame etc.) may decrease.
本発明の導電性ペースト組成物を構成する成分の量的割
合は一般的に下記の割合とされる。・固形分(ポリイミ
ド系前駆体、導電性充填剤および前記一般式(1)化合
物等)含有量は、通常10〜90重量%、好ましくは5
0〜80重量%)−六 。The quantitative proportions of the components constituting the conductive paste composition of the present invention are generally as follows.・The solid content (polyimide precursor, conductive filler, compound of general formula (1), etc.) is usually 10 to 90% by weight, preferably 5% by weight.
0-80% by weight)-6.
れ、他は有機溶剤である。and the others are organic solvents.
固形分レベルでの量的割合は、ボリイミF系前駆体10
0重量部に対して導電性充填剤iso〜1.900重量
部とされ、一般式(1)化合物の量的割合は前記の通シ
である。The quantitative proportion at the solid content level is 10% of the Boliimi F-based precursor
0 parts by weight of the conductive filler to 1.900 parts by weight, and the quantitative proportion of the compound of general formula (1) is as described above.
前記有機溶剤としては、N−メチル−2−ピロリドン、
N−N’−ジメチルアセトアミド、N−N’〜ジメチ
ルホルムアミド、N−N’−ジメチルスルホキシド、ヘ
キサメチルホルホルアミドの如き高極性塩基性溶剤を挙
げることができる。As the organic solvent, N-methyl-2-pyrrolidone,
Mention may be made of highly polar basic solvents such as N-N'-dimethylacetamide, N-N'-dimethylformamide, N-N'-dimethylsulfoxide, and hexamethylformamide.
また、#I記式CI)化合物を前記の膨潤分散体の形態
で用いて、導電性ペースト組成物を製造した場合にはこ
のとき用いた前記の>R=ffJ有機溶剤が混在する場
合もある。In addition, when a conductive paste composition is produced using the compound #I in the form of a swelling dispersion, the above-mentioned >R=ffJ organic solvent used at this time may be mixed. .
本発明において用いられるポリイミド系前駆体として好
ましいのは1次のシロキチン変性ポリイミF前駆体であ
る。A preferred polyimide precursor used in the present invention is a primary silochitin-modified polyimide F precursor.
即ち、ジアミノシロキチン、珪素を含まない有機ジアミ
ン(珪素不合ジアミン)およびテトラカルボン轟水物(
好ましくは芳香族テトラカルボン轟水物)を反応させて
得ることのでさる0、1〜50モル%、好ましくは1〜
20モル%の式(I)で示される反覆単位と50〜99
.9モル%、好ましくは80〜99モル%の式〔蓋〕で
示される反覆単位からなるシロキサl変性ポリイミド前
駆体である。Namely, diaminosilochitin, silicon-free organic diamine (silicon-uncontained diamine), and tetracarboxylic hydride (
0.1 to 50 mol %, preferably 1 to 50 mol %, preferably 1 to 50 mol%
20 mol% of repeating units of formula (I) and 50 to 99
.. A siloxal-modified polyimide precursor comprising 9 mol%, preferably 80 to 99 mol% of repeating units represented by the formula [lid].
(但し、Rは2価の炭化水素基、Teは1価の炭化水素
基、rは4価の有機基、rはケイ素を含まない有機ジア
ミンの残基である2価の有機基、nは1以上の整数であ
る。)
ヒ記シロキチン変性ポリイミド前駆体を合成するにあた
り、用いられる芳香族テトラカルボン酸二無水物として
は。(However, R is a divalent hydrocarbon group, Te is a monovalent hydrocarbon group, r is a tetravalent organic group, r is a divalent organic group that is the residue of an organic diamine that does not contain silicon, and n is (It is an integer of 1 or more.) The aromatic tetracarboxylic dianhydride used in synthesizing the above silochitin-modified polyimide precursor is as follows.
0
200〜500程度のもので、その代表的なものを例示
すると以下の如くである。す々わち、ピロメリット酸二
無水物、3・ご・4・4′−ベンゾフェノンテトラカル
ホン酸二無水物、3・γ・4・4′−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、2・3・了・4′−ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物、2・3・6・7−ナフタレン
テトラカルボン酸二無水物、1・2・5・6−ナフタレ
ンテトラカルボン酸二無水物、1・4・5・8−ナフタ
レンテトラカルボン酸二熱水物、2・7−ビス(3・4
−ジカルボキシフェニル)プロパンニ無水物、ビス(3
・4−ジカルボキシフェニル)スルホy二無水物、 3
・4・9・10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、
ビス(3・4−ジカルボキシフェニル)エーテルニ無水
物、2・2−ビス(2・3−ジカルボキシフェニル)プ
ロパンニ無水物、l・1−ビス(2・3−ジカルボキシ
フェニル)エタン二無水物。ベンゼン−1・2・3・4
−テトラカルボン酸二無水物、2・3・6・7−アント
ラセンテトラカルボン酸二無水物、1・2・7・8−フ
エナントレソテトラヵルボン酸二無水物などがある。0 200 to 500, and the typical examples are as follows. Pyromellitic dianhydride, 3, 4, 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3, γ, 4, 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3・4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2, 3, 6, 7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1, 2, 5, 6-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1, 4. 5,8-naphthalenetetracarboxylic acid dithermal hydrate, 2,7-bis(3,4
-dicarboxyphenyl)propanihydride, bis(3
・4-dicarboxyphenyl) sulfo dianhydride, 3
・4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride,
Bis(3,4-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, 2,2-bis(2,3-dicarboxyphenyl)propanihydride, l,1-bis(2,3-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride . Benzene-1, 2, 3, 4
-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,7,8-phenanthresotetracarboxylic dianhydride, and the like.
