JPS60168094U - Xyテ−ブルの粗微動調節装置 - Google Patents

Xyテ−ブルの粗微動調節装置

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JPS60168094U
JPS60168094U JP5340084U JP5340084U JPS60168094U JP S60168094 U JPS60168094 U JP S60168094U JP 5340084 U JP5340084 U JP 5340084U JP 5340084 U JP5340084 U JP 5340084U JP S60168094 U JPS60168094 U JP S60168094U
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JP
Japan
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chuck
circumferential surface
coarse
adjustment device
drive screw
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JP5340084U
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JPH0351759Y2 (ja
Inventor
深町 嘉夫
Original Assignee
株式会社トプコン
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図は本考案に係るXYテーブルの粗微動
調節装置の第1実施例を示すものであつ。 て、第1図は全体斜視図、第2図は一部を断面して示す
側面図、第3図は第2図の■−■線断面図、第4図は第
2実施例を示すものであって一部を断面して示す側面図
、第5図及び第6図は第3実施例を示すものであって、
第5図は一部を断面、   して示す側面図、第6図は
第5品のVI−VI線断面図、第7図は従来例のXYテ
ーブルの粗微動調節−装置の一部を示す正面図である。 1、 14. 15. 16. 17・・・調節装置、
7゜18・・・駆動ネジ、11・・・XYテーブル、1
2・・・固定台、13・・・移動台、21.31・・・
チャック、21B・・・可逆変形内周面、22.32・
・・クランプネジ、22A、32B・・・ネジ付外周面

Claims (5)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)固定台に配設された移動台を、その移道台の水平
    方向に貫通し、かつ回転自在に固定台に設けられた駆動
    ネジの軸方向に調節自在に移動させて位置調節するXY
    テーブルの粗微動調節装置において、 前記移動台の駆動ネジの貫通部位には、駆動ネジと同一
    軸上に、内周面が前記駆動ネジと密着状に当接したとき
    のみその駆動ネジと噛合するネジ山が形成される弾性部
    材からなる中空状のチャックと、 外周面に移動台に刻設されたネジ部と噛合し、移動台に
    進退自在なネジ部が形成され移動台への進退により前記
    チャックを外周面からその円心に向けて調節自在に押圧
    する中空状のクランプネジとを設けたことを特徴とする
    XYテーブルの粗微動調節装置。
  2. (2)移動台の駆動ネジの貫通部位に、駆動ネジと同一
    軸上に移動台の外側に向けて拡開状のテーパ付内周面を
    有する截頭円錐空隙と、 この截頭円錐空隙と連通してネジ付内周面を有する円筒
    空隙とを形成すると共に、 前記チャックは截頭円錐状に、クランプネジは円筒状に
    それぞれ形成され、それぞれ前記截頭円錐空隙のテーパ
    付内周面と円筒空隙のネジ付内周面とに当接、噛合する
    テーパ付外周面と゛ネジ付外周面とを有し、かつ、断性
    部材により一体的に形成されていることを特徴とする実
    用新案登録請求の範囲第1項記載のXYテーブルの粗微
    動調節装置。
  3. (3)チャックは移動台の外側に向けて縮小状のテーパ
    付外周面が形成される共に、クランプネジは移動台の内
    側に向けて拡開状で、かつ、前記チャックのテーパ付外
    周面と当接するテーパ付内周面が形成され、前記クラン
    プネジの移動台への進退によりクランプネジのテーパ付
    内周面がチャックのテーパ付外周面を円心に向けて調節
    自在に押圧することを特徴とする実用新案登録請求の範
    囲第1項記載のXYテーブルの粗微動調節装置。
  4. (4)截頭円錐状に形成されたチャックの頭部にに、前
    記クランプネジの押圧により拡縮自在なスリ割りが形成
    されてるることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    2項又は第3項記載のXYテーブルの粗微動調節装置。
  5. (5)移動台には、クランプネジの回転範囲を制限して
    チャックに対する押圧力を制限する制限機構を設けたこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項、第2項
    、第3項又は第4項記載のXYテーブルの粗微動調節装
    置。
JP5340084U 1984-04-13 1984-04-13 Xyテ−ブルの粗微動調節装置 Granted JPS60168094U (ja)

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JP5340084U JPS60168094U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 Xyテ−ブルの粗微動調節装置

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JP5340084U JPS60168094U (ja) 1984-04-13 1984-04-13 Xyテ−ブルの粗微動調節装置

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JPS60168094U true JPS60168094U (ja) 1985-11-07
JPH0351759Y2 JPH0351759Y2 (ja) 1991-11-07

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5235039B2 (ja) * 2012-03-19 2013-07-10 株式会社ミツトヨ 載物台用送り機構

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5733439U (ja) * 1980-07-30 1982-02-22

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JPS5733439U (ja) * 1980-07-30 1982-02-22

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JPH0351759Y2 (ja) 1991-11-07

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