JPS60144606A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
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- JPS60144606A JPS60144606A JP32184A JP32184A JPS60144606A JP S60144606 A JPS60144606 A JP S60144606A JP 32184 A JP32184 A JP 32184A JP 32184 A JP32184 A JP 32184A JP S60144606 A JPS60144606 A JP S60144606A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
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- 239000010985 leather Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/28—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication
- G01D5/30—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication the beams of light being detected by photocells
-
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、被測定物の位置を非接触、に測定する装置に
おいて、被測定物の位動とその測定面の傾きを同時に測
定する位置測定装置に関する。
おいて、被測定物の位動とその測定面の傾きを同時に測
定する位置測定装置に関する。
（発明の技術的背景とその問題点〕
一般に、従来より実施されている位置測定装置は１ｇ１
図に示すように測定点（１）の空間座標における３次元
位置の測定を目的としていて、レーザ光（２）を測定点
（１）に照射したときの散乱光りを利用している。しか
し、被測定物が位置している測定面（３）の傾きについ
ては同時測定ができないようになっている。とりわけ、
傾きの測定については。
図に示すように測定点（１）の空間座標における３次元
位置の測定を目的としていて、レーザ光（２）を測定点
（１）に照射したときの散乱光りを利用している。しか
し、被測定物が位置している測定面（３）の傾きについ
ては同時測定ができないようになっている。とりわけ、
傾きの測定については。
被測定物の形状を測定した後、形状データによって傾き
を算出せねばならず、すこぶる非能率的である。
を算出せねばならず、すこぶる非能率的である。
ところで、各種の製造ラインにおいては１組立てられた
被検査体の特定部位の位置と傾きを同時に計測する必要
がしばしば生じる。しかしながら。
被検査体の特定部位の位置と傾きを同時に計測する必要
がしばしば生じる。しかしながら。
位置と傾きを別個に測定する従来の方法は、検査能率及
び検査精度が著しく低い欠点があった。
び検査精度が著しく低い欠点があった。
本発明は、上記事情を参酌してなされたもので。
測定対象の位置と傾きを同時に測定することのできる位
置測定装置を提供することを目的とする。
置測定装置を提供することを目的とする。
測定面からのレーザ正反射光を受光する傾き測定部及び
レーザ乱反射光を受光する変位量測定部を設け、これら
傾き測定部及び変位量測定部における基準面と実際の測
定面とでの受光位置の変動距離をめ請求めた変動距離に
基づいて測定面の基準面に対する傾き及び変位量を演算
するようにしたものである。
レーザ乱反射光を受光する変位量測定部を設け、これら
傾き測定部及び変位量測定部における基準面と実際の測
定面とでの受光位置の変動距離をめ請求めた変動距離に
基づいて測定面の基準面に対する傾き及び変位量を演算
するようにしたものである。
以下１本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。
