JPS60143420A - 磁気ヘツドの検査方法 - Google Patents
磁気ヘツドの検査方法Info
- Publication number
- JPS60143420A JPS60143420A JP58252005A JP25200583A JPS60143420A JP S60143420 A JPS60143420 A JP S60143420A JP 58252005 A JP58252005 A JP 58252005A JP 25200583 A JP25200583 A JP 25200583A JP S60143420 A JPS60143420 A JP S60143420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic head
- head
- light
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/455—Arrangements for functional testing of heads; Measuring arrangements for heads
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/032—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect
- G01R33/0325—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect using the Kerr effect
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は磁気ヘッドの特性を検査する方法、特に薄膜磁
気ヘッドやＭＲヘッドの動的磁気特性をヘッドの各部に
亘って測定することのできる検査方法に関するものであ
る。
気ヘッドやＭＲヘッドの動的磁気特性をヘッドの各部に
亘って測定することのできる検査方法に関するものであ
る。
（背景技術）
薄膜磁気ヘッドのようなインダクタンスの小さい磁気ヘ
ッドでは、その動的磁気特性を測定するのが困難である
。また、磁気ヘッドを組立てる際、組立てが完成する前
にウエフ１の状態でのヘッドの磁気特性は測定できない
が、これが可能になればウェファの状態で不良な部分を
排除し、良好なものだ【プを組立てに供することができ
、ヘッド製造時の歩留りを大幅に向上させることができ
る。
ッドでは、その動的磁気特性を測定するのが困難である
。また、磁気ヘッドを組立てる際、組立てが完成する前
にウエフ１の状態でのヘッドの磁気特性は測定できない
が、これが可能になればウェファの状態で不良な部分を
排除し、良好なものだ【プを組立てに供することができ
、ヘッド製造時の歩留りを大幅に向上させることができ
る。
さらに、従来は完成された磁気ヘッド毎の特性は測定可
能でも、−個のヘッドの中での微少領域毎の測定は不可
能であった。このヘッドの各部の特性は、コンピュータ
を用いて理論的に推測する他なく、これを直接測定する
方法が実現すれば、工業上の利点はきわめて大きい。
能でも、−個のヘッドの中での微少領域毎の測定は不可
能であった。このヘッドの各部の特性は、コンピュータ
を用いて理論的に推測する他なく、これを直接測定する
方法が実現すれば、工業上の利点はきわめて大きい。
（発明の目的）
本発明は上記のような技術的背景において、従来不可能
であった磁気ヘッドの微少領域毎の動的特性の測定、薄
膜磁気ヘッド等のウェファ状態での動的特性の測定を可
能にする新規なヘッド検査方法を提供することを目的と
するものである。
であった磁気ヘッドの微少領域毎の動的特性の測定、薄
膜磁気ヘッド等のウェファ状態での動的特性の測定を可
能にする新規なヘッド検査方法を提供することを目的と
するものである。
（発明の構成および効果）
本発明の検査方法は、Ｍｌ１Ｍ磁気ヘッドあるいはＭＲ
ヘッドの磁性体層の表面を光を反射するように形成し、
この反射部にレーザビーム等の光ビームを入射させ、そ
の反射光を光電的に検出し、磁性体層の内部の磁化の変
化をカー効果により読み出すことにより、ヘッドの各部
の磁気特性を検出するようにしたことを特徴とするもの
である。
ヘッドの磁性体層の表面を光を反射するように形成し、
この反射部にレーザビーム等の光ビームを入射させ、そ
の反射光を光電的に検出し、磁性体層の内部の磁化の変
化をカー効果により読み出すことにより、ヘッドの各部
の磁気特性を検出するようにしたことを特徴とするもの
である。
具体的には、例えば′ａ膜磁気ヘッドのコイルに交流を
流して磁性体層の内部磁化を磁極長手方向にフリップフ
ロップさせ、磁性体層の表面にレーザビームを入用させ
、反射させて反射光を光電的に検出する。横カー効果を
利用するときは反射率の変化を検出すればよいし、縦カ
ー効果を利用するときは偏光子と検光子を使用して偏光
面の回転角度を検出すれば磁性体層の内部磁化の変化を
読み取ることができる。
流して磁性体層の内部磁化を磁極長手方向にフリップフ
ロップさせ、磁性体層の表面にレーザビームを入用させ
、反射させて反射光を光電的に検出する。横カー効果を