珪素不合ジアミン(分子内に珪素原子を含まないジアミ
ノ)は、H,N −R” −Nl2で表わされる芳香族
ジアミン、脂肪族ジアミンおよび脂環族ジアミンが含ま
れる。とくに好適なものは、芳香族ジアミンであり1分
子量1(10〜500程度のものであるが、その代表例
を示すと、たとえばメタフェニレンジアミン、パラフェ
ニレンジアミン、4・47−ジアミツジフエニルメタン
、4・4′−ジアミノジフェニルエーテル、 2・2−
ビス(4−アミノフェニル)プロパン、3・ご−ジアミ
ノジフェニルスルホン。The silicon-uncombined diamine (diamino that does not contain a silicon atom in the molecule) includes aromatic diamines, aliphatic diamines, and alicyclic diamines represented by H, N -R''-Nl2. It is a group diamine and has a molecular weight of 1 (approximately 10 to 500). diphenyl ether, 2,2-
Bis(4-aminophenyl)propane, 3-diaminodiphenylsulfone.
4・4′−ジアミノジフェニルスルホン、4・4′−ジ
アミノジフェニルスルフィド、ベンジジン、ベンジジン
−3・ご−ジカルボン酸、ベンジジン−3・ご−ジスル
ホン酸、ベンジジン−3−モノカルボン酸、ベンジジン
−3−モノスルホン酸、3・了−ジメトキシ−ベンジジ
ン、パラ−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、メ
タ−ビス(4〜アミノフエノキシ)ベンゼン、メタキシ
リレンジアミン、パラキシリレンジアミンなどが挙げら
れる。4,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, benzidine, benzidine-3-dicarboxylic acid, benzidine-3-disulfonic acid, benzidine-3-monocarboxylic acid, benzidine-3- Examples include monosulfonic acid, 3-dimethoxy-benzidine, para-bis(4-aminophenoxy)benzene, meta-bis(4-aminophenoxy)benzene, meta-xylylene diamine, para-xylylene diamine, and the like.
また、ジアミノシロキサンは式
用される。その代表的なものを例示すると以下の如くで
ある。Diaminosiloxanes are also used in formulas. Typical examples are as follows.
CH,Cル
CH,C几
ジアミノシロキサンは、これを使用したポリイミド系導
電性ベース)M放物の硬化物と半導体素子、又は硬化物
とり−Fフレームと界面の密着性を高め、半導体として
の信頼性を高めるのに寄与するところが大きい。CH, CH, C diaminosiloxane is used to improve the adhesion between the cured product of the polyimide-based conductive base) M parabolic material and the semiconductor element, or the cured product and the F frame, and to use it as a semiconductor. This greatly contributes to increasing reliability.
このジアミノシロキサンの使用量は、ジアミノシロキサ
ンと珪素不含ジアミンの総合計量中。The amount of diaminosiloxane used is based on the total amount of diaminosiloxane and silicon-free diamine.
0.1〜50モル%とするのが良い。さらに好適には熱
性が低下するので好ましくない。The content is preferably 0.1 to 50 mol%. Furthermore, it is not preferable because the thermal properties are lowered.
シミキチン変性ポリイミド前駆体は、上記芳香族テ)−
1カルボン酸二無水物に対してジアミノシロキサンと珪
素不合ジアミンの合計量を略等モルとし、不活性溶剤中
にて1通常60℃以下、特に好ましくは30℃以下にて
従来の公知の方法に準じて重合を行なうことにより得る
ことがで傘る。The simiquitin-modified polyimide precursor is the aromatic compound mentioned above.
1 The total amount of diaminosiloxane and silicon-uncombined diamine is approximately equimolar to 1 carboxylic dianhydride, and 1 is prepared by a conventional known method in an inert solvent at a temperature usually below 60°C, particularly preferably below 30°C. It can be obtained by polymerization according to the same method.
使用する溶剤は、たとえばN−メチル−2−ピロリFン
、 N−N’−ジメチルアセトアミド、 N−1’f−
ジメチルホルムアミド、 N−に−ジメチルスルrh
キiyド、ヘキサメチルホスホルアミドなどの高極性塩
基性溶剤を挙げるこ七ができる。また、これらの溶剤ト
トモニ、トルエン、キシレン、ベンゾニトリル、ベンゼ
ン、フェノール、ブチルセロソルヴの如き汎用溶剤を併
用することもできる。しかし。The solvents used are, for example, N-methyl-2-pyrrolidine, N-N'-dimethylacetamide, N-1'f-
dimethylformamide, N-dimethylsulrh
Examples include highly polar basic solvents such as carbon dioxide and hexamethylphosphoramide. Furthermore, general-purpose solvents such as these solvents, toluene, xylene, benzonitrile, benzene, phenol, and butyl cellosolve can also be used in combination. but.
その使用量は、生成ポリイミド前駆体の溶解膚を低下さ
せない範囲にすべきである。この様にして □ポリイミ
ド前駆体が合成されるが、その溶液粘度は場合にJす、
数十万ボイプにもなり、導電性充填剤を含有してなるペ
ーストは、粘度が高くなシすぎるので、場合によシ、前
駆体溶液を40〜80℃で加熱・熟成して、あらかじめ
溶液粘度を下げてお(のが良い。The amount used should be within a range that does not reduce the dissolution rate of the polyimide precursor produced. In this way, the polyimide precursor is synthesized, but the viscosity of the solution is
The paste containing conductive fillers is too viscous, so in some cases, the precursor solution may be heated and aged at 40 to 80°C to form a solution in advance. It is better to lower the viscosity.