本実施例の位置測定装置は、第２図及び第３図に示すよ
うに、レーザ光を被測定物（４）に投射する投光部（５
）と、被測定物（４）表面からの正反射レーザ光を受光
する第１の受光部（６）と、同じく乱反射レーザ光を受
光する第２の受光部（力と、これら第１及び第２の受光
部（６） 、 （７１が電気的に接続された演算処理部
（８）と、この演算処理部（８）に通気的に接続され演
算結果を表示するための表示部（９）とから構成されて
いる。しかして、上記投光部（５）は、被測定物（４）
に向ってレーザ光αＯを出光するレーザ発振器からなっ
ている。また、第１の受光部（６）は、レーザ光ａ（２
）の光路上に配設された半透鏡αυと、この半透鏡ａυ
に近接して設けられ受光位置を示す電気信号を出力する
イメージセンサ（１ｚとからなっている。上記半透鏡α
υは、被測定物（４）からの正反射レーザ光Ｑ３を、レ
ーザ光（１１の光路に対して交差する横向き方向に反射
するように、傾斜して設けられている。また、イメージ
センサａっは１例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｙｅ Ｃｏｕｐ
ｌｅｄ Ｄｅｖｌｃｅ）などの１次元イメージセンナか
らなるもので、レーザ光ａ１の光路に平行な方向の半透
鏡αυにて反射した正反射レーザ光０３）の位置測定が
できるように配設されている。一方。
うに、レーザ光を被測定物（４）に投射する投光部（５
）と、被測定物（４）表面からの正反射レーザ光を受光
する第１の受光部（６）と、同じく乱反射レーザ光を受
光する第２の受光部（力と、これら第１及び第２の受光
部（６） 、 （７１が電気的に接続された演算処理部
（８）と、この演算処理部（８）に通気的に接続され演
算結果を表示するための表示部（９）とから構成されて
いる。しかして、上記投光部（５）は、被測定物（４）
に向ってレーザ光αＯを出光するレーザ発振器からなっ
ている。また、第１の受光部（６）は、レーザ光ａ（２
）の光路上に配設された半透鏡αυと、この半透鏡ａυ
に近接して設けられ受光位置を示す電気信号を出力する
イメージセンサ（１ｚとからなっている。上記半透鏡α
υは、被測定物（４）からの正反射レーザ光Ｑ３を、レ
ーザ光（１１の光路に対して交差する横向き方向に反射
するように、傾斜して設けられている。また、イメージ
センサａっは１例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｙｅ Ｃｏｕｐ
ｌｅｄ Ｄｅｖｌｃｅ）などの１次元イメージセンナか
らなるもので、レーザ光ａ１の光路に平行な方向の半透
鏡αυにて反射した正反射レーザ光０３）の位置測定が
できるように配設されている。一方。
第２の受光部（力は、被測定物（４）からの乱反射レー
ザ光α荀を集光するためのレンズからなる光学系０９と
、この光学系ｔ１つにより集光された乱反射レーザ光Ｉ
を受光して受光位置を示す電気信号を出力するイメージ
センサａ！とからなっている。このイメージセンサαｅ
は、例えばＣＯＤなどの１次元イメージセンサからなっ
ている。そうして、イメージセンサｔ１６１の１次元位
置測定方向は、光学系（１５１の光軸及、びレーザ光Ｑ
ｔｌの光路を含む面内にあり、かつレーザ光ＯＬＩ＋の
光路と交差する。ように設定されている。
ザ光α荀を集光するためのレンズからなる光学系０９と
、この光学系ｔ１つにより集光された乱反射レーザ光Ｉ
を受光して受光位置を示す電気信号を出力するイメージ
センサａ！とからなっている。このイメージセンサαｅ
は、例えばＣＯＤなどの１次元イメージセンサからなっ
ている。そうして、イメージセンサｔ１６１の１次元位
置測定方向は、光学系（１５１の光軸及、びレーザ光Ｑ
ｔｌの光路を含む面内にあり、かつレーザ光ＯＬＩ＋の
光路と交差する。ように設定されている。
また、光学系０９の焦点距離ｆは、レーザ光（ＨＩの反
射位置Ｐの実像が、イメージセンサ０６１上の位置ＳＰ
にて結像されるように設牢されている。つまり、いわゆ
るシャインプルーグ（８ｃｈｅｉｍｐｆｌｕｇ）条件を
満足するように、第２の受光部（７）が設けられている
