JPS60160399A - Controlling method of stepping motor - Google Patents

Controlling method of stepping motor

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JPS60160399A
JPS60160399A JP59014299A JP1429984A JPS60160399A JP S60160399 A JPS60160399 A JP S60160399A JP 59014299 A JP59014299 A JP 59014299A JP 1429984 A JP1429984 A JP 1429984A JP S60160399 A JPS60160399 A JP S60160399A
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JP
Japan
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stepping motor
movement
pole tooth
linear pulse
pulse motor
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JP59014299A
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Japanese (ja)
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Sakae Yamamoto
栄 山本
Tsutomu Mizuno
勉 水野
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Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P8/00Arrangements for controlling dynamo-electric motors of the kind having motors rotating step by step

Abstract

PURPOSE:To improve the positining accuracy by controlling a linear pulse motor by using an information table for storing position information. CONSTITUTION:The moving amount is measured by a moving amount measuring unit 9 by cooperating with the moving operation of a linear pulse motor LPM having a pole teeth detector 7. Position information measured by the unit 9 is corresponded by a comparison correcting circuit 11 to the pole teeth position detected by the detector 7, and the corresponding position information is written in a ROM15 through a ROM writer 13. When controlling to position in an open loop with the ROM15, the ROM15 is corresponded to a correcting calculator 21, and the motor LPM is driven through a drive unit 23.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はステッピングモータの制御方法に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a stepping motor control method.

一般に、ステッピングモータは極歯を備え、該極歯の位
置を光学的、又は磁気的検出装置で検出しつつ位置決め
制御され−Cいる。従って、極歯の製作精度が直接位置
決め精度に影響し、これがため極歯を精度良く製作しよ
うと試みられているところである。ところが、昨今のス
テッピングモータの技術向上に伴い、一方では極歯の細
分化、他方では極歯間の分割位置での停止技術が向上し
てぎた。即ら、例えばリニアステッピングモータにおい
て極歯ビッグは1+nn+以下に、分割停止技術は1/
4.1/8ピッチ以上で行なわれるようにな・)できた
のである。このことは位置決め分解能の向上を意味し、
上記例においCは1mmx1/8=0.125mmの分
解能である。
Generally, a stepping motor has pole teeth, and positioning is controlled by detecting the position of the pole teeth using an optical or magnetic detection device. Therefore, the manufacturing accuracy of the pole teeth directly affects the positioning accuracy, and for this reason, attempts are being made to manufacture the pole teeth with high accuracy. However, as stepping motor technology has improved in recent years, on the one hand, the technology for subdividing the pole teeth, and on the other hand, the technology for stopping at the dividing position between the pole teeth has improved. That is, for example, in a linear stepping motor, the pole tooth big is 1+nn+ or less, and the split stop technology is 1/
This made it possible for the ball to be played at 4.1/8 pitch or higher. This means improved positioning resolution,
In the above example, C has a resolution of 1 mm x 1/8 = 0.125 mm.

そこで、収電、前述した極歯製作精度が問題となってく
る。即ち、従来、例えば2mmビツヂ極歯における0、
1〜Q、3mm程度の製作誤差は無視されてきたのであ
るが、分解能が向上してきた昨今では到底無祝し得ない
値となったのである。さりとて製作精度をより向上さゼ
ることには無理があり、又、ロス1ヘアツブにも影響す
る。又、従来においても、各極歯間ピッチの精度を向上
さUることは可能であるけれども、原点位置から児て、
全ての極歯を位置決め精度の要求する値、例えば上記分
解能の1/10程度(0,01mm程度)の精度に製作
することはほとんど不可能である。
Therefore, power collection and the above-mentioned accuracy in manufacturing the pole teeth become issues. That is, conventionally, for example, 0,
1 to Q, manufacturing errors of about 3 mm have been ignored, but these days, as resolution has improved, these values have become unacceptable. However, it is impossible to further improve the manufacturing accuracy, and it also affects the hair loss. Also, in the past, although it is possible to improve the accuracy of the pitch between each pole tooth,
It is almost impossible to manufacture all the pole teeth to a value required for positioning accuracy, for example, an accuracy of about 1/10 (about 0.01 mm) of the above-mentioned resolution.

従来のステッピングモータにおいては、分解能向上技術
か存在するにもかかわらず、特に、原点位置からの各極
歯位置を精泣良く製作(ることはできず、精度良く位置
決め制御をづることかできなかったのである。
In conventional stepping motors, despite the existence of resolution improvement technology, it is not possible to precisely control the positioning of each pole tooth from the origin position. It was.