利用するときは反射率の変化を検出すればよいし、縦カ
ー効果を利用するときは偏光子と検光子を使用して偏光
面の回転角度を検出すれば磁性体層の内部磁化の変化を
読み取ることができる。
このレーザビームを例えば１０ミクロン程度にまで絞っ
てヘッドの各部を走査すれば、各部における磁気特性を
測定することができる。すなわち、交流を流すことによ
り示される磁性体層各部の動的磁気特性（ヒステリシス
カーブ）を、ヘッドの各部について得ることができる。
てヘッドの各部を走査すれば、各部における磁気特性を
測定することができる。すなわち、交流を流すことによ
り示される磁性体層各部の動的磁気特性（ヒステリシス
カーブ）を、ヘッドの各部について得ることができる。
またその交流の周波数を変えて同じ測定をすることによ
り、磁極の磁気特性の周波数特性を得ることができる。
り、磁極の磁気特性の周波数特性を得ることができる。
この方法によれば、ヘッドがウェス１状態のままでもそ
の上に光を当てて各部の特性を検査することができるか
ら、ウェス１からヘッドを切り出す前に検査して不良部
分を排除することもできるから、ヘッド製造時の歩留り
を向上させることもできる。
の上に光を当てて各部の特性を検査することができるか
ら、ウェス１からヘッドを切り出す前に検査して不良部
分を排除することもできるから、ヘッド製造時の歩留り
を向上させることもできる。
（実施態様）
以下、図面により本発明の好ましい実施態様を詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の方法により磁気ヘッドの動的磁気特性
を検査し、ヒステリミス特性曲線をめる装置の一例を示
す概略図である。
を検査し、ヒステリミス特性曲線をめる装置の一例を示
す概略図である。
レーザ光源１から、レーザビーム１Ａが発振され、偏光
子２により直線偏光にされた偏光レーザビーム１Ｂが、
コンデンサレンズ３により磁気ヘッドのウェファ１０上
で１０ミクロンあるいはそれ以下に絞られ、ウェファ１
０の特定の磁極の特定の微少領域に入射される。このウ
ェファ１０は例えば薄膜磁気ヘッドのウェス１で、各ヘ
ッド素子のコイルの出力端に、駆動電流を流づための１
対のプローブ５Ａ、５Ｂの接触針５ａ、５ｂが電気的に
接続される。（第２図、第３図参照）一対のプローブ５
Ａ、５Ｂの接触針５ａ、５ｂは、高周波テスト信号発生
回路６に接続されて、例えばＩＭＨ２の高周波数の交流
信号もしくは矩形波信号が入力される。これにより、ウ
ェファ１０の被検査部には内部磁化の正負の変化が生じ
、ｔの弯イヒの梯子ｆｙ＋カー効里により反部１光ビー
ム１Ｃに反射光の偏光面の回転（縦カー効果）あるいは
強度の変化（横カー効果）として表れる。この反射光ビ
ーム１Ｃはコリメータレンズ７．１／４波長板８、検光
子９を通してフォトマル等の光検出器２０に受光される
。１／４波長板８は反射によって生ずる楕円偏光化を補
償して直線１編光に直し、検光子９はこの偏光の偏光面
の角度に応じた強度の光ビームを透過させて光検出器２
０に入射させる（縦カー効果の場合）。横カー効果を利
用覆るときは偏光子２．１／４波長板８、検光子９は不
要令あるが、あってもよいのは勿論である。
子２により直線偏光にされた偏光レーザビーム１Ｂが、
コンデンサレンズ３により磁気ヘッドのウェファ１０上
で１０ミクロンあるいはそれ以下に絞られ、ウェファ１
０の特定の磁極の特定の微少領域に入射される。このウ
ェファ１０は例えば薄膜磁気ヘッドのウェス１で、各ヘ
ッド素子のコイルの出力端に、駆動電流を流づための１
対のプローブ５Ａ、５Ｂの接触針５ａ、５ｂが電気的に
接続される。（第２図、第３図参照）一対のプローブ５
Ａ、５Ｂの接触針５ａ、５ｂは、高周波テスト信号発生
回路６に接続されて、例えばＩＭＨ２の高周波数の交流
信号もしくは矩形波信号が入力される。これにより、ウ
ェファ１０の被検査部には内部磁化の正負の変化が生じ
、ｔの弯イヒの梯子ｆｙ＋カー効里により反部１光ビー
ム１Ｃに反射光の偏光面の回転（縦カー効果）あるいは
強度の変化（横カー効果）として表れる。この反射光ビ
ーム１Ｃはコリメータレンズ７．１／４波長板８、検光
子９を通してフォトマル等の光検出器２０に受光される
。１／４波長板８は反射によって生ずる楕円偏光化を補
償して直線１編光に直し、検光子９はこの偏光の偏光面
の角度に応じた強度の光ビームを透過させて光検出器２
０に入射させる（縦カー効果の場合）。横カー効果を利
用覆るときは偏光子２．１／４波長板８、検光子９は不
要令あるが、あってもよいのは勿論である。
光検出器２０の出力をオシロスコープ２１のＹ軸側入力
に入力し、前記高周波テスト信号発生回路６の出力電流
を基準抵抗６Ａを介して電圧として取り出し、それをそ
のＸ軸側入力に入力すれば、オシロスコープ２１に被＄
Ｌ査部の動的磁気特性曲線（ヒステリシスカーブ）２２
が表示される。
に入力し、前記高周波テスト信号発生回路６の出力電流
を基準抵抗６Ａを介して電圧として取り出し、それをそ
のＸ軸側入力に入力すれば、オシロスコープ２１に被＄
Ｌ査部の動的磁気特性曲線（ヒステリシスカーブ）２２
が表示される。
このようにして、ウェファ’１０の任意の！１極の任意
の微少部分の磁気特性を検査することができる。
