JPS60202765A - 単分子薄膜の生成及び累積装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 単分子層または有機化合物の薄膜に対する多くの使用目
的があシ、特に電子工学分野において著しく、その使用
目的は、例えば金属・絶縁物・金属構造体に用いられ、
この場合、電気絶縁層は特にその制御が慎重を要する。

親水性単分子層の製造及び累積に関する既知の方法は、
Ｌａｎｇｍｕｉ　ｒ　によって述べられてきた。この方
法によれば、タンクの液体と不混和性の溶剤内に溶解さ
れた親水性単分子の溶液が、前記液体の表面上に配置さ
れる。例えば、この溶剤はクロロフォルムまたは石油エ
ーテルである。この溶剤は蒸発して単分子はその主軸線
を無秩序に向けた状態で水中に一部を浸漬して残る。分
子は所与の表面圧力をもつ仕切ｐ板を用いて圧縮するこ
とによシまっすぐに整列される。これによって形成され
た薄膜は親水性または疎水性基板上に累積される。親水
性基板は、例えば、Ａｌ２Ｏ３，ＣａＦ２及び５ｉｎ２
のような酸化物である。疎水性基板は金、銀またはゲル
マニウムのような純金属である。単分子薄膜は、タンク
の液体中に前もって浸漬された基板を静かに上昇するこ
とによって該基板上に累積され、この場合、薄板は前記
所与の表面圧力をもって累積時間中維持される。単分子
薄膜の圧縮を行うためにタンク液体の表面上を移動可能
な強固に固定された仕切シ板を用いる。この仕切シ板を
移動することによって液体の表面上に前もって形成され
た単分子薄膜の区域の減縮が生じるので単分子薄膜は所
望の面圧力を受けるようになる。

薄膜を生成しかつ累積する作業を通じ、結合または表面
活性イオン化生成物による液槽及びその液表面に汚染が
無いことと共に絶対的な清浄さが必要である。

従来技術では、Ｌａｎｇｍｕｉｒ　方法による単分子層
または薄膜の生成及び累積を行う多数のタンクが開示さ
れている。例えば、Ｊｏｙｃｅ−Ｌｏｅｂｅｌ会社（英
国、Ｇａｔｅｓｈｅａｄ、　Ｔｅａｍ　Ｖａｌｌｅｙ）
は一定の周囲のテフロンテープの仕切シ板を具備したガ
ラスタンクを市販している。Ｌａｕｄａ会社（西独）は
、テフロンで扱われた金属薄板タンクを市販し、このタ
ンクは小型であってかつＩａｎｇｍｕｉｒ　平衡装置を
もつ。最後に、Ｒｅｖ、　Ｓｃｉ、工ｎｓｔｒｕｍ、　
、第４６巻。

第１０号、１９７５年１０月１０日、においてＰｅｔｅ
ｒ　Ｆｒｏｍｈｅｒｔｚは小型の円形タンクを述べてい
る。しかし、これらの装置は使用上、高度の技佃を必要
とし、しかも厳密な清浄性の要求と汚染問題を含んでい
る。

このように、Ｉａｎｄａによって市販されたタンクの場
合、移動仕切シ板はタンクの縁部上にのせられた帯材で
構成されている。従って、タンクは極めて精密な液量を
収容しなければならず、もし液量が超過すればタンクは
溢れてしまう。もし液量が不適正であれば、毛細管現象
面は形成されない。

Ｊｏｙｃｅ−Ｌｏｅｂｅｌ　によって市販されたタンク
の場合、移動仕切シ板は一定周囲のテープで構成されて
いる。このシステムは二つの不利点をもつ。まず第１に
、この機構は薄い膜で造られた室内で表面を貫通する回
転滑車をもち、この滑車は破壊し易い単分子薄膜を剪断
しかつこの薄膜を滑車及びテープ上に累積する。そのう
え、前記装置は、表面清掃を実施できない区域、なかん
ずく水からの不純物によって形成された薄膜が収集され
かつ吸引作用を受けるために圧縮することができないテ
ープの外側のタンクの区域をもつ。