この発明は上記従来技術に鑑みて、ステッピングモータ
の位置決め精度を向上させることのできる制御方法を提
供することを目的とし、又、他の目的はクローズトルー
プにおいても精度よく制御することのできるステッピン
グモータの制御方法を提供することにある。
In view of the above-mentioned prior art, an object of the present invention is to provide a control method that can improve the positioning accuracy of a stepping motor, and another object is to provide a stepping motor that can be controlled with high precision even in a closed loop. The objective is to provide a control method for

上記目的を達成するためのこの発明は、極歯検出装置を
備えたステッピングモータの移動動作に連動させて前記
ステッピングモータの移動量を移動量測定装置で測定し
、前記極歯検出装置で検出した極歯位置に前記移動量測
定装置で測定した位置情報を対応させ、該位置情報を記
憶させた情報テーブルを用いて前記ステッピングモータ
の制御を行うことを特徴とするステッピングモータの制
御方法て゛ある。
In order to achieve the above object, the present invention measures the amount of movement of the stepping motor in conjunction with the movement of the stepping motor equipped with a pole tooth detection device using a movement amount measuring device, and detects the amount of movement of the stepping motor by using the pole tooth detection device. There is a method for controlling a stepping motor characterized in that the stepping motor is controlled using an information table in which the position information measured by the displacement measuring device is associated with the position of the pole tooth and the position information is stored.

以下、上記発明に゛ついて実施例を掲げ詳細に説明する
Hereinafter, the above invention will be described in detail with reference to examples.

第1図はリニアステッピングモータS T Mの部分拡
大説明図である。固定子1に備えた極歯3a。
FIG. 1 is a partially enlarged explanatory diagram of the linear stepping motor STM. Pole teeth 3a provided on the stator 1.

3+1,3C・・・に対峙する可動子5に前記極歯3a
The pole tooth 3a is attached to the movable element 5 facing 3+1, 3C...
.

3b、3C・・・を検出する極歯検出装置7が設(プら
れている。
A pole tooth detection device 7 is provided to detect 3b, 3C, . . . .

前記極歯検出装置7は光学式のものを示し、例えば、光
ファイバを用いて極歯3a 、3Cの肩部を順次検出し
、検出信号を得ている。極歯検出装置としては、光学セ
ンサの他、磁気誘導センサ、ホール素子ヒンザ等いずれ
も使用することができる。なお、極歯検出センサは方向
性判断、分割停止等所望により、複数個適宜に設【プら
れる。
The pole tooth detection device 7 is of an optical type, and uses, for example, an optical fiber to sequentially detect the shoulders of the pole teeth 3a and 3C to obtain a detection signal. As the pole tooth detection device, in addition to an optical sensor, a magnetic induction sensor, a Hall element hinge, etc. can be used. Incidentally, a plurality of pole tooth detection sensors may be provided as desired for direction determination, division stop, etc.

第2図にこの発明に用いる情報テーブルの作成方法の一
例を示した。極歯検出装置7を備えたステッピングモー
タSTMの移動動作に連動させて、前記ステッピングモ
ータSTMの移動量を移動量測定装置9で測定する。そ
しC1前記極歯検出装3− 置7で検出した極歯位置に前記移動量測定装置7で測定
した位置情報を比較補正回路]1ぐ対応させ、対応位置
情報をROMライター13を介してROM15に書ぎ込
む例である。ここに、移動量測定装置9は基板17に読
取ヘッド19を備え、該読取りヘッドを前記可動子5と
連結した副長器の例を示しているが、要するに、ステッ
ピングモータSTMの可動子5の移動動作を正確に測定
し得れば良く、一般の副長器と呼ばれるもの、校正され
たマグネスケール、リニアスケール、インダクトシン等
々、いずれの方式、いずれの形式であっても良い。
FIG. 2 shows an example of a method for creating an information table used in the present invention. In conjunction with the movement of the stepping motor STM equipped with the pole tooth detection device 7, the amount of movement of the stepping motor STM is measured by the amount measuring device 9. Then, C1 makes the positional information measured by the movement amount measuring device 7 correspond to the pole tooth position detected by the pole tooth detecting device 3-7, and the corresponding positional information is stored in the ROM 15 via the ROM writer 13. This is an example of writing to . Here, an example is shown in which the movement amount measuring device 9 is a sub-long device in which a reading head 19 is provided on a substrate 17 and the reading head is connected to the movable element 5. It is sufficient to be able to accurately measure the motion, and any method or format may be used, such as a general sub-length instrument, a calibrated Magnescale, a linear scale, an Inductosin, etc.