。。つぎに、演算処理部（８１は、イメージセンサ０２
゜・１υに各別に接続されたアナログ−ディジタル（Ａ
／Ｄ）変換器０７）、鰻と、これらＡ／Ｄ変換器＋１７
１．（１８１の出力側に電気的に接続された入出力イン
ターフェイスｕ９と、この入出力インターフェイスの出
力側ｊに接続された記憶、演算機能を有するマイクロコ
ンピュータαＩと、このマイクロコンピュータいに接続
された入出力インターフェイスＣυとからなっている。
射位置Ｐの実像が、イメージセンサ０６１上の位置ＳＰ
にて結像されるように設牢されている。つまり、いわゆ
るシャインプルーグ（８ｃｈｅｉｍｐｆｌｕｇ）条件を
満足するように、第２の受光部（７）が設けられている
。。つぎに、演算処理部（８１は、イメージセンサ０２
゜・１υに各別に接続されたアナログ−ディジタル（Ａ
／Ｄ）変換器０７）、鰻と、これらＡ／Ｄ変換器＋１７
１．（１８１の出力側に電気的に接続された入出力イン
ターフェイスｕ９と、この入出力インターフェイスの出
力側ｊに接続された記憶、演算機能を有するマイクロコ
ンピュータαＩと、このマイクロコンピュータいに接続
された入出力インターフェイスＣυとからなっている。
さらに１表示部（９）は、入出力インターフェイスＱυ
の出力側に接続され冬例えばＣＲＴ （Ｃａｔｈｏｄｅ
Ｒａｙ Ｔｕｂｅ ）などからなっている。
の出力側に接続され冬例えばＣＲＴ （Ｃａｔｈｏｄｅ
Ｒａｙ Ｔｕｂｅ ）などからなっている。
つぎに、上記構成の位置測定装置の作動について述べる
。
。
まず、投光部（５）よシ被測定物（４）に向ってレーザ
先部を投射する。すると、このレーザ光四は、半透鏡α
Ｄの位置Ｈを経由して被測定物（４）の測定基準となる
測定面（２ｚの位置Ｐに達する。その結果、この測定面
＠にては、レーザ光Ｕ■は、正反射し、−ザ光０及び乱
反射レーザ光０４として反射する。上記正反射レーザ光
Ｃｌ５）は、半透鏡０υを介して、イメージセンサα２
の位置ＳＡにて受光される１、このときの正反射レーザ
光０３の光路長Ｐ−Ｈ−８Ａを１とする。
先部を投射する。すると、このレーザ光四は、半透鏡α
Ｄの位置Ｈを経由して被測定物（４）の測定基準となる
測定面（２ｚの位置Ｐに達する。その結果、この測定面
＠にては、レーザ光Ｕ■は、正反射し、−ザ光０及び乱
反射レーザ光０４として反射する。上記正反射レーザ光
Ｃｌ５）は、半透鏡０υを介して、イメージセンサα２
の位置ＳＡにて受光される１、このときの正反射レーザ
光０３の光路長Ｐ−Ｈ−８Ａを１とする。
つぎに、測定面（２渇が変位量ｄだけ平行移動するとと
本に、角度θ傾斜して測定面Ｃｉとなった場合。
本に、角度θ傾斜して測定面Ｃｉとなった場合。
レーザ光０〔は、位置Ｐ１にて反射する。この場合の正
反射レーザ光αＱは、半透＠！ａυの位置Ｈ，にて方向
転換し、イメージセンサａりの位置ＳＡ、にて受光さ角
度θだけ傾斜しているので１反射光Ｐ、 −Ｈｌは。
反射レーザ光αＱは、半透＠！ａυの位置Ｈ，にて方向
転換し、イメージセンサａりの位置ＳＡ、にて受光さ角
度θだけ傾斜しているので１反射光Ｐ、 −Ｈｌは。
反射光Ｐ−Ｈに対して角度２θ傾斜している。したがっ
て、イメージセンサ（１２上の位置ＳＡ、は、位置８Ａ
から距離ｙだけ離間している。この距離ｙと、変位量ｄ
及び光路長１との間には１次式［Ｆ］の関係が成立する
。
て、イメージセンサ（１２上の位置ＳＡ、は、位置８Ａ
から距離ｙだけ離間している。この距離ｙと、変位量ｄ
及び光路長１との間には１次式［Ｆ］の関係が成立する
。
ｙ ＝＝ （ｄ ＋Ｌ ） ｔａｎ ２θ −＝ （Ｄ
したがって、この弐〇〕より、傾斜角θを次式■で示す
ようにめることができる。
したがって、この弐〇〕より、傾斜角θを次式■で示す
ようにめることができる。
この式■は、光路長１さえあらかじめめておけば、後述
する変位量ｄの算出結果及びイメージセンサαりにおけ
る距離ｙの測定結果に基づいて、傾斜角θを算出できる
ことを示している。さらに。
する変位量ｄの算出結果及びイメージセンサαりにおけ
る距離ｙの測定結果に基づいて、傾斜角θを算出できる
ことを示している。さらに。
変位量ｄが、光路長五に比して十分小さく、かつ傾斜角