本発明は、上記不利点を避けることができるタンクに関
する。さらに詳しくは、本発明は単分子薄膜の累積用の
タンクに関し、該タンクは、水平な縁部をもつ壁部と底
部をもつタンクを含み、該タンクは液体と、液体の表面
を二つの区域に形成する仕切シ板と、仕切シ板に垂直な
方向へ液体の表面上を仕切）板を移動する装置と、液体
の表面上に展開されかつ溶解された分子を含む溶剤と、
少くとも一つの基板と、垂直方向へ基板を移動する装置
と、液体の表面上の張力を測定する装置とを含み、液体
のレベルはタンクの水平縁部よシ低位に定められ、仕切
シ板はその両端にそれぞれ切欠き部をもちかつこの切欠
き部をタンクの縁部上に載置し、この切欠き部はさらに
タンクの液体中に部分的に浸漬された幅の狭い部分を有
し、さらに密封装置がこの幅の狭い部分の面とこれに面
する壁との間に配設される。

本発明の他の特徴は、仕切シ板を移動する装置は、タン
クの第１端に配設された第１及び第２滑車とタンクの第
２端に配設された４個の滑車と、キャプスタンを駆動す
るモータと前記各滑車上を懸は渡されかつキャプスタン
によって回転されるケーブルとによって構成され、仕切
シ板の両端はケーブルに固定されて同一方向に移動する
ように構成されている。

仕切少板は、取外し可能に取付けられたブラケットをも
ち、ケーブルがこのブラケットの末端に取付けられるこ
とが好適である。

上述の構成と実施例の説明から明らかな他の構成を用い
ることによシ、このタンクは当業界において未熟な人に
よっても使用できかつＬａｎｇｍｕｉ　ｒ薄膜を形成す
るのに現在用いられている種々の分子によって惹起され
る諸問題を解決することができる。

図面を参照しつつ以下に本発明を説明する。

第１図において、タンク２は矩形であるが、他の形状と
することも可能である。例えば、タンクは円形にするこ
ともできる。このタンクには二つの平行な縦壁２αがあ
シ、これらは垂直であるが、垂直に対して傾斜すること
もできる。タンクはまた壁２αと底部２Ｃの両端に配置
された二つの側壁をもつ。タンクの縁部は水平で、少く
とも側壁２αの縁部上にある。

側壁２α、２ｈ及び底部２Ｃは、高圧ポリテトラフルオ
ロエチレン（ＰＴＦＥ）ｆｉである。この材料は高い化
学的不活性と低い多孔度をもつ。この材料は、ガラスに
比べてイオンを放出しない利点をもつ。他のプラスチッ
ク材料に比べて有機分子を放出しない利点をもつ。普通
のＰＴ１１’Ｅに比べて溶剤またはイオンを捉えない利
点をもつ。沈積されたＰＴＦＥに比べて金属壁のイオン
に不滲透性であるオリ点をもつ。

このタンクは、組立てられた要素から形成される。壁及
び底部は接着剤によって接合できる。それらはほぞ合わ
せ継手、すなわち、組立てられる部品内にほぞ穴をつく
シ、その中にキーを挿入して組立てられる。このタンク
は金属、プラスチックまたは積層材の機械的な補強をも
つ。これらの補強は、例えばタンクの縦方向の側部に沿
い及び底部の下方に配設されかつねじ止めされたアング
ル鉄材によって構成される。これによって小容量用とし
てのみ用いられる高圧Ｐ　Ｔ　Ｆ’　Ｅの使用を、大型
タンクの価格を滅１：かつこのＸつなタンクの形成を可
能にさせる。