第2図における比較補正回路11は、従来ステッピング
モータに用いられている位置制御のための検出情報、即
ち、例えば、第n番目の信号にピッチpfflIIlを
乗じて、その位置をnxp mmであるとする情報を実
際の測定値で補正する回路である。
The comparison and correction circuit 11 in FIG. 2 uses detection information for position control conventionally used in stepping motors, that is, for example, multiplies the n-th signal by the pitch pfflIIl, and calculates the position as nxp mm. This is a circuit that corrects the information measured using actual measured values.

即ち、ROM15に書き込まれる情報テーブルは第n番
目の信号発生地点は、nxp mmに補正値ΔAnon
を加えたものであると、又は、第[)番目の信4− 号発生地点は新規な値、nxp±△αmmである、等と
印されるのである。ここに、極歯検出装置が複数個設(
)られており、1/2.1/4.1/8゜・・・ピッチ
(以下、この分割区間を1ステツプと呼ぶ)毎に検出信
号を発生する場合には、それらの信号にそれぞれ移動量
測定装置の測定値を対応させるか、或いは、ピッチ間の
誤差を無視して、例えば、単純平均により当該分割地点
の位置情報とすることも可能である。
That is, the information table written in the ROM 15 indicates that the nth signal generation point is nxp mm and the correction value ΔAnon is
, or the [)th signal generation point is marked as a new value, nxp±Δαmm, etc. Here, multiple pole tooth detection devices are installed (
), and when a detection signal is generated for each pitch of 1/2.1/4.1/8° (hereinafter, this divided section is referred to as 1 step), each of these signals is It is also possible to make the measured values of the quantity measuring device correspond or to ignore the error between the pitches, for example, to obtain the position information of the division point by simple averaging.

前記ROM15内における位置情報としては、極歯ピッ
チを1 mm、停止分割位置をその1/8とした場合の
分解能0.125m1の1/10程度(0,01mm程
度)は悠に設定可能である。従って、例えば、リニアス
テッピングモータにおける原点からの各極歯位置をo、
oimm、又は、それ以」−の精度で位置づけることが
できるのである。
The position information in the ROM 15 can be easily set to about 1/10 (about 0.01 mm) of the resolution of 0.125 m1 when the pole tooth pitch is 1 mm and the stop division position is 1/8 of that. . Therefore, for example, the position of each pole tooth from the origin in a linear stepping motor is o,
It can be positioned with an accuracy of ``oimm'' or better.

第3図に上記ROM15を用いてオープンループで位置
決め制御する場合の実施例を示した。補正演算部21に
ROM15を対応させ、駆動部23を介してステッピン
グモータS T Mを駆動するものである。例えば、従
来、分解能0.125mmであることを萌提として10
0ステツプ、0.125xl 0O=12.5m+nの
移動指令を行った場合、実際には誤差のため12.1m
mbか移動せず、停止誤差は0.4mmであったとする
。しかるに、本実施例においては第2図で示したROM
15を介在させているので、例えば12.511111
1は103ステツプであると判断し、例えば12.47
5mmの位置に停止l二誤差0.025mmで停止り−
ることかできるのである。この様に本例における原点を
基準とする停止誤差を分解能(本例では0.125mm
)以下で収めることができるのである。停止位置から再
度位置決め動作しても同様である。
FIG. 3 shows an embodiment in which open-loop positioning control is performed using the ROM 15. A ROM 15 is associated with the correction calculation unit 21, and the stepping motor STM is driven via the drive unit 23. For example, conventionally, the resolution is 0.125 mm, and 10
When a movement command of 0 step, 0.125xl 0O=12.5m+n is given, the actual movement is 12.1m due to an error.
It is assumed that mb does not move and the stopping error is 0.4 mm. However, in this embodiment, the ROM shown in FIG.
15, for example, 12.511111
1 is determined to be 103 steps, for example 12.47
Stops at the 5mm position. Stops with an error of 0.025mm.
It is possible to do something. In this way, the stopping error with respect to the origin in this example is determined by the resolution (0.125 mm in this example).
) can be contained in the following. The same holds true even if the positioning operation is performed again from the stop position.