θも小さい場合には、次の近似式■が成立する。
θも小さい場合には、次の近似式■が成立する。
ｙγ２θＪ（ただし、ｄ＜＜Ｊ、、θ≧Ｏ） ・・・■
この式■は、光路長１さえあらかじめめておけば、変位
量ｄに無関係にイメージセンサａりにおける距離ｙの測
定結果に基づいて、傾斜角θを算出できることを示して
いる。
この式■は、光路長１さえあらかじめめておけば、変位
量ｄに無関係にイメージセンサａりにおける距離ｙの測
定結果に基づいて、傾斜角θを算出できることを示して
いる。
一方、乱反射し−ザ光Ｉは、光学系０５によね。
測定面（２擾上のレーザ光叫のビームスポット位置Ｐの
実像が、イメージセンサａＱ上の位置ＳＰに実像として
結像するように、イメージセンサａＦ５上に集光される
。ついで、前記測定面（２湯上におけるレーザ党員のビ
ームスポット位置 Ｐｌは、イメージセンナαｅ上の位
置５ＰＩＫて結像する。ここで、光学系αつの中心位置
をＣ１かつレーザ光（１（至）の光路とイメージセンサ
（ｌＥ９の１次元位置測定方向との交点をＤとし、距離
５Ｐ−Ｃをり、距離Ｐ−Ｃをｔ、距離８Ｐ、−Ｃｔｈ、
、距離Ｐ、−Ｃをｔａｒ距離８Ｐ−Ｄをｍ。
実像が、イメージセンサａＱ上の位置ＳＰに実像として
結像するように、イメージセンサａＦ５上に集光される
。ついで、前記測定面（２湯上におけるレーザ党員のビ
ームスポット位置 Ｐｌは、イメージセンナαｅ上の位
置５ＰＩＫて結像する。ここで、光学系αつの中心位置
をＣ１かつレーザ光（１（至）の光路とイメージセンサ
（ｌＥ９の１次元位置測定方向との交点をＤとし、距離
５Ｐ−Ｃをり、距離Ｐ−Ｃをｔ、距離８Ｐ、−Ｃｔｈ、
、距離Ｐ、−Ｃをｔａｒ距離８Ｐ−Ｄをｍ。
距離Ｄ−Ｐをｎ、距離５Ｐ−８Ｐ、をＸ、線分５Ｐ−Ｄ
と線分Ｃ−Ｄとのなす角度をα、線分Ｃ−Ｄと線分Ｐ−
Ｄとのなす角度をβとすると（第４図参照）。
と線分Ｃ−Ｄとのなす角度をα、線分Ｃ−Ｄと線分Ｐ−
Ｄとのなす角度をβとすると（第４図参照）。
次式の、■、■が成り立つ。
ただし、ｆは、前記光学革ａ９の焦点距離、ｄは。
前記測定面＠の測定面Ｑりに対する変位量である。
これら式■、■、■よシ、変位量次式のを得ることこの
式のは、ちらかじめ角変α、β及び距＃ｍ。
式のは、ちらかじめ角変α、β及び距＃ｍ。
ｎ、ｆをめておけば、イメージセンサａｅによる距離Ｘ
の測定結果に基づいて、変位量ｄを算出することができ
るということを示している。
の測定結果に基づいて、変位量ｄを算出することができ
るということを示している。
かくて、あらかじめイメージセ／す０から出力されたｉ
ｎ＋＋定基準となる位置ＳＡを示す電気信号をＡ／Ｄ変
換器（１カにてＡ／Ｄ変換した後、ディジタルデータＴ
。Ｉとしてマイクロコンピータ（至）にて記憶させてお
く。同様に、イメージセンサｌｉｅから出力された測定
基準となる位置ＳＰを示す電気信号をＡ／Ｄ変換器（２
）にてＡ／Ｄ変換した後、マイクロコンビ諷−タ（２）
にてディジタルデータＴ。、として記憶させておく。さ
らに、前記角度α、β、距離ｍ、ｎ。
ｎ＋＋定基準となる位置ＳＡを示す電気信号をＡ／Ｄ変
換器（１カにてＡ／Ｄ変換した後、ディジタルデータＴ
。Ｉとしてマイクロコンピータ（至）にて記憶させてお
く。同様に、イメージセンサｌｉｅから出力された測定
基準となる位置ＳＰを示す電気信号をＡ／Ｄ変換器（２
）にてＡ／Ｄ変換した後、マイクロコンビ諷−タ（２）
にてディジタルデータＴ。、として記憶させておく。さ
らに、前記角度α、β、距離ｍ、ｎ。
焦点距離ｆ及び光路長１もあらかじめ測定してマイクロ
コンピータ翰に記憶させておく。ｉた。
コンピータ翰に記憶させておく。ｉた。
マイクロコンピュータ働は１式■、■、のの演算フログ
ラムを格納しておく。ついで、実際に測定面＠の傾斜角
θ及び変位量ｄを測定する場合には。
ラムを格納しておく。ついで、実際に測定面＠の傾斜角
θ及び変位量ｄを測定する場合には。
イメージセンサａａ、ｉｓから出力された位＠ ８Ａ、
。
。
ＳＰｌを示す電気信号をそれぞれＡ／Ｄ変換器（ｔｅｌ
、（１８１にてＡ／Ｄ変換シ、マイクロコンピュータ（
２）にてディジタルデータＴ。１’ ＊ Ｔ０２として