一般に、タンク２はサメフェースまたはアンダーフェー
スと称する液体を含む。例えば、この液体は水である。

この液体上に溶液中に溶解された親水性分子の溶液が展
張される。溶剤は蒸発し、分子を部分的に水中に浸漬さ
せる。分子は所与の表面圧力において仕切シ板６を用い
て圧縮によって直鎖状にされる。正確に位置づけられる
クリップ１０に数句けられた基板は垂直方向に移動され
る。単分子薄膜が基板を上昇または下降中に基板上に堆
積される。第１図に示すように、クリップ１０は、自身
が横棒１４に取付けられた垂直棒１２の末端に取付けら
れる。横棒１４はその両端において、輪体１８上に巻か
れた二本のワイヤ１６上に懸吊される。輪体１８は電気
モータ２２によって回転される軸２０に固定される。こ
のようなサンプルの引き上げ装置は摩擦を受けず、すな
わち基、板の急激の動きを伴わずに低速でも連続的に移
動することが保証できる。

本発明の特徴は、仕切多板６が部分的に液体４内に浸漬
されていることである。従って、従来装置においては、
液体のレベルはタンクの縁部と平らで、寝動仕切多板は
タンクの縁部上に係合した帯材状であった。ゆえに、タ
ンク内に導入される液体量を正確に測定することが必要
である。また溢流を生ずる心配がある。

本発明は、特殊形式の仕切多板をもち、これは上記の不
利点を避けるものである。この仕切多板は一部分は液体
４の中に浸漬されている。仕切多板はその二つの末端に
おいて壁２αの長い縁部の上に乗シ、かつ第２図及び第
４図を参照しつつさらに詳細を後述するように、仕切り
板の一部分を液体中に浸漬させるための切欠きをもつ。

仕切多板６は、仕切多板の縦方向の溝穴内に単純に乗る
ブラケット６αを含む。ブラケット６αは、矢印２４で
示すように仕切多板の縦方向を横切って自由に移動でき
る。ブラケット６αの両端は駆動ケーブル２６に固定さ
れる。第１図は前記ケーブルの回路を示す。この回路は
、自由に回転しかつその軸線が水平の二つの滑車２８．
２９を含む。これらの滑車は第１図において左方へタン
ク２の第１端に配置される。さらに、別の自由に回転可
能な滑車と同様に自由に回転可能な滑車３２．３４がタ
ンクの他端に配置される。この回路はまたキャプスタン
３８を含み、これにケーブル２６が巻かれかつモータ３
９で駆動される。ケーブル２６は滑車３２からキャプス
タン３８上を経由して次に滑車３４に、次いで滑車２９
，３６．３０を経て滑車３２に戻る前に最終滑車２８を
通る。ブラケット６αの一端は、滑車２９と３６の間に
配置されたケーブルのストランドに固定され、一方、他
端は滑車２８と３２の間に配置されたケーブルのストラ
ンＰに固定される。よって、ブラケット６ｃＬの両端は
同一方向へかつ同一速度で移動する。

この駆動システムは、移動仕切多板６の横側面をタンク
側壁と平行に維持する。

ブラケットは仕切多板から同時に外すことができ、かつ
重力によって容易に再係合できる。この駆動装置は、清
浄のために移動仕切多板６の交換を極めて容易にする。

極めて大型のタンクの場合、第５図に示すように作用す
る互いに反対方向に移動する二つの同一の移動仕切多板
を提供することが可能である。

二つの仕切多板の運動は、薄膜圧縮段階中に、これらの
仕切多板が互いに向って移動するように機械的または電
子的に連結される。このシステムは、基板８の各面と垂
直に薄膜を供給することが、特にもし基板が大きい表面
をもつならば、必要である剛性薄膜の場合には特に有効
である。