本発明において使用されるポリイミド−系前駆体の固有
粘度(@記シロキチン変性ポリイミド前駆体の場合も含
めて)通常0.3〜3.0とされる。The intrinsic viscosity of the polyimide precursor used in the present invention (including the case of the silochitin-modified polyimide precursor mentioned above) is usually 0.3 to 3.0.
固有粘ばは、溶媒としてN−メチル−2−ピロリVンを
使用し測定温度30±0.01℃(恒温槽)でつぎの式
;
%式%)
t;ウベローデ粘度計で測定されるポリマー溶液の落下
時間
to; 上記同様に測定される溶媒の落下時間C;ポリ
イミド系樹脂の前駆体濃度(0,5重量%とじた)
よシ算出した値である。The intrinsic viscosity is calculated using the following formula using N-methyl-2-pyrrolidine as a solvent and at a measurement temperature of 30±0.01°C (in a constant temperature bath); Falling time to of the solution; Falling time C of the solvent measured in the same manner as above; Concentration of the precursor of the polyimide resin (0.5% by weight).
本発明においては、ポリイミド系前駆体製造時に用いた
反応溶媒を、導電性ペーストの有機溶剤としてそのまま
用いるのが通常である。In the present invention, the reaction solvent used in producing the polyimide precursor is usually used as it is as an organic solvent for the conductive paste.
また、導電性ペーストを製造する場合、一般的には、ポ
リイミド前駆体溶液に、まず導電性充填剤を添加し1次
いで前記式(1)化合物を所望の方法により均一に分散
させる。Further, when manufacturing a conductive paste, generally, a conductive filler is first added to a polyimide precursor solution, and then the compound of formula (1) is uniformly dispersed by a desired method.
本発明において、導電性充填剤としては、通常Au、
Ag、 Pd、 Pt、 Mn、 Cu、 Ni、 A
I、 Sn、 Fe、 Co、Crなどの金嘱粉または
これらの合金粉、またはRnO,、Cry、、ZnO,
SnO,、Fe2O,、In2O,、PdO,TI、O
,。In the present invention, the conductive filler is usually Au,
Ag, Pd, Pt, Mn, Cu, Ni, A
I, Sn, Fe, Co, Cr or other metal powder or alloy powder thereof, or RnO, Cry, ZnO,
SnO,, Fe2O,, In2O,, PdO, TI, O
,.
Ire、、Phi、 Sb、0.、 Bi2O,、Cd
O等の酸化粉なとうちの1種または2種以上使用する。Ire, , Phi, Sb, 0. , Bi2O,, Cd
Use one or more oxidized powders such as O.
また、カーボングラファイト、カーボンブラックの併用
もできる。Further, carbon graphite and carbon black can be used in combination.
しかし好ましくは、 Au粉、 Ag粉、 Ag粉とP
d粉との混合粉であり、さらに好適には〜粉である。こ
れら導電性充填剤は、その製法により1種々の形状のも
のがあり、樹状粉、鱗片状粉1球状粉、多孔質粉、針状
粉などが挙げられる。好ましくは。However, preferably Au powder, Ag powder, Ag powder and P
It is a mixed powder with d powder, and more preferably - powder. These conductive fillers come in various shapes depending on their manufacturing method, and include dendritic powder, scaly powder, spherical powder, porous powder, needle-shaped powder, and the like. Preferably.
樹状粉、鱗片状粉を用いるのが良い。これら導電性粉末
は、一般に101)メツシュフリーパス、好適には32
5メツシユフリーバスであるのが良い。It is best to use dendritic powder or scaly powder. These conductive powders are generally 101) mesh free pass, preferably 32
5 It is good that it is a free bus.
使用量は1組成物*@4・^形イン通常60〜95重量
%、好適には70〜90重量%程度である。The amount used is usually about 60 to 95% by weight, preferably about 70 to 90% by weight per composition*@4.^ type in.
ポリイミド前駆体の溶液に、かかる導電性充填剤を混線
分散する方法は、三本ロール、ボールミルなどの分散機
を用いるのが良い力Y、高粘度ペーストを分散できしか
も回収効率の良い三本ロールを用いるのが良い。この導
電性充填剤の分散と同時に、前記チクソトロピー性剤で
あるアルキレンビス脂肪族モノカルボン酸アミド、もし
くは、その膨潤分散体を同時に混線分散するのが作業効
率ヒ好ましいが、後添加による分散でもかまわない。To cross-disperse the conductive filler in a polyimide precursor solution, it is best to use a dispersing machine such as a three-roll mill or a ball mill. It is better to use It is preferable to cross-disperse the alkylene bis aliphatic monocarboxylic acid amide, which is the thixotropic agent, or a swelling dispersion thereof at the same time as the dispersion of the conductive filler in terms of work efficiency, but dispersion by post-addition is also possible. do not have.
この様にして得られるポリイミド系前駆体パイングーに
よる導電性ペースト組成物はたとえば接着剤として使用
できる。−例を挙げると、これをリードフレームに塗工
し、さらに半導体素子を載置し、乾燥・硬化して有機溶
剤を除去した後。The conductive paste composition made of the polyimide precursor Pine Gu obtained in this manner can be used, for example, as an adhesive. - For example, after coating this on a lead frame, further mounting a semiconductor element, drying and curing to remove the organic solvent.
200〜300℃の高温に加熱すると、ポリイミド系前
駆体が分子内閉環反応(イミV化)をおこして硬化し、
半導体素子とリードフレームとを強固に接着させるもの
である。しかも1本発明による導電性ペースト組成物は
、チクソトロピー性に優れる(揺変性が高い)ものであ
るから、シリンジによるディスペンス塗布法での作業性
に優れるものである。When heated to a high temperature of 200 to 300°C, the polyimide precursor undergoes an intramolecular ring-closing reaction (imide V conversion) and hardens.
