JPS60138402A - 金属厚さ測定装置 - Google Patents
金属厚さ測定装置Info
- Publication number
- JPS60138402A JPS60138402A JP24566083A JP24566083A JPS60138402A JP S60138402 A JPS60138402 A JP S60138402A JP 24566083 A JP24566083 A JP 24566083A JP 24566083 A JP24566083 A JP 24566083A JP S60138402 A JPS60138402 A JP S60138402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- coil
- low frequency
- frequency probe
- high frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は、腐蝕層、塗膜等におおわれた金属の厚さを測
定する金属厚さ測定装置に係る。
定する金属厚さ測定装置に係る。
[発明の技術的背景とその問題点1
金属の厚さを渦“電流法によって測定する場合、金属と
プローブのコイルとの距離が変化すると、リフトオフ信
号を生じこれが測定値の誤差の原因となっている。長尺
の金属部材の厚さを測定する場合には、部材表面が腐蝕
して不均一な非磁性非導電性の層を形成していると、上
記の誤差は大となる。
プローブのコイルとの距離が変化すると、リフトオフ信
号を生じこれが測定値の誤差の原因となっている。長尺
の金属部材の厚さを測定する場合には、部材表面が腐蝕
して不均一な非磁性非導電性の層を形成していると、上
記の誤差は大となる。
[発明の目的]
本発明は上記の事情に基きなされたしので、金属部材表
面に腐蝕層、塗膜等の不均一な非磁性、非導性の層があ
っても、金属部材の厚さを正確に測定し得る金属厚さ測
定装置を得ることを目的としている。
面に腐蝕層、塗膜等の不均一な非磁性、非導性の層があ
っても、金属部材の厚さを正確に測定し得る金属厚さ測
定装置を得ることを目的としている。
[発明の概要]
本発明の金属厚さ測定′1Alifは発、受信を同時に
行うコイルを有する低周波プローブと、これと同一軌跡
を描くように設置され同じく梵、受信を同時に行うコイ
ルをそなえた高周波プローブと、前記各プローブに交流
電流を印加すると共に前記各コイルのインピーダンス変
化を電圧に変換りる発振器兼変換器と、これらにより得
られた電圧を交互に取出すと共に前記電圧をディジタル
化するスキャナ兼AD変換器と、このスキャナ兼AD変
換器から得られた低周波プローブについての信号と高周
波プローブについての信号とから金属部の厚さを算出す
る計算機とを有することを特徴と1′る。
行うコイルを有する低周波プローブと、これと同一軌跡
を描くように設置され同じく梵、受信を同時に行うコイ
ルをそなえた高周波プローブと、前記各プローブに交流
電流を印加すると共に前記各コイルのインピーダンス変
化を電圧に変換りる発振器兼変換器と、これらにより得
られた電圧を交互に取出すと共に前記電圧をディジタル
化するスキャナ兼AD変換器と、このスキャナ兼AD変
換器から得られた低周波プローブについての信号と高周
波プローブについての信号とから金属部の厚さを算出す
る計算機とを有することを特徴と1′る。
[発明の実施例]
第1図は本発明の一実施例を示1゜この図において、プ
ローブユニットのケース1には、低周波ブO−ブ2と、
高周波プローブ3がそれらの上端の軸2a、 3aをケ
ース上面壁に可摺動に係合させ、下端をケース下面開口
から突出させて取付けられている。なお、軸2a、 3
aにはコイルばね4,5が装着され、各プローブにはプ
ローブを押下げる方向のばね力が印加されている。また
、各プローブは発、受信を同時に行うコイル2b、 3
bが設けである。
ローブユニットのケース1には、低周波ブO−ブ2と、
高周波プローブ3がそれらの上端の軸2a、 3aをケ
ース上面壁に可摺動に係合させ、下端をケース下面開口
から突出させて取付けられている。なお、軸2a、 3
aにはコイルばね4,5が装着され、各プローブにはプ
ローブを押下げる方向のばね力が印加されている。また
、各プローブは発、受信を同時に行うコイル2b、 3
bが設けである。
上記構成のブローブユニツI・を、部材表面に沿って一
方向に動か1時、プローブ2,3は同一軌跡を描くこと
となる。なお、第1図中、mは金属部材を、m′は表面
の腐蝕層を示している。
方向に動か1時、プローブ2,3は同一軌跡を描くこと
となる。なお、第1図中、mは金属部材を、m′は表面
の腐蝕層を示している。
第2図は上記のプローブユニットに接続する信号処理系
を示で。6,7はそれぞれ発振器兼変換器で低周波プロ
ーブ2.高周波プローブ3に交流電流を印加すると共に
各プローブのコイルのインピーダンス変化を電圧に変換
する。スギャナ兼AD変換、器8は前記の発振器兼変換
器6.7で得られた信号を交互に取出し、これをディジ
タル信号に変換する。9は計算機でスキャナ兼AD変換
器8からの信号により後に述べるようにして計棹し、金
属厚さを算出する。
を示で。6,7はそれぞれ発振器兼変換器で低周波プロ
ーブ2.高周波プローブ3に交流電流を印加すると共に
各プローブのコイルのインピーダンス変化を電圧に変換
する。スギャナ兼AD変換、器8は前記の発振器兼変換
器6.7で得られた信号を交互に取出し、これをディジ
タル信号に変換する。9は計算機でスキャナ兼AD変換
器8からの信号により後に述べるようにして計棹し、金
属厚さを算出する。
第3図中の曲線C+ 、C2は腐蝕層のある金属部材表
面をプローブユニットで一方向に走査した時の低周波プ
ローブ2、高周波プローブ3から得られた渦電流信号を
示す。
面をプローブユニットで一方向に走査した時の低周波プ
ローブ2、高周波プローブ3から得られた渦電流信号を
示す。
プローブ2,3に交流電流を印加すると、その交流周波
数に応じた交番磁界を生じ、この交番磁界はプローブ近
傍の金属中に渦電流を生じさせることは周知である。
数に応じた交番磁界を生じ、この交番磁界はプローブ近
