JPS6016755U - 被膜蒸着装置 - Google Patents

被膜蒸着装置

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Publication number
JPS6016755U
JPS6016755U JP18735182U JP18735182U JPS6016755U JP S6016755 U JPS6016755 U JP S6016755U JP 18735182 U JP18735182 U JP 18735182U JP 18735182 U JP18735182 U JP 18735182U JP S6016755 U JPS6016755 U JP S6016755U
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JP
Japan
Prior art keywords
main chamber
chamber
rail
film deposition
deposition equipment
Prior art date
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Pending
Application number
JP18735182U
Other languages
English (en)
Inventor
竹内　広達
俊雄 御器谷
Original Assignee
白木金属工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 白木金属工業株式会社 filed Critical 白木金属工業株式会社
Priority to JP18735182U priority Critical patent/JPS6016755U/ja
Publication of JPS6016755U publication Critical patent/JPS6016755U/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/40—Solar thermal energy, e.g. solar towers

Landscapes

  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１図はこの
考案の概略正面図、第２図はメインチャンバーを台車に
載置した状態を示す概略正面図、第３図はメインチャン
バーからホルダーを離反させた状態を示す説明図、第４
図はマニフォールドチャンバーとメインチャンバーが分
離、離反した状態を示す説明図である。 １・・・マニフォールドチャンバー、２・・−金属ｗ、
３・・・メインチャンバー、４・・・フィールドコイル
層、５・・・被膜蒸着部、９・・・被処理物、１０・・
・ホルダー、１２・・・レール、１７・・・台車、１８
・・・メインチャンバー載置部。 Ｉ−−−一一１ １２ 一１βｅ １５」ふ −Ｚ。 河　　Ｉ 　　　７

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 長尺の金属電極をオーバーハング状態に水平に支持した
    マニフォールドチャンバーと上記金属電極を包囲する長
    さと直径を有し外周部にフィールドコイル層を有する横
    向き筒形のメインチャンバーの２室からなり、マニフォ
    ールドチャンバーを床上に産着し、メインチャンバーを
    当該マニア、ｔ−ルドチャンバーに分離自在に水平に連
    結した被膜蒸着部と、被処理物を上記メインチャンバー
    内部に搬送・搬出し当該内部で被処理物を支承するホル
    ダーを走行させるレールとを床面上に具え、当該レール
    をメインチャンバーの真下に延長敷設してメインチャン
    バー載置部を設けた台車をレール上で走行自在としたこ
    とを特徴とする被膜蒸着装置。
JP18735182U 1982-12-12 1982-12-12 被膜蒸着装置 Pending JPS6016755U (ja)

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JP18735182U JPS6016755U (ja) 1982-12-12 1982-12-12 被膜蒸着装置

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JPS6016755U true JPS6016755U (ja) 1985-02-04

Family

ID=30404432

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JP18735182U Pending JPS6016755U (ja) 1982-12-12 1982-12-12 被膜蒸着装置

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52150790A (en) * 1976-06-10 1977-12-14 Univ Sydney Process and apparatus for reactionary vacuum evaporation
JPS5732368A (en) * 1980-08-05 1982-02-22 Ulvac Corp Vacuum treating apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52150790A (en) * 1976-06-10 1977-12-14 Univ Sydney Process and apparatus for reactionary vacuum evaporation
JPS5732368A (en) * 1980-08-05 1982-02-22 Ulvac Corp Vacuum treating apparatus

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