This is to firmly bond the semiconductor element and the lead frame. Moreover, since the conductive paste composition according to the present invention has excellent thixotropy (high thixotropy), it has excellent workability in the dispensing coating method using a syringe.
この発明で得られる導電性ペースト組成物によれば、高
い揺変性によるところのディスペンス塗布法に優れるの
で、同時にチクソトロピー性を要求されるスクリーン印
刷法ICよる塗布法が用いられる各種分野で使用できる
。また、半導体素子のグイボンディング用接着剤以外に
も、電子部品用接着剤等の各種用途、たとえば高い接着
力を要求されるチップ部品(チップコンデンサー、チッ
プ抵抗器など)のセラミック端面外部電橋用、水晶発振
子の水晶振動板とり−ト°フレームとの導電接着剤とし
ても用いられ、また、印刷回路基板の印刷配線導体とし
ても有用である。すなわち、この導電性ペースト組成物
は、ハイブリッドICやモノシリツクICのグイポンデ
ィング用接着剤、あるいは従来低融点ガラスフリット銀
ペーストなど無機系銀ペーストしか使用できなかったチ
ップコンテンサーやチップ抵抗器などのチップ部品ノ分
野における電極材として、あ゛るいは水晶振動子固定用
導電性接着剤兼電極材、液晶表示セル電極材などに広く
用いられる。The conductive paste composition obtained according to the present invention is excellent in the dispensing coating method due to its high thixotropy, so it can be used in various fields where a coating method using screen printing IC is used, which also requires thixotropy. In addition to adhesives for bonding semiconductor devices, we also use adhesives for electronic components and other applications, such as ceramic edge external bridges for chip components (chip capacitors, chip resistors, etc.) that require high adhesive strength. It is also used as a conductive adhesive between the quartz plate and frame of a quartz oscillator, and is also useful as a printed wiring conductor for printed circuit boards. In other words, this conductive paste composition can be used as a bonding adhesive for hybrid ICs and monolithic ICs, or for chips such as chip condensers and chip resistors, for which conventionally only inorganic silver pastes such as low-melting point glass frit silver pastes could be used. It is widely used as an electrode material in the parts field, as a conductive adhesive/electrode material for fixing crystal resonators, and as an electrode material for liquid crystal display cells.
第1図〜第5図はこれら使用例を示すものである。第1
図(A)はハイプリツI″ICの平面図であり。1 to 5 show examples of these uses. 1st
Figure (A) is a plan view of Hypritz I''IC.
同図(B)は同1=I線断面図である。両図において1
は金属外囲器、 2m、 2b、 2c、 2d、 2
eはリーVビンである。3はアルミニウム、アルミナま
たはガラスエポキシなどからなる基板であり、この基板
3上に導体層4a、 4b、 4c、4d、 4e、
4f、 4g、 4h、 4i4j、 4に、 41が
設けられている。これら導体層は。Figure (B) is a sectional view taken along the line 1=I. 1 in both figures
is metal envelope, 2m, 2b, 2c, 2d, 2
e is Li V Bin. 3 is a substrate made of aluminum, alumina, glass epoxy, etc., and conductor layers 4a, 4b, 4c, 4d, 4e,
4f, 4g, 4h, 4i4j, and 4 are provided with 41. These conductor layers.
銀、金、銀−パラジウムなどを導電フィラーとし、有機
ポリマーおよび低融点ガラスをバインダーとするペース
ト状物を基板上に塗工し、溶媒を除去したのち700〜
1,200℃程度で焼成することにょシ設けられる。A paste containing silver, gold, silver-palladium, etc. as a conductive filler and an organic polymer and low melting point glass as a binder is coated on a substrate, and after removing the solvent, it is heated to 700 ~
Sintering is performed at approximately 1,200°C.
導体層4c上には半導体素子5が、この発明の導電性ペ
ースト組成物を用いて形成されたペースト硬化物層6に
よって強固に接着固定されている。A semiconductor element 5 is firmly adhesively fixed on the conductor layer 4c by a paste cured layer 6 formed using the conductive paste composition of the present invention.
この接着は、導体層4c上に前記の導電性ペースト組成
物を所定量設け、この上に半導体素子5をのせて、前記
組成物を加熱硬化(イミド化)させることによってなさ
れたものである。7a、 7bは他の導体層4b、4d
と電気的に接続するためのボンディングワイヤ、 8a
、8b、 8cは抵抗、コンデンサー、ダイオ−Fなど
のチップ部品である。9は基板1をのせた放熱板であり
、この放熱板91に、アースのために導体層4aとワイ
ヤ111によって電気的に接続された導体層1oが設け
られている。11はエポキシ樹脂などからなる封Ik、
Il脂。This adhesion was achieved by providing a predetermined amount of the conductive paste composition on the conductor layer 4c, placing the semiconductor element 5 thereon, and heating and curing (imidizing) the composition. 7a, 7b are other conductor layers 4b, 4d
Bonding wire for electrical connection with 8a
, 8b, and 8c are chip components such as resistors, capacitors, and diode F. Reference numeral 9 denotes a heat sink on which the substrate 1 is placed, and the heat sink 91 is provided with a conductor layer 1o electrically connected to the conductor layer 4a by a wire 111 for grounding. 11 is a seal Ik made of epoxy resin or the like;
Il fat.
12はIJ’ Mピン2a〜2cの外部への延出部を封
止するためのエポキシ樹脂などからなるm指対止部であ
る。Reference numeral 12 designates an m-finger engagement portion made of epoxy resin or the like for sealing the externally extending portions of the IJ'M pins 2a to 2c.