第4図にフルクローズトループによる位置決め制御の例
を示した。指令値を比較回路25でROM15と比較し
、駆動回路27を介してステッピングモータSTMを駆
動し、該ステッピングモータSTMの移動量を、例えば
、前記極歯検出装置7の検出量で知り位置データ29と
して比較回路25へ返す。従来のステッピングモータを
用いたフィードバック制御においは、耐えず極歯の製作
精良が問題となっていたのに対し、本例では分解能(例
えば0.125mm)の範囲内の停止誤差で位置決めで
き、更に、この分解能として示した値は益々小さな値と
することが可能である。
FIG. 4 shows an example of positioning control using a full closed loop. The command value is compared with the ROM 15 in the comparator circuit 25, and the stepping motor STM is driven via the drive circuit 27, and the moving amount of the stepping motor STM is determined by the detected amount of the pole tooth detecting device 7, for example, and the position data 29 It is returned to the comparison circuit 25 as In conventional feedback control using a stepping motor, there were problems with poor manufacturing precision of the pole teeth, but in this example, positioning can be performed with a stopping error within the resolution (for example, 0.125 mm), and , the value shown as this resolution can be made smaller and smaller.

なお、この発明においては、以上説明してきた通り、極
歯の製作精度、特に、原点位置からの各極歯の製作精度
による位置誤差を吸収できるのであるが、機器の据句誤
差、外力による歪誤差、或いは永年の使用による歪誤差
、又、或いは温度の差による寸法誤差いずれも吸収し得
て、ステッピングモータを精度良く制御することができ
るのである。
As explained above, in this invention, it is possible to absorb positional errors due to the manufacturing accuracy of the pole teeth, especially the manufacturing accuracy of each pole tooth from the origin position, but it is possible to absorb positional errors due to the accuracy of manufacturing the pole teeth from the origin position. It is possible to absorb errors, distortion errors due to long-term use, and dimensional errors due to temperature differences, and it is possible to control the stepping motor with high precision.

