JPS60196343A - Precise external-form cutting method - Google Patents

Precise external-form cutting method

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JPS60196343A
JPS60196343A JP59052388A JP5238884A JPS60196343A JP S60196343 A JPS60196343 A JP S60196343A JP 59052388 A JP59052388 A JP 59052388A JP 5238884 A JP5238884 A JP 5238884A JP S60196343 A JPS60196343 A JP S60196343A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contour
resin film
etching
conductor circuit
cutting method
Prior art date
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Pending
Application number
JP59052388A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
森本 俊樹
川上 良子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Mining and Smelting Co Ltd filed Critical Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、樹脂フィルム−銅積層導体回路基板等の精密
外形切断方法に関し、特に樹脂フィルムをエツチング操
作により所定の寸法および形状に精度よく切断する方法
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for precisely cutting a resin film-copper laminate conductor circuit board, etc., and more particularly to a method for precisely cutting a resin film into predetermined dimensions and shapes by etching.

従来、導体回路基板等の精密外形切断の方法としては、
金型によるプレス打抜き法、ルータ−マシン〈ドリルが
X、Y方向に動くことによって、フィルム又は金属板を
任意の形状に切断することの出来るマイコン内装の切断
機)ににり加工する方法、あるいはレーザー加工法等が
知られている。
Conventionally, methods for precision cutting of conductor circuit boards, etc.
A press punching method using a mold, a method of stamping with a router machine (a cutting machine equipped with a microcomputer that can cut a film or metal plate into any shape by moving the drill in the X and Y directions), or Laser processing methods and the like are known.

しかし、金型によるプレス打抜ぎ法では、金型の製作費
用が高く、製品の加工精度も± 100μ01程度で満
足できるものCはない。さらに、ある程度大きい形状の
製品でないと加工ぐ公ないため、形状に制約があり小ロ
ツト品の加工には不向きであるという欠点がある。また
、ルータ−マシンd、も加工精度が± 100μm程度
と悪いし、ある程度大きい製品でないと加工できない。
However, in the press punching method using a die, the production cost of the die is high, and the processing accuracy of the product is only about ±100μ01, which is not satisfactory. Furthermore, since it cannot be processed unless the product is of a certain size, there are restrictions on the shape, making it unsuitable for processing small-lot products. Router machine d also has a poor processing accuracy of about ±100 μm, and cannot process products unless they are of a certain size.

またこれには、ばつが出るという欠点もある。さらに、
レーザー法では設備が高価であり、樹脂フィルム、特に
ポリイミドフィルムの加工には切り口が悪いため不適で
ある。
This also has the disadvantage of being embarrassing. moreover,
The laser method requires expensive equipment and is not suitable for processing resin films, especially polyimide films, because the cut surface is poor.

以上のように、従来法には夫々種々の欠点があり、さら
に精度の面でも十分に満足されていないのが現状である
As mentioned above, the conventional methods each have various drawbacks, and the current situation is that they are not fully satisfied in terms of accuracy.

本発明は、上述の従来技術の欠点を解消すべくなされた
もので、導体回路基板等の寸法および形状を高精度に切
断する精密外形切断方法を提供することにある。
The present invention has been made in order to eliminate the drawbacks of the prior art described above, and an object of the present invention is to provide a precision contour cutting method for cutting the size and shape of a conductor circuit board, etc. with high precision.

本発明者らは、上記目的に沿って鋭意研究した結果、以
下の方法により上記目的が達成できることを見出し本発
明に到達した。
As a result of intensive research in accordance with the above objectives, the present inventors discovered that the above objectives could be achieved by the following method and arrived at the present invention.

