JPS60194441U - 真空チヤツク - Google Patents
真空チヤツクInfo
- Publication number
- JPS60194441U JPS60194441U JP8209884U JP8209884U JPS60194441U JP S60194441 U JPS60194441 U JP S60194441U JP 8209884 U JP8209884 U JP 8209884U JP 8209884 U JP8209884 U JP 8209884U JP S60194441 U JPS60194441 U JP S60194441U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chuck
- vacuum
- view
- recorded
- electronic filing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部を切欠し
て示す真空チャックの平面図、第２図は■−■断面図、
第３図は別個の平面図で一部切欠する、第４図はＩＶ−
ＩＶ断面図、第５図は真空チャックの従来断面図である
。 図中、１・・・バキュームトップ、Ａ・・・真空チャッ
ク、２・・・チャック台。
て示す真空チャックの平面図、第２図は■−■断面図、
第３図は別個の平面図で一部切欠する、第４図はＩＶ−
ＩＶ断面図、第５図は真空チャックの従来断面図である
。 図中、１・・・バキュームトップ、Ａ・・・真空チャッ
ク、２・・・チャック台。
Claims (1)
- バキュームトップをセラミックで形成した真空チャック
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8209884U JPS60194441U (ja) | 1984-06-02 | 1984-06-02 | 真空チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8209884U JPS60194441U (ja) | 1984-06-02 | 1984-06-02 | 真空チヤツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60194441U true JPS60194441U (ja) | 1985-12-25 |
Family
ID=30629507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8209884U Pending JPS60194441U (ja) | 1984-06-02 | 1984-06-02 | 真空チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60194441U (ja) |
-
1984
- 1984-06-02 JP JP8209884U patent/JPS60194441U/ja active Pending
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