以上の説明から明らかなように、この発明に係るステッ
ピングモータの制御方法は、極歯検出装置を備えたステ
ッピングモータの移動動作に連動させて前記ステッピン
グモータの移動量を移動量測定装置で測定し、前記極歯
検出装置で検出した極歯位置に前記移動m i++ 楚
装置で測定した位置情報を対応させ、該位置情報を記憶
させた情報チー7− プルを用いて前記ステッピングモータの制御Jることを
特徴とするものであるから、精度よく、オープルループ
で、又は、クローズトループで制御することができる。
As is clear from the above description, the stepping motor control method according to the present invention measures the amount of movement of the stepping motor with a movement amount measuring device in conjunction with the movement operation of the stepping motor equipped with a pole tooth detection device. , the position information measured by the moving device is made to correspond to the position of the pole tooth detected by the pole tooth detection device, and the stepping motor is controlled using an information team in which the position information is stored. Because of this feature, it is possible to control with high precision in an open loop or in a closed loop.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面はいずれも実施例を示し、第1図はリニアステッピ
ングモータの部分拡大説明図、第2図はリニアステッピ
ングモータの移動量を測定する場合の平面説明図、第3
図はオープンループの位置決め制御方法を示すブロック
図、第4図はクローズトループの位置決め制御方法を示
り一説明図である。 1・・・固定子 3a 、 3b 、 3c ・・・極歯5・・・可動子
 7・・・極歯検出装置9・・・移動量測定装置 15
・・・ROMSTM・・・ステッピングモータ 代理人 弁理士 三 好 保 男 8− 第2図 手続ネ市正書(自発) 昭和59年5月2日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 1、事件の表示 昭和59年特許願第14299号2、
発明の名称 ステッピングモータの制御方法 3、補正をする者 代表者 天1)満量 4、代理人 6、補正の内容 2− 明 細 書 1、発明の名称 リニアパルスモータの制御方法 2、特許請求の範囲 極歯検出装置を備えたリニアパルスモータの移動動作に
連動させて前記リニアパルスモータの移動量を移動測定
装置C測定し、前記極歯検出装置で検出した極歯位置に
前記移動量測定装置で測定した位置情報を対応ざV、該
位置情報を記憶ざVた情報テーブルを用いて前記リニア
パルスモータの制御をづることを特徴とするリニアパル
スモータの制御方法。 3、発明の詳細な説明 この発明はリニアパルスモータの制御方法に関りる。 一般に、リニアパルスモータは極歯を備え、該極歯の位
置を光学的、又は磁気的検出装置で検出しつつ位置決め
制御されている。従って、極歯の製作精度が直接位置決
め精度に影響し、これがため極歯を精度良く製作しにう
と試みられているところである。ところが、昨今のリニ
アパルスモークの技術向上に伴い、一方Cは極歯の細分
化、他方で(よ極歯間の分割位置で′の停止技術が向上
してきた。即ち、例えばリニアパルスモータにおいで極
歯ピッチは111)Il)以下に、分割停止技術は1/
4.1/8ピッチ以上で行なわれるようになってきたの
である。このことは位置決め分解能の向上を意味し、上
記例においては1mmxl/8=0.125mmの分解
能である。 そこで1双度、前述した極歯製作精度が問題となってく
る。即ち、従来、例えば2+111+1ピツチ極歯にお
ける0、1〜0.3mm程度の製作誤差は無視されがち
Cあったが、分解能が向上してぎた昨今では側底無視し
得ない値となってきたのである。 さりとて製作精度をJζり面上させることにはノ)((
理があり、又、コストアップにも影響Jる。又、従来に
おいCも、各極歯間ビッヂの精度をより向上させること
は可能であるけれども、原点位置から免C1全ての極歯
を位置決め精度の要求覆る伯、例えば上記分解能の1/
10程度(0,01mm程1一 度)の精度に製作することはほとんど不可能である。 従来のリニアパルスモータにおいては、分解能向上技術
が存在するにもかかわらず、特に、原点位置からの各極
歯位置を精度良く製作することはできず、精度良く位置
決め制御をすることができなかったのである。 この発明は上記従来技術に鑑みて、リニアパルスモータ
の位置決め精度を向上さけることのできる制御方法を提
供することを目的とし、又、仙の目的はクローズトルー
プにおいても精度よく制御することのできるリニアパル
スモータの制御方法を提供することにある。 上記目的を達成するためのこの発明は、極歯検出装置を
備えたリニアパルスモータの移動動作に連動させて前記
リニアパルスモータの移動量を移動量測定装置で測定し
、前記極歯検出装置で検出した極歯位置に前記移動量測
定装置で測定した位置情報を対応させ、該位置情報を記
憶させた情報テーブルを用いて前記リニアパルスモータ
の制御2− を行うことを特徴とづるリニアパルスモータの制御方法
である。 以下、上記発明について実施例を掲げ詳細に説明する。 第1図はリニアパルスモータL l) Mの部分拡大説
明図である。固定子1に備えた極m3a 、3b 。 3C・・・に対峙する可動子5に前記極歯3a 、 3
b 。 3G・・・を検出する極歯検出装置7が設(プられてい
る。 前記極歯検出装置7は光学式のものを示し、例えば、光
ファイバを用いて極歯3a、3cの肩部を順次検出し、
検出信号を得ている。極歯検出装置としては、光学セン
サの他、磁気誘導センサ、ボール素子センザ等いずれも
使用することかできる。なお、極歯検出センサは方向性
判断、分割停止等所望により、複数個適宜に設りられる
。 第2図にこの発明に用いる情報テーブルの作成方法の一
例を示した。4Ii爾検出装置7を備えたリニアパルス
モータLPMの移動動作に連動させC1前記リニアパル
スモータl 19Mの移@州を移動量測定装圃9で測定
する。そして、前記極歯検出装置7で検出した極歯位置
に前記移動量測定装置7で測定した位置情報を比較補正
回路11で対応させ、対応位置情報をROMライター1
3を介し−CROM15にこ書き込む例である。ここに
、移動量測定装置9は基板17に読取ヘッド19を備え
、該読取りヘッドを前記可動子5と連結した副長器の例
を示しているが、要するに、リニアパルスモータLPM
の可動子5の移動動作を正確に測定し得れば良く、一般
の測長器と呼ばれるもの、校正されたマグネスケール、
リニアスケール、インダクトシン等々、いずれの方式、
いずれの形式であっても良い。 第2図におりる比較補正回路11は、従来リニアパルス
モータに用いられている位置制御のだめの検出情報、即
ち、例えば、第「1番目の信号にピッチp1mを乗じて
、その位置をn X p III m ’rあるとする
情報を実際の測定値で補正設定する回路である。即ち、
ROM15に書き込まれる情報デープルは第n番目の信
号発生地点は、n X p m IIIに補正値Δ誌m
mを加えたものであると、又は、第[1番目の信号発生
地点は新規な伯、nxp±八αmへである、等と印され
るのである。ここに、極歯検出装置が複数個設(プられ
ており、1/2.1/4.1/8゜・・・ピッチ(以下
、この分割区間を1ステツプと呼ぶ)毎に検出信号を発
生づる場合には、それらの信号にそれぞれ移動量測定装
置の測定値を対応させるか、或いは、ピッチ間の誤差を
無視しC1例えば、単純平均により当該分割地点の位置
情報とすることも可能である。 前記ROM15内にお1ノる位置情報としては、極歯ピ
ッチを1 mtn、分割停止位置をその1/8とした場
合の分解能0.125mmの1/10程度(0,01m
m程度)は悠に設定可能である。従っC1例えば、リニ
アパルスモータにおし」る原点かlうの各極歯位置を0
.01m…、又は、それ以上の精度で位置づけることが
で゛きるのである。 第3図に上記ROM15を用いてオープンルーゾで位置
決め制御する場合の実施例を示した。補正演締部21に
ROM15を対応ざぜ、駆動部25− 3を介してリニアパルスモータLPMを駆動するもので
ある。例えば、従来、分解能0.125n+n+である
ことを前提として100ステツプ、0.125X 10
0= 12.5mmの移動指令を行った場合、実際には
誤差のため12.1mmLか移動せず、停止誤差はQ 
、4 mnVcあったとする。しかるに、本実施例にお
いては第2図で示したROM15を介在させでいるのC
1例えば12.5mll1は103ステツプであると判
断し、例えば12.4751nmの位置に停止誤差0.
025m1llr″停止することができるのである。こ
の様に、原点を基準とする停止誤差を分解能(本例では
0.125mm)以下で収めることができるのである。 停止位置から再度位置決め動作しても同様である。 第4図にフルクローズトループによる位置決め制御の例
を示した。指令値を比較回路25 F R0M15と比
較し、駆動回路27を介してリニアパルスモータLPM
