JPS60136539U - メカニカル共振器 - Google Patents
メカニカル共振器Info
- Publication number
- JPS60136539U JPS60136539U JP2502684U JP2502684U JPS60136539U JP S60136539 U JPS60136539 U JP S60136539U JP 2502684 U JP2502684 U JP 2502684U JP 2502684 U JP2502684 U JP 2502684U JP S60136539 U JPS60136539 U JP S60136539U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mechanical resonator
- resonator
- sapphire
- silicon
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係るメカニカル共振素子の平面図、第
２図は同素子の側面図、第３図は同素子の電気結合図で
ある。 Ａ、Ａ’、Ｂ：共振子、６：シリコン、サファイヤ等の
単結晶基板。
２図は同素子の側面図、第３図は同素子の電気結合図で
ある。 Ａ、Ａ’、Ｂ：共振子、６：シリコン、サファイヤ等の
単結晶基板。
Claims (1)
- シリコン、サファイヤ等の単結晶体を基板にして三層の
うち少なくとも中間の振動する共振子を形成したことを
特徴とするメカニカル共振素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2502684U JPS60136539U (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | メカニカル共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2502684U JPS60136539U (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | メカニカル共振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136539U true JPS60136539U (ja) | 1985-09-10 |
| JPH055693Y2 JPH055693Y2 (ja) | 1993-02-15 |
Family
ID=30519729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2502684U Granted JPS60136539U (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | メカニカル共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136539U (ja) |
-
1984
- 1984-02-23 JP JP2502684U patent/JPS60136539U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH055693Y2 (ja) | 1993-02-15 |
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