タンク２は、清浄さを保つ目的で、取外しできる透明フ
レーム４０をもって被覆される。好ましくは、フレーム
内で窒素のような中性ガスを供給及び排出ダクト４１α
、４１６のような手段を用いて循環させる。これはフレ
ーム４０の壁土に必然的に形成する水蒸気を除去しかつ
その凝結を防止する効果をもつ。そのような水滴が滴下
すると、水滴は薄膜の生成を妨げる。フレーム４０は、
タンク２にできる限夛緊密にはめ合わされる。フレーム
４０に対して基板を出し入れするための開口４２を設け
ることが必要である。この開口は二つの滑ｐフラップ４
４によって覆われ、この７ランプは中性ガスがフレーム
から逃げる量を最大限に減するために基板の出し入れ中
は速かに操作しなければならない。

測定プローブの使用が薄膜の表面張力を測定することを
可能にする。このプローブは、［Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ
ａｔｉｏｎ　ｆｏｒ　ｈａｎｄｌｉｎｇ　ｍｏｎｏｍｏ
ｌｅｃｕｌａｒｆｉｌｍｓ　ａｔ　ａｎ　ａｉｒ−ｗａ
ｔｅｒ　１ｎｔｅｒｆａｃｅ　Ｊ　＋　ＰｅｔｅｒＦｒ
ｏｍｈｅｒｔｚ著、　Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、工ｎｃｔｒｕｍ
ｅｎｔ第４６巻。

第１０号、１９７５年１０月、に記載のＷｉｌｈｅ１ｍ
ｙ法の原理を用いる。この方法によれは、例えば幅４０
市籠の濾紙の帯材がばねの末端に吊られ親水性プローブ
として作用する。このようにして薄膜の表面張力が表面
張力をあられす濾紙の移動量に変換される。この移動量
はプローブに結合されかつ移動芯材をも磁気的移動型変
換器によって張力に変換される。

本発明嬬よれば、測定感度は変換器ズラケットに濾紙の
二つの帯材を取付けることによって増大される。これは
所望の感度の関数として二つの測定範囲（０〜５０また
はｏ−７ｔｏｏｍＮ／ｍ（ミリニュートン／メータ）を
与える。この懸吊ブラケットは取外し可能である。この
完全な表面張力測定装置はアームに取付けられ、このア
ームは自動的または手動で引き上げられて移動仕切９板
の通過とタンクの前方部の清掃をさせる。

第２図は、移動仕切９板６の本発明による特別構造の斜
視図である。移動仕切９板６は切欠き部４６をその両端
にもつ。第２図ではそのうちの一つのみを示すが、他の
ものはこれと対称位置にある。この仕切ｐ板はその長さ
がタンクの幅よシも短かくかつ液体内に浸漬されるまで
タンク内に入る一部分をもつ。密封装置が仕切刃板６の
表面５０と縦方向壁２αに面する面との間に設けられる
。第２図の構造において、密封装置は、面５゜に固定さ
れかつ仕切少板が移動しかつスクレーパとして作用する
とき壁２ａの面と当接しつつ擦れる密閉した弾性テープ
で構成される。この構成は完全な密封を保証する。

第３図に示す変形実施例において、面２αのかどは面取
〃され、かつ仕切少板６は傾きをもち、これに二つて面
２ａとはめ合い重力によって面取シ部５１において密封
状態を保証する。

第４図の変形実施例において、仕切少板は数個の部分、
例えば主部分６′及び一つまたは二つの横側部分σ′を
含む。図示の実施例では仕切少板は二つの部分をもつ。

一端のみが図示されている。部分６′及びＣは、部分６
′に固定されかつ部分６〃の対応する大向に係合される
突起またはピン５４によって互いに相対移動でき、前記
大向に僅かなすきまをもってピンが滑動する。例えはエ
ジストマ製の弾性チューブ５６が部分６′とσ′との間
で前記部分の一方または他方に固定される。これらのチ
ューブは壁２ａに向って面５０に適切な圧力を加えて満
足できるシールを保証する。これらのチューブは、例え
ばシリコンゴムのようなエジストマのブロックを用いる
ことができる。