、いったん記憶させる。ついで、このマイクロコンピュ
ータ（２Ｉｎにては、ディジタルデータＴ。Ｉ ＋ Ｔ
１）ｌ’＋ ＴＯｆ ＋ ＴＯ！’より、距離ｘ、ｙを
演算する。さらに、これらめられた距離ｘ、ｙに基づい
て、前記式■、■、■を用いることＫよ抄、傾斜角θ及
び変位ｉｄを演η、する。しかして、演算結果は、直ち
に表示部（９）にて表示される。
、（１８１にてＡ／Ｄ変換シ、マイクロコンピュータ（
２）にてディジタルデータＴ。１’ ＊ Ｔ０２として
、いったん記憶させる。ついで、このマイクロコンピュ
ータ（２Ｉｎにては、ディジタルデータＴ。Ｉ ＋ Ｔ
１）ｌ’＋ ＴＯｆ ＋ ＴＯ！’より、距離ｘ、ｙを
演算する。さらに、これらめられた距離ｘ、ｙに基づい
て、前記式■、■、■を用いることＫよ抄、傾斜角θ及
び変位ｉｄを演η、する。しかして、演算結果は、直ち
に表示部（９）にて表示される。
このように１本実施例の位置測定装信、は、被測定物の
測定部分がビームスポット径の大きさの範囲で近似的に
平面であり、かつ測定面上にて正反射光及び乱反射光を
発するものであれば、基準面に対するその傾きと変位置
を同時に、能率的かつ高精度で測定できる。
測定部分がビームスポット径の大きさの範囲で近似的に
平面であり、かつ測定面上にて正反射光及び乱反射光を
発するものであれば、基準面に対するその傾きと変位置
を同時に、能率的かつ高精度で測定できる。
なお、上記実織例においては、第１の受光部（６）に１
次元イメージセンサを用いる場合について述べている。
次元イメージセンサを用いる場合について述べている。
しかし、一般に測定面（２６の基準測定面＠からの傾き
は、第２図における紙面における傾斜角θＸと、この紙
面に垂直な紙面における傾斜角θｙによって規定される
。よって、このような場合には、１次元イメージセンサ
の代りに、２次元イメージセンナを用することにより二
つの傾斜角θＸ。
は、第２図における紙面における傾斜角θＸと、この紙
面に垂直な紙面における傾斜角θｙによって規定される
。よって、このような場合には、１次元イメージセンサ
の代りに、２次元イメージセンナを用することにより二
つの傾斜角θＸ。
θｙを算出して、正確な傾きをめることができる、さら
に、イメージセンサとしては、前記ＣＣＤに限ることな
（、ＩＴＶ（工業用テレビジラン）カメラ。
に、イメージセンサとしては、前記ＣＣＤに限ることな
（、ＩＴＶ（工業用テレビジラン）カメラ。
Ｐ８Ｄ （Ｐｏｓ口ｉｏｎ ５ｅｎｓｉｔｉｖｅ １）
ｅｔｅｃｔｏｒ ；半導体装置検出器（直線的に移動す
る光スポットの位置を連続した電気信号として出力））
等を利用してもよい。
ｅｔｅｃｔｏｒ ；半導体装置検出器（直線的に移動す
る光スポットの位置を連続した電気信号として出力））
等を利用してもよい。
本発明の位置測定装置は、被測定物の測定面の基準面か
らの変位量及び傾斜角を同時に、高能率かつ高精度で測
定することができる。したがって。
らの変位量及び傾斜角を同時に、高能率かつ高精度で測
定することができる。したがって。
本装置を組立工程の検査装置として導入した場合。
生産合理化に寄与するとζろ大である。
第１図は従来の位置測定方法を説明するための図、第２
図及び第３図は本発明の一実施例の位置測定装置の構成
を示す図、第４図はシャインプルーグ条件の説明図であ
る。 （５）二投光部。 （６）：第１の受光部（傾き測定部）。 （７）：第２の受光部（変位量測定部）。 （８）：演算処理部。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）第１ｉ０ 第３図 第２図
図及び第３図は本発明の一実施例の位置測定装置の構成
を示す図、第４図はシャインプルーグ条件の説明図であ
る。 （５）二投光部。 （６）：第１の受光部（傾き測定部）。 （７）：第２の受光部（変位量測定部）。 （８）：演算処理部。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）第１ｉ０ 第３図 第２図
Claims (1)
- 測定面にレーザ光を投射する投射部と、上記測定面にお
ける上記レーザ光の正反射光を受光してこの受光位置を