すなわち、本発明は、樹脂フィルム−銅積層板から導体
回路基板を製造する際の精密外形切断方法であって、導
体回路を形成するための銅層エツチング加工時に外形切
断の輪郭部にも銅層を残存せしめ、次いで樹脂フィルム
を該外形切断の輪郭部に沿ってエツチングすることを特
徴とする精密外形切断方法である。
That is, the present invention is a precision contour cutting method for manufacturing a conductor circuit board from a resin film-copper laminate, in which the copper layer is also etched at the contour of the contour cut during the copper layer etching process to form the conductor circuit. This is a precision contour cutting method characterized in that the resin film is left to remain, and then the resin film is etched along the contour of the contour cut.

以下、図面に基づいて詳細に説明する。A detailed description will be given below based on the drawings.

第1図(a)〜(d)は、本発明の精密外形切断方法の
■稈の一例を経時的に示し7ノ図である。
FIGS. 1(a) to 1(d) are seven views showing one example of the culm of the precision external cutting method of the present invention over time.

まず、第1図(a)のように、樹脂フィルム1の片面に
銅箔3を接着剤層2を介してラミネートする。この場合
、接着剤層を介在させることなく、蒸着、スパッタリン
グ等で直付1ノにしてもよい。
First, as shown in FIG. 1(a), a copper foil 3 is laminated on one side of a resin film 1 with an adhesive layer 2 interposed therebetween. In this case, it may be directly attached by vapor deposition, sputtering, etc. without intervening an adhesive layer.

また本発明に使用される樹脂フィルムは、後述するよう
にエツチングされる必要があるため、エツチング可能な
樹脂フィルムが用いられる。エツチング可能な樹脂とし
ては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド等が
例示され、特にポリイミドが好適に使用できる。
Further, since the resin film used in the present invention needs to be etched as described later, an etchingable resin film is used. Examples of the etchingable resin include polyimide, polyamide, polyamideimide, etc., and polyimide is particularly preferably used.

次に、銅箔3上にレジス1へを何着させ露光、現像しレ
ジスト層を形成した後、銅箔を」エツチングせしめ、第
1図(b)および(b′)に示すように導体回路4 a
3よび外形切断の輪郭部5を形成する。ここで、第1図
(b′)は第1図(b)の平面図を示ず。
Next, a resist layer 1 is deposited on the copper foil 3, exposed and developed to form a resist layer, and then the copper foil is etched to form a conductive circuit as shown in FIGS. 1(b) and 1(b'). 4 a
3 and a contour section 5 for external cutting. Here, FIG. 1(b') does not show the plan view of FIG. 1(b).

次に、エツチングされた導体回路基板の樹脂フィルム1
側にレジストを付着させ外形切断の輪郭部5の直上部周
辺を露光、現像し、外形切断の輪郭部5と対応する輪郭
を有するようにレジスト層6を形成した後、樹脂フィル
ム1をエツチングする。づなわち第1図(b)のように
レジスト層6を形成した後、第1図(C)に示すように
エツチングによりY部(エツチングにより除去された部
分)を除去することによって基板の外形切断をする。こ
の樹脂フィルムのエツチングの際、接着剤層がある場合
は、導体回路側の面は通常この接着剤によりマスクされ
ているが、接着剤層がない場合は、エツチングされない
ようにマスクする必要がある。また、外形切断の輪郭部
5に対応するレジ21〜層Gの輪郭は、外形切断の輪郭
部5より若干小ざい方が好ましい。これは接着剤層があ
る場合に、樹脂フィルムが■・ツチングされた部分の周
辺の接着剤層の除去を容易にし、かつ仕上がりの外観を
よくするためである。従って、外形切断の輪郭部5が、
外形を決定°リ−ることとなり、銅層のエツチング加工
におけるパターンマスクの位置合わせ、精度および銅層
の1ツチング精度により切断精度が決定されることとな
る。また、樹脂フィルムがポリイミドフィルムである場
合°は、エツチング液としてアルカリ金属水酸化物の水
溶液等が用いられる。
Next, the resin film 1 of the etched conductor circuit board is
A resist is attached to the side, and the area directly above the contour section 5 of the outer shape cutting is exposed and developed to form a resist layer 6 having a contour corresponding to the contour section 5 of the outer shape cutting, and then the resin film 1 is etched. . That is, after forming the resist layer 6 as shown in FIG. 1(b), the outer shape of the substrate is removed by etching to remove the Y portion (the portion removed by etching) as shown in FIG. 1(c). make an amputation. When etching this resin film, if there is an adhesive layer, the surface on the conductor circuit side is usually masked by this adhesive, but if there is no adhesive layer, it is necessary to mask it to prevent it from being etched. . Further, it is preferable that the contours of the registers 21 to layer G corresponding to the contour portion 5 of the outer shape cutting are slightly smaller than the contour portion 5 of the outer shape cutting. This is to make it easier to remove the adhesive layer around the part where the resin film has been pinched, and to improve the finished appearance. Therefore, the contour section 5 of the external shape cut is
The external shape will be determined, and the cutting accuracy will be determined by the positioning and accuracy of the pattern mask in the etching process of the copper layer and the accuracy of one-cutting the copper layer. Further, when the resin film is a polyimide film, an aqueous solution of an alkali metal hydroxide or the like is used as the etching liquid.