第２図から第４図を参照して説明した上述の装置は、た
とえタンクの幅が厳密に全体にわたって同一、すなわち
長さ方向に一定でなくても絶対的なシールを提供するオ
Ｕ点をもつ。

第６図は、単一または複数の基板を上下動する装置の好
適構造を示す。基板保持クランプまたはクリップ１２は
アーム６２の一端に固定され、アーム６２は水平軸線６
４まわシに旋回する。支持アーム６６がこの軸線６４ま
わシに旋回式に取付けられかつ二つのアーム６６ｃｔ及
び横棒６６６をもつ。

電動機７２によって駆動される滑車７０上に巻かれた二
本のワイヤ６８が支持アーム６６を上下することを可能
にする。基板上に薄板を累積している間、アーム６２は
横棒６６′上に載置される。支持アーム６６の移動はプ
ログラムされる。この装置は基板を急速に上昇できる利
点がある。このように、電動機７２の速度は、基板を上
昇するのに要する時間を短縮するために加速することが
できるが、この上昇には決して無視できない時間を要す
る′。しかし、前述のように、単分子薄膜の累積は不活
性ガスに覆われた状態で行われ、ガスの漏泄は防止され
なければならない。基板の導入と上昇中に、可動フラッ
プ４４を開く必要がある。この開き時間は極力短いこと
が望ましい。これは、第６図の装置を用いて手動で基板
を上昇することができる。この装置はまた、基板が上昇
される前に占められた位置と正確に同一位置を占めるよ
うに、基板の正確な位置決めを維持する利点？もつ。

また支持アーム６６をアーム６２が上昇恣れた状態に予
め位置づけることができる。

第７図は、タンク表面を清掃する本発明による装置を示
す。この装置はチューブ７４と、一連の毛細管、すなわ
ちチューブ７４に固定された細いチューブとを含む。毛
細管７６は、平行にチューブ７４から突出し、チューブ
７４に対して半径方向に位置づけられる。チューブ７４
は二つの支持部材７８上に取付けられる。チューブ７４
は回転して向きを変えることができるので、毛細管の末
端を液体４の表面にもたらすことができる。さらに、チ
ューブ７４は、毛細管を水面上で移動できるようにその
縦軸線に沿って横方向に移動できる。

チューブ７４は、不図示のタップ組によって真空源に接
続される。この装置は次の累積作業に先立って表面上に
浮遊する薄膜残留物を吸引することによって、タンク表
面を迅速かつ容易に清掃できる。移動仕切９板６は、薄
膜残留物を毛細管７６のオリフィスに向けて有効に押動
するのに用いられる。この装置は間違いを起さない、効
率のよい、特に丈夫な構造をもつ。第７図と類似の装置
がタンク２のいずれの末端にも配設される。二つの装置
はタンク内の液の全表面を清掃することができる。

移動仕切９板の移動及び基板の上昇は、電子装置によっ
て制御され、この装置は動力の故障には鈍感で、その数
計器及び記憶器は機械的のものである。動力故障安全装
置であるため、もし動力供給が中断されると、このシス
テムは停止しかつその情報が維持される。残シのプログ
ラムは通常の状態に戻される。これによって夜間でも自
動的に運転が可能である。

本発明によるタンクは、薄膜保留安全装置をもち、液面
上の利用可能な薄膜量が排出される前に基板の動きを上
方位置において自動的に停止させる。従って、普通の方
法で複数の薄膜をもって覆われるように、基板は水中に
浸漬されかつ上昇される。中断された薄膜の形成を復旧
するのは出来ず、各累積された薄膜に対して完成するこ
とが必要である。従って、移動仕切９板６の経路上に調
整可能な接点を設けることが必要で、これは電子式手段
であることが好ましい。このようにして、仕切多板と基
板との間の間隔が、基板を覆う薄膜量が基板の下降及び
上昇中に、完全な薄膜の累積を保証するための適切な表
面を決定するように調整される。仕切多板が接触状態に
なると、このシステムは上昇位置にて基板の運動を、仕
切多板が可動接点に達した時点の後に基板の上昇運動を
停止するよう制御する。。この装置は、人間の介在を経
ずに水面に広がった薄膜量の最適な利点を得ることを可
能にする。特に、夜間での運転及び停止を可能にする。