示す部気信号を出力する傾き測定部と、上記泪：ｊ定面
における上記レーザ光の乱反射光を受光してこの受光位
置を示す電気信号を出力する変位量測定部と、上記傾き
測定部及び−ヒ記変位胛：測定部に電気的に接続され上
記各受光位置の基準位１６刀＼らの変動量に基づいて上
記基準位置に対応する基準面に対する上記測定面の傾き
及び変位量を算出する演算処理部とを具備することを特
徴とする位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32184A JPS60144606A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 位置測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32184A JPS60144606A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 位置測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60144606A true JPS60144606A (ja) | 1985-07-31 |
Family
ID=11470641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32184A Pending JPS60144606A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 位置測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60144606A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH027537A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 移動装置及び形状測定装置 |
| JPH0240505A (ja) * | 1988-07-30 | 1990-02-09 | Juki Corp | 距離測定装置 |
| JPH03220407A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-09-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Ｓｏｒ露光装置用傾き検出装置 |
| WO2008120458A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 載置台整準方法及び載置台整準装置 |
-
1984
- 1984-01-06 JP JP32184A patent/JPS60144606A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH027537A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 移動装置及び形状測定装置 |
| JPH0240505A (ja) * | 1988-07-30 | 1990-02-09 | Juki Corp | 距離測定装置 |
| JPH03220407A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-09-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Ｓｏｒ露光装置用傾き検出装置 |
| WO2008120458A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 載置台整準方法及び載置台整準装置 |
| JP2008251577A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 載置台整準方法及び載置台整準装置 |
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