JPS60171582U - 塗布ガン装置 - Google Patents

塗布ガン装置

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Publication number
JPS60171582U
JPS60171582U JP5812484U JP5812484U JPS60171582U JP S60171582 U JPS60171582 U JP S60171582U JP 5812484 U JP5812484 U JP 5812484U JP 5812484 U JP5812484 U JP 5812484U JP S60171582 U JPS60171582 U JP S60171582U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piston
cylinder
nozzle
coating agent
introduction chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5812484U
Other languages
English (en)
Inventor
宏治 福井
内山　尚
Original Assignee
トキコ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by トキコ株式会社 filed Critical トキコ株式会社
Priority to JP5812484U priority Critical patent/JPS60171582U/ja
Publication of JPS60171582U publication Critical patent/JPS60171582U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案の一実施例の断面図で、第
１図はノズル開放状態の説明図、第２図はノズル閉鎖状
態の説明図、第３図は従来の塗布ガン装置の断面図であ
る。 １０・・・シリンダ、１１・・・案内部材、ｌｌａ・・
・上・部（仕切部）、１２・・・ノズル、１２ａ・・・
シート部、１３・・・ピストン、１４・・・ニードル弁
、１９・・・空気導入室、２０・・・塗布剤導入室、２
１．２２・・・、導入口、２３・・・スプリング、２４
・・・開度設定装置、２５・・・取付は板、２６・・・
ガイドピン、２７・・・ストッパ、２７ａ・・・当接面
、２８・・・ねじ部材、２８ａ・・・ねじ部、３０・・
・ステッピングモータ、３０ａ・・・出力軸ζ３１・・
・軸継手。 ［−一一 −＼酔！泊 ６ｄ−〉旧ＩＥｌｌｔ’１ ＼ど−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 筒状をなすシリンダと、該シリンダの先端に形成される
    ととも４こ該シリンダの中心軸線上に弁体が着座するシ
    ート部が形成されたノズルと、前記シリンダ内に摺動自
    在に嵌入されたピストンと、該ピストンに固設されて前
    記シート部に着座して前記ノズルを閉鎖するニードル弁
    と、前記シート部とピストンとの間に設けられて前記ニ
    ードル弁を案内するとともにシート部、とピストンとの
    間を気密に仕切り、ピストンと９間には空気導入室、シ
    ート部との間には塗布剤導入室を画成する仕切り部と、
    前記シリンダ内の前記ピストンより後端側に配設されて
    前記ピストンをノズル側に付勢するスプリングと、前記
    空気導入室に圧縮空気を送り込む空気圧送装置と、前記
    塗布剤導入室に塗布剤を送り込む塗布剤圧送装置と、前
    記シリンダ内のピストンより後端側に配設されて前記ピ
    ストンの後端側への移動を拘束して前記ノズルの開度を
    設定する開度設定装置とを具備してなる塗布ガン装置。
JP5812484U 1984-04-20 1984-04-20 塗布ガン装置 Pending JPS60171582U (ja)

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JP5812484U JPS60171582U (ja) 1984-04-20 1984-04-20 塗布ガン装置

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JP5812484U JPS60171582U (ja) 1984-04-20 1984-04-20 塗布ガン装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60171582U true JPS60171582U (ja) 1985-11-13

Family

ID=30583324

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5812484U Pending JPS60171582U (ja) 1984-04-20 1984-04-20 塗布ガン装置

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JP (1) JPS60171582U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018026137A (ja) * 2016-08-11 2018-02-15 東京エレクトロン株式会社 高純度分配ユニット

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2018026137A (ja) * 2016-08-11 2018-02-15 東京エレクトロン株式会社 高純度分配ユニット

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