を駆動し、該リニアパルスモータLPMの移動量を、例
えば、前記極歯検出装置7の検出量で知り位置データ2
9として比較回路6− 25へ返り一6従来のリニアパルスモータを用いたフィ
ードバック制御においは、常に極歯の製作精度が問題と
なっていたのに対し、本例では分解能(例えば0.12
5n+m>の範囲内の停止誤差で位置決めでき、更に、
この分解能として示した値は今後の分解能向上技術に応
じて益々小ざな値とすることが可能である。 なお、この発明においては、以上説明してぎた通り、極
歯の製作精度、特に、原点位置からの各極歯の製作精度
による位置誤差を吸収できるのであるが、機器の据付誤
差、外力による正誤差、或いは永年の使用にJこる正誤
差、又、或いは温度の差による寸法誤差いずれも吸収し
得るのである。 以上の説明から明らかなように、この発明に係るリニア
パルスモータの制御方法は、極歯検出装置を備えたリニ
アパルスモータの移動動作に連動させて前記リニアパル
スモータの移動量を移動量測定装置で測定し、前記極歯
検出装置で検出した極歯位置に前記移動量測定装置で測
定した位置情報を対応させ、該位置情報を記憶させた情
報テー/ルを用いC前記リニアパルスモータの制御を覆
ることを特徴とするものであるから、精度よく、オープ
ルループで、又は、クロースドループで制鶴117する
ことができる。 4、図面の簡単な説明 図面はいずれも実施例を示し、第1図はリニアパルスモ
ークの部分拡大説明図、第2図はリニアパルスモータの
移動量を測定する場合の平面説明図、第3図はオープン
ループの位置決め制御方法を示すブロック図、第4図は
クローズトループの位置決め制御方法を示す説明図Cあ
る。 1・・・固定子 3a 、 3b 、 3c −・・極歯5・・・可動子
 7・・・極歯検出装置9・・・移動量測定装置 15
・・・ROMLPM・・・リニアパルスモータ 代理人 弁理士 三 好 保 男 9−
The drawings all show examples, and FIG. 1 is a partially enlarged explanatory diagram of a linear stepping motor, FIG. 2 is a plan explanatory diagram for measuring the amount of movement of a linear stepping motor, and FIG.
The figure is a block diagram showing an open-loop positioning control method, and FIG. 4 is an explanatory diagram showing a closed-loop positioning control method. 1... Stators 3a, 3b, 3c... Pole teeth 5... Mover 7... Pole tooth detection device 9... Movement amount measuring device 15
...ROMSTM...Stepping motor agent Patent attorney Yasuo Miyoshi 8- Figure 2 Procedural official document (spontaneous) May 2, 1980 Commissioner of the Japan Patent Office Kazuo Wakasugi 1, Indication of the case 1981 Patent Application No. 14299 2,
Title of the invention: Method for controlling a stepping motor 3, Representative of the person making the amendment: 1) Full amount 4, Agent 6, Contents of the amendment 2 - Specification 1, Name of the invention: Method for controlling a linear pulse motor 2, Claims A movement measurement device C measures the amount of movement of the linear pulse motor in conjunction with the movement of a linear pulse motor equipped with a pole tooth detection device, and measures the amount of movement at the pole tooth position detected by the pole tooth detection device. 1. A method for controlling a linear pulse motor, characterized in that the linear pulse motor is controlled by using an information table in which position information measured by a device is correlated and the position information is stored. 3. Detailed Description of the Invention The present invention relates to a method of controlling a linear pulse motor. Generally, a linear pulse motor is provided with pole teeth, and positioning is controlled by detecting the position of the pole teeth with an optical or magnetic detection device. Therefore, the manufacturing accuracy of the pole teeth directly affects the positioning accuracy, and for this reason, attempts are being made to manufacture the pole teeth with high accuracy. However, with recent improvements in linear pulse smoke technology, on the one hand, C is the subdivision of the pole teeth, and on the other hand, the stopping technology (at the dividing position between the pole teeth) has improved. In other words, for example, in a linear pulse motor, The pole tooth pitch is 111) Il) below, and the split stop technique is 1/
It has come to be played at 4.1/8 pitch or more. This means an improvement in positioning resolution, which in the above example is 1 mm x l/8 = 0.125 mm. Therefore, the above-mentioned accuracy in manufacturing the pole teeth becomes a problem. In other words, in the past, for example, manufacturing errors of about 0.1 to 0.3 mm in 2+111+1 pitch pole teeth tended to be ignored, but as resolution has improved these days, it has become a value that cannot be ignored. be. It is important to improve the manufacturing accuracy on the Jζ surface.
This makes sense, and also increases costs. In addition, although it is possible to further improve the accuracy of the bits between each pole tooth in the conventional C, it is possible to improve the precision of the bits between each pole tooth, but it is not possible to increase the precision of positioning all the pole teeth from the origin position, for example, by 1/1/2 of the above-mentioned resolution.