第2図(A)はモノシリツクICの封止樹脂層を省略し
たモ面図であり、同m (B)は同ト]線断面図である
。両図において13はリーFフレームであり、このリー
ドフレーム13上に半導体素子14が、この発明の導電
性ペースト組成物を用いて形成されたペースト硬化物層
15によって強固に接着固定されている。この接着は前
記のへイブリッドtCにおける導体層と半導体素子との
接着と同様の方法で行われる。16m、16bは他のり
−Vフレーム14m、 14blCポンディングワイヤ
17m。FIG. 2(A) is a top view of the monolithic IC with the sealing resin layer omitted, and FIG. In both figures, 13 is a lead frame, on which a semiconductor element 14 is firmly adhesively fixed by a paste cured layer 15 formed using the conductive paste composition of the present invention. This bonding is performed in the same manner as the bonding of the conductor layer and semiconductor element in the hybrid tC described above. 16m and 16b are other glue-V frame 14m, 14blC bonding wire 17m.
17bによって電気的に接続された電極、18はト’)
yスファー成形などにより上記の各部品を一体に封+h
したエポキシ樹脂などからなる封止樹脂層である。The electrode electrically connected by 17b, 18 is t')
Seal the above parts together by y space molding etc.+h
This is a sealing resin layer made of epoxy resin or the like.
第3図はチップコンデンサーの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a chip capacitor.
同図において19はBaTi0.、 Tie、などを主
成分とするセラミック誘電体、20は有機ポリマーおよ
び低融点ガラスをバインダとする導電性ペースト組成物
から焼結により形成されよ無機系銀、金。In the figure, 19 is BaTi0. , Tie, etc., 20 is formed by sintering from a conductive paste composition containing an organic polymer and a low melting point glass as a binder, inorganic silver, and gold.
銀−パラジウムなどのペースト硬化物からなる内部電極
である。21m、21bはこれら内部電極を並列接続す
るように設けられたこの発明の導電性ペースト組成物を
硬化させてなる外部電極である。This is an internal electrode made of a cured paste such as silver-palladium. 21m and 21b are external electrodes formed by curing the conductive paste composition of the present invention, which are provided so as to connect these internal electrodes in parallel.
このチップコンデンサーは、 BaTi0.、 Tie
、などを主成分とするセラミック材料を薄膜シート状に
したものに、前記の無機系銀、金、#−パラジウムなど
の4電性ペ一スト組成物を印1!J L 、この一族シ
ートを数層から数千mに積み直ねて700〜1.200
℃程度で焼結し、次いでこの発明のペースト組成物を硬
化させた外部電極を設けることにより得られる。なお、
外部電極は、チップコンデンサーのハンダ付けの際に、
導電性充填剤としてノ銀のハンダへの溶出防止のため、
Ni等のメッキ層を設ける場合もある。This chip capacitor is made of BaTi0. , Tie
, etc. A tetraelectric paste composition such as inorganic silver, gold, #-palladium, etc. is applied to a thin film sheet of a ceramic material whose main components are 1!, etc. JL, re-stack this clan sheet from a few layers to several thousand meters to 700 to 1.200.
It is obtained by providing an external electrode which is sintered at about 0.degree. C. and then hardened with the paste composition of the present invention. In addition,
External electrodes are used when soldering chip capacitors.
To prevent the elution of silver into solder as a conductive filler,
A plating layer of Ni or the like may be provided in some cases.
第4図はチップ抵抗器の断面図である。アルミナ基板2
2hに酸化ルテニウム、カーボンなどの厚膜からなる抵
抗素子23が設けられている。FIG. 4 is a cross-sectional view of the chip resistor. Alumina substrate 2
A resistor element 23 made of a thick film of ruthenium oxide, carbon, etc. is provided at 2h.
24はこの発明の導電性ペースト組成物が加熱硬化(イ
ミM化)されて形成されたペースト硬化物であり、ハン
ダ付は性を良くするために錫を主体として設けられたハ
ンダメッキ層26およびニッケル層24′とともに外部
電極25を構成している。Reference numeral 24 denotes a paste cured product formed by heating and curing (imitation) the conductive paste composition of the present invention, and a solder plating layer 26 and a solder plated layer mainly made of tin to improve soldering properties. The external electrode 25 is constituted together with the nickel layer 24'.
このニッケルー24′は外部電極25をハンダ付けする
際にペースト硬化物24から導電性充填剤としての銀が
溶出するのを防止するために設けられえものである62
7はガラスからなる保護膜である。This nickel 24' may be provided to prevent silver as a conductive filler from being eluted from the cured paste 24 when the external electrode 25 is soldered.62
7 is a protective film made of glass.
第5図(A)は水晶発振子の切欠側面図である。水晶板
28の両面に銀−金14$ 29m、 29bが設けら
れている。同図(B)は、この−膜29a、29bが設
けられた水晶板28のモ面図である。29’a、29’
bはこの発明の導電性ペースト組成物が加熱硬化(イミ
ド化)されて形成されたペースト硬化物であり、水晶板
28とり−Vフレーム31a、31bとを接着する機能
を有するとともに、前記の銀−金lI膜29a、29b
とともに電極30a。FIG. 5(A) is a cutaway side view of the crystal oscillator. Silver-gold metal 29m and 29b are provided on both sides of the crystal plate 28. FIG. 2B is a cross-sectional view of the crystal plate 28 provided with the films 29a and 29b. 29'a, 29'
b is a paste cured product formed by thermally curing (imidizing) the conductive paste composition of the present invention, and has the function of bonding the crystal plate 28 and the V frames 31a, 31b, and - Gold lI films 29a, 29b
together with the electrode 30a.