最後に、接着剤層を有する場合、通常の接着剤層は樹脂
フィルム用のエツチング液ではエツチングされない7j
め、前述の如く樹脂フィルムがエツチングされた部分の
周辺に接着剤が残るため、これを除去し−C導体回路基
板が完成覆る。この接着剤の除去は、例えば高分子軟化
剤等によって膨潤し浮かせ、その後ブラシング等の機械
的方法により行なわれる。以上の工程によって、第11
K(d)に示されるように、7部の接着剤が除去され導
体回路基板が完成する。従って、接着剤層の有無にかか
わらず第1図中に示す幅A、すなわち外形切断の輪郭部
5が外形を決定りることとなる。
Finally, if it has an adhesive layer, the adhesive layer is not etched with an etching solution for resin films7j
Therefore, since adhesive remains around the portion where the resin film has been etched as described above, this is removed and the -C conductor circuit board is completed and covered. This adhesive is removed by, for example, swelling and floating with a polymeric softener or the like, and then using a mechanical method such as brushing. Through the above steps, the 11th
As shown in K(d), seven parts of the adhesive are removed to complete the conductive circuit board. Therefore, regardless of whether there is an adhesive layer or not, the width A shown in FIG. 1, that is, the contour section 5 of the outer shape cut determines the outer shape.

なお、本発明は樹脂フィルムをエツヂング加工する際に
、外形切断の輪郭部だけでなく導体回路の所望の部分に
対応する樹、脂フィルムの一部をも]エツチング除去す
ることも任意である。これにより、導体回路の一部を裏
面から露出させこれにメッキ処理を施ずことによって、
接点を裏面から取り出すことが可能となりスルーホール
加工(孔間【)して、その中にメッキをして導通させる
加工)を省略覆ることができる。この方法により作られ
る導1本回路基板の一例の断面図を第2図に示す。
Incidentally, in the present invention, when etching the resin film, it is optional to remove by etching not only the outline of the external cut but also a part of the resin film corresponding to a desired part of the conductor circuit. By exposing a part of the conductor circuit from the back side and not plating it,
It is possible to take out the contacts from the back side, which eliminates the need for through-hole processing (processing to create conductivity by plating inside the holes). A cross-sectional view of an example of a single-conductor circuit board made by this method is shown in FIG.

第2図中、7はニッケル下地メッキ後Auメッキ処理さ
れた部分である。
In FIG. 2, reference numeral 7 indicates a portion that has been plated with Au after being plated with a nickel base.

さらに、本発明では導体回路を形成するパターン、13
よび樹脂フィルムのFツチングパターンを任意に変更で
きるため、導体回路の一部を外部に取り出づことも任意
である。この例を第3図に示す。
Furthermore, in the present invention, a pattern forming a conductor circuit, 13
Since the F-cutting pattern of the resin film can be changed arbitrarily, it is also possible to take out a part of the conductor circuit to the outside. An example of this is shown in FIG.