傍の金属中に渦電流を生じさせることは周知である。
而して、この渦電流プローブに印加された交流電流と同
一の周波数を持つが、表皮効果により渦電流密度は表面
近傍程高くなる。表皮効果は渦電流の周波数が高い程高
くなる。また、表皮効果は金属の電導度、透磁率が高い
程高くなる。
一の周波数を持つが、表皮効果により渦電流密度は表面
近傍程高くなる。表皮効果は渦電流の周波数が高い程高
くなる。また、表皮効果は金属の電導度、透磁率が高い
程高くなる。
従って、金属部材の金属の電導度、透磁率、厚さに応じ
て交流周波数を選べば、金属部材の表面近傍のみの情報
、金属内部あるいはコイルと金属をはさんだ逆表面の情
報を選択的に得ることができる。
て交流周波数を選べば、金属部材の表面近傍のみの情報
、金属内部あるいはコイルと金属をはさんだ逆表面の情
報を選択的に得ることができる。
このことを利用して低周波コイル2によって金属部材の
厚さを測定する。その結果を承りのがC+の曲線である
。ただし、この測定結果には腐蝕層m′に起因するりフ
トオフ信号が含まれている。
厚さを測定する。その結果を承りのがC+の曲線である
。ただし、この測定結果には腐蝕層m′に起因するりフ
トオフ信号が含まれている。
低周波プローブ2と同一軌跡を描く高周波プローブ3か
ら得られる信号は、表皮効果のため肉厚に関する情報は
殆んど含まれてJ′3らず、リフトオフ信号が支配的と
なっている。C2の曲線はそれ曲線C1,、C2で示す
プロー12.3によって得られた信号を、その金属の電
導度、透磁率について予め得られている補正因子を用い
て処理し、肉厚についての情報を得ることかできる。
ら得られる信号は、表皮効果のため肉厚に関する情報は
殆んど含まれてJ′3らず、リフトオフ信号が支配的と
なっている。C2の曲線はそれ曲線C1,、C2で示す
プロー12.3によって得られた信号を、その金属の電
導度、透磁率について予め得られている補正因子を用い
て処理し、肉厚についての情報を得ることかできる。
上記の処理は計41119によって行う。づなわら、プ
ローブユニットの走査速度とスキ12す兼AD変換器8
のスキ1νす頻度とから、2つのプローブ2゜3の位置
を割出し、2つのプローブの部月上の同一位置の信号を
用いて処理する。
ローブユニットの走査速度とスキ12す兼AD変換器8
のスキ1νす頻度とから、2つのプローブ2゜3の位置
を割出し、2つのプローブの部月上の同一位置の信号を
用いて処理する。
また、低周波、高周波それぞれの周波数を用い、対象と
なる金属の導電率、透磁率、形態に対して、腐蝕のない
状態でリフトオフ距離−電圧の関係、肉厚−電圧の関係
を知っておき、これらから補正因子を定めて83 <。
なる金属の導電率、透磁率、形態に対して、腐蝕のない
状態でリフトオフ距離−電圧の関係、肉厚−電圧の関係
を知っておき、これらから補正因子を定めて83 <。
[発明の効果]
本発明によれば、金属部材表面に厚さの不均一な腐蝕層
、塗膜等があっても、金属部材の金属部の厚さを非破壊
で測定できるので、例えば原子炉の保守、管理等におい
て特に有用である。
、塗膜等があっても、金属部材の金属部の厚さを非破壊
で測定できるので、例えば原子炉の保守、管理等におい
て特に有用である。
第1図は本発明一実施例の断面図、第2図はその信号処
理系のブロックダイヤグラム、第3図は麹果を説明する
ためのグラフである。
理系のブロックダイヤグラム、第3図は麹果を説明する
ためのグラフである。
1・・・ケース 2・・・低周波10−ブ3・・・高周
波プローブ 2b、3b・・・コイル6.7・・・発振
器兼変換器 8・・・スキャナ兼AI)変換器 9・・・剖算機 出願代理人 弁理士 菊 池 五 部 嬉 l 第31I @2’@
波プローブ 2b、3b・・・コイル6.7・・・発振
器兼変換器 8・・・スキャナ兼AI)変換器 9・・・剖算機 出願代理人 弁理士 菊 池 五 部 嬉 l 第31I @2’@
Claims (1)
- 発、受信を同時に行うコイルを有する低周波プローブと
、これと同一軌跡を描くように設置され同じく発、受信
を同時に行うコイルをそなえた高周波プローブと、前記
各プローブに交流電流を印加すると共に前記各コイルど
のインピーダンス変化を電圧に変換する発振器兼変換器
と、これらにより得られた電圧を交互に取出すと共に前
記電圧をディジタル化するスキャナ兼AD変換器と、こ
のスキャナ兼AD変換器から得られた低周波プローブに
ついての信号と高周波プローブについての信号とから金
属部の厚さを篩用りるit n INとを有することを
特徴とする金属厚さ測定装d0
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24566083A JPS60138402A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 金属厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24566083A JPS60138402A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 金属厚さ測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60138402A true JPS60138402A (ja) | 1985-07-23 |
Family
ID=17136922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24566083A Pending JPS60138402A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 金属厚さ測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60138402A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110260720A1 (en) * | 2010-04-23 | 2011-10-27 | Helmut Fischer | Measuring probe for non-destructive measuring of the thickness of thin layers |