It is almost impossible to manufacture it with an accuracy of about 10 (about 0.01 mm once). In conventional linear pulse motors, despite the existence of resolution improvement technology, it was not possible to precisely manufacture the position of each pole tooth from the origin position, and it was not possible to perform positioning control with high precision. It is. In view of the above-mentioned prior art, it is an object of the present invention to provide a control method that can improve the positioning accuracy of a linear pulse motor. An object of the present invention is to provide a method for controlling a pulse motor. In order to achieve the above object, the present invention measures the amount of movement of the linear pulse motor with a movement amount measuring device in conjunction with the movement of the linear pulse motor equipped with a pole tooth detection device, and measures the amount of movement of the linear pulse motor with a movement amount measuring device. A linear pulse motor characterized in that the detected pole tooth position is associated with position information measured by the movement amount measuring device, and the control of the linear pulse motor is performed using an information table in which the position information is stored. This is a control method. Hereinafter, the above invention will be described in detail with reference to examples. FIG. 1 is a partially enlarged explanatory diagram of the linear pulse motor Ll)M. Poles m3a, 3b provided on stator 1. The pole teeth 3a, 3 are attached to the movable element 5 facing 3C...
b. A pole tooth detection device 7 is provided for detecting 3G... sequentially detect,
Detection signal is obtained. As the pole tooth detection device, in addition to an optical sensor, a magnetic induction sensor, a ball element sensor, etc. can be used. Incidentally, a plurality of pole tooth detection sensors may be provided as appropriate for determining directionality, dividing and stopping, etc., as desired. FIG. 2 shows an example of a method for creating an information table used in the present invention. The displacement of the linear pulse motor LPM is measured by the displacement measurement device 9 in conjunction with the movement of the linear pulse motor LPM equipped with the detection device 7. Then, the comparison correction circuit 11 makes the position information measured by the movement amount measuring device 7 correspond to the pole tooth position detected by the pole tooth detection device 7, and the corresponding position information is stored in the ROM writer 1.
This is an example of writing to the CROM 15 via 3. Here, an example of a sub-length device is shown in which the movement amount measuring device 9 is equipped with a reading head 19 on a substrate 17 and the reading head is connected to the movable element 5, but in short, it is a linear pulse motor LPM.
It is sufficient to accurately measure the movement of the movable element 5, using a so-called general length measuring device, a calibrated Magnescale,
Any method such as linear scale, inductosyn, etc.
It may be in any format. The comparison and correction circuit 11 shown in FIG. 2 uses detection information for position control conventionally used in linear pulse motors, that is, for example, the first signal is multiplied by the pitch p1m, and the position is determined by multiplying the first signal by the pitch p1m. This is a circuit that corrects and sets the information that p III m 'r exists using the actual measured value. In other words,
In the information table written in the ROM 15, the n-th signal generation point is n X p m III and the correction value Δ magazine m
m, or the first signal generation point is to the new square, nxp±8αm, and so on. Here, a plurality of pole tooth detection devices are installed, and detect signals at every pitch of 1/2.1/4.1/8° (hereinafter, this divided section is referred to as 1 step). If such signals are generated, it is possible to correspond to the measured values of the movement measuring device, respectively, or to ignore the error between the pitches and use simple averaging to obtain the position information of the divided point. The position information stored in the ROM 15 is approximately 1/10 of the resolution of 0.125 mm (0.01 m) when the pole tooth pitch is 1 mtn and the division stop position is 1/8 of that
m) can be easily set. Therefore, for example, if the origin of C1 is set to a linear pulse motor, each pole tooth position of the motor is set to 0.