30bを構成している。32は金属製ケースである。30b. 32 is a metal case.
以下にこの発明を実施例によって説明する。This invention will be explained below by way of examples.
各実施例および比較例には、横変性を示す尺度として、
揺変度(チクソトロビックインデックス)を次の式によ
シ定義した。In each example and comparative example, as a measure of lateral degeneration,
The thixotropic index was defined by the following formula.
揺変度=□ ま ただし、l;東京計器■製BH型回転粘度針で。Rocking degree = □ Ma However, l: BH type rotational viscosity needle manufactured by Tokyo Keiki ■.
ローターNo 7を用い、 2r−で計つた25℃での
粘度(ボイズ)
マ;同じ(20rpmでの粘度(ボイズ)実施例1
攪拌装置、冷却管、温II’計および窒素置換装置を付
したフラスコ′中に、N−メチル−2−ピロリF719
B、3fを加え、ビス(3−アミノプロピル)テトラメ
チルジシロキサン0.879(0,0035モル)4・
1−tyアミ/97z=ルエ−テ+L’19.:l(0
,0965モル)を仕込み、溶解するまで攪拌した。つ
ぎに3・ご・4・4′−ビフェニルテトラカルボン酸二
無水29.4F(0,1モル)を除々に添加した。反応
系を30℃以下になるように保持し、透明粘稠溶液にな
るまで攪拌した。つぎに反応系を60℃に8時間保ち、
この加熱・熟成工程後不揮発固形分、20JI重量%、
溶液粘度が42()ボイズのポリイミド°前駆体の溶液
を作製した。Viscosity (voice) at 25°C measured at 2r using rotor No. 7 Same (viscosity (voice) at 20 rpm) Example 1 Equipped with a stirrer, cooling tube, temperature II' meter and nitrogen purge device In the flask', N-methyl-2-pyrroli F719
Add B, 3f and add 0.879 (0,0035 mol) of bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane 4.
1-ty Ami/97z=Luete+L'19. :l(0
, 0965 mol) and stirred until dissolved. Next, 29.4 F (0.1 mole) of 3-4-4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride was gradually added. The reaction system was maintained below 30° C. and stirred until a clear viscous solution was obtained. Next, the reaction system was kept at 60°C for 8 hours,
After this heating and aging process, the non-volatile solid content is 20 JI weight%,
A solution of a polyimide precursor having a solution viscosity of 42 () voids was prepared.
得られたボリイミp前駆体の溶液1110 F (固形
分20t)K、325メツシユフリーパスの鱗片状銀粉
(i&大粒径32pm、IP均粒径5.1μy+z)9
6、6 fを加え、3本ロールで混練してボリイミF前
駆体の溶液に分散した。この3本ロールでの混線・分散
工程中に、エチレンビス、ステアリン酸アミFのキシレ
ン中膨潤分散ペースト(有効成分20重量%)5.83
fを加え、銀粉とともにポリイミ1″前駆体の溶液に分
散し、この発明の導電性ペースト組成物を作製した。Solution of the obtained Boliimi p precursor 1110 F (solid content 20 t) K, 325 mesh free pass scaly silver powder (i & large particle size 32 pm, IP average particle size 5.1 μy + z) 9
6 and 6 f were added and kneaded with three rolls to disperse in the solution of Boliimi F precursor. During the mixing and dispersion process using these three rolls, a swollen dispersion paste of ethylene bis and amyl stearate F in xylene (active ingredient 20% by weight) 5.83
f was added and dispersed together with silver powder in a solution of polyimide 1'' precursor to produce a conductive paste composition of the present invention.
逼られた銀ペースト組成物の揺変度を測定したところ、
4.21であり、チクソトロピー性力1高1.)ことが
判った。なお、21)rprt+での粘度は900ポイ
ズであった。次にこれを5ccシリンジに5f充填し、
5kg/cdの空気圧で 9−Fフレームのグイボン
ディングプレート上に、ディスペンチ−を用いて、連続
塗布したところ、吐出量のノ(ラツキが少なく、定量塗
布が可能であり、しかも、°°たれ”が無く、塗布作業
性に優れていることが判った。塗布後、半導体素子を接
着し、120℃で30分間、200℃で60分間、乾燥
・硬化し−た。When the thixotropy of the filled silver paste composition was measured,
4.21, thixotropic power 1 high 1. ) It turned out that. In addition, the viscosity at 21) rprt+ was 900 poise. Next, fill 5f of this into a 5cc syringe,
When I applied it continuously using a dispenser on a 9-F frame Gui bonding plate at an air pressure of 5 kg/cd, it was found that the amount of discharge (less unevenness, fixed amount application, and no dripping) It was found that the coating workability was excellent as there was no "". After coating, the semiconductor element was adhered and dried and cured at 120 DEG C. for 30 minutes and at 200 DEG C. for 60 minutes.
半導体素子と IJ −Vフレームとの接着力をプツシ
ニブルゲージにて測定したところ、105kf/jだっ
た。同様にして350℃での接着力を調べたところ、
25kf/dであり、アセンブリ一工程での組ヴに支障
の無い接着力を示した。The adhesive force between the semiconductor element and the IJ-V frame was measured using a push-nibble gauge and was found to be 105 kf/j. When we investigated the adhesive strength at 350℃ in the same way, we found that
The adhesive force was 25 kf/d, and showed an adhesive strength that did not cause any problems in assembly in one assembly process.