JP2020139745A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | Jfeスチール株式会社 | 非磁性金属の肉厚測定方法および肉厚測定装置 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP24566083A patent/JPS60138402A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110260720A1 (en) * | 2010-04-23 | 2011-10-27 | Helmut Fischer | Measuring probe for non-destructive measuring of the thickness of thin layers |
JP2011232339A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-17 | Helmut Fischer Gmbh Inst Fuer Elektronik & Messtechnik | 測定プローブ |
EP2381218A3 (de) * | 2010-04-23 | 2015-09-02 | Helmut Fischer GmbH | Messsonde zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten |
US9857171B2 (en) | 2010-04-23 | 2018-01-02 | Helmut Fischer Gmbh Institut Fuer Elektronik Und Messtechnik | Measuring probe for non-destructive measuring of the thickness of thin layers |
JP2020139745A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | Jfeスチール株式会社 | 非磁性金属の肉厚測定方法および肉厚測定装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5492201B2 (ja) | 流動媒体の誘導導電率測定の方法およびデバイス | |
JP3246727B2 (ja) | 誘導型電子ノギス | |
US5191286A (en) | Method and probe for non-destructive measurement of the thickness of thin layers and coatings | |
CN106872925B (zh) | 一种基于传输线的近场探头空间分辨率驻波校准方法 | |
Bao et al. | Improved time-of-flight estimation method for acoustic tomography system | |
UA80755C2 (en) | Method of noncontact measurement of resistance by eddy-current sensors and a device for the realization of the method | |
CN109540053B (zh) | 一种基于单线圈的金属母材及表面非金属涂层快速测厚方法 | |
JPS60138402A (ja) | 金属厚さ測定装置 | |
CN113640369A (zh) | 适用于金属表面裂纹的交流电磁场提离效应补偿方法 | |
JP6291635B2 (ja) | 金属材料判別装置 | |
CN111999378A (zh) | 一种基于tmr传感器的金属材料电导率和厚度的测量方法 | |
CN111665296B (zh) | 基于emat测量超声换能器三维辐射声场的方法及装置 | |
JP2009192497A (ja) | 表面電位測定方法および表面電位計 | |
CN115102641B (zh) | 一种周期信号噪声有效值测量方法 | |
JP6182695B2 (ja) | 複素透磁率測定装置とその測定方法および応用。 | |
Röper | A high-frequency eddy current method for the thickness measurement of thin metallic foils using ferrite-core transmission systems | |
JP2000009414A (ja) | 表層厚さ測定方法 | |
Li et al. | A Kalman-based phase-locked demodulation for electromagnetic acoustic transducer | |
JP4585709B2 (ja) | 電磁式溶鋼レベル検出器の簡易校正方法 | |
Santos et al. | Low-cost multi-frequency eddy current coating thickness measurement system | |
SU1037157A2 (ru) | Вихретоковый преобразователь | |
SU1383195A1 (ru) | Способ измерени толщины слоев многослойных изделий | |
RU2195636C2 (ru) | Способ определения механических напряжений и устройство для его осуществления | |
Katasonov et al. | Measuring the thickness of thin metal films using an eddy current software and hardware complex | |
JPS6038214Y2 (ja) | 電磁超音波トランスデュ−サ− |