の微少部分の磁気特性を検査することができる。
第２図は横カー効果を利用して平行磁化曲線を測定、あ
るいは縦カー効果を利用して直交磁化曲線を測定づると
きの薄膜磁気ヘッドとレーザビーム１Ｂ、１Ｃの位置関
係を示し、第３図は縦カー効果を利用して平行磁化曲線
を測定、あるいは縦カー効果を利用して平行磁化曲線を
測定づるときの位置関係を示すものである。ここで平行
磁化曲線とは、印加した駆動磁界に平行な磁化ベクトル
成分のＭ−Ｈカーブを、直交磁化曲線とは、印加した駆
動磁界に直角な磁化ベクトル成分のＩＶＩ−Ｈカーブを
意味するものである。
るいは縦カー効果を利用して直交磁化曲線を測定づると
きの薄膜磁気ヘッドとレーザビーム１Ｂ、１Ｃの位置関
係を示し、第３図は縦カー効果を利用して平行磁化曲線
を測定、あるいは縦カー効果を利用して平行磁化曲線を
測定づるときの位置関係を示すものである。ここで平行
磁化曲線とは、印加した駆動磁界に平行な磁化ベクトル
成分のＭ−Ｈカーブを、直交磁化曲線とは、印加した駆
動磁界に直角な磁化ベクトル成分のＩＶＩ−Ｈカーブを
意味するものである。
第１図は本発明の方法を実施する装置の一例を示す概略
図、第２図および第３図は、それぞれ横カー効果、縦カ
ー効果を利用して薄膜磁気ヘッドの磁気特性を検査する
ときのヘッドと光ビームの位置関係を示ず斜視図である
。 １・・・レーザ光源 ２・・・偏光子 ３・・・コンデンサレンズ ５Ａ、５Ｂ・・・プローブ ６・・；テスト信号発生回路 ７・・・コリメータレンズ ８・・・１／４波長板９・
・・検光子 ２０・・・光検出器 ２１・・・Ａシロスコープ ２２・・・ヒステリシスカーブ
図、第２図および第３図は、それぞれ横カー効果、縦カ
ー効果を利用して薄膜磁気ヘッドの磁気特性を検査する
ときのヘッドと光ビームの位置関係を示ず斜視図である
。 １・・・レーザ光源 ２・・・偏光子 ３・・・コンデンサレンズ ５Ａ、５Ｂ・・・プローブ ６・・；テスト信号発生回路 ７・・・コリメータレンズ ８・・・１／４波長板９・
・・検光子 ２０・・・光検出器 ２１・・・Ａシロスコープ ２２・・・ヒステリシスカーブ
Claims (3)
- （１） 表面に光反射部を有する磁性体層を備えた磁気
ヘッドの該光反射部に光ビームを入射させ、この光ビー
ムの反射光の、前記磁性体層の内部磁化の変化に対応し
たカー効果による特性の変化を光電的に検出し、この検
出出力により前記磁気ヘッドの磁気特性を測定すること
を特徴とする磁気ヘッドの検査力・法。 - （２） 前記光ビームとしてレーザビームを使用し、前
記磁気ヘッドの微少領域を走査して磁気ヘッドの各部の
内部磁化を測定することを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の磁気ヘッドの検査方法。 - （３） 前記磁気ヘッドが薄膜磁気ヘッドであり、前記
内部磁化が該薄膜磁気ヘッドのコイルに電流を流したと
きに発生する内部磁化であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項または第２項記載の磁気ヘッドの検査方法
。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58252005A JPS60143420A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | 磁気ヘツドの検査方法 |
| US06/686,529 US4658148A (en) | 1983-12-29 | 1984-12-27 | Inspection method for magnetic head utilizing the Kerr effect |
| NL8403949A NL8403949A (nl) | 1983-12-29 | 1984-12-27 | Werkwijze voor het inspekteren van de eigenschappen van een magnetische kop. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58252005A JPS60143420A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | 磁気ヘツドの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143420A true JPS60143420A (ja) | 1985-07-29 |
Family
ID=17231238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58252005A Pending JPS60143420A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | 磁気ヘツドの検査方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4658148A (ja) |
| JP (1) | JPS60143420A (ja) |