.. It is possible to position with an accuracy of 0.01 m... or more. FIG. 3 shows an embodiment in which the ROM 15 is used for open Luso positioning control. A ROM 15 is associated with the correction performance section 21, and the linear pulse motor LPM is driven via the drive section 25-3. For example, conventionally, assuming a resolution of 0.125n+n+, 100 steps, 0.125X 10
0 = When a movement command of 12.5mm is given, the actual movement is 12.1mmL due to an error, and the stopping error is Q.
, 4 mnVc. However, in this embodiment, the ROM 15 shown in FIG.
For example, 12.5ml1 is determined to be 103 steps, and a stopping error of 0.
025ml1llr". In this way, the stopping error based on the origin can be kept below the resolution (0.125mm in this example). The same holds true even if the positioning operation is performed again from the stopped position. An example of positioning control using a full closed loop is shown in Fig. 4.The command value is compared with the comparison circuit 25 F R0M15, and the linear pulse motor LPM
The amount of movement of the linear pulse motor LPM is determined, for example, by the amount detected by the pole tooth detection device 7, and position data 2 is obtained.
Return to the comparison circuit 6-25 as 9.16 In conventional feedback control using a linear pulse motor, the manufacturing accuracy of the pole teeth has always been a problem, but in this example, the resolution (for example, 0.12
Positioning is possible with a stopping error within the range of 5n+m>, and furthermore,
The value shown as this resolution can be made smaller and smaller depending on future resolution improvement technology. As explained above, in this invention, it is possible to absorb positional errors due to the manufacturing accuracy of the pole teeth, especially the manufacturing accuracy of each pole tooth from the origin position, but it is also possible to absorb positional errors due to equipment installation errors and external forces. It is possible to absorb both errors, positive errors due to long-term use, and dimensional errors due to temperature differences. As is clear from the above description, the method for controlling a linear pulse motor according to the present invention involves measuring the amount of movement of the linear pulse motor in conjunction with the movement of the linear pulse motor equipped with a pole tooth detection device. , the position information measured by the movement amount measuring device is made to correspond to the pole tooth position detected by the pole tooth detection device, and the information table in which the position information is stored is used to control the linear pulse motor C. Since it is characterized by covering the area, it is possible to make the crane 117 with high accuracy in an open loop or a closed loop. 4. Brief explanation of the drawings The drawings all show examples. Fig. 1 is a partially enlarged explanatory view of a linear pulse motor, Fig. 2 is a plan explanatory view when measuring the amount of movement of a linear pulse motor, and Fig. 3 The figure is a block diagram showing an open-loop positioning control method, and FIG. 4 is an explanatory diagram C showing a closed-loop positioning control method. 1... Stators 3a, 3b, 3c -... Pole teeth 5... Mover 7... Pole tooth detection device 9... Movement amount measuring device 15
...ROMLPM...Linear pulse motor representative Patent attorney Tamotsu Miyoshi 9-

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 極歯検出装置を備えたステッピングモータの移動動作に
連動させて前記ステッピングモータの移動量を移動測定
装置で測定し、前記極歯検出装置で検出した極歯位置に
前記移動量測定装置で測定した位置情報を対応させ、該
位置情報を記憶させた情報テーブルを用いて前記ステッ
ピングモータの制御をすることを特徴とするステッピン
グモータの制御方法。
A movement measurement device measures the amount of movement of the stepping motor in conjunction with the movement of a stepping motor equipped with a pole tooth detection device, and the movement amount measurement device measures the amount of movement of the stepping motor at the position of the pole tooth detected by the pole tooth detection device. A method for controlling a stepping motor, characterized in that the stepping motor is controlled using an information table in which position information is associated and the position information is stored.
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