実施例2
実施例1と同様にして、N−メチル−2−ピロリド°ン
210、Of中にビス(3−アミノプロピル)テトラメ
チルジシロキサン2.4859 (0,01モル)4・
4′−ジアミノジフェニルメタン17.82f(0,0
9モル)を溶解し1次いで3・了・4・l−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水32.2f(0,1モル)
を反応させ、不揮発固形分19.8重量%、溶液粘度1
43ボイズのポリイミド前駆体溶液を作製した。Example 2 In the same manner as in Example 1, 2.4859 (0.01 mol) of bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane was added in 210 of N-methyl-2-pyrrolidone and 4.
4'-diaminodiphenylmethane 17.82f (0,0
9 mol) and then 32.2 f (0.1 mol) of 3-4-l-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (0.1 mol).
was reacted, and the nonvolatile solid content was 19.8% by weight, and the solution viscosity was 1.
A polyimide precursor solution with 43 voids was prepared.
このポリイミ)’前駆体溶液10・Of(固形分19.
8f)K、325メソシユフリーパスの鱗片状銀粉(最
大粒径32pm、’l’均粒径3.3 am ) 99
.Ofを加え。This polyimide)' precursor solution 10.Of (solid content 19.
8f) K, 325 mesh free pass scaly silver powder (maximum particle size 32 pm, 'l' average particle size 3.3 am) 99
.. Add Of.
三本ロールで混線・分散した。このペースト組成物10
0tに、実施例1で使用したエチレンビスステアリン酸
アミド°のキシレン中膨M分歓ヘ−x □ト(有効成分
20膚量%)1.80tを加え、再度3本ロールで分散
し、揺変度 3.73.2Orpmでの粘度830ボイ
ズのこの発明の導電性ペースト組成物を作成した。The three rolls caused crosstalk and dispersion. This paste composition 10
To 0 t, 1.80 t of the ethylene bisstearamide used in Example 1 (active ingredient 20% by volume) was added, dispersed again with three rolls, and shaken. A conductive paste composition of the present invention was prepared with a viscosity of 830 voids at 3.73.2 Orpm.
実施例1と同様にして、ディスペンス法テ塗布作業性を
調べたところ、塗布作業性に優れ、しかも同様にして半
導体素子を接着し、100℃で30分間、250℃で6
0分間乾燥・硬化した後の半導体素子とリードフレーム
との接着力は、95kf/cd、350℃で23kf/
cdであり、充分な接着力を示した。In the same manner as in Example 1, the coating workability of the dispense method was investigated.
The adhesive strength between the semiconductor element and the lead frame after drying and curing for 0 minutes is 95 kf/cd, and 23 kf/cd at 350°C.
cd and showed sufficient adhesive strength.
実施例3
実施例2で作製したこの発明の導電性銀ペースト組成物
を、5ccシリンジに5f詰め、 3kf/dの空気圧
で、気密封止型水晶発振子の組立に用いる4270イ製
リードフレーム上にディスペンス法で滴下し、水晶振動
板を接着後、120℃で30分間、275℃で90分間
乾燥し硬化し、接着固定した。低融点ガラスを用いて、
ガラス特容器上下を470℃で10分間の条件で密封し
、気密封止型水晶発振子を作製した。この過程でのディ
スペンサー塗布作業では、定量塗布が可能で、しかも、
シリンジ先端からの“°たれ”も無く、塗布作業性に優
れていることが判った。また、42アロイ製リードフレ
ームと水晶振動板との接着力も充分で。Example 3 The conductive silver paste composition of the present invention prepared in Example 2 was packed in a 5cc syringe with 5f, and placed on a 4270I lead frame used for assembling a hermetically sealed crystal oscillator at an air pressure of 3kf/d. After adhering the crystal diaphragm, the mixture was dried and cured at 120° C. for 30 minutes and 275° C. for 90 minutes, and fixed by adhesive. Using low melting point glass,
The top and bottom of the special glass container were sealed at 470° C. for 10 minutes to produce a hermetically sealed crystal oscillator. Dispenser application work in this process allows for quantitative application, and
It was found that there was no dripping from the tip of the syringe, and the coating workability was excellent. Also, the adhesive strength between the 42 alloy lead frame and the crystal diaphragm is sufficient.
75tMの高さから堅木上へ落下後の導通不良もなかっ
た。また、低融点ガラスでの封止にも充分耐えることか
ら、耐熱性も充分であシ、この発明の導電性ペースト組
成物は半導体素子のグイボンディング接着剤以外の用途
においても有用であることがわかった。There was no conductivity failure after dropping from a height of 75 tM onto hardwood. In addition, since it can withstand sealing with low melting point glass, it has sufficient heat resistance, and the conductive paste composition of the present invention is useful in applications other than adhesive bonding for semiconductor devices. Understood.
比較例1 実施例2で用いたポリイミド前駆体溶液100t。Comparative example 1 100 t of polyimide precursor solution used in Example 2.
鱗片状銀粉99. Ofを相様に3本ロールで混練・分
散した。このペースト組成物の揺変度は、1.43で、
20rpmでの粘度は890ボイズであった。Scaly silver powder 99. Of was mixed and dispersed using three rolls. The thixotropy of this paste composition is 1.43,
The viscosity at 20 rpm was 890 voids.
実施例2と同様にして、塗布作業性を調べたところ、吐
出量にバラツキが有り、定量塗布は困難であった。さら
に、ペースト組成物は塗布作−中に。When the coating workability was examined in the same manner as in Example 2, there was variation in the discharge amount, and quantitative coating was difficult. Furthermore, the paste composition is used during application.
グイボンディングプレート以外のリードフレーム上に滴
下する場合があり IJ −Mフレームを汚染 ′する
ことがあった。しかし、正常に塗布された場合の半導体
素子とり−Fフレームとの接着力とは。In some cases, it dripped onto the lead frame other than the bonding plate, contaminating the IJ-M frame. However, what is the adhesive strength between the semiconductor element and the F frame when it is properly applied?
