JPS60138402A - 金属厚さ測定装置 - Google Patents

金属厚さ測定装置

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Publication number
JPS60138402A
JPS60138402A JP24566083A JP24566083A JPS60138402A JP S60138402 A JPS60138402 A JP S60138402A JP 24566083 A JP24566083 A JP 24566083A JP 24566083 A JP24566083 A JP 24566083A JP S60138402 A JPS60138402 A JP S60138402A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
coil
low frequency
frequency probe
high frequency
Prior art date
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Pending
Application number
JP24566083A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinichi Higuchi
真一 樋口
Hideaki Ogami
大上 英明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Nippon Genshiryoku Jigyo KK
Nippon Atomic Industry Group Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Nippon Genshiryoku Jigyo KK
Nippon Atomic Industry Group Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Nippon Genshiryoku Jigyo KK, Nippon Atomic Industry Group Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP24566083A priority Critical patent/JPS60138402A/ja
Publication of JPS60138402A publication Critical patent/JPS60138402A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は、腐蝕層、塗膜等におおわれた金属の厚さを測
定する金属厚さ測定装置に係る。
[発明の技術的背景とその問題点1 金属の厚さを渦“電流法によって測定する場合、金属と
プローブのコイルとの距離が変化すると、リフトオフ信
号を生じこれが測定値の誤差の原因となっている。長尺
の金属部材の厚さを測定する場合には、部材表面が腐蝕
して不均一な非磁性非導電性の層を形成していると、上
記の誤差は大となる。
[発明の目的] 本発明は上記の事情に基きなされたしので、金属部材表
面に腐蝕層、塗膜等の不均一な非磁性、非導性の層があ
っても、金属部材の厚さを正確に測定し得る金属厚さ測
定装置を得ることを目的としている。
[発明の概要] 本発明の金属厚さ測定′1Alifは発、受信を同時に
行うコイルを有する低周波プローブと、これと同一軌跡
を描くように設置され同じく梵、受信を同時に行うコイ
ルをそなえた高周波プローブと、前記各プローブに交流
電流を印加すると共に前記各コイルのインピーダンス変
化を電圧に変換りる発振器兼変換器と、これらにより得
られた電圧を交互に取出すと共に前記電圧をディジタル
化するスキャナ兼AD変換器と、このスキャナ兼AD変
換器から得られた低周波プローブについての信号と高周
波プローブについての信号とから金属部の厚さを算出す
る計算機とを有することを特徴と1′る。
[発明の実施例] 第1図は本発明の一実施例を示1゜この図において、プ
ローブユニットのケース1には、低周波ブO−ブ2と、
高周波プローブ3がそれらの上端の軸2a、 3aをケ
ース上面壁に可摺動に係合させ、下端をケース下面開口
から突出させて取付けられている。なお、軸2a、 3
aにはコイルばね4,5が装着され、各プローブにはプ
ローブを押下げる方向のばね力が印加されている。また
、各プローブは発、受信を同時に行うコイル2b、 3
bが設けである。
上記構成のブローブユニツI・を、部材表面に沿って一
方向に動か1時、プローブ2,3は同一軌跡を描くこと
となる。なお、第1図中、mは金属部材を、m′は表面
の腐蝕層を示している。
第2図は上記のプローブユニットに接続する信号処理系
を示で。6,7はそれぞれ発振器兼変換器で低周波プロ
ーブ2.高周波プローブ3に交流電流を印加すると共に
各プローブのコイルのインピーダンス変化を電圧に変換
する。スギャナ兼AD変換、器8は前記の発振器兼変換
器6.7で得られた信号を交互に取出し、これをディジ
タル信号に変換する。9は計算機でスキャナ兼AD変換
器8からの信号により後に述べるようにして計棹し、金
属厚さを算出する。
第3図中の曲線C+ 、C2は腐蝕層のある金属部材表
面をプローブユニットで一方向に走査した時の低周波プ
ローブ2、高周波プローブ3から得られた渦電流信号を
示す。
プローブ2,3に交流電流を印加すると、その交流周波
数に応じた交番磁界を生じ、この交番磁界はプローブ近
傍の金属中に渦電流を生じさせることは周知である。
而して、この渦電流プローブに印加された交流電流と同
一の周波数を持つが、表皮効果により渦電流密度は表面
近傍程高くなる。表皮効果は渦電流の周波数が高い程高
くなる。また、表皮効果は金属の電導度、透磁率が高い
程高くなる。
従って、金属部材の金属の電導度、透磁率、厚さに応じ
て交流周波数を選べば、金属部材の表面近傍のみの情報
、金属内部あるいはコイルと金属をはさんだ逆表面の情
報を選択的に得ることができる。
このことを利用して低周波コイル2によって金属部材の
厚さを測定する。その結果を承りのがC+の曲線である
。ただし、この測定結果には腐蝕層m′に起因するりフ
トオフ信号が含まれている。
低周波プローブ2と同一軌跡を描く高周波プローブ3か
ら得られる信号は、表皮効果のため肉厚に関する情報は
殆んど含まれてJ′3らず、リフトオフ信号が支配的と
なっている。C2の曲線はそれ曲線C1,、C2で示す
プロー12.3によって得られた信号を、その金属の電
導度、透磁率について予め得られている補正因子を用い
て処理し、肉厚についての情報を得ることかできる。
上記の処理は計41119によって行う。づなわら、プ
ローブユニットの走査速度とスキ12す兼AD変換器8
のスキ1νす頻度とから、2つのプローブ2゜3の位置
を割出し、2つのプローブの部月上の同一位置の信号を
用いて処理する。
また、低周波、高周波それぞれの周波数を用い、対象と
なる金属の導電率、透磁率、形態に対して、腐蝕のない
状態でリフトオフ距離−電圧の関係、肉厚−電圧の関係
を知っておき、これらから補正因子を定めて83 <。
[発明の効果] 本発明によれば、金属部材表面に厚さの不均一な腐蝕層
、塗膜等があっても、金属部材の金属部の厚さを非破壊
で測定できるので、例えば原子炉の保守、管理等におい
て特に有用である。
第1図は本発明一実施例の断面図、第2図はその信号処
理系のブロックダイヤグラム、第3図は麹果を説明する
ためのグラフである。
1・・・ケース 2・・・低周波10−ブ3・・・高周
波プローブ 2b、3b・・・コイル6.7・・・発振
器兼変換器 8・・・スキャナ兼AI)変換器 9・・・剖算機 出願代理人 弁理士 菊 池 五 部 嬉 l 第31I @2’@

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 発、受信を同時に行うコイルを有する低周波プローブと
    、これと同一軌跡を描くように設置され同じく発、受信
    を同時に行うコイルをそなえた高周波プローブと、前記
    各プローブに交流電流を印加すると共に前記各コイルど
    のインピーダンス変化を電圧に変換する発振器兼変換器
    と、これらにより得られた電圧を交互に取出すと共に前
    記電圧をディジタル化するスキャナ兼AD変換器と、こ
    のスキャナ兼AD変換器から得られた低周波プローブに
    ついての信号と高周波プローブについての信号とから金
    属部の厚さを篩用りるit n INとを有することを
    特徴とする金属厚さ測定装d0
JP24566083A 1983-12-27 1983-12-27 金属厚さ測定装置 Pending JPS60138402A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20110260720A1 (en) * 2010-04-23 2011-10-27 Helmut Fischer Measuring probe for non-destructive measuring of the thickness of thin layers
JP2020139745A (ja) * 2019-02-26 2020-09-03 Jfeスチール株式会社 非磁性金属の肉厚測定方法および肉厚測定装置

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