最後に、このタンクは、水面レベルの恒久的な自動制御
手段管もつ。水注入回路は、制御手段が、使用される伝
導水内に不純物を混入しないように設計される。水の導
入を停止するには管破壊式電気４Ｆ−１１ＺＭいられる
。残余の位置において電磁リレーの可動電機子が可撓チ
ューブと当接して、張力がかかると該チューブを解放す
る。水面レベルは数種の方法でとられる。このレベルは
、接点を具備する浮子を用い薄膜の存在しない区域にお
いて移動仕切９板の後方にとられる。この浮動接点は二
つの交差した黒鉛棒または一つの黒鉛棒を金属ワイヤと
交差させて好適に構成できる。また、光学装置を用いて
レベルをとった後に、移動仕切９板の前方または後方に
とられる。また、水面と同じ高さの電線のような電気手
段によってレベルヲとることもできる。

水面レベルの恒久的な制御は、表面張力測定上の偏差を
防止しかつ、制御や検査を行う必要なしに長期間のタン
ク使用を可能にする。

薄膜の圧縮は、人力制御を用いずに実施される。

このために、移動仕切９板の制御は、ループの利得ある
いは選択された表面圧力を変更せずに作用する調整式速
度制限器を含む。

排出システムを設けることによって多量の液体の取扱い
を防ぐことができる。このシステムは、タンク内に収容
された液体を吸い上げるだめの水噴流ポンプによって形
成された真空源を用いることが好適でおる。タンク内の
導伝水と水噴流ポンプの汚水との分離は、配管中でタン
クのしはルよシ上位のループまたは彎曲部によって自動
的に行われる。このループまたは彎曲部は毛細管空気入
口をもつ。この微小漏流はまた、回路内のタップ部の漏
洩を克服させる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるタンクの斜視図、第２図は、本
発明による仕切多板の詳細斜視図、第３図及び第４図は
、第２図による仕切９板の第１及び第２変形実施例、第
５図は、二つの仕切９板をもつ大型タンクの断面図、第
６図は、垂直方向に基板を移動する好適装置の斜視図、
第７図は、タンク液体の清浄装置を示す。 図中の符号、 ２・・・タンク、２α・・・縦壁、２ｂ・・・側壁、２
Ｃ・・・底部、４・・・液体、６・−・仕切９板、６α
・・・ブラケット、６′・・・仕切多板主部、Ｃ・・・
仕切多板横側部、８・・・基板、１０・・・クリップ、
１２・・・垂直棒、１４・・・横棒、１６・・・ワイヤ
、１８・・・輪体、２０・・・軸、２２・・・電動機、
２４・・・滑車、２６・・・ケーブル、２８．２９・・
・滑車、３０，３２，３４．３６・・・滑車、３８・・
・キャプスタン、３９・・・モータ、４０・・・透明フ
レーム、４１α・・・供給ダクト、４１Ａ・・・排出ダ
クト、４２・・・開口、４４・・・７ラツプ、４６・・
・切欠き部、５０・・・面、５１・・・面取り部、５２
・・・密封装置、５４・・・ピン、５６・・・弾性チュ
ーブ、６２・・・アーム、６４・・・水平軸線、６６・
・・支持アーム、６６α・・・アーム、６６ｂ、６６’
・・・横棒、６８・・・ワイヤ、７０・・・滑車、７２
・・・モータ、７４・・・チューブ、７６・・・毛細管
、７８・・・支持部材 を示す。 代理人　弁理士（８１０７）佐々木清隆手続補正書（方
式） 昭和６０年４月５０ 特許庁長官殿 （持′Ｉｒ庁番査宮　殿） １　事件の表示 昭和５９年特許願第２５９４３９　＠ ２　発明の名称 単分子薄膜の生成及び累積装置ｂ１ ３　補正をする者 事件との関係　特許出願人 名　称　コミッザレ・ア・１／ナジイ・アトミック霞が