以下、実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明づる
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail based on Examples.

(実施例) まず、25μm厚のポリイミドフィルムに、25μm厚
の接着剤層を介して18μm厚の銅箔をラミネートした
(Example) First, a 18 μm thick copper foil was laminated onto a 25 μm thick polyimide film via a 25 μm thick adhesive layer.

次に、銅箔にレジストを49着させ、以下露光、現像、
エツチングと続く一連のエツチング操作により第4図(
a>および(’b)に示すように、配線30本からなる
導体回路4および外形切断の輪郭部5を形成した。得ら
れた導体回路基板の平面図を第4図(a)に、このJ−
J’断面図を第4図(b)に示す。
Next, 49 resists were applied to the copper foil, followed by exposure, development,
After etching, a series of etching operations are performed as shown in Fig. 4 (
As shown in (a) and ('b), a conductor circuit 4 consisting of 30 wiring lines and a contour portion 5 of external shape cutting were formed. A plan view of the obtained conductor circuit board is shown in FIG. 4(a).
A sectional view along J' is shown in FIG. 4(b).

次に、ポリイミドフィルム1側にレジメ1−を付着させ
、外形切断の輪郭部5の直上部周辺を露光、現像してそ
の外形切断の輪郭部5に対応Jる輪郭を有するようにレ
ジスト層6を形成した。これを第5図に承り。その後、
ポリイミドエツチング液によりポリイミドフィルムを外
形切断の輪郭部5に沿ってエツチングにより外形切断を
した。
Next, a resist layer 1- is attached to the polyimide film 1 side, and the area directly above the cut contour 5 is exposed and developed so that the resist layer 6 has a contour corresponding to the cut contour 5. was formed. This is shown in Figure 5. after that,
The polyimide film was cut into an outer shape by etching along the outer cut contour 5 using a polyimide etching solution.

最後に、高分子軟化剤によりポリイミドフィルム除去部
周辺の接着剤を膨潤させ浮き上がらぼた後ブラシングに
より接着剤を完全に除去して、先端部の切断寸法が6.
2mm±0.05m1llを要求されるフレキシブルプ
リント回路基板を完成した。
Finally, the adhesive around the area where the polyimide film is removed is swollen with a polymeric softener, and after floating, the adhesive is completely removed by brushing, and the cut size of the tip is 6.
We have completed a flexible printed circuit board that requires 2mm±0.05ml.

この結果、幅△は6.2−0.02〜6.2−0.03
mmであり、切断m度は±30μIll以下となり十分
に満足できる精度が得られることが判った。
As a result, the width △ is 6.2-0.02 to 6.2-0.03
It was found that the degree of cutting was less than ±30 μIll, and that a sufficiently satisfactory accuracy could be obtained.

以上説明したように本発明は、以下の如き効果を奏する
As explained above, the present invention has the following effects.

■ 従来法では± 100μmの精度が限界であったが
、本発明によれば、切断精度は外形切断の輪郭部を形成
する際のバタンマスクの位置合わせ誤差および銅層のエ
ツチング精度により支配されるため事実上誤差は±50
μm以下となる。
■ Conventional methods had an accuracy limit of ±100 μm, but according to the present invention, cutting accuracy is controlled by the alignment error of the batten mask when forming the outline of the external cut and the etching accuracy of the copper layer. Therefore, the actual error is ±50
It becomes less than μm.

■ 製品の形状は、エツチング操作の際にマスクバタン
上にいかにでも描けるため、任意かつ複雑なものにも対
応できる。さらに、プレス法やルータ−マシン法では不
iす能であった最小幅1mmでの切断加工が可OLとな
る。
■ Any shape of the product can be drawn on the mask button during the etching operation, so it can handle arbitrary and complex shapes. Furthermore, cutting with a minimum width of 1 mm, which was impossible with the press method or router machine method, becomes possible.