| NL (1) | NL8403949A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9709817B2 (en) | 2015-12-07 | 2017-07-18 | Oakley, Inc. | Eyewear retention devices and methods |
| US9717631B2 (en) | 2012-08-31 | 2017-08-01 | Oakley, Inc. | Eyewear having multiple ventilation states |
| US10359642B2 (en) | 2016-04-22 | 2019-07-23 | Oakley, Inc. | Mounting mechanism for eyewear |
| US10687981B2 (en) | 2015-10-09 | 2020-06-23 | Oakley, Inc. | Headworn supports with passive venting and removable lens |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4843316A (en) * | 1986-06-27 | 1989-06-27 | Hewlett-Packard Company | Nondestructive M-H hysteresis testers for magnetic discs for computer disc drives |
| US4816761A (en) * | 1987-06-22 | 1989-03-28 | Josephs Richard M | Apparatus for measuring the hysteresis loop of hard magnetic films on large magnetic recording disk |
| US4866264A (en) * | 1988-10-31 | 1989-09-12 | Northrop Corporation | Method and apparatus for measuring non-reciprocal loss of thin magnetic films and magnetic mirrors |
| US4922200A (en) * | 1989-08-25 | 1990-05-01 | Ldj Electronics, Inc. | Apparatus for measuring the hysteresis loop of magnetic film |
| US5162660A (en) * | 1991-06-27 | 1992-11-10 | Macmillan Bloedel Limited | Paper roughness or glass sensor using polarized light reflection |
| US5631559A (en) * | 1993-03-05 | 1997-05-20 | Northeastern University | Method and apparatus for performing magnetic field measurements using magneto-optic kerr effect sensors |
| US5493220A (en) * | 1993-03-05 | 1996-02-20 | Northeastern University | Magneto-optic Kerr effect stress sensing system |
| US7497827B2 (en) * | 2004-07-13 | 2009-03-03 | Dexcom, Inc. | Transcutaneous analyte sensor |
| CN100538839C (zh) * | 2005-07-27 | 2009-09-09 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 模块化光-磁混合存储介质动态测试系统 |
| CN101393764B (zh) * | 2008-09-18 | 2011-03-23 | 复旦大学 | 激光诱导磁记录动态测试方法及系统 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1772725A1 (de) * | 1968-06-26 | 1971-06-03 | Agfa Gevaert Ag | Verfahren zur Feststellung von Pegelschwankungen in magnetisierbaren Schichten |
| FR2515811A1 (fr) * | 1981-11-03 | 1983-05-06 | Thomson Csf | Dispositif interferometrique de mesure de champ magnetique et capteur de courant electrique comportant un tel dispositif |