関ヒル内郵便局　私癲箱第４９０ 昭和６０年　６　月　６　日（発送日　昭和６０年　６
月２６日）６　補正により増加する発明の数　０ ７　補正の対象 鮮明に描いた適正な図面。 ８、補正の内容 別紙の通ｐ０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、水平リムをもつ壁部と底部をもつタンクを含み、前
   記タンクが液体と、液体の表面上に二つの区域を定める
   仕切ｐ板と、仕切少板に対して垂直方向に液体の表面上
   で仕切シ板を移動する装置と、液体の表面上に配布され
   かつ溶解された単分子を含む溶液と、少くとも一つの基
   板と、基板を一つの方向へ移動する装置と、液体の表面
   張力をｍ＋＋定する装置とを含み、液体のレベルがタン
   クの水平縁部よシ下方にアシ、仕切り板がその両端それ
   ぞれに切欠き部をもちかつ前記切欠き部の縁部に載置さ
   れ、前記切欠き部がタンクの液体中に部分的に浸漬させ
   る幅の狭い部分を有し、前記幅の狭い部分の面とこれに
   面する壁との間に密封装置が配設される単分子の累積用
   タンク。 ２、バリヤを移動する装置が、タンクの第一端に配設さ
   れた第１及び第２滑車と、タンクの第２端に配設された
   四つの滑車とキャプスタン駆動モータと、前記滑車のそ
   れぞれ上を懸は渡されかつキャプスタンによって回転さ
   れるケーブルとによって構成され、仕切Ｑ板の両端がケ
   ーブルに固定されて同一方向へ移動する特許請求の範囲
   第１項記載のタンク。 ３、仕切シ板が前記仕切υ板に取外し可能に取付けられ
   たブラケットをもち、ケーブルがブラケットの両端に固
   定される特許請求の範囲第２項記載のタンク。 ４、密封装置が仕切シ板の面に固定された掻き滑シテー
   プによって構成される特許請求の範囲第１項記載のタン
   ク。 ５、仕切シ板が互いに横に並んで移動可能な複数部分に
   よって構成され、弾性装置が前記部分間に配設される特
   許請求の範囲第１項記載のタンク。 ６、基板を移動する装置が、水平軸線まわシに旋回しか
   つモータによって上昇、下降可能な支持アームと、支持
   アームと同一軸線まわりに第一端において旋回しかつそ
   の上に載置烙れる少くとも一つのアームを含み、基板が
   アーム上に懸吊され、タンクが中性ガス雰囲気を含むフ
   レームによって閉鎖され、前記フレームが基板を挿入及
   び引出すための可動フラップによって閉じられる開口を
   もつ特許請求の範囲第１項記載のタンク。 ７、　液体表面を清掃する装置を含み、前記装置が二つ
   のピボット上に維持された水平チューブによって構成さ
   れかつ前記ピボット上で回転及び移動するように移動可
   能でｓｂ、さらに吸引装置が連結された前記チューブに
   半径方向に固定された複数の平行な毛細管を含む特許請
   求の範囲第１項記載のタンク。 ８、移動仕切シ板の通過状態を検知しかつこのサイクル
   動作の完了後上昇位置に基板を停止する装置を制御する
   調整式接点によって構成された薄膜保留安全装置を具備
   する特許請求の範囲第１項記載のタンク。 １９、チューズ破壊式電動弁及び核電動弁を制御するレ
   ベル設定装置によシ構成された水レベル制御装置を含む
   特許請求の範囲第１項記載のタンク。