■ エツチングによる切(gi’Cあるため、ばりは発
生しない。
■ There is no burr due to etching (gi'C).

■ 導体回路の一部を接点または端子等として裏面もし
くは端部から任意に取り出すこともできる。
■ A part of the conductor circuit can be arbitrarily taken out from the back side or end as a contact or terminal.

■ 樹脂フィルムと導体回路の間に接着剤を介した場合
は、ビール強度(樹脂フィルムと銅箔との間の引き剥し
強度)が強く表面のカバーコートが不要になる。
■ When an adhesive is used between the resin film and the conductor circuit, the beer strength (peel strength between the resin film and the copper foil) is strong and a cover coat on the surface is not required.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)〜((j)は本発明の一連の工程を経時的
に示す図、 第2図は本発明の一応用例によって得られた導体回路基
板の断面図、 第3図は本発明の他の応用例によって得られた導体回路
基板の斜視図および、 第4図(a)、(b)および第5図は本発明の一実施例
を説明づる図である。 1・・・樹脂フィルム、2・・・接着剤層、3・・・銅
、4・・・導体回路、5・・・外形切断の輪郭部、6・
・・レジスト、7・・・メッキ、 X・・・銅が除去された部分、 Y・・・樹脂フィルムが除去された部分、7・・・接着
剤が除去された部分。 第1図 3 第2 憫 溶3 図 第4図 第5図
1(a) to ((j) are diagrams chronologically showing a series of steps of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of a conductive circuit board obtained by an example of application of the present invention, and FIG. 3 is a diagram illustrating the present invention. A perspective view of a conductive circuit board obtained by another application example of the invention, and FIGS. 4(a), (b), and 5 are diagrams illustrating an embodiment of the present invention. 1... Resin film, 2... Adhesive layer, 3... Copper, 4... Conductor circuit, 5... Outline cutting section, 6...
... Resist, 7... Plating, X... Part from which copper was removed, Y... Part from which resin film was removed, 7... Part from which adhesive was removed. Figure 1 Figure 3 Figure 2 Figure 4 Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、樹脂フ謙ルムー銅積層板から導体回路基板を製造す
る際の精密外形切断方法であって、導体回路を形成する
ための銅層エツチング加工時に外形切断の輪郭部にも銅
層を残存せしめ、次いで樹脂フィルムを該外形切断の輪
郭部に沿ってエツチングすることを特徴とする精密外形
切断方法。 2、樹脂フィルムをエツチングする際に、該外形切断の
輪郭部より若干内側までエツチングする特許請求の範囲
第1項に記載の精密外形切断方法。 3、樹脂フィルムをエツチングする際に、導体回路の一
部に対応する該樹脂フィルムの一部をもエツチングする
特許請求の範囲第1項または第2項に記載の精密外形切
断方法。 4、樹脂フィルムをエツチングした後に、樹脂フィルム
がエツチングされた周辺に残存する接着剤を除去する特
6′[請求の範囲第1項〜第3項のいずれかに記載の精
密外形切断方法。
[Claims] 1. A precision contour cutting method for manufacturing a conductor circuit board from a resin-filled copper laminate, which includes cutting the contour of the contour during etching of a copper layer to form a conductor circuit. 1. A precision contour cutting method characterized by leaving a copper layer remaining and then etching a resin film along the contour of the contour cut. 2. The precision contour cutting method according to claim 1, wherein when etching the resin film, etching is performed slightly inside the contour of the contour cut. 3. The precision contour cutting method according to claim 1 or 2, wherein when etching the resin film, a part of the resin film corresponding to a part of the conductor circuit is also etched. 4. After etching the resin film, removing the adhesive remaining around the etched area of the resin film 6' [Precision contour cutting method according to any one of claims 1 to 3].
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