| JPS58129372A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁界−光変換器 |
-
1983
- 1983-12-29 JP JP58252005A patent/JPS60143420A/ja active Pending
-
1984
- 1984-12-27 US US06/686,529 patent/US4658148A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-12-27 NL NL8403949A patent/NL8403949A/nl not_active Application Discontinuation
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9717631B2 (en) | 2012-08-31 | 2017-08-01 | Oakley, Inc. | Eyewear having multiple ventilation states |
| US10335317B2 (en) | 2012-08-31 | 2019-07-02 | Oakley, Inc. | Eyewear having multiple ventilation states |
| US10687981B2 (en) | 2015-10-09 | 2020-06-23 | Oakley, Inc. | Headworn supports with passive venting and removable lens |
| US9709817B2 (en) | 2015-12-07 | 2017-07-18 | Oakley, Inc. | Eyewear retention devices and methods |
| US10359642B2 (en) | 2016-04-22 | 2019-07-23 | Oakley, Inc. | Mounting mechanism for eyewear |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4658148A (en) | 1987-04-14 |
| NL8403949A (nl) | 1985-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6934068B2 (en) | Magnetic field and electrical current visualization system | |
| US4534649A (en) | Surface profile interferometer | |
| JPS60143420A (ja) | 磁気ヘツドの検査方法 | |
| JP2004093280A (ja) | 測定装置 | |
| CN115165758A (zh) | 一种检测设备及方法 | |
| KR20020009512A (ko) | 피측정물의 두께 측정방법 및 그 장치 | |
| GB2109545A (en) | Surface profile interferometer | |
| JP3363743B2 (ja) | 光学的異方性測定装置及びそれを用いた光学的異方性測定方法 | |
| KR100205671B1 (ko) | 광학적 이방성을 측정하기 위한 장치 및 방법 | |
| JP2001228121A (ja) | 試料の物理的性質の測定装置 | |
| JPH0429344A (ja) | 半導体集積回路用試験装置および該装置のプローブ位置制御方法 | |
| JP4003371B2 (ja) | 回路基板の検査装置及び回路基板の検査方法 | |
| JP2787678B2 (ja) | 偏光顕微鏡 | |
| JPH10267831A (ja) | 複屈折測定光学系および高空間分解能偏光解析装置 | |
| JPH01101475A (ja) | 導通形成検査装置 | |
| JPH05203431A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPH07167793A (ja) | 位相差半導体検査装置および半導体装置の製造方法 | |
| JP2713190B2 (ja) | 光学特性測定装置 | |
| KR100974478B1 (ko) | 액정 배향막 표면 검사 장치 및 방법 | |
| JPH0933237A (ja) | 測定プローブ | |
| RU2021590C1 (ru) | Способ измерения параметров внешнего воздействия на среду или объект и устройство для его осуществления | |
| JPH10227624A (ja) | 平行複屈折板の平行度測定方法 | |
| JPH0694760A (ja) | Ｅｏプローブ | |
| JP2886755B2 (ja) | 微細構造の測定装置 | |
| JP3305040B2 (ja) | 集積回路の回路試験方法 |