実施例2と同様であった。It was the same as Example 2.
なお、上、記各実施例および比較例より得られたペース
ト組成物のNa+およびC1イオン含有量は以下の如く
であった。即ち該組成物を120℃。The Na+ and C1 ion contents of the paste compositions obtained from the above Examples and Comparative Examples were as follows. That is, the composition was heated to 120°C.
3()分間を引続く200℃、60 分で乾燥・硬化し
粉砕して得られる150メツシュバス品5tに対して蒸
留水50Fを加えて121℃、2気圧。Distilled water 50F was added to 5 tons of 150 mesh bath product obtained by drying and curing at 200°C for 60 minutes and pulverizing for 3 () minutes, followed by 121°C and 2 atm.
20時間抽出した抽出水のNa” 、 C1−含有量は
各々5PPM以下であった。The Na'' and C1 contents of the extracted water extracted for 20 hours were each 5 PPM or less.
第11図〜第5図はこの発明の導電性銀ペースト組成物
の使用例を示すものであり、第1図(A)はハイブリツ
FICの平面図、第1図(B)は上記第1図(A)のf
−1線断面図、第2図(A)はモノシリツクICの封止
樹脂層を省略したモ面図、第2図(B)は上記第2図(
A)の■−■線断面図、第3図はチップコンデンサーの
断面図、第41文はチップ抵抗器の断面図、第5図(A
)は水晶発振子の切欠側面図、第5図(B)は上記第5
図(A)の水晶振動子部分のモ面図である。
第2図
第3図
第4図11 to 5 show examples of use of the conductive silver paste composition of the present invention, FIG. 1(A) is a plan view of a hybrid FIC, and FIG. 1(B) is the above-mentioned FIG. 1. (A) f
-1 line sectional view, FIG. 2(A) is a cross-sectional view of the monolithic IC with the sealing resin layer omitted, and FIG. 2(B) is the above-mentioned FIG.
Figure 3 is a cross-sectional view of a chip capacitor, Section 41 is a cross-sectional view of a chip resistor, Figure 5 (A) is a cross-sectional view of A).
) is a cutaway side view of the crystal oscillator, and FIG. 5(B) is the above-mentioned fifth
FIG. 3 is a top view of the crystal resonator portion in FIG. Figure 2 Figure 3 Figure 4
Claims (1)
に、一般式 (式中R0およびR3は炭素数6〜24の一価の炭素水
素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい
。R3は炭素数1〜6の二価の炭化水素基である。)で
示されるアルキレンビス脂肪族モノカルボン酸アミVを
添加してなる導電性ペースト組成物。 (2)アルキレンビス脂肪族モノカルボン酸アミドの添
加量が、ポリイミド°系前駆体と導電性充填剤の合計竜
に対し、0.5〜5重量%である特許請求の範囲第1項
記載の導電性ペースト組成物。 13)アルキレンビス脂肪族モノカルボン酸アミドとし
て、有機溶剤中に肪酸アミドを固形分会量゛ 10〜2
5電量%の割合で膨潤分散させてなる膨潤分散体を用い
てなる特許請求の範囲第1項又は第2項記載の導電性ペ
ースト組成物。 て得ることのできる0、1〜50モル%の式(It)で
示される反覆単位と50〜99.9モル%の式(III
)で示される反覆単位からなるシミキチン変性ボリイミ
F前駆体である特許請求の範囲第1項〜第3項いずれか
記載の導電性ペースト組成物。 (但し、Rは2価の炭化水素基、R′は1価の炭化水素
基、R#は4価の有機基、rはケイ素を含まない有機ジ
アミンの残基である2価の有機基、nは1以上の整数で
ある)。 16)導電性充填剤が銀粉末である特許請求の範囲第1
項〜第4項いずれか記載の導電性ペースト組成物。[Scope of Claims] A polyimide precursor solution containing a +11 conductive filler is added to a polyimide precursor solution containing the general formula (wherein R0 and R3 are monovalent carbon hydrogen groups with 6 to 24 carbon atoms, and are the same as each other). R3 is a divalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.) An electrically conductive paste composition prepared by adding an alkylene bis aliphatic monocarboxylic acid amine V represented by the following. (2) The amount of the alkylene bis aliphatic monocarboxylic acid amide added is 0.5 to 5% by weight based on the total weight of the polyimide precursor and the conductive filler. Conductive paste composition. 13) As an alkylene bis-aliphatic monocarboxylic acid amide, a fatty acid amide is added in an organic solvent at a solid content of ゛ 10 to 2.
The conductive paste composition according to claim 1 or 2, which uses a swelling dispersion formed by swelling and dispersing at a ratio of 5% by electric charge. 0.1 to 50 mol % of repeating units of formula (It) and 50 to 99.9 mol % of formula (III
) The conductive paste composition according to any one of claims 1 to 3, which is a simiquitin-modified Boliimi F precursor consisting of repeating units represented by the following. (However, R is a divalent hydrocarbon group, R' is a monovalent hydrocarbon group, R# is a tetravalent organic group, r is a divalent organic group that is the residue of an organic diamine that does not contain silicon, n is an integer greater than or equal to 1). 16) Claim 1 in which the conductive filler is silver powder
The conductive paste composition according to any one of Items 1 to 4.
Priority Applications (1)
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JP6483484A JPS60206884A (en) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | Electrically conductive paste composition |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6440586A (en) * | 1987-08-07 | 1989-02-10 | Hitachi Chemical Co Ltd | Adhesive composition |
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-
1984
- 1984-03-30 JP JP6483484A patent/JPS60206